JPH06182647A - Precision machine tool - Google Patents
Precision machine toolInfo
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- JPH06182647A JPH06182647A JP34062892A JP34062892A JPH06182647A JP H06182647 A JPH06182647 A JP H06182647A JP 34062892 A JP34062892 A JP 34062892A JP 34062892 A JP34062892 A JP 34062892A JP H06182647 A JPH06182647 A JP H06182647A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、送り軸系が1/100
μ以下の分解能を有し、ワークの鏡面加工等を精密に機
械加工することが可能な近年、開発、実用化が著しい精
密工作機械に関し、特に、工具を保持した送り動作部と
被加工ワークを保持した送り動作部との2つの動作部を
相対送り変位させる直交三軸(X,Y,Z)方向の3つ
の基本送り軸に加えて、上記の両送り動作部の間に形成
された音叉型構造に起因する切削反力等による両動作部
間の振動変位を抑止するために両動作部間に架設される
干渉送り軸機構を備え、基本送り軸機構と干渉送り軸機
構との間の原点設定を自動的に、かつ、容易に遂行可能
な構造を備えた精密工作機械に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention has a feed shaft system of 1/100.
Precision machine tools that have a resolution of less than μ and are capable of precisely machining mirror-finishing of workpieces, etc. have been developed and put to practical use in recent years. In addition to the three basic feed axes in the orthogonal three-axis (X, Y, Z) directions for relatively feeding and displacing the two feed operation sections that are held, a tuning fork formed between the two feed operation sections described above. Equipped with an interfering feed shaft mechanism installed between both operating parts to suppress vibration displacement between both operating parts due to cutting reaction force due to the die structure, etc. The present invention relates to a precision machine tool having a structure capable of automatically and easily performing origin setting.
【0002】[0002]
【従来の技術】上述した種類の精密工作機械としては英
国で開発された四面体構造の工作機械等が既にわが国に
も紹介され、また、本願出願人は、特開昭63−288
644号公報に開示の如く、設定値に基づいて工具とワ
ークの相対位置を決めるサーボ機構を有し、工具へ可及
的に近接した箇所とワークへ可及的に近接した箇所間に
両箇所間を例えば、サーボ機構付きのアクチュエータで
連結し、かつ、両箇所間の距離を検出する距離検出セン
サを設け、これら距離センサの検出値を用いて前記相対
位置に関する補正量を算出し、前記アクチュエータのサ
ーボ機構へフィードバックする制御手段を備えた構成を
備え、音叉構造による振動変位等の誤差変位を上記アク
チュエータで抑止する構想の精密工作機械を既に提案し
ている。2. Description of the Related Art As a precision machine tool of the type described above, a tetrahedral machine tool developed in the UK has already been introduced to Japan, and the applicant of the present invention has disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-288.
As disclosed in Japanese Patent No. 644, it has a servo mechanism that determines the relative position of the tool and the work based on the set value, and places both the place as close as possible to the tool and the place as close as possible to the work. For example, an actuator with a servo mechanism is used to connect the distances, and a distance detection sensor that detects the distance between the two locations is provided, and the correction value for the relative position is calculated using the detection values of these distance sensors. Has proposed a precision machine tool having a structure including a control means for feeding back to the servo mechanism, and having an actuator for suppressing error displacement such as vibration displacement due to a tuning fork structure.
【0003】後者のような誤差変位分を抑止する機構を
備えた従来の精密工作機械においては、同精密工作機械
の組み立て時点で3つの基本送り軸機構とアクチュエー
タを有した誤差変位抑止機構との間で夫々の原点位置を
制御手段により認識させ、かつ、機械の主電源が切断さ
れた場合等においても基本送り軸系の現在位置データを
例えばバッアップ電源等で継続して保持させ、基本送り
軸と誤差変位抑止機構との相対的なデータを確保するこ
とにより、再び主電源を接続したとき、精密工作機械の
作動を直ちに、開始させ得るようにしている。In the conventional precision machine tool having the mechanism for suppressing the error displacement as described above, at the time of assembling the precision machine tool, there are three basic feed axis mechanisms and an error displacement suppressing mechanism having an actuator. The respective origin positions are recognized by the control means, and the current position data of the basic feed axis system is continuously retained by, for example, a back-up power source even when the main power source of the machine is cut off. By ensuring the relative data between the error displacement restraint mechanism and the error displacement restraint mechanism, the operation of the precision machine tool can be immediately started when the main power source is connected again.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】然しながら、上述した
従来の精密工作機械の構成によると、何らかの事態、例
えば、バックアップ電源の消耗に気が付かなかった事態
等で基本送り軸機構の位置、従って、工具を保持した送
り動作部と被加工ワークを保持した他の送り動作部との
それぞれの現在位置が認識できなくなった場合には、誤
差変位抑止機構のアクチュエータ等を取り外して工作機
械の初期組み立て時と同様に最初から原点位置の認識操
作を行う必要があり、精密な構造を有した機構を再度、
組み立てすることは、組み立て精度を高度に維持する観
点からも長時間と細心の組み立て技術を要する等、極め
て煩瑣であると言う問題点を有している。However, according to the structure of the conventional precision machine tool described above, the position of the basic feed shaft mechanism, and hence the tool, can be changed in some circumstances, for example, when the consumption of the backup power supply is not noticed. If the current positions of the held feed motion part and the other feed motion parts that hold the workpiece can no longer be recognized, remove the actuator of the error displacement suppression mechanism, etc., and do the same as during the initial assembly of the machine tool. It is necessary to perform the operation of recognizing the origin position from the beginning, and again the mechanism with a precise structure,
Assembling has a problem that it is extremely troublesome in that it requires a long time and meticulous assembling technology from the viewpoint of maintaining high assembly precision.
【0005】従って、基本送り軸機構の現在位置を主電
源が切断された場合等にもバックアップ電源等で継続保
持する必要が無く、しかも主電源が再投入されたとき、
3つの基本送り軸機構と誤差変位抑止機構との原点設定
を簡単に遂行し得る構成を有した送り軸機構を備えた精
密工作機械の提供が要望される。従って、本発明の目的
は、このような要望を満たすことのできる精密工作機械
を提供することにある。Therefore, it is not necessary to continuously maintain the current position of the basic feed shaft mechanism with a backup power source even when the main power source is cut off, and when the main power source is turned on again,
It is desired to provide a precision machine tool equipped with a feed shaft mechanism having a configuration capable of easily performing the origin setting of the three basic feed shaft mechanisms and the error displacement suppression mechanism. Therefore, an object of the present invention is to provide a precision machine tool that can meet such a demand.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、駆動モータを
駆動源にした直交三軸方向の送りねじ機構から成る3つ
の基本送り軸機構によって工具を有した第1の送り動作
部と被加工ワークを有した第2の送り動作部との間に相
対変位を付与して機械加工を遂行させ、このとき、両動
作部間の切削反力による振動的な誤差変位を抑止する誤
差変位抑止機構として少なくとも1つの干渉送り軸機構
を設け、同干渉送り軸機構における送りねじ手段とし
て、例えば、サーボモータで回転駆動されると共に螺合
部に静圧空気層を介在させた空気ネジ軸と空気ナットと
からなる小まさつ抵抗型の送りねじを用いることによ
り、原点設定を行うときには、干渉送り軸機構の送りね
じを駆動するサーボモータを制御手段による制御対象か
ら外し、かつ、同サーボモータの制動を解除して空気送
りねじと空気ナットとを自在可動状態にし、その状態で
基本送り軸の各軸を原点位置へ復帰させ、原点復帰後
に、干渉送り軸機構の送りねじの現在位置を原点位置と
して認識することにより、簡単に原点設定を行い得るよ
うにしたものである。According to the present invention, there is provided a first feed operation unit having a tool and a work piece to be machined by three basic feed shaft mechanisms which are feed screw mechanisms in the directions of three orthogonal axes using a drive motor as a drive source. An error displacement restraint mechanism for imparting relative displacement between the workpiece and the second feed motion unit to perform machining, and at this time suppresses vibrational error displacement due to a cutting reaction force between the motion units. As at least one interfering feed shaft mechanism, as the feed screw means in the interfering feed shaft mechanism, for example, an air screw shaft and an air nut that are rotationally driven by a servo motor and have a static pressure air layer interposed in a screwing portion. By using a small resistance resistance feed screw consisting of and, when setting the origin, remove the servo motor that drives the feed screw of the interference feed shaft mechanism from the control target of the control means, and Release the motor braking to freely move the air feed screw and air nut, and then return each axis of the basic feed shaft to the home position.After returning to the home position, the current position of the feed screw of the interference feed shaft mechanism By recognizing as the origin position, the origin can be easily set.
【0007】即ち、本発明によれば、工具を保持した第
1の動作部と被加工物を保持した第2の動作部とをX,
Y,Zの直交三軸方向に沿って相対送り変位させるため
に設けられる3つの基本送り軸機構と、前記第1、第2
の動作部の間に架設され、切削反力等による該両動作部
の誤差変位を抑止するために設けられると共に小まさつ
抵抗型の送りねじ手段を備えた少なくとも1つの干渉送
り軸機構と、前記3つの基本送り軸機構の駆動モータと
前記干渉送り軸機構の駆動源モータとを所定の加工プロ
グラムに従って夫々のモータ駆動サーボ回路を介して駆
動、制御するように設けられ、かつ、該夫々のモータ駆
動サーボ回路にモータ制動回路を内蔵させた制御手段
と、を具備して構成されることを特徴とする精密工作機
械が提供されるのである。That is, according to the present invention, the first operating unit holding the tool and the second operating unit holding the workpiece are X,
Three basic feed shaft mechanisms provided for relative feed displacement along the three orthogonal directions of Y and Z, and the first and second
At least one interfering feed shaft mechanism, which is provided between the moving parts of the above, and is provided for suppressing error displacement of the both working parts due to a cutting reaction force and the like, and which is provided with a small sledge resistance type feed screw means, The drive motors of the three basic feed shaft mechanisms and the drive source motors of the interference feed shaft mechanisms are provided to be driven and controlled via respective motor drive servo circuits according to a predetermined machining program, and the respective drive motors are provided. There is provided a precision machine tool characterized by comprising a control means having a motor braking circuit built in a motor drive servo circuit.
【0008】[0008]
【作用】上述の構成によれば、主電源が切断されたとき
等において、基本送り機構の現在位置のデータを保持す
る手段は具備されていないが、主電源を再投入したとき
に、制御手段による干渉送り軸機構の駆動源モータに関
する動作制御とブレーキだけを先ず解除し、次に、各基
本送り軸機構を順次に原点位置へ復帰させ、最後に、干
渉送り軸機構の動作制御を回復させた後、原点位置へ復
帰させることよって、3つの基本送り軸と干渉送り軸と
の間で簡単に原点設定を遂行することができる。以下、
本発明を添付図面に示す実施例に従って、更に、詳細に
説明する。According to the above construction, there is no means for holding the data of the current position of the basic feed mechanism when the main power source is cut off, but when the main power source is turned on again, the control means is controlled. First, release only the operation control and brake related to the drive source motor of the interference feed shaft mechanism, then sequentially return each basic feed shaft mechanism to the origin position, and finally, restore the operation control of the interference feed shaft mechanism. Then, by returning to the origin position, the origin can be easily set between the three basic feed axes and the interference feed axis. Less than,
The present invention will be described in more detail according to the embodiments shown in the accompanying drawings.
【0009】[0009]
【実施例】図1は本発明の実施例に係る精密工作機械の
平面図、図2は同工作機械の側面図、図3は、制御手段
を構成するNC制御装置と図1に示した精密工作機械の
駆動モータとの接続を示すブロック図、図4は、制御手
段による原点位置の設定モードにおける作用手順を示す
フローチャート、図5は、他の実施例に係る精密工作機
械の構成を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view of a precision machine tool according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the machine tool, and FIG. 3 is an NC controller constituting a control means and the precision machine shown in FIG. FIG. 4 is a block diagram showing a connection with a drive motor of a machine tool, FIG. 4 is a flow chart showing an operation procedure in an origin position setting mode by the control means, and FIG. 5 is a plan view showing a configuration of a precision machine tool according to another embodiment. It is a figure.
【0010】図1および図2を参照すると、本実施例に
係る精密工作機械の機体部は、床面上に防振装置を介し
て据着れるベッド10を備え、このベッド10には、直
交二軸(X,Y)方向に配設された一方の送り動作部1
2と、他方の送り動作部14とが設けられている。Referring to FIGS. 1 and 2, the machine body of the precision machine tool according to the present embodiment includes a bed 10 which can be installed on the floor surface via a vibration isolator, and the bed 10 is orthogonal to the bed 10. One feed operation unit 1 arranged in the biaxial (X, Y) direction
2 and the other feeding operation unit 14 are provided.
【0011】上記送り動作部12(請求項に記載の他方
の送り動作部に相当)は、X軸方向に延設された固定ガ
イド20と、この固定ガイド20に対して周知の静圧軸
受け手段を介して保持されることにより低まさつ抵抗化
され、円滑に、かつ安定的にX軸方向に摺動可能な摺動
台22が取付けられ、この摺動台22上の略中央部に被
加工ワークWを着脱自在に取着するワークテーブル24
が搭載されている。摺動台22をX軸方向に移動変位さ
せるX軸送り機構は、固定ガイド20の一端に取付けら
れたサーボモータから駆動モータMxと、この駆動モー
タMxによって回転駆動されるX軸方向の送りねじ軸2
6と、この送りねじ軸26に係合し、同送りねじ軸26
の軸心に対してX軸方向に送り移動するナット部材28
とから構成され、ナット部材28は、摺動台22と事実
上は一体に形成されている。The feeding operation unit 12 (corresponding to the other feeding operation unit described in the claims) has a fixed guide 20 extending in the X-axis direction, and a static pressure bearing means known to the fixed guide 20. The sliding base 22 is attached to the sliding base 22 so that it can be smoothly and stably slid in the X-axis direction. Work table 24 for attaching work workpiece W detachably
Is installed. The X-axis feed mechanism for moving and displacing the slide base 22 in the X-axis direction is a drive motor Mx from a servomotor attached to one end of the fixed guide 20 and an X-axis feed screw rotationally driven by the drive motor Mx. Axis 2
6 and the feed screw shaft 26,
Member 28 that moves in the X-axis direction with respect to the axis of
The nut member 28 is formed integrally with the slide base 22 in effect.
【0012】摺動台22の駆動モータMxとは反対側の
端部には突出部22aが形成されており、この突出部2
2aに対して縦軸線回りに回転可能に装着された取付け
テーブル30が設けられている。そして、この取付けテ
ーブル30の上面に後述する干渉送り軸機構のナット6
4が保持れれている。また、上記送り動作部14(請求
項に記載の一方の送り動作部に相当)は、上記X軸方向
と直交したY軸方向に延設された固定ガイド40と、こ
の固定ガイド40に対して同じく周知の空気静圧軸受け
手段を介して保持れさることにより低まさつ抵抗化さ
れ、円滑に、かつ、安定的にY軸方向に摺動可能な摺動
台42が取付けられている。この摺動台42には主軸頭
44が一体にY軸方向に移動可能に取着され、かつ、こ
の主軸頭44に主軸46がY軸回りに回転可能に取着れ
れている。A protrusion 22a is formed at the end of the slide base 22 opposite to the drive motor Mx.
A mounting table 30 is provided so as to be rotatable about the vertical axis with respect to 2a. Then, the nut 6 of the interference feed shaft mechanism, which will be described later, is provided on the upper surface of the mounting table 30.
4 is held. Further, the feeding operation unit 14 (corresponding to one feeding operation unit described in the claims) has a fixed guide 40 extending in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction, and the fixed guide 40. Similarly, a sliding base 42 is attached, which is held by a well-known aerostatic bearing means so as to have a low resistance, and which can be smoothly and stably slid in the Y-axis direction. A spindle head 44 is integrally attached to the slide base 42 so as to be movable in the Y-axis direction, and a spindle 46 is attached to the spindle head 44 so as to be rotatable around the Y-axis.
【0013】なお、被加工ワークWを取着するワークテ
ーブル24は、上記のX軸及びY軸方向の両方向と直交
するZ軸方向(図の上下方向)に空気静圧軸受けを介し
て直立ガイド49に沿って図示されないサーボモータか
らなるZ軸駆動モータの駆動で、摺動変位が可能な構造
が設けられている。つまり、上述した相互に直交した三
軸、X軸,Y軸,Z軸が3つの基本送り軸方向を形成
し、夫々の軸方向の送り駆動モータMx,My,Mz
(図示されてない)によって送り動作を行うように成っ
ている。The work table 24 to which the work W to be processed is attached is erected by an upright guide in the Z-axis direction (vertical direction in the figure) orthogonal to both the X-axis direction and the Y-axis direction. A structure capable of sliding displacement is provided by driving a Z-axis drive motor including a servo motor (not shown) along 49. That is, the three mutually orthogonal X-axis, X-axis, Y-axis, and Z-axis form three basic feed axis directions, and the feed drive motors Mx, My, Mz in the respective axial directions are formed.
The feed operation is performed by (not shown).
【0014】摺動台42をY軸方向に摺動変位させるY
軸送り機構は、固定ガイド40の一端に取着されたサー
ボモータから成る駆動モータMyと、この駆動モータM
yによって回転駆動されるY軸方向の送りねじ軸48
と、この送りねじ軸48に係合し、同送りねじ軸48の
軸心に対してY軸方向に送り移動するナット部材50と
から構成され、ナット部材50は、摺動台42と事実上
は一体に形成されて、一体となってY軸方向に移動す
る。摺動台42の側端には突出部42aが形成されてお
り、この突出部42aに対して縦軸線回りに回転可能に
装着された取付けテーブル52が設けられている。そし
て、この取付けテーブル52の上面に後述する干渉送り
軸機構の送りねじ軸62を回転駆動する干渉送り軸駆動
モータMvが取付け、保持されている。Y for sliding displacement of the slide base 42 in the Y-axis direction
The shaft feed mechanism includes a drive motor My composed of a servo motor attached to one end of the fixed guide 40, and the drive motor M.
The feed screw shaft 48 in the Y-axis direction that is rotationally driven by y
And a nut member 50 that engages with the feed screw shaft 48 and feeds and moves in the Y-axis direction with respect to the axial center of the feed screw shaft 48. Are integrally formed and move in the Y-axis direction together. A protrusion 42a is formed on a side end of the slide base 42, and a mounting table 52 is provided on the protrusion 42a so as to be rotatable about a vertical axis. An interference feed shaft drive motor Mv that rotationally drives a feed screw shaft 62 of an interference feed shaft mechanism, which will be described later, is attached and held on the upper surface of the attachment table 52.
【0015】図1に図示のように、本実施例では、ワー
クテーブル24に取着された被加工ワークWに対して主
軸46に装着された切削工具、例えば、ダイヤモンド工
具Tによって機械加工を施す構成を有し、主軸46は主
軸モータMpによって回転駆動されるように結合されて
いる。As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the work W attached to the work table 24 is machined by a cutting tool such as a diamond tool T mounted on the spindle 46. The main shaft 46 is connected so as to be rotationally driven by the main shaft motor Mp.
【0016】さて、上述の基本送り軸機構によると、上
記の主軸頭44、主軸46を搭載した摺動台42がY軸
方向に送り動作し、被加工ワークWを搭載したワークテ
ーブル24を保持した摺動台22が、X軸方向に送り動
作することにより、工具Tと被加工ワークWとの間に
は、直交二軸方向に相対的に送り変位が生じ、かつ、主
軸46を保持した主軸頭44が、それらのX,Y両軸と
直交するZ軸方向に摺動する構成を有していることか
ら、被加工ワークWに対して工具Tによる機械加工を行
うことが可能である。然しながら、工具Tの切削作用で
被加工ワークWを切削加工する場合には、機械ベッド1
0の上面に夫々、分離し、かつ対向配置で固定配置され
た両摺動台22、42は外力の作用下で実質的に音叉構
造を呈することから、その両者間に作用する切削反力に
より、1/100μ以下のオーダーによる分解能を有す
る精密機械による機械加工の観点からは好ましくない振
動的な相対変位が生じ、被加工ワークの加工精度を劣化
させることになる。According to the basic feed shaft mechanism described above, the slide table 42 having the spindle head 44 and the spindle 46 mounted thereon is moved in the Y-axis direction to hold the work table 24 having the work W to be processed mounted thereon. When the sliding base 22 is moved in the X-axis direction, a relative feed displacement is generated between the tool T and the workpiece W in the two orthogonal directions, and the spindle 46 is held. Since the spindle head 44 has a configuration that slides in the Z-axis direction that is orthogonal to both the X and Y axes, it is possible to machine the workpiece W with the tool T. . However, when the workpiece W is cut by the cutting action of the tool T, the machine bed 1
The sliding bases 22 and 42, which are separated from each other on the upper surface of 0 and are fixedly arranged in an opposed manner, substantially have a tuning fork structure under the action of an external force, and therefore, due to the cutting reaction force acting between them. From the viewpoint of machining with a precision machine having a resolution on the order of 1/100 μ or less, an undesired vibrational relative displacement occurs, which deteriorates the machining accuracy of the workpiece.
【0017】故に、本発明の1実施例によれば、上述の
音叉構造に起因し、切削反力等の作用下で発生する振動
的な相対変位を抑止するために、摺動台22、42の間
に架け渡した構造で設けられた干渉送り軸機構60が設
けられているのである。つまり、X軸送り機構の送りね
じ軸26やY軸送りねじ軸48とは平行配置でなく、略
交叉する方向に延設され、前述した駆動モータMvによ
り回転駆動される送りねじ軸62と、この送りねじ軸6
2に螺合した送りナット64を有した上記干渉送り軸機
構60が設けられているのである。そして、干渉送りね
じ軸62と送りナット64とは静圧空気層を両者間に介
在させることにより摩擦抵抗を略除去した周知の空気ね
じ軸と空気ナットとで構成され、駆動モータMvによる
駆動結合関係を解除すると、送りねじ軸62と送りナッ
ト64とは小さな外力によって簡単に送り動作を生起さ
せることが可能なように形成されている。上記の干渉送
りねじ軸62の一端は、駆動モータMvを介して既述の
取付けテーブル52の回転軸心回りに回転可能であり、
また、干渉送りナット64は既述の取付けテーブル30
と共に同テーブル30の回転軸心回りに回転可能な構成
を有している。Therefore, according to one embodiment of the present invention, in order to suppress the vibrational relative displacement caused by the action of the cutting reaction force or the like due to the above-mentioned tuning fork structure, the sliding bases 22, 42 are arranged. The interfering feed shaft mechanism 60 is provided so as to extend between the two. In other words, the feed screw shaft 26 of the X-axis feed mechanism and the Y-axis feed screw shaft 48 are not arranged in parallel but extend in a direction substantially intersecting with each other, and the feed screw shaft 62 is rotatably driven by the drive motor Mv described above. This feed screw shaft 6
The interfering feed shaft mechanism 60 having the feed nut 64 screwed to the 2 is provided. The interference feed screw shaft 62 and the feed nut 64 are composed of a well-known air screw shaft and air nut in which a frictional resistance is substantially removed by interposing a static pressure air layer therebetween, and drive coupling is performed by a drive motor Mv. When the relationship is released, the feed screw shaft 62 and the feed nut 64 are formed so that the feed operation can be easily caused by a small external force. One end of the interference feed screw shaft 62 is rotatable about the rotation axis of the mounting table 52 described above via the drive motor Mv.
In addition, the interference feed nut 64 is the same as the mounting table 30 described above.
At the same time, the table 30 is configured so as to be rotatable around the axis of rotation.
【0018】なお、上述のような構成を有する精密工作
機械の機体側に具備された各送り駆動モータMx,M
y,Mz,Mvは、図3に示すように、NC加工プログ
ラムに従って機械加工動作を制御するNC装置から成る
制御装置70と接続され、同制御装置70は、サーボモ
ータから成る各駆動モータMx,My,Mz,Mvと周
知のサーボアンプ回路から成る夫々のX軸、Y軸、Z
軸、干渉軸駆動回路72、74、76、78を介して回
転駆動力を送出するようになっている。勿論、各駆動モ
ータMx,My,Mz,Mvが有するエンコーダからは
送り軸の位置データが制御装置70へフィードバックさ
れている。また、夫々の駆動回路72〜78には対応す
る駆動モータMx等を制動指令に従って制動するための
制動回路が内蔵されている。このような制動回路として
は周知のダイナミックブレーキ回路(発電制動回路)を
用いることができる。The feed drive motors Mx, M provided on the machine body side of the precision machine tool having the above-mentioned structure.
As shown in FIG. 3, y, Mz, and Mv are connected to a control device 70 including an NC device that controls a machining operation according to an NC machining program, and the control device 70 includes each drive motor Mx including a servo motor. X-axis, Y-axis, and Z of My, Mz, and Mv, which are well-known servo amplifier circuits
Rotational driving force is transmitted through the shaft and interference shaft driving circuits 72, 74, 76, 78. Of course, the position data of the feed shaft is fed back to the control device 70 from the encoders of the drive motors Mx, My, Mz, Mv. Further, each of the drive circuits 72 to 78 has a built-in braking circuit for braking the corresponding drive motor Mx or the like according to the braking command. A well-known dynamic brake circuit (power generation braking circuit) can be used as such a braking circuit.
【0019】さて、上述した構成を有した精密機械にお
いて、機械加工過程においては、主電源が投入されるこ
とにより、NC装置から成る制御装置70が加工プログ
ラムに従って送り動作部12、14等の基本送り軸機構
における駆動モータMx〜Mzを作動制御して送り動作
を制御し、主軸46に装着された工具Tにより、被加工
ワークWに対して精密機械加工が行われる。このとき、
同時に干渉送り軸機構60の駆動モータMvも制御装置
70が作動制御して基本送り軸機構の送り動作と同期的
に該干渉送り軸機構60の送り動作を制御して工具Tと
ワークW間の切削反力による両送り動作部12、14の
現在位置で切削反力により両動作部12、14間に生ず
る誤差変位を阻止し、精密機械加工の加工精度を高精度
に維持するように成っている。Now, in the precision machine having the above-mentioned structure, in the machining process, the main power source is turned on so that the control device 70 composed of the NC device performs basic operations of the feed motion parts 12, 14 etc. in accordance with the machining program. The drive motors Mx to Mz in the feed shaft mechanism are operated and controlled to control the feed operation, and the tool T mounted on the spindle 46 performs precision machining on the workpiece W. At this time,
At the same time, the control device 70 also controls the drive motor Mv of the interference feed shaft mechanism 60 to control the feed operation of the interference feed shaft mechanism 60 in synchronism with the feed operation of the basic feed shaft mechanism so as to move between the tool T and the work W. At the present position of both feed motion parts 12 and 14 due to the cutting reaction force, an error displacement generated between both motion parts 12 and 14 due to the cutting reaction force is prevented, and the machining accuracy of precision machining is maintained with high accuracy. There is.
【0020】ここで、上述のX,Y,Zの基本送り軸機
構に対して干渉送り軸機構60は、精密機械の組立て時
点に前者の各送り軸系を原点位置に設定した時に、後者
の干渉送り軸機構60も原点位置に設定されているもの
として制御装置70へ認識させる設定作用が行われ、こ
れにより、基本送り軸機構の作動と同期的に干渉送り軸
機構が動作して誤差変位を阻止せしめる構造に成ってい
る。Here, the interfering feed shaft mechanism 60 with respect to the X, Y, and Z basic feed shaft mechanisms described above includes the latter when the former feed shaft systems are set to the origin position at the time of assembling a precision machine. The interference feed shaft mechanism 60 is also set to the origin position so that the control device 70 recognizes it. As a result, the interference feed shaft mechanism operates in synchronization with the operation of the basic feed shaft mechanism to cause an error displacement. It has a structure that prevents it.
【0021】このようにして組み立てられた精密工作機
械において、送り動作部12、14の現在位置は、常に
各駆動モータMx〜Mzからのフィードバック検出信号
から制御装置70によって認識され、かくして認識され
た送り動作部12、14の現在位置に基づいて干渉送り
軸機構60の作動制御が行われるが、例えば、主電源が
切断されると、基本送り軸機構による送り動作部12、
14の現在位置を制御装置70が認識することは不可能
になる。従って、主電源の再投入が行われたときに、両
送り動作部12、14を原点位置へ復帰させ、そのと
き、干渉送り軸機構60も原点位置へ復帰したものと認
識させるようにする、X,Y,Z軸等の基本送り軸機構
と干渉送り軸機構60との間の整合関係を回復させる原
点設定を行うことが必要となる。In the thus-assembled precision machine tool, the current positions of the feed motion parts 12 and 14 are always recognized by the control device 70 from the feedback detection signals from the drive motors Mx to Mz, and thus are recognized. Although the operation control of the interference feed shaft mechanism 60 is performed based on the current positions of the feed operation units 12 and 14, for example, when the main power supply is cut off, the feed operation unit 12 by the basic feed shaft mechanism is
It becomes impossible for the control device 70 to recognize the current position of 14. Therefore, when the main power is turned on again, both feed operation units 12 and 14 are returned to the origin position, and at that time, the interference feed shaft mechanism 60 is also recognized to have returned to the origin position. It is necessary to set the origin to restore the matching relationship between the basic feed shaft mechanism such as the X, Y, and Z axes and the interference feed shaft mechanism 60.
【0022】本発明によれば、このような原点復帰によ
るX軸〜Z軸の基本送り軸機構と、干渉送り軸機構60
との間の整合関係を回復させる原点設定を簡単に遂行す
ることができるのである。この原点設定動作のシーケン
スを以下に図4のフローチャートをも参照して説明す
る。According to the present invention, the basic feed shaft mechanism for the X-axis to Z-axis and the interfering feed shaft mechanism 60 by the return to origin as described above.
It is possible to easily perform the origin setting that restores the matching relationship between and. The sequence of this origin setting operation will be described below with reference to the flowchart of FIG.
【0023】先ず、主電源の再投入により制御装置70
は、原点設定モードを指令する。この原点復帰モード指
令に従って、干渉送り軸機構60の駆動モータMvに対
する制御信号路を無効にすると共に制動回路も無効にし
て同駆動モータMvを制御装置70による指令、制御系
から解放する。このとき、同干渉送り軸機構60の送り
ねじ軸62と送りナット64とは空気ねじ軸要素と空気
ナット要素から構成されているため、極めて摩擦抵抗が
小さく、従って、外部から加えられる微弱な回転駆動作
用で動作させることが可能である。First, the control device 70 is turned on by turning on the main power again.
Command the origin setting mode. In accordance with this origin return mode command, the control signal path for the drive motor Mv of the interference feed shaft mechanism 60 is invalidated and the braking circuit is also invalidated to release the drive motor Mv from the command and control system by the control device 70. At this time, since the feed screw shaft 62 and the feed nut 64 of the interference feed shaft mechanism 60 are composed of the air screw shaft element and the air nut element, the frictional resistance is extremely small, and therefore, the weak rotation applied from the outside. It is possible to operate by drive action.
【0024】このような状態下で次に、X軸系の送り動
作部12の駆動モータMxを作動させて同送り動作部1
2を原点位置へ復帰させる。更に、Y軸系の送り動作部
14の駆動モータMyを作動させて同送り動作部14を
原点位置へ復帰させる。また、必要に応じてZ軸系の送
り機構も原点位置へ復帰させる。なお、各基本送り軸機
構の原点復帰動作は、干渉送り軸機構60の制御が解放
させているために、何らの干渉を来すことなく、干渉送
り軸機構60が追従動作し、簡単に原点位置へ復帰する
ことができるのである。Under such a condition, the drive motor Mx of the X-axis feed operation unit 12 is next operated to drive the same feed operation unit 1.
Return 2 to the home position. Further, the drive motor My of the Y-axis feed operation unit 14 is operated to return the same feed operation unit 14 to the original position. Further, the Z-axis feed mechanism is also returned to the origin position if necessary. The origin return operation of each basic feed shaft mechanism is released by the control of the interfering feed shaft mechanism 60, so that the interfering feed shaft mechanism 60 follows the operation without causing any interference, and the origin is easily set. It is possible to return to the position.
【0025】斯くして基本送り軸機構を夫々、原点位置
へ復帰させた時点で、各基本送り軸機構に就いて制御装
置70は、現在位置が原点位置であることを各駆動モー
タMx等からのフィードバック検出信号によって認識す
る。このような認識が確認された時点で干渉送り軸機構
60を解放状態から再び制御状態に戻す。つまり、基本
送り軸機構の現在位置(原点位置)に対して干渉送り軸
機構の現在位置を原点位置として認識することにより、
全ての送り軸系の整合関係が回復されるのである。こう
して原点設定が終了すると、上記の基本送り軸機構の種
々の位置に対応して干渉送り軸機構の現在位置が一義的
に対応するから、制御装置70は、送り動作部12、1
4の間に生ずる切削反力等に原因した誤差変位を干渉送
り軸機構60により抑止させながら精密機械加工を遂行
することができるのである。Thus, when the basic feed shaft mechanisms are respectively returned to the origin positions, the control device 70 for each of the basic feed shaft mechanisms determines from the drive motors Mx etc. that the current position is the origin position. It is recognized by the feedback detection signal of. When such recognition is confirmed, the interference feed shaft mechanism 60 is returned to the control state from the released state. In other words, by recognizing the current position of the interference feed axis mechanism as the origin position with respect to the current position (origin position) of the basic feed axis mechanism,
The matching relationship of all feed axis systems is restored. When the origin setting is completed in this manner, the current position of the interfering feed shaft mechanism uniquely corresponds to the various positions of the basic feed shaft mechanism described above.
It is possible to carry out precision machining while suppressing the error displacement caused by the cutting reaction force and the like generated by the interference feed shaft mechanism 60.
【0026】以上の実施例の説明から明らかなように、
本発明によれば、精密機械の基本送り軸機構と送り動作
部12、14の間の誤差変位を抑止する干渉送り軸機構
との間の整合関係が主電源の切断等で喪失された場合
に、基本送り軸機構の現在位置が保持する手段を具備し
なくても、機械の構造要素の分解等を伴うことなく、簡
単に原点設定を遂行できる。そして、原点設定後は、直
ちに、加工プログラムに従って、精密機械加工々程を遂
行することができるのである。As is clear from the above description of the embodiment,
According to the present invention, when the matching relationship between the basic feed shaft mechanism of the precision machine and the interfering feed shaft mechanism that suppresses the error displacement between the feed operation units 12 and 14 is lost due to disconnection of the main power source or the like. The origin can be easily set without disassembling the structural elements of the machine even if the basic feed shaft mechanism does not have a means for holding the present position. Then, immediately after the origin is set, the precision machining process can be performed according to the machining program.
【0027】なお、上述した実施例では、送り動作部1
2側に被加工ワークWを搭載、装着し、送り動作部14
側の主軸46に工具Tを装着して、両動作部12、14
の間で精密機械加工を遂行する構成としたが、逆に、送
り動作部12側に適宜の工具台を設けて工具Tを保持
し、送り動作部14側の主軸46にワークチャック装置
を介して被加工ワークWを装着して同ワークWを回転さ
せながら、相手の工具Tで切削加工を行う構成とした場
合にも干渉送り軸機構60により両送り動作部12、1
4間の切削反力等による誤差変位を抑止し、高精度の精
密機械加工を遂行し得ることは言うまでもない。勿論、
主電源の切断で、干渉送り軸機構60と基本送り軸機構
との間の整合性が喪失された後に、主電源が再投入され
た時、原点設定を上述したシーケンスで容易に遂行可能
であることは言うまでもない。In the above embodiment, the feeding operation unit 1
The work W to be processed is mounted and mounted on the 2 side, and the feed operation unit 14
The tool T is attached to the main spindle 46 of the
However, conversely, an appropriate tool base is provided on the feed operation unit 12 side to hold the tool T, and the spindle 46 on the feed operation unit 14 side is provided with a work chuck device. Even when the workpiece W to be machined is mounted and the workpiece W is rotated while the mating tool T is used for cutting, the interfering feed shaft mechanism 60 causes the double feed operation units 12, 1
Needless to say, it is possible to suppress the error displacement due to the cutting reaction force between the four and to perform high precision precision machining. Of course,
When the main power is turned on again after the consistency between the interference feed shaft mechanism 60 and the basic feed shaft mechanism is lost due to the disconnection of the main power supply, the origin setting can be easily performed in the above-described sequence. Needless to say.
【0028】図5は、本発明の他の実施例による精密工
作機械の構成を示している。同図5に示す実施例では、
前述の干渉送り軸機構60に加えて更にもう一つの干渉
軸送り機構80を音叉構造の送り動作部12、14の間
に架設したものである。すなわち、工具Tと被加工ワー
クWとの切削作用点を挟んで両側に1対の干渉送り軸機
構60、80を設け、両送り動作部12、14の切削反
力による誤差変位を抑止するようにしたものである。FIG. 5 shows the construction of a precision machine tool according to another embodiment of the present invention. In the embodiment shown in FIG. 5,
In addition to the above-mentioned interference feed shaft mechanism 60, another interference shaft feed mechanism 80 is installed between the feed operation parts 12 and 14 of the tuning fork structure. That is, a pair of interfering feed shaft mechanisms 60 and 80 are provided on both sides of the cutting action point between the tool T and the workpiece W so as to suppress the error displacement due to the cutting reaction force of both feed operation units 12 and 14. It is the one.
【0029】この干渉送り軸機構80は、サーボモータ
から成る駆動モータMwによって回転駆動される空気送
りねじから成ると共にX軸方向と交叉し、かつ、Y軸と
は非平行の方向に延設された送りねじ軸82と、同送り
ねじ軸82に螺合した空気ナットから成るナット84と
を具備して成ることは、前述した第一実施例の干渉送り
軸機構60と同様である。The interference feed shaft mechanism 80 is composed of an air feed screw that is rotationally driven by a drive motor Mw that is a servo motor, intersects with the X axis direction, and extends in a direction not parallel to the Y axis. It is similar to the interference feed shaft mechanism 60 of the first embodiment described above in that the feed screw shaft 82 and the nut 84 formed of an air nut screwed to the feed screw shaft 82 are provided.
【0030】駆動モータMwは、制御装置70(図4参
照)に接続れさて作動制御されると共に送り動作部14
の突出部42aと反対側に設けられた他の突出部42b
に枢着された回転テーブル52aに取着された構造で配
設されている。他方、ナット84は、回転取付け台30
と同様の回転取付け台86に取着された構成で設けられ
ている。The drive motor Mw is connected to a control device 70 (see FIG. 4) to be operated and controlled, and the feed operation unit 14
Other protrusion 42b provided on the opposite side of the protrusion 42a
The rotary table 52a is pivotally attached to the rotary table 52a. On the other hand, the nut 84 is used for the rotary mount 30.
It is provided in a structure attached to a rotary mount 86 similar to.
【0031】本実施例の精密機械によれば、被加工ワー
クWの切削点を挟んだ2位置に一対にして干渉送り軸機
構60、80を設けたために、基本送り軸機構による送
り動作に基づいてワークWに精密切削加工を行う過程
で、両送り動作部12、14間の切削反力による振動的
な誤差変位がより効果的に抑止されるのである。According to the precision machine of this embodiment, since the interfering feed shaft mechanisms 60 and 80 are provided as a pair at two positions sandwiching the cutting point of the workpiece W, the feed operation by the basic feed shaft mechanism is performed. In the process of performing the precision cutting process on the workpiece W, the oscillating error displacement due to the cutting reaction force between the two feed operation units 12 and 14 is more effectively suppressed.
【0032】そして、本実施例においても、主電源が切
断されて送り動作部12、14の現在位置のデータが喪
失されたときには、先ず、制御装置70によって両干渉
送り軸機構60、80の制御を解放し、また、制動を解
除した状態に設定する。このように干渉送り軸機構6
0、80の制御を解放し、ダイナミックブレーギ回路を
解除することにより、基本送り軸機構は、両干渉送り軸
機構60、80の干渉をうけることなく自在に移動させ
ることが可能になる。従って次に、X軸、Y軸、Z軸の
基本送り軸機構における駆動モータMx〜Mzを夫々、
原点位置へ復帰させ、復帰した時点における両干渉送り
軸機構60、80の位置を両駆動モータMv,Mwのフ
ィードバック信号から認識することにより、簡単に原点
設定を完了させ得ることは前述した第一の実施例と同様
である。Also in this embodiment, when the main power supply is cut off and the data of the current position of the feed operation units 12 and 14 is lost, first, the control device 70 controls both interference feed shaft mechanisms 60 and 80. Is released and the brake is released. In this way, the interference feed shaft mechanism 6
By releasing the control of 0 and 80 and releasing the dynamic Bragg circuit, the basic feed shaft mechanism can be freely moved without receiving the interference of both the interference feed shaft mechanisms 60 and 80. Therefore, next, drive motors Mx to Mz in the X-axis, Y-axis, and Z-axis basic feed shaft mechanisms are respectively
It is possible to easily complete the origin setting by returning to the origin position and recognizing the positions of the interference feed shaft mechanisms 60 and 80 at the time of the return from the feedback signals of the drive motors Mv and Mw. It is similar to the embodiment of.
【0033】[0033]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、サーボモータから成る駆動モータを駆動源に
した直交三軸方向の送りねじ機構から成る3つの基本送
り軸機構によって工具を有した第1の送り動作部と被加
工ワークを有した第2の送り動作部との間に相対変位を
付与して機械加工を遂行させ、このとき、両送り動作部
間の切削反力による振動的な誤差変位を抑止する誤差変
位抑止機構として少なくとも1つの干渉送り軸機構を設
け、同干渉送り軸機構における送りねじ手段として、例
えば、サーボモータで回転駆動されると共に螺合部に静
圧空気層を介在させた空気ネジ軸と空気ナットとからな
る小まさつ抵抗型の送りねじを用いることにより、原点
設定を行うときには、干渉送り軸機構の送りねじを駆動
するサーボモータを制御手段による制御対象から外し、
かつ、同サーボモータの制動を解除して空気送りねじと
空気ナットとを自在可動状態にし、その状態で基本送り
軸の各軸を原点位置へ復帰させ、原点復帰後に、干渉送
り軸機構の送りねじの現位置を原点位置として認識する
ことより、簡単に原点設定を行い得るようにしたもので
ある。As is apparent from the above description, according to the present invention, a tool is formed by three basic feed shaft mechanisms which are feed screw mechanisms in orthogonal three axial directions using a drive motor composed of a servo motor as a drive source. Machining is performed by applying relative displacement between the first feed motion part having the workpiece and the second feed motion part having the workpiece to be machined. At least one interfering feed shaft mechanism is provided as an error displacement restraining mechanism for restraining an oscillating error displacement, and as a feed screw means in the interfering feed shaft mechanism, for example, a servo motor is rotationally driven and a static pressure is applied to a screwing portion. A servo motor that drives the feed screw of the interfering feed shaft mechanism when setting the origin by using a small resistance resistance feed screw consisting of an air screw shaft and an air nut with an air layer in between. Remove from the control target by the control means,
At the same time, the brake of the same servo motor is released and the air feed screw and air nut are freely movable.In that state, each axis of the basic feed shaft is returned to the home position. By recognizing the current position of the screw as the origin position, the origin can be easily set.
【0034】このように精密工作機械の干渉送り軸機構
の原点設定を簡単に遂行可能にしたことにより、精密工
作機械の操作性を簡便化せしめ得ると共に、同機械の製
造段階において、組み立て工程を容易化し、ひいては、
精密工作機械の製造コストの低減を図ることも可能とな
るのである。そして、斯かる干渉送り軸機構を有した精
密工作機械の精密機械加工の加工精度をより、高精度化
させることが可能なことは言うまでもない。By thus making it possible to easily set the origin of the interference feed shaft mechanism of the precision machine tool, the operability of the precision machine tool can be simplified, and the assembly process can be performed at the manufacturing stage of the machine. Facilitating and, in turn,
It is also possible to reduce the manufacturing cost of precision machine tools. It goes without saying that the precision of precision machining of a precision machine tool having such an interference feed shaft mechanism can be further improved.
【図1】本発明の実施例に係る精密工作機械の平面図で
ある。FIG. 1 is a plan view of a precision machine tool according to an embodiment of the present invention.
【図2】同工作機械の側面図である。FIG. 2 is a side view of the machine tool.
【図3】制御手段を構成するNC制御装置と図1に示し
た精密工作機械の駆動モータとの接続を示すブロック図
である。3 is a block diagram showing a connection between an NC control device that constitutes a control means and a drive motor of the precision machine tool shown in FIG. 1. FIG.
【図4】上記制御手段による原点位置の設定モードにお
ける作用シーケンスを示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing an operation sequence in an origin position setting mode by the control means.
【図5】本発明き他の実施例に係る精密工作機械の構成
を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing the configuration of a precision machine tool according to another embodiment of the present invention.
10…ベッド 12…送り動作部 14…送り動作部 20…固定ガイド 22…摺動台 24…ワークテーブル 26…送りねじ軸 28…ナット部材 30…取付け台 40…固定ガイド 42…摺動台 44…主軸頭 46…主軸 48…送りねじ軸 50…ナット部材 60…干渉送り軸機構 62…送りねじ軸 64…送りナット 70…制御装置 72〜78…駆動回路 80…他の干渉送り軸機構 Mx〜Mz…駆動モータ Mv,Mw…駆動モータ T…工具 W…被加工ワーク DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Bed 12 ... Feed motion part 14 ... Feed motion part 20 ... Fixed guide 22 ... Sliding base 24 ... Work table 26 ... Feed screw shaft 28 ... Nut member 30 ... Mounting base 40 ... Fixed guide 42 ... Sliding base 44 ... Spindle head 46 ... Spindle 48 ... Feed screw shaft 50 ... Nut member 60 ... Interference feed shaft mechanism 62 ... Feed screw shaft 64 ... Feed nut 70 ... Control device 72-78 ... Drive circuit 80 ... Other interference feed shaft mechanism Mx-Mz … Drive motor Mv, Mw… Drive motor T… Tool W… Workpiece
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長岡 浩 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内 (72)発明者 河合 知彦 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内 (72)発明者 今井 圭介 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hiroshi Nagaoka 3580, Kobaba, Oshinomura, Minamitsuru-gun, Yamanashi Prefecture FANUC CORPORATION (72) Inventor, Tomohiko Kawai, 3580, Kobaba, Oshinomura, Minamitsuru-gun, Yamanashi Prefecture Local FANUC CORPORATION (72) Inventor Keisuke Imai 3580 Kobaba, Oshinomura, Minamitsuru-gun, Yamanashi Prefecture FANUC CORPORATION
Claims (1)
を保持した他方の動作部とをX,Y,Zの直交三軸方向
に沿って相対送り変位させるために設けられる3つの基
本送り軸機構と、 前記両動作部の間に架設され、切削反力等による該両動
作部の誤差変位を抑止するために設けられると共に小ま
さつ抵抗型の送りねじ手段を備えた少なくとも1つの干
渉送り軸機構と、 前記3つの基本送り軸機構の駆動モータと前記干渉送り
軸機構の駆動源モータとを所定の加工プログラムに従っ
て夫々のモータ駆動サーボ回路を介して駆動、制御する
ように設けられ、かつ、該夫々のモータ駆動サーボ回路
にモータ制動回路を内蔵させた制御手段とを具備して構
成されることを特徴とする精密工作機械。1. Basics provided for relative feed displacement of one working part holding a tool and the other working part holding a workpiece along triaxial X, Y, Z orthogonal directions. At least one feed shaft mechanism, which is provided between the two operating parts, is provided to suppress an error displacement of the two operating parts due to a cutting reaction force, etc. The interference feed shaft mechanism, the drive motors of the three basic feed shaft mechanisms, and the drive source motor of the interference feed shaft mechanism are provided to be driven and controlled via respective motor drive servo circuits according to a predetermined machining program. A precision machine tool comprising: a control means having a motor braking circuit built in each of the motor drive servo circuits.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34062892A JPH06182647A (en) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | Precision machine tool |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34062892A JPH06182647A (en) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | Precision machine tool |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06182647A true JPH06182647A (en) | 1994-07-05 |
Family
ID=18338798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34062892A Pending JPH06182647A (en) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | Precision machine tool |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06182647A (en) |
-
1992
- 1992-12-21 JP JP34062892A patent/JPH06182647A/en active Pending
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