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JPH06138508A - Harmonic generator - Google Patents

Harmonic generator

Info

Publication number
JPH06138508A
JPH06138508A JP31407192A JP31407192A JPH06138508A JP H06138508 A JPH06138508 A JP H06138508A JP 31407192 A JP31407192 A JP 31407192A JP 31407192 A JP31407192 A JP 31407192A JP H06138508 A JPH06138508 A JP H06138508A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical material
harmonic
fundamental wave
resonator
nonlinear optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP31407192A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomonobu Senoo
具展 妹尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Priority to JP31407192A priority Critical patent/JPH06138508A/en
Publication of JPH06138508A publication Critical patent/JPH06138508A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】非線形光学材料の研磨精度に対する許容度を高
め、共振器製作の歩留を向上させる。 【構成】半導体レーザ13から出射された基本波18
を、コリメートレンズ14、モードマッチングレンズ1
5を通して非線形光学材料16に入射させ、非線形光学
材料16の球面ミラー20と、全反射平面ミラー22
と、別体の反射ミラー17とにより構成される共振器に
よって共振させ、高調波19を反射ミラー17より取り
出す。
(57) [Abstract] [Purpose] To increase the tolerance for polishing accuracy of nonlinear optical materials and improve the yield of resonator fabrication. [Structure] Fundamental wave 18 emitted from semiconductor laser 13
The collimating lens 14 and the mode matching lens 1
The light is incident on the non-linear optical material 16 through 5, and the spherical mirror 20 of the non-linear optical material 16 and the total reflection plane mirror 22
And a separate reflection mirror 17 to resonate, and the harmonic wave 19 is extracted from the reflection mirror 17.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光源から発せら
れる基本波を、非線形光学材料を有するディスクリート
型共振器を用いて高調波に変換する高調波発生装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a harmonic generator for converting a fundamental wave emitted from a laser light source into a harmonic using a discrete resonator having a non-linear optical material.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体レーザ等から出射される基
本波を非線形光学材料に通して、波長変換された第2高
調波や第3高調波を得る装置が種々提案されている。こ
れらの装置では、複数の反射面で構成される共振器内に
非線形光学材料を配置し、基本波を共振器内に閉じ込め
て増幅させることで、高調波を効率よく発生させるよう
にしている。
2. Description of the Related Art In recent years, various devices have been proposed for obtaining a wavelength-converted second harmonic or third harmonic by passing a fundamental wave emitted from a semiconductor laser or the like through a nonlinear optical material. In these devices, a nonlinear optical material is arranged in a resonator composed of a plurality of reflecting surfaces, and a fundamental wave is confined in the resonator to be amplified so that harmonics are efficiently generated.

【0003】そして、共振器としては、非線形光学材料
の端面に反射膜を設けてその内部で共振させるモノリシ
ック型共振器と、複数のミラーを配置して共振器を構成
し、この共振器内に非線形光学材料を配置したディスク
リート型共振器とが知られている。最近では、装置の小
型化及び高調波への変換効率の向上を図るために、ディ
スクリート型のものから、非線形光学材料の内部におい
て基本波を共振させるモノリシック型のものへとその主
流が移行しつつある。
As a resonator, a monolithic resonator having a reflecting film provided on the end face of a non-linear optical material for causing resonance therein, and a resonator having a plurality of mirrors arranged therein are constructed. A discrete resonator in which a non-linear optical material is arranged is known. Recently, the mainstream is shifting from discrete type to monolithic type that resonates the fundamental wave inside the nonlinear optical material in order to miniaturize the device and improve the conversion efficiency to harmonics. is there.

【0004】図3には、従来の高調波発生装置の一例と
して、モノリシック型共振器を用いた第2高調波発生装
置が示されている。
FIG. 3 shows a second harmonic generation device using a monolithic resonator as an example of a conventional harmonic generation device.

【0005】この第2高調波発生装置1は、半導体レー
ザ(以下LDとする)2、コリメートレンズ3、モード
マッチングレンズ4及びKNbO3 結晶等からなる非線
形光学材料5によって構成されている。LD2は、例え
ば波長860nmの基本波6を出射する。非線形光学材
料5において図中左右の対面する2面は球面状に研磨加
工されている。このうち図中左側の面は基本波6の入射
面をなし、この面に基本波6に対して一部透過、第2高
調波7に対して反射の球面ミラー8が形成されている。
また、図中右側の面は第2高調波7の出射面をなし、こ
の面に基本波6に対して反射、第2高調波7に対して透
過の球面ミラー9が形成されている。更に、非線形光学
材料5の図中下面は、基本波6と第2高調波7のいずれ
も全反射する平面ミラー10を成している。
This second harmonic generator 1 is composed of a semiconductor laser (hereinafter referred to as LD) 2, a collimating lens 3, a mode matching lens 4, and a nonlinear optical material 5 made of KNbO 3 crystal or the like. The LD 2 emits the fundamental wave 6 having a wavelength of 860 nm, for example. In the non-linear optical material 5, the two surfaces facing each other in the figure are polished into a spherical shape. Of these, the surface on the left side of the drawing is the incident surface of the fundamental wave 6, and a spherical mirror 8 that partially transmits the fundamental wave 6 and reflects the second harmonic wave 7 is formed on this surface.
The surface on the right side of the drawing is an exit surface for the second harmonic wave 7, and a spherical mirror 9 that reflects the fundamental wave 6 and transmits the second harmonic wave 7 is formed on this surface. Further, the lower surface of the nonlinear optical material 5 in the figure forms a plane mirror 10 that totally reflects both the fundamental wave 6 and the second harmonic wave 7.

【0006】上記の構成において、LD2から出射する
波長860nmの基本波6は、コリメートレンズ3によ
り平行光にされ、モードマッチングレンズ4によって集
光されて、球面ミラー8のA点から非線形光学材料5に
入射する。この際、A点に入射した基本波6が非線形光
学材料5の結晶軸aと平行に進むように、基本波6を結
晶軸aに対して特定の角度θで入射させる。この基本波
6は、球面ミラー8、9と、平面ミラー10とで構成さ
れるリング共振器内の点A、B、Cでリング型に反射し
て増幅される。
In the above structure, the fundamental wave 6 having a wavelength of 860 nm emitted from the LD 2 is collimated by the collimator lens 3 and condensed by the mode matching lens 4, and the non-linear optical material 5 is applied from the point A of the spherical mirror 8. Incident on. At this time, the fundamental wave 6 is incident at a specific angle θ with respect to the crystal axis a so that the fundamental wave 6 incident on the point A travels in parallel with the crystal axis a of the nonlinear optical material 5. The fundamental wave 6 is reflected in a ring shape at points A, B, and C in the ring resonator formed by the spherical mirrors 8 and 9 and the plane mirror 10 to be amplified.

【0007】そして、基本波6は、非線形光学材料5内
を結晶軸aの方向に通過するとき、その一部が波長43
0nmの第2高調波7に変換され、球面ミラー9のB点
から出射される。なお、位相整合条件に適合させて高調
波への変換効率を安定させるため、非線形光学材料5
は、ペルチェ素子11等による温度制御が行われる。こ
のようなモノリシック型の共振器を用いれば、基本波を
効率よく高調波に変換することができる。
When the fundamental wave 6 passes through the nonlinear optical material 5 in the direction of the crystal axis a, a part of the fundamental wave 6 has a wavelength of 43.
It is converted into the second harmonic wave 7 of 0 nm and emitted from the point B of the spherical mirror 9. In order to meet the phase matching condition and stabilize the conversion efficiency to harmonics, the nonlinear optical material 5
Is temperature controlled by the Peltier element 11 and the like. By using such a monolithic resonator, the fundamental wave can be efficiently converted into a harmonic wave.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、モノリ
シック型共振器を用いた従来の高調波発生装置1では、
共振器製作時における非線形光学材料5の研磨精度によ
り、共振状態が得られない場合があった。また、共振す
る場合でも、共振軸と結晶方位軸にズレが生じることが
あり、その結果、第2高調波出力が大幅に低下するとい
う問題を有していた。
However, in the conventional harmonic generator 1 using the monolithic resonator,
In some cases, the resonance state may not be obtained due to the polishing accuracy of the nonlinear optical material 5 at the time of manufacturing the resonator. Further, even when resonating, there is a problem that the resonance axis and the crystal orientation axis may deviate from each other, resulting in a significant decrease in the second harmonic output.

【0009】したがって、本発明の目的は、結晶軸と共
振状態を独立に調整できるようにすることで、非共振状
態や、共振軸と結晶方位軸のズレの発生を防ぎ、高調波
出力を効率よく発生させると共に、非線形光学材料の研
磨精度が高調波出力に及ぼす影響を減少させ、共振器製
作の歩留を向上させることにある。
Therefore, an object of the present invention is to enable the crystal axis and the resonance state to be independently adjusted, thereby preventing the non-resonance state and the deviation between the resonance axis and the crystal orientation axis from occurring, and increasing the harmonic output efficiency. It is to improve the yield of resonator production by reducing the influence of the polishing accuracy of the nonlinear optical material on the harmonic output, as well as generating it frequently.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するため、基本波発生用の光源と、結合光学系と、
非線形光学材料を有するディスクリート型共振器とを備
えた高調波発生装置において、前記ディスクリート型共
振器が2個の部品から構成され、この部品のうち少なく
とも1個が前記非線形光学材料であることを特徴とす
る。
In order to solve the above problems, the present invention provides a light source for generating a fundamental wave, a coupling optical system,
A harmonic generation device including a discrete resonator having a non-linear optical material, wherein the discrete resonator is composed of two parts, and at least one of the parts is the non-linear optical material. And

【0011】本発明の好ましい態様においては、ディス
クリート型共振器は、基本波の入射側に配置された1個
の非線形光学材料と、高調波の出射側に配置された1個
の反射ミラーとで構成される。
In a preferred embodiment of the present invention, the discrete resonator comprises one nonlinear optical material arranged on the incident side of the fundamental wave and one reflecting mirror arranged on the emitting side of the harmonic. Composed.

【0012】本発明の更に好ましい態様においては、デ
ィスクリート型共振器として、球面ミラー及び全反射平
面ミラーを有する非線形光学材料と、反射ミラーとから
構成される進行波型共振器を用いる。
In a further preferred aspect of the present invention, a traveling-wave resonator composed of a non-linear optical material having a spherical mirror and a total reflection plane mirror and a reflecting mirror is used as the discrete resonator.

【0013】また、本発明の更に別の好ましい態様にお
いては、ディスクリート型共振器として、平面ミラーを
有する非線形光学材料と、反射ミラーとから構成される
定在波型共振器を用いる。
In still another preferred aspect of the present invention, a standing wave type resonator composed of a non-linear optical material having a plane mirror and a reflecting mirror is used as the discrete type resonator.

【0014】[0014]

【作用】本発明では、共振器が2つの部品により構成さ
れているため、非線形光学材料による結晶軸の調整と反
射ミラーによる共振状態の調整が独立に可能となる。こ
のため、非共振状態や、共振軸と結晶方位軸のズレの発
生が低減し、高調波出力を効率よく発生させることが可
能となるばかりでなく、共振器製作時における非線形光
学材料の研磨精度が高調波出力に及ぼす影響を減少させ
て、共振器製作の歩留を向上させることができる。
In the present invention, since the resonator is composed of two parts, the adjustment of the crystal axis by the nonlinear optical material and the adjustment of the resonance state by the reflection mirror can be performed independently. Therefore, not only the non-resonance state and the deviation between the resonance axis and the crystal orientation axis are reduced, it is possible to efficiently generate the harmonic output, but also the polishing accuracy of the nonlinear optical material at the time of manufacturing the resonator. It is possible to improve the yield of the resonator fabrication by reducing the influence of the on the harmonic output.

【0015】[0015]

【実施例】図1には、本発明を第2高調波発生装置に適
用した一実施例が示されている。なお、本発明は、第2
高調波発生装置に限定されるものではなく、第3高調波
発生装置等にも適用することができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an embodiment in which the present invention is applied to a second harmonic generator. The present invention is the second
The present invention is not limited to the harmonic generator, but can be applied to a third harmonic generator and the like.

【0016】この第2高調波発生装置12は、レーザ光
源としてのLD13、コリメートレンズ14、モードマ
ッチングレンズ15、凸面ミラーと全反射面を有した非
線形光学材料16、反射ミラー17が順次配置されて構
成されている。
In this second harmonic generator 12, an LD 13 as a laser light source, a collimating lens 14, a mode matching lens 15, a nonlinear optical material 16 having a convex mirror and a total reflection surface, and a reflecting mirror 17 are sequentially arranged. It is configured.

【0017】この実施例におけるLD13は、波長86
0nm、単一縦、単一横モードで、非点収差の少ない基
本波18を出射するものが用いられている。なお、光源
としてはLDによって励起されたYAG、YLFなどの
固体レーザ媒質からの出射光を用いることもできる。コ
リメートレンズ14は、LD13から出射される基本波
18を平行なビームにし、モードマッチングレンズ15
は、このビームを絞って非線形光学材料16と反射ミラ
ー17で構成されるリング共振器の共振モードと入射ビ
ームとを整合(モードマッチング)させる役割をなす。
The LD 13 in this embodiment has a wavelength of 86.
A 0 nm, single vertical, single horizontal mode that emits a fundamental wave 18 with little astigmatism is used. As the light source, light emitted from a solid-state laser medium such as YAG or YLF excited by an LD can be used. The collimator lens 14 converts the fundamental wave 18 emitted from the LD 13 into a parallel beam, and the mode matching lens 15
Serves to match (mode match) the resonance mode of the ring resonator constituted by the nonlinear optical material 16 and the reflection mirror 17 with the incident beam by narrowing the beam.

【0018】非線形光学材料16には、KNbO3 結晶
が用いられており、結晶軸a方向の長さは4.5mmで
ある。基本波18の入射側に位置する端面は曲率半径
5.0mmの球面状に形成されており、この面には基本
波18を93%反射する反射膜が蒸着されて球面ミラー
20とされている。また、この非線形光学材料16にお
いて、第2高調波19の出射側に位置する端面24は平
面状に形成されており、この面には基本波18、第2高
調波19を共に99.5%以上透過する反射防止膜が施
されている。更に、この非線形光学材料16の図中下面
は結晶軸aに沿って平面にカット、研磨され、基本波1
8及び第2高調波19を共に全反射する平面ミラー22
としてある。
KNbO 3 crystal is used for the nonlinear optical material 16, and its length in the direction of the crystal axis a is 4.5 mm. The end face located on the incident side of the fundamental wave 18 is formed in a spherical shape with a radius of curvature of 5.0 mm, and a reflective film that reflects 93% of the fundamental wave 18 is vapor-deposited on this face to form a spherical mirror 20. . Further, in this nonlinear optical material 16, the end face 24 located on the emission side of the second harmonic wave 19 is formed in a flat shape, and the fundamental wave 18 and the second harmonic wave 19 are both 99.5% on this surface. An antireflection film that transmits the light is applied. Further, the lower surface of the nonlinear optical material 16 in the figure is cut into a plane along the crystal axis a and polished to obtain the fundamental wave 1
Plane mirror 22 that totally reflects both the 8th and second harmonics 19
There is.

【0019】反射ミラー17には光学用石英ガラスが用
いられている。この反射ミラー17における凹面21に
は、基本波18を99.9%反射し、第2高調波19を
90%透過する反射膜が蒸着されている。
Optical quartz glass is used for the reflection mirror 17. On the concave surface 21 of the reflection mirror 17, a reflection film that reflects 99.9% of the fundamental wave 18 and 90% of the second harmonic wave 19 is vapor-deposited.

【0020】この第2高調波発生装置12を用い、LD
13から波長860nmの基本波18を出射すると、基
本波18はコリメートレンズ14によって平行なビーム
とされた後、モードマッチングレンズ15によって集光
されて、球面ミラー20の点Aから共振器の一部である
非線形光学材料16内に入射する。
Using this second harmonic generator 12, LD
When the fundamental wave 18 having a wavelength of 860 nm is emitted from 13, the fundamental wave 18 is collimated into a parallel beam by the collimator lens 14 and then condensed by the mode matching lens 15 to obtain a part of the resonator from point A of the spherical mirror 20. Is incident on the nonlinear optical material 16.

【0021】共振器内に入射した基本波18は、非線形
光学材料16中を結晶軸aに沿って伝搬し、端面24を
全透過した後、反射ミラー17の点Bで反射され、再び
端面24を全透過して平面ミラー22の点Cに向かい、
平面ミラー22の点Cで全反射されて球面ミラー20の
点Aに戻り、点Aで反射されて再び結晶軸aに沿って伝
搬し、元の光と重なり合って進行波型の共振がなされ
る。このように基本波18は、非線形光学材料16と反
射ミラー17によって構成される共振器内において、三
角形のリング状の共振経路をとって共振し増幅される。
The fundamental wave 18 that has entered the resonator propagates in the nonlinear optical material 16 along the crystal axis a, is completely transmitted through the end face 24, is then reflected at the point B of the reflection mirror 17, and is again end face 24. To the point C of the plane mirror 22,
The light is totally reflected at the point C of the plane mirror 22, returns to the point A of the spherical mirror 20, is reflected at the point A, propagates again along the crystal axis a, and overlaps with the original light to cause traveling wave type resonance. . In this way, the fundamental wave 18 resonates and is amplified by taking a triangular ring-shaped resonance path in the resonator constituted by the nonlinear optical material 16 and the reflection mirror 17.

【0022】こうして増幅された基本波18は、非線形
光学材料16中を結晶軸a方向に伝搬するとき、その一
部が波長430nmの第2高調波19に変換される。こ
の第2高調波19が反射ミラー17から出射される。な
お、位相整合条件に適合させて高調波への変換効率を安
定させるため、非線形光学材料16はペルチェ素子23
等による温度制御が行われる。
When the fundamental wave 18 amplified in this way propagates through the nonlinear optical material 16 in the direction of the crystal axis a, a part thereof is converted into a second harmonic wave 19 having a wavelength of 430 nm. This second harmonic wave 19 is emitted from the reflection mirror 17. The nonlinear optical material 16 is made of the Peltier element 23 in order to meet the phase matching condition and stabilize the conversion efficiency to the harmonic.
The temperature is controlled by the above.

【0023】この実施例における進行波型共振器の場
合、共振器が2つの部品で構成されているため、まず基
本波18がa軸に添うように非線形光学材料16を調整
し、高調波発生効率を高めた後、共振状態が最適になる
ように反射ミラー17を調整することが可能となり、高
効率でかつ安定な高調波発生をさせることができる。
In the case of the traveling wave type resonator in this embodiment, since the resonator is composed of two parts, first, the nonlinear optical material 16 is adjusted so that the fundamental wave 18 follows the a-axis to generate harmonics. After increasing the efficiency, it is possible to adjust the reflection mirror 17 so that the resonance state is optimal, and it is possible to generate a highly efficient and stable harmonic wave.

【0024】図2には本発明を第2高調波発生装置に適
用した別の実施例が示されている。なお、本発明は、第
2高調波発生装置に限定されるものではなく、第3高調
波発生装置等にも適用することができる。また、この実
施例においては、図1の実施例で示された装置と実質的
に同一の部分には同符合を付し、その説明を省略するこ
ととする。
FIG. 2 shows another embodiment in which the present invention is applied to the second harmonic generator. The present invention is not limited to the second harmonic generation device, but can be applied to the third harmonic generation device and the like. Further, in this embodiment, substantially the same parts as those of the device shown in the embodiment of FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0025】この実施例は、基本的には図1に示した実
施例の装置と同じ構造をなすものであるが、両端面平面
の非線形光学材料116と、反射ミラー17とで、定在
波型共振器を構成している点が異なっている。
This embodiment basically has the same structure as the device of the embodiment shown in FIG. 1, but the nonlinear optical material 116 on both end planes and the reflection mirror 17 make the standing wave. The difference is that it constitutes a type resonator.

【0026】この実施例における非線形光学材料116
は、KNbO3 結晶が用いられており、結晶軸a方向の
長さは5.0mmである。基本波18の入射側に位置す
る端面は平面状に形成されており、この面には基本波1
8を93%反射する反射膜が蒸着されて平面ミラー12
0とされている。更に、第2高調波19の出射方向に位
置する端面124も平面状に形成されており、この面に
基本波18、第2高調波19共に99.5%以上透過す
るような反射防止膜が施されている。
Nonlinear optical material 116 in this embodiment
Is made of KNbO 3 crystal, and its length in the crystal axis a direction is 5.0 mm. The end face located on the incident side of the fundamental wave 18 is formed in a flat shape, and the surface of the fundamental wave 1 is formed on this end face.
A reflective film that reflects 93% of 8 is vapor-deposited to form a flat mirror 12.
It is set to 0. Further, the end face 124 located in the emitting direction of the second harmonic 19 is also formed in a flat shape, and an antireflection film that allows the fundamental wave 18 and the second harmonic 19 to pass through 99.5% or more is formed on this face. It has been subjected.

【0027】この第2高調波発生装置112を用い、L
D13から波長860nmの基本波18を出射すると、
基本波18は、コリメートレンズ14によって平行なビ
ームとされた後、モードマッチングレンズ15によって
集光されて、平面ミラー120の点Aから共振器の一部
である非線形光学材料116内に入射する。
Using this second harmonic generator 112, L
When the fundamental wave 18 having a wavelength of 860 nm is emitted from D13,
The fundamental wave 18 is made into a parallel beam by the collimator lens 14, is condensed by the mode matching lens 15, and enters the nonlinear optical material 116 which is a part of the resonator from the point A of the plane mirror 120.

【0028】共振器内に入射した基本波18は、非線形
光学材料116中を結晶軸aに沿って伝搬し、端面12
4を全透過した後、反射ミラー17の点Bで反射され、
再び端面124を全透過し、平面ミラー120の点Aに
戻り、点Aで反射されて再び結晶軸aに沿って伝搬し、
元の光と重なり合って定在波型の共振がなされる。この
ように基本波18は、非線形光学材料116と反射ミラ
ー17によって構成される共振器内において、直線状の
共振経路をとって共振し、増幅される。
The fundamental wave 18 that has entered the resonator propagates in the nonlinear optical material 116 along the crystal axis a, and the end face 12
4, after being completely transmitted, is reflected at a point B of the reflection mirror 17,
The light is completely transmitted through the end face 124 again, returns to the point A of the plane mirror 120, is reflected at the point A, and propagates again along the crystal axis a,
Standing wave type resonance is made by overlapping with the original light. In this way, the fundamental wave 18 resonates along the linear resonance path in the resonator constituted by the nonlinear optical material 116 and the reflection mirror 17, and is amplified.

【0029】こうして増幅された基本波18は、非線形
光学材料中を結晶軸a方向に伝搬するとき、その一部が
波長430nmの第2高調波19に変換される。この第
2高調波19が反射ミラー17から出射される。なお、
位相整合条件に適合させて高調波への変換効率を安定さ
せるため、非線形光学材料116は、ペルチェ素子23
等により温度制御が行われる。
When the fundamental wave 18 amplified in this way propagates through the nonlinear optical material in the direction of the crystal axis a, a part thereof is converted into the second harmonic wave 19 having a wavelength of 430 nm. This second harmonic wave 19 is emitted from the reflection mirror 17. In addition,
In order to meet the phase matching condition and stabilize the conversion efficiency into harmonics, the nonlinear optical material 116 is used for the Peltier element 23.
The temperature is controlled by the above.

【0030】この実施例における定在波型共振器の場合
も、共振器が2つの部品で構成されており、まず基本波
18がa軸に添うように非線形光学材料116を調整
し、高調波発生効率を高めた後、共振状態が最適になる
ように反射ミラー17を調整することが可能となり、高
効率でかつ安定な高調波発生をさせることができる。
Also in the case of the standing wave type resonator in this embodiment, the resonator is composed of two parts. First, the nonlinear optical material 116 is adjusted so that the fundamental wave 18 follows the a-axis, and the higher harmonic wave is generated. After increasing the generation efficiency, it is possible to adjust the reflection mirror 17 so that the resonance state is optimal, and it is possible to generate a highly efficient and stable harmonic wave.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
少なくとも1個の非線形光学材料を用いた2部品から構
成されるディスクリート型共振器を用いることにより、
共振状態の調整や、共振軸と結晶軸とのズレの調整が可
能となり、高調波出力を効率良く発生させることができ
る。更に、PZT等により共振器長が容易に可変できる
ため、共振周波数制御による安定化の向上が可能とな
る。また、非線形光学材料の加工精度をゆるめることが
可能となり、共振器のアライメントも容易になることか
ら、製品の歩留まり、生産性を向上させることができ
る。
As described above, according to the present invention,
By using a discrete resonator composed of two parts using at least one nonlinear optical material,
It is possible to adjust the resonance state and the deviation between the resonance axis and the crystal axis, and it is possible to efficiently generate the harmonic output. Further, since the resonator length can be easily changed by PZT or the like, the stabilization can be improved by controlling the resonance frequency. Further, the processing accuracy of the nonlinear optical material can be relaxed, and the alignment of the resonator can be facilitated, so that the product yield and the productivity can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を第2高調波発生装置に適用した一実施
例を示す側面図である。
FIG. 1 is a side view showing an embodiment in which the present invention is applied to a second harmonic generation device.

【図2】本発明を第2高調波発生装置に適用した他の実
施例を示す側面図である。
FIG. 2 is a side view showing another embodiment in which the present invention is applied to a second harmonic generation device.

【図3】従来の第2高調波発生装置の一例を示す側面図
である。
FIG. 3 is a side view showing an example of a conventional second harmonic generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

12:高調波発生装置 13:半導体レ−ザ 14:コリメートレンズ 15:モードマッチングレンズ 16:非線形光学材料 17:反射ミラー 18:基本波 19:第2高調波 20:球面ミラー 21:球面ミラー 22:平面ミラー 23:ペルチェ素子 112:高調波発生装置 116:非線形光学材料 12: Harmonic generator 13: Semiconductor laser 14: Collimating lens 15: Mode matching lens 16: Non-linear optical material 17: Reflecting mirror 18: Fundamental wave 19: Second harmonic 20: Spherical mirror 21: Spherical mirror 22: Plane mirror 23: Peltier element 112: Harmonic generator 116: Non-linear optical material

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基本波発生用の光源と、結合光学系と、非
線形光学材料を有するディスクリート型共振器とを備え
た高調波発生装置において、前記ディスクリート型共振
器が2個の部品から構成され、この部品のうち少なくと
も1個が前記非線形光学材料であることを特徴とする高
調波発生装置。
1. A harmonic generation device comprising a light source for generating a fundamental wave, a coupling optical system, and a discrete resonator having a nonlinear optical material, wherein the discrete resonator is composed of two parts. A harmonic generator characterized in that at least one of the parts is the non-linear optical material.
【請求項2】前記ディスクリート型共振器が、基本波の
入射側に配置された1個の非線形光学材料と、高調波の
出射側に配置された1個の反射ミラーとで構成されてい
る請求項1記載の高調波発生装置。
2. The discrete resonator comprises one non-linear optical material arranged on the incident side of the fundamental wave and one reflecting mirror arranged on the emergent side of the harmonic. The harmonic generator according to Item 1.
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