JPH06140697A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JPH06140697A JPH06140697A JP4287646A JP28764692A JPH06140697A JP H06140697 A JPH06140697 A JP H06140697A JP 4287646 A JP4287646 A JP 4287646A JP 28764692 A JP28764692 A JP 28764692A JP H06140697 A JPH06140697 A JP H06140697A
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- Japan
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- mirror
- reflector
- polarized light
- laser
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な外部光学系で円偏光が得られるレーザ
発振装置を提供する。 【構成】 折り返し型共振器１０の折り返し部は反射鏡
４ａ，４ｂ，４ｃで構成される。反射鏡４ａは励起部３
ａの光軸に対して、４５°傾斜し、反射鏡４ｃは励起部
３ｂの光軸に対して４５°傾斜している。反射鏡４ｂは
水平に配置され、反射鏡４ａ，４ｂに対して直角二等辺
三角形の頂点の位置に配置する。これによって、励起部
３ｂからのレーザ光は反射鏡４ｃでＳ偏光成分が反射鏡
４ｂに反射され、さらに反射鏡４ｂでＰ偏光成分が反射
され、反射鏡４ａでＳ偏光成分が反射され、折り返し共
振器１０からは矢印１１で示す直線偏光成分を有するレ
ーザ光が出力される。したがって、折り返し共振器１０
の外部では、１／４波長ミラーを使用するのみで、簡単
に円偏光のレーザ光を得ることができる。
発振装置を提供する。 【構成】 折り返し型共振器１０の折り返し部は反射鏡
４ａ，４ｂ，４ｃで構成される。反射鏡４ａは励起部３
ａの光軸に対して、４５°傾斜し、反射鏡４ｃは励起部
３ｂの光軸に対して４５°傾斜している。反射鏡４ｂは
水平に配置され、反射鏡４ａ，４ｂに対して直角二等辺
三角形の頂点の位置に配置する。これによって、励起部
３ｂからのレーザ光は反射鏡４ｃでＳ偏光成分が反射鏡
４ｂに反射され、さらに反射鏡４ｂでＰ偏光成分が反射
され、反射鏡４ａでＳ偏光成分が反射され、折り返し共
振器１０からは矢印１１で示す直線偏光成分を有するレ
ーザ光が出力される。したがって、折り返し共振器１０
の外部では、１／４波長ミラーを使用するのみで、簡単
に円偏光のレーザ光を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は折り返し型共振器からレ
ーザ光を出射するレーザ発振装置に関し、特に円偏光を
簡単に得られるレーザ発振装置に関する。
ーザ光を出射するレーザ発振装置に関し、特に円偏光を
簡単に得られるレーザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＯ2 ガスレーザ等のガスレーザ発振装
置は、高効率で高出力が得られるためレーザ加工に広く
使用されるようになってきた。
置は、高効率で高出力が得られるためレーザ加工に広く
使用されるようになってきた。
【０００３】ところで、ＣＯ2 ガスレーザの場合、レー
ザ媒質であるＣＯ2 分子は、共振器内部での放電によっ
て励起されるが、そのときの投入電力は、励起部を構成
する部材の耐力及び励起によって生ずるガスの温度上昇
によって制限を受ける。また、出力ミラーの耐光強度上
の制限から出力ビーム径を大きくする必要がある。この
ため、高出力を得るためには共振器の光路長を長くとる
必要があり、装置全体が大きくなってしまう。その対策
として、多くのレーザ発振装置は、共振器光軸を多段に
折り返してレーザ発振装置の長さを短縮するようにして
いる。
ザ媒質であるＣＯ2 分子は、共振器内部での放電によっ
て励起されるが、そのときの投入電力は、励起部を構成
する部材の耐力及び励起によって生ずるガスの温度上昇
によって制限を受ける。また、出力ミラーの耐光強度上
の制限から出力ビーム径を大きくする必要がある。この
ため、高出力を得るためには共振器の光路長を長くとる
必要があり、装置全体が大きくなってしまう。その対策
として、多くのレーザ発振装置は、共振器光軸を多段に
折り返してレーザ発振装置の長さを短縮するようにして
いる。
【０００４】図５は従来の折り返し型共振器の構成を概
略的に示す図である。図において、共振器２０は、出力
ミラー１、リアミラー２、励起部３ａ，３ｂ及び反射鏡
１４ａ，１４ｂから構成される。共振器２０内の全ての
光軸は、水平面内にあるように調整されている。このよ
うな光軸を有する共振器２０では、出力ミラー１から出
射されたレーザ光の偏光方向は、矢印２１で示すように
水平面に対して９０°の鉛直方向となる。
略的に示す図である。図において、共振器２０は、出力
ミラー１、リアミラー２、励起部３ａ，３ｂ及び反射鏡
１４ａ，１４ｂから構成される。共振器２０内の全ての
光軸は、水平面内にあるように調整されている。このよ
うな光軸を有する共振器２０では、出力ミラー１から出
射されたレーザ光の偏光方向は、矢印２１で示すように
水平面に対して９０°の鉛直方向となる。
【０００５】一方、レーザ光を金属等の切断加工に使用
する場合、ワークに照射するレーザ光は、直線偏光より
も円偏光の方が良好な加工品質が得られる。そこで、通
常、鉛直方向または水平方向の直線偏光は図６に示すよ
うな機構によって、円偏光化される。
する場合、ワークに照射するレーザ光は、直線偏光より
も円偏光の方が良好な加工品質が得られる。そこで、通
常、鉛直方向または水平方向の直線偏光は図６に示すよ
うな機構によって、円偏光化される。
【０００６】図６は従来の直線偏光のレーザ光を円偏光
に変換するための光学系を示す図である。共振器２０か
ら出射されたレーザ光は、矢印２１で示すように鉛直方
向の直線偏光である。このレーザ光を円偏光に変換する
ためには、４５°方向に直線偏光するための偏光ミラー
５及び１／４波長ミラー６が必要となる。この偏光ミラ
ー５及び１／４波長ミラー６によって円偏光に変換され
たレーザ光は、さらにミラー７で垂直方向に方向を換え
て、集光レンズ８で集光して、ワーク９に照射される。
ここでは、鉛直方向の直線偏光を円偏光化する場合につ
いて説明したが、水平方向の直線偏光を円偏光化する場
合も同様の構成となる。
に変換するための光学系を示す図である。共振器２０か
ら出射されたレーザ光は、矢印２１で示すように鉛直方
向の直線偏光である。このレーザ光を円偏光に変換する
ためには、４５°方向に直線偏光するための偏光ミラー
５及び１／４波長ミラー６が必要となる。この偏光ミラ
ー５及び１／４波長ミラー６によって円偏光に変換され
たレーザ光は、さらにミラー７で垂直方向に方向を換え
て、集光レンズ８で集光して、ワーク９に照射される。
ここでは、鉛直方向の直線偏光を円偏光化する場合につ
いて説明したが、水平方向の直線偏光を円偏光化する場
合も同様の構成となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のレ
ーザ発振装置では、図６に示したように鉛直方向または
水平方向の直線偏光のレーザ光を円偏光化するために、
少なくとも偏光ミラー５及び１／４波長ミラー６を必要
とし、さらに、通常ワークは水平面上に置かれるため、
レーザ光を鉛直下向きに方向を変換するミラー７も必要
である。すなわち、３枚の外部ミラーが必要となる。こ
のため、その分、レーザ発振装置のコストも高価になっ
ていた。
ーザ発振装置では、図６に示したように鉛直方向または
水平方向の直線偏光のレーザ光を円偏光化するために、
少なくとも偏光ミラー５及び１／４波長ミラー６を必要
とし、さらに、通常ワークは水平面上に置かれるため、
レーザ光を鉛直下向きに方向を変換するミラー７も必要
である。すなわち、３枚の外部ミラーが必要となる。こ
のため、その分、レーザ発振装置のコストも高価になっ
ていた。
【０００８】また、これらの外部ミラーは、共振器内の
ミラーと異なり、塵埃等によって汚染されることが多
く、分解して洗浄する等のメンテナンスが必要となる。
さらに、分解後の組付け時には、煩雑な外部光学系の調
整を行わなければならなかった。
ミラーと異なり、塵埃等によって汚染されることが多
く、分解して洗浄する等のメンテナンスが必要となる。
さらに、分解後の組付け時には、煩雑な外部光学系の調
整を行わなければならなかった。
【０００９】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、外部光学系を簡単な構成にできるレーザ発振
装置を提供することを目的とする。
のであり、外部光学系を簡単な構成にできるレーザ発振
装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、光軸を多段に折り返す折り返し型共振器
からレーザ光を出射するレーザ発振装置において、それ
ぞれの励起部の光軸に対して水平面上で４５°傾斜し、
さらに垂直面上で４５°傾斜した第１の反射鏡及び第２
の反射鏡と、前記第１の反射鏡及び前記第２の反射鏡の
中心を結んだ線を底辺とする直角二等辺三角形の頂点の
位置に中心を有し、水平に配置された第３の反射鏡と、
からなる折り返し部を有することを特徴とするレーザ発
振装置が、提供される。
決するために、光軸を多段に折り返す折り返し型共振器
からレーザ光を出射するレーザ発振装置において、それ
ぞれの励起部の光軸に対して水平面上で４５°傾斜し、
さらに垂直面上で４５°傾斜した第１の反射鏡及び第２
の反射鏡と、前記第１の反射鏡及び前記第２の反射鏡の
中心を結んだ線を底辺とする直角二等辺三角形の頂点の
位置に中心を有し、水平に配置された第３の反射鏡と、
からなる折り返し部を有することを特徴とするレーザ発
振装置が、提供される。
【００１１】
【作用】折り返し部では第１の反射鏡と第２の反射鏡で
は反射角が９０°の成分が第３の反射鏡に反射され、こ
のためにＳ偏光成分が反射される。そして、第１の反射
鏡と第２の反射鏡は垂直面上で４５°傾斜しているの
で、そのＳ偏光成分は水平面に対して４５°傾斜してい
る。すなわち、折り返し共振器から水平面に対して４５
°傾斜した直線偏光のレーザ光が出力される。
は反射角が９０°の成分が第３の反射鏡に反射され、こ
のためにＳ偏光成分が反射される。そして、第１の反射
鏡と第２の反射鏡は垂直面上で４５°傾斜しているの
で、そのＳ偏光成分は水平面に対して４５°傾斜してい
る。すなわち、折り返し共振器から水平面に対して４５
°傾斜した直線偏光のレーザ光が出力される。
【００１２】したがって、レーザ光を円偏光化するため
の外部光学系としては、例えば１／４波長ミラーを設け
るだけでよく、外部光学系の構成を簡単にすることがで
きる。
の外部光学系としては、例えば１／４波長ミラーを設け
るだけでよく、外部光学系の構成を簡単にすることがで
きる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明に係る折り返し型共振器の構成を
示す図である。図において、折り返し型共振器１０は、
出力ミラー１、リアミラー２、励起部３ａ，３ｂ及び反
射鏡４ａ，４ｂ，４ｃから構成される。反射鏡４ｂは水
平に配置され、反射鏡４ａと反射鏡４ｃの中心を結んだ
線を底辺とする直角二等辺三角形の頂点に反射鏡４ｂの
中心が位置するように配置されている。
明する。図１は本発明に係る折り返し型共振器の構成を
示す図である。図において、折り返し型共振器１０は、
出力ミラー１、リアミラー２、励起部３ａ，３ｂ及び反
射鏡４ａ，４ｂ，４ｃから構成される。反射鏡４ｂは水
平に配置され、反射鏡４ａと反射鏡４ｃの中心を結んだ
線を底辺とする直角二等辺三角形の頂点に反射鏡４ｂの
中心が位置するように配置されている。
【００１４】図２は図１のＡ方向から反射鏡４ａ，４
ｂ，４ｃを見た図である。すなわち、反射鏡４ａ，４ｃ
は垂直面上で４５°傾斜している。図３は図１のＢの方
向から反射鏡４ａ，４ｂ，４ｃを見た図である。図に示
すように、反射鏡４ａは励起部３ａの光軸３ａａに対し
て、水平面で４５°傾斜している。同様に、反射鏡４ｃ
は励起部３ｂの光軸３ｂｂに対して、水平面で４５°傾
斜している。
ｂ，４ｃを見た図である。すなわち、反射鏡４ａ，４ｃ
は垂直面上で４５°傾斜している。図３は図１のＢの方
向から反射鏡４ａ，４ｂ，４ｃを見た図である。図に示
すように、反射鏡４ａは励起部３ａの光軸３ａａに対し
て、水平面で４５°傾斜している。同様に、反射鏡４ｃ
は励起部３ｂの光軸３ｂｂに対して、水平面で４５°傾
斜している。
【００１５】したがって、励起部３ｂで励起されたレー
ザ光は反射鏡４ｃで、そのＳ偏光成分が反射鏡４ｂに反
射される。そして、反射鏡４ｂでＰ成分が４ａに反射さ
れる。さらに、反射鏡４ａの反射成分はＳ偏光成分とな
り、反射鏡４ａは垂直面に対して４５°傾斜しているの
で、Ｓ偏光成分、すなわち水平面に対して４５°傾斜し
た直線偏光のレーザ光が得られ、出力ミラー１から出力
される。矢印１１は偏光方向を示す。
ザ光は反射鏡４ｃで、そのＳ偏光成分が反射鏡４ｂに反
射される。そして、反射鏡４ｂでＰ成分が４ａに反射さ
れる。さらに、反射鏡４ａの反射成分はＳ偏光成分とな
り、反射鏡４ａは垂直面に対して４５°傾斜しているの
で、Ｓ偏光成分、すなわち水平面に対して４５°傾斜し
た直線偏光のレーザ光が得られ、出力ミラー１から出力
される。矢印１１は偏光方向を示す。
【００１６】図４は直線偏光レーザ光を円偏光に変換す
るための外部の光学系を示す図である。上述した折り返
し型共振器１０から出射されたレーザ光は、矢印１１で
示す方向、すなわち４５°方向に直線偏光されたレーザ
光である。このレーザ光は、１／４波長ミラー６によっ
て円偏光化されるとともに、鉛直下向きに方向を変換さ
れて、集光レンズ８によって集光されて、ワーク９に照
射される。
るための外部の光学系を示す図である。上述した折り返
し型共振器１０から出射されたレーザ光は、矢印１１で
示す方向、すなわち４５°方向に直線偏光されたレーザ
光である。このレーザ光は、１／４波長ミラー６によっ
て円偏光化されるとともに、鉛直下向きに方向を変換さ
れて、集光レンズ８によって集光されて、ワーク９に照
射される。
【００１７】従来は、レーザ光を円偏光化するための外
部光学系として、４５°方向偏光ミラー、１／４波長ミ
ラー及び鉛直下向きに方向を変換するためのミラーと３
枚のミラーが必要とされていた。これに対し、本実施例
では、４５°偏光のレーザ光が直接出射されるために、
１枚の１／４波長ミラー６のみを使用するだけでよい。
すなわち、折り返し部で１枚の反射鏡が増加している
が、差引１枚のミラーが減る。
部光学系として、４５°方向偏光ミラー、１／４波長ミ
ラー及び鉛直下向きに方向を変換するためのミラーと３
枚のミラーが必要とされていた。これに対し、本実施例
では、４５°偏光のレーザ光が直接出射されるために、
１枚の１／４波長ミラー６のみを使用するだけでよい。
すなわち、折り返し部で１枚の反射鏡が増加している
が、差引１枚のミラーが減る。
【００１８】特に、共振器１０外のミラーの数を減らす
ことができるので、分解洗浄、組付け時の調整等に要す
る工数を大幅に低減することができる。上記の説明で
は、励起部は２個で説明したが、励起部を３個以上設け
て、上記の構成の折り返し部を複数設けることもでき
る。ただし、励起部が３個以上になると、折り返し部で
の反射鏡の数が増えるので、全体としてのミラーの数は
減らないが、外部の光学系が簡単になり、保守、組立等
が簡単になる。
ことができるので、分解洗浄、組付け時の調整等に要す
る工数を大幅に低減することができる。上記の説明で
は、励起部は２個で説明したが、励起部を３個以上設け
て、上記の構成の折り返し部を複数設けることもでき
る。ただし、励起部が３個以上になると、折り返し部で
の反射鏡の数が増えるので、全体としてのミラーの数は
減らないが、外部の光学系が簡単になり、保守、組立等
が簡単になる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、レーザ
発振装置の折り返し型共振器を、折り返し部で水平面に
対して４５°傾斜した直線偏光を発生するように構成し
たので、折り返し型共振器から出射されたレーザ光は、
水平方向に対して４５°方向の直線偏光となる。したが
って、レーザ光を円偏光化するための外部光学系として
は、例えば１／４波長ミラーを設けるだけでよく、外部
光学系の構成を簡単にすることができる。
発振装置の折り返し型共振器を、折り返し部で水平面に
対して４５°傾斜した直線偏光を発生するように構成し
たので、折り返し型共振器から出射されたレーザ光は、
水平方向に対して４５°方向の直線偏光となる。したが
って、レーザ光を円偏光化するための外部光学系として
は、例えば１／４波長ミラーを設けるだけでよく、外部
光学系の構成を簡単にすることができる。
【００２０】特に、共振器外部のミラーの数が減るの
で、分解洗浄等の保守が簡易になり、外部光学系の組立
がより簡単になる。
で、分解洗浄等の保守が簡易になり、外部光学系の組立
がより簡単になる。
【図１】本発明に係る折り返し型共振器の構成を示す図
である。
である。
【図２】図１のＡ方向から反射鏡を見た図である。
【図３】図１のＢの方向から反射鏡を見た図である。
【図４】直線偏光レーザ光を円偏光に変換するための外
部の光学系を示す図である。
部の光学系を示す図である。
【図５】従来の折り返し型共振器の構成を概略的に示す
図である。
図である。
【図６】従来の直線偏光のレーザ光を円偏光に変換する
ための光学系を示す図である。
ための光学系を示す図である。
１ 出力ミラー ２ リアミラー ３ａ，３ｂ 励起部 ４ａ，４ｂ，４ｃ 反射鏡 ６ １／４波長ミラー １０ 折り返し型共振器
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１０月２０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】したがって、励起部３ｂで励起されたレー
ザ光は反射鏡４ｃで、そのＳ偏光成分が反射鏡４ｂに反
射される。そして、反射鏡４ｂでＰ成分が４ａに反射さ
れる。さらに、反射鏡４ａの反射成分はＳ偏光成分とな
り、反射鏡４ａは垂直面に対して４５°傾斜しているの
で、Ｓ偏光成分、すなわち水平面に対して４５°傾斜し
た直線偏光のレーザ光が得られる。
ザ光は反射鏡４ｃで、そのＳ偏光成分が反射鏡４ｂに反
射される。そして、反射鏡４ｂでＰ成分が４ａに反射さ
れる。さらに、反射鏡４ａの反射成分はＳ偏光成分とな
り、反射鏡４ａは垂直面に対して４５°傾斜しているの
で、Ｓ偏光成分、すなわち水平面に対して４５°傾斜し
た直線偏光のレーザ光が得られる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】図１のＡの方向から反射鏡を見た図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
Claims (2)
- 【請求項１】 光軸を多段に折り返す折り返し型共振器
からレーザ光を出射するレーザ発振装置において、 それぞれの励起部の光軸に対して水平面上で４５°傾斜
し、さらに垂直面上で４５°傾斜した第１の反射鏡及び
第２の反射鏡と、 前記第１の反射鏡及び前記第２の反射鏡の中心を結んだ
線を底辺とする直角二等辺三角形の頂点の位置に中心を
有し、水平に配置された第３の反射鏡と、 からなる折り返し部を有することを特徴とするレーザ発
振装置。 - 【請求項２】 前記折り返し部を複数有することを特徴
とする請求項１記載のレーザ発振装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4287646A JPH06140697A (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | レーザ発振装置 |
| US08/244,915 US5412685A (en) | 1992-10-26 | 1993-10-14 | Laser oscillator |
| DE69304512T DE69304512T2 (de) | 1992-10-26 | 1993-10-14 | Laseroszillator |
| PCT/JP1993/001494 WO1994010727A1 (en) | 1992-10-26 | 1993-10-14 | Laser oscillator |
| EP93922648A EP0623979B1 (en) | 1992-10-26 | 1993-10-14 | Laser oscillator |
| KR1019940702231A KR100189599B1 (ko) | 1992-10-26 | 1993-10-14 | 레이저 발진 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4287646A JPH06140697A (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06140697A true JPH06140697A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=17719912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4287646A Pending JPH06140697A (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | レーザ発振装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5412685A (ja) |
| EP (1) | EP0623979B1 (ja) |
| JP (1) | JPH06140697A (ja) |
| KR (1) | KR100189599B1 (ja) |
| DE (1) | DE69304512T2 (ja) |
| WO (1) | WO1994010727A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996005638A1 (fr) * | 1994-08-10 | 1996-02-22 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
| US5878067A (en) * | 1994-08-10 | 1999-03-02 | Fanuc Ltd. | Laser oscillator |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07211972A (ja) * | 1994-01-20 | 1995-08-11 | Fanuc Ltd | レーザ発振器 |
| US5867518A (en) * | 1996-08-07 | 1999-02-02 | Lumonics Inc. | Multiple element laser pumping chamber |
| US5867519A (en) * | 1996-08-07 | 1999-02-02 | Lumonics Inc. | Multiple element, folded beam laser |
| DE19734308A1 (de) | 1997-08-08 | 1999-02-18 | Rofin Sinar Laser Gmbh | Gaslaser mit in mehreren Ebenen gefaltetem Strahlengang |
| DE10033071A1 (de) * | 2000-07-07 | 2002-01-17 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Laseranordnung für die Materialbearbeitung |
| CN104242029A (zh) * | 2014-09-29 | 2014-12-24 | 南京中科神光科技有限公司 | 一种激光器折叠谐振腔的快速装调方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3500681A1 (de) * | 1985-01-11 | 1986-07-17 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Verfahren zur isolierung und reinigung von lymphokinen |
| JPS62169385A (ja) * | 1986-01-21 | 1987-07-25 | Toshiba Corp | 横流形ガスレ−ザ装置 |
| JP2514680B2 (ja) * | 1988-01-08 | 1996-07-10 | ファナック株式会社 | レ―ザ発振装置 |
| US5052017A (en) * | 1988-12-01 | 1991-09-24 | Coherent, Inc. | High power laser with focusing mirror sets |
| US5023886A (en) * | 1988-12-01 | 1991-06-11 | Coherent, Inc. | High power laser with focusing mirror sets |
| JP2630011B2 (ja) * | 1990-04-06 | 1997-07-16 | 日本電気株式会社 | ランダム偏光Ｈｅ―Ｎｅガスレーザ装置 |
| JP2651263B2 (ja) * | 1990-06-11 | 1997-09-10 | ファナック株式会社 | レーザ発振装置 |
| JP2846521B2 (ja) * | 1992-03-30 | 1999-01-13 | ファナック株式会社 | レーザ発振装置 |
-
1992
- 1992-10-26 JP JP4287646A patent/JPH06140697A/ja active Pending
-
1993
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- 1993-10-14 EP EP93922648A patent/EP0623979B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996005638A1 (fr) * | 1994-08-10 | 1996-02-22 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
| US5878067A (en) * | 1994-08-10 | 1999-03-02 | Fanuc Ltd. | Laser oscillator |
Also Published As
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