[go: up one dir, main page]

JPH06123504A - Cryogenic refrigerator - Google Patents

Cryogenic refrigerator

Info

Publication number
JPH06123504A
JPH06123504A JP27011092A JP27011092A JPH06123504A JP H06123504 A JPH06123504 A JP H06123504A JP 27011092 A JP27011092 A JP 27011092A JP 27011092 A JP27011092 A JP 27011092A JP H06123504 A JPH06123504 A JP H06123504A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
refrigerator
tank
joint
side pipe
pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP27011092A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Fujimoto
悟 藤本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daikin Industries Ltd filed Critical Daikin Industries Ltd
Priority to JP27011092A priority Critical patent/JPH06123504A/en
Publication of JPH06123504A publication Critical patent/JPH06123504A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液化冷媒貯溜用タンク(1)と冷凍機(6)
とを備え、タンク(1)内で蒸発した冷媒ガスを配管
(29)を介して冷凍機(6)の冷媒回路内に供給して
再凝縮し、この液化冷媒を配管(28)を介してタンク
(1)内に戻すようにした極低温冷凍装置において、タ
ンク(1)外部で分割されるタンク側及び冷凍機側配管
(30),(32)同士の接続及び分離をタンク(1)
周囲の壁部分を破壊することなく行い、冷凍機(6)の
点検や修理作業を容易にかつ低コストで行えるようにす
る。 【構成】 加熱昇温により拡開してタンク側配管(3
0)及び冷凍機側配管(32)の各先端部を抜出し可能
とする一方、冷却降温により縮小して両配管(30),
(32)を保持する特性を持つ形状記憶合金製のジョイ
ント(34)と、このジョイント(34)を加熱するヒ
ータ(37)とを設け、このヒータ(37)に対する給
電をコントロールする。
(57) [Abstract] [Purpose] Liquefied refrigerant storage tank (1) and refrigerator (6)
And the refrigerant gas evaporated in the tank (1) is supplied to the refrigerant circuit of the refrigerator (6) via the pipe (29) to be re-condensed, and the liquefied refrigerant is supplied via the pipe (28). In a cryogenic refrigerating device which is returned to the inside of the tank (1), the tank (1) is connected and separated between the tank side and the refrigerator side pipes (30) and (32) that are divided outside the tank (1).
The surrounding wall portion is not destroyed, and the refrigerator (6) can be inspected and repaired easily and at low cost. [Structure] The tank side pipe (3
0) and the freezer side pipes (32) can be pulled out, while both pipes (30) are reduced by cooling and cooling.
A joint (34) made of a shape memory alloy having a characteristic of holding (32) and a heater (37) for heating the joint (34) are provided to control power supply to the heater (37).

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、液化冷媒を貯溜する
冷媒タンク内で蒸発した冷媒ガスを冷凍機の冷媒回路内
に吸い込んで圧縮及び膨張により液化し、タンク内に戻
すようにした極低温冷凍装置に関し、特に、タンクに対
し冷凍機を分離可能としたものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cryogenic system in which a refrigerant gas evaporated in a refrigerant tank for storing liquefied refrigerant is sucked into a refrigerant circuit of a refrigerator, liquefied by compression and expansion, and returned to the tank. The present invention relates to a refrigerating device, and more particularly, to a refrigerating device that can be separated from a tank.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、超電導磁石の利用が注目されてい
る。この超電導磁石においては、コイルに用いる超電導
体を臨界温度に冷却保持するためにタンク内に貯溜した
液体ヘリウムを利用しているが、この液体ヘリウムがタ
ンク内で蒸発するので、この蒸発したヘリウムガスを冷
却凝縮させて液化する必要があり、この目的で極低温冷
凍機が使用される。
2. Description of the Related Art Recently, the use of superconducting magnets has attracted attention. In this superconducting magnet, liquid helium stored in the tank is used to cool and keep the superconductor used for the coil at a critical temperature, but since this liquid helium evaporates in the tank, this evaporated helium gas Must be cooled and condensed to be liquefied, and a cryogenic refrigerator is used for this purpose.

【0003】このヘリウムガスを凝縮温度まで冷却する
冷凍機の一例として、従来、例えば米国特許第4223
540号等に記載されているように、予冷冷凍機とJ−
T冷凍機とを組み合わせた冷凍機がある。上記予冷冷凍
機はGMサイクル(ギフォード・マクマホンサイクル)
や改良ソルベーサイクル等の冷凍機からなるもので、圧
縮機で圧縮されたヘリウムガス(冷媒ガス)を膨張機で
断熱膨張させてそのガスの温度降下によりヒートステー
ションに極低温レベルの寒冷を発生させる。
As an example of a refrigerator for cooling the helium gas to a condensing temperature, there is a conventional one, for example, US Pat. No. 4,223.
No. 540, etc., a pre-cooling refrigerator and a J-
There is a refrigerator combined with a T refrigerator. The above pre-cooling refrigerator is a GM cycle (Gifford McMahon cycle)
And a refrigerating machine such as an improved solve cycle. The helium gas (refrigerant gas) compressed by the compressor is adiabatically expanded by the expander, and the temperature drop of the gas causes the cryogenic cold level at the heat station. .

【0004】一方、J−T冷凍機は、圧縮機から供給さ
れたヘリウムガスを上記予冷冷凍機における膨張機のヒ
ートステーションとの間で熱交換して予冷する予冷器
と、ヘリウムガスをジュール・トムソン膨張させるJ−
T弁とを閉回路に接続してなるもので、圧縮機からのヘ
リウムガスを予冷器で予冷するとともに、該予冷された
ヘリウムガスをJ−T弁でジュール・トムソン膨張させ
て4Kレベルの寒冷を発生させるようになっている。
On the other hand, the JT refrigerator has a precooler for precooling by exchanging heat between the helium gas supplied from the compressor and the heat station of the expander in the precooling refrigerator, and the helium gas in a joule. Thomson inflates J-
A T-valve is connected to a closed circuit, and helium gas from the compressor is pre-cooled by a pre-cooler, and the pre-cooled helium gas is expanded by Joule-Thomson with a J-T valve to achieve 4K level cooling. Is generated.

【0005】そして、上記タンク内の蒸発ヘリウムガス
を冷凍機で冷却する場合、従来、タンク内に2本の冷媒
配管を各々の一端部がタンク内に開口するように配置
し、両配管の他端部をタンク外に引き出してJ−T冷凍
機の冷媒回路に直列に接続することにより、タンク内を
冷凍機の冷媒回路の一部とし、一方の配管からタンク内
の蒸発ヘリウムガスをJ−T冷凍機の冷媒回路に吸い込
んで圧縮機で圧縮するとともに、その圧縮されたヘリウ
ムガスをJ−T弁で膨張させて冷却液化し、この液体ヘ
リウムを他方の配管を経由してタンク内に戻すようにな
されている。
When the evaporated helium gas in the tank is cooled by a refrigerator, conventionally, two refrigerant pipes are arranged in the tank so that one end of each refrigerant pipe opens in the tank, and both pipes are connected. By pulling the end out of the tank and connecting it in series with the refrigerant circuit of the J-T refrigerator, the inside of the tank becomes a part of the refrigerant circuit of the refrigerator, and the evaporated helium gas in the tank is J- While sucked into the refrigerant circuit of the T refrigerator and compressed by the compressor, the compressed helium gas is expanded by the JT valve to be cooled and liquefied, and this liquid helium is returned to the tank through the other pipe. It is done like this.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のタ
ンクと冷凍機との接続構造では、2本の配管がそれぞれ
タンク外部でタンク側及び冷凍機側の配管に分割され、
両配管同士は溶接により一体的に接続されている。この
ため、メンテナンスやトラブル等で冷凍機をタンクから
取り外すときには、各配管をタンク側及び冷凍機側配管
同士の溶接部から切り離す必要があり、この切離し作業
やその後の組付時の再溶接作業のために、冷凍機の取外
しの都度、タンク周りの輻射シールドやその外側の冷凍
機支持用外壁部材を分解する手間を要し、その作業が面
倒でコストも高くなるという問題があった。
However, in the conventional connection structure for the tank and the refrigerator, the two pipes are divided into the tank side pipe and the refrigerator side pipe outside the tank, respectively.
Both pipes are integrally connected by welding. For this reason, when removing the refrigerator from the tank for maintenance or trouble, it is necessary to disconnect each pipe from the welded part between the tank side and the refrigerator side pipes, and this disconnection work and re-welding work at the time of subsequent assembly Therefore, it is necessary to disassemble the radiation shield around the tank and the outer wall member for supporting the refrigerator on the outside of the refrigerator each time the refrigerator is removed, and there is a problem that the work is troublesome and the cost is high.

【0007】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、上記タンク外部で分割されるタンク側
及び冷凍機側配管同士の接続構造を改良することで、両
配管の接続及び分離をタンク周囲の壁部分を破壊するこ
となく行い得るようにし、冷凍機の点検や修理作業を容
易にかつ低コストで行えるようにすることにある。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to improve the connection structure between the tank side and the refrigerator side pipes divided outside the tank, thereby connecting the both pipes. The purpose of the present invention is to enable the separation to be performed without destroying the wall portion around the tank, and to facilitate the inspection and repair work of the refrigerator at low cost.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成すべ
く、請求項1の発明では、加熱昇温により拡開して冷凍
機側及びタンク側の各配管端部を抜出し可能とする一
方、冷却降温により縮小して両配管を連結保持する特性
を持つ形状記憶合金製のジョイントを設けるとともに、
このジョイントを加熱する加熱手段を設け、この加熱手
段に対する給電をコントロールするようにした。
In order to achieve the above-mentioned object, in the invention of claim 1, the pipe ends on the refrigerator side and the tank side can be withdrawn by expanding by heating and raising the temperature. In addition to providing a shape memory alloy joint that has the characteristic of shrinking by cooling and cooling and connecting and holding both pipes,
A heating means for heating the joint was provided, and the power supply to the heating means was controlled.

【0009】具体的には、この発明では、図1に示すよ
うに、極低温レベルの液冷媒を貯溜するタンク(1)
と、該タンク(1)に取外し可能に付設され、冷媒回路
の一部が液冷媒配管(28)及びガス冷媒配管(29)
を介してタンク(1)内に開放された冷凍機(6)とを
備え、タンク(1)内で蒸発したガス冷媒をガス冷媒配
管(29)を介して冷凍機(6)に吸入して圧縮及び膨
張させ、その膨張による温度降下により液冷媒を生成し
て液冷媒配管(28)を介してタンク(1)内に戻すよ
うにした極低温冷凍装置が前提である。
Specifically, according to the present invention, as shown in FIG. 1, a tank (1) for storing a cryogenic liquid refrigerant.
And a part of the refrigerant circuit, which is detachably attached to the tank (1), has a liquid refrigerant pipe (28) and a gas refrigerant pipe (29).
And a refrigerator (6) opened in the tank (1) via the gas refrigerant pipe (29) to suck the gas refrigerant evaporated in the tank (1) into the refrigerator (6). It is premised on a cryogenic refrigeration system that is compressed and expanded, and a liquid refrigerant is generated by the temperature drop due to the expansion and returned to the inside of the tank (1) through the liquid refrigerant pipe (28).

【0010】そして、上記液及びガス冷媒配管(2
8),(29)をそれぞれタンク(1)外部でタンク側
配管(30)と冷凍機側配管(32)とに分割する。
The liquid and gas refrigerant pipes (2
Each of 8) and (29) is divided into a tank side pipe (30) and a refrigerator side pipe (32) outside the tank (1).

【0011】また、嵌合孔(35)内部に上記タンク側
配管(30)及び冷凍機側配管(32)の各先端部を突
合せ状態で嵌合してタンク側配管(30)と冷凍機側配
管(32)とを着脱可能に接続する円筒状ジョイント
(34)を設け、このジョイント(34)は、昇温によ
り嵌合孔(35)からタンク側配管(30)及び冷凍機
側配管(32)の各先端部を取外し可能に拡張する一
方、降温により嵌合孔(35)にタンク側配管(30)
及び冷凍機側配管(32)の各先端部をシール状態で締
結可能に縮小する形状記憶合金で構成する。
Further, the tip ends of the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) are fitted in the fitting hole (35) in a butted state so that the tank side pipe (30) and the refrigerator side are connected. A cylindrical joint (34) that detachably connects to the pipe (32) is provided, and the joint (34) is connected to the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) from the fitting hole (35) due to temperature rise. ), While each tip end is detachably expanded, the tank side pipe (30) is inserted into the fitting hole (35) due to temperature decrease.
And the tip end of the refrigerator side pipe (32) is made of a shape memory alloy that can be contracted in a sealed state.

【0012】さらに、上記ジョイント(34)を加熱す
る加熱手段(37)と、この加熱手段(37)に給電す
る給電手段(38)とを設ける。
Further, heating means (37) for heating the joint (34) and power feeding means (38) for feeding power to the heating means (37) are provided.

【0013】請求項2の発明では、上記ジョイント(3
4)を冷凍機側配管(32)の先端部に対し、嵌合孔
(35)の一部に該冷凍機側配管(32)の先端部を嵌
合した状態で係止固定する。
In the invention of claim 2, the joint (3
4) is locked and fixed to the tip of the refrigerator side pipe (32) with the tip of the refrigerator side pipe (32) fitted in a part of the fitting hole (35).

【0014】請求項3の発明では、上記ジョイント(3
4)の嵌合孔(35)内面に銅等の軟質金属からなるコ
ーティング層(36)を形成する一方、タンク側配管
(30)及び冷凍機側配管(32)の各先端部外周には
それぞれジョイント(34)の嵌合孔(35)内に嵌合
可能な円筒状シール部材(31),(33)を取り付
け、このシール部材(31),(33)の外周には、ジ
ョイント(34)の縮小時に嵌合孔(35)のコーティ
ング層(36)に食い込んで密着する少なくとも1つの
シール用突条(31a),(33a)を設ける。
According to the invention of claim 3, the joint (3
A coating layer (36) made of a soft metal such as copper is formed on the inner surface of the fitting hole (35) of 4), while the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) are respectively provided on the outer peripheries of the respective tip portions. Cylindrical seal members (31) and (33) which can be fitted into the fitting hole (35) of the joint (34) are attached, and the joint (34) is attached to the outer periphery of the seal members (31) and (33). At least one sealing ridge (31a), (33a) is provided, which comes into contact with the coating layer (36) of the fitting hole (35) at the time of reduction.

【0015】請求項4の発明では、上記加熱手段(3
7)を、ジョイント(34)の外周に巻き付けられたバ
ンドヒータとする。
In the invention of claim 4, the heating means (3
7) is a band heater wound around the outer periphery of the joint (34).

【0016】請求項5の発明では、ジョイント(34)
を構成する形状記憶合金を、具体的にニッケル・チタン
形状記憶合金とする。
In the invention of claim 5, the joint (34)
Specifically, the shape memory alloy constituting the above is a nickel-titanium shape memory alloy.

【0017】[0017]

【作用】上記の構成により、請求項1の発明では、ジョ
イント(34)は形状記憶合金で構成されているので、
その嵌合孔(35)にタンク側配管(30)及び冷凍機
側配管(32)の各先端部を突合せ状態で嵌合した状態
で、タンク(1)内の液化冷媒の寒冷によりジョイント
(34)が冷却されると、そのジョイント(34)は縮
小して嵌合孔(35)にタンク側配管(30)及び冷凍
機側配管(32)の各先端部をシール状態で締結し、こ
のことで、タンク側配管(30)と冷凍機側配管(3
2)とが冷媒流通可能に接続される。
With the above structure, in the invention of claim 1, since the joint (34) is made of a shape memory alloy,
With the tip ends of the tank-side pipe (30) and the refrigerator-side pipe (32) fitted in the fitting holes (35) in a butt state, the joint (34) is formed by cooling the liquefied refrigerant in the tank (1). ) Is cooled, the joint (34) is contracted to fasten the tip ends of the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) to the fitting hole (35) in a sealed state. Then, the tank side piping (30) and the refrigerator side piping (3
2) and are connected so that the refrigerant can flow.

【0018】これに対し、冷凍機(6)を点検や修理等
で取り外すために、配管(30),(32)同士を切り
離すときには、給電手段(38)により加熱手段(3
7)に給電してジョイント(34)を加熱昇温させる。
この昇温に伴いジョイント(34)は拡開して嵌合孔
(35)が大径になり、嵌合孔(35)からタンク側配
管(30)及び冷凍機側配管(32)の各先端部が抜出
し可能となり、この状態で両配管(30),(32)の
接続を分離すればよい。
On the other hand, when the pipes (30) and (32) are separated from each other in order to remove the refrigerator (6) for inspection or repair, the heating means (3) is supplied by the power supply means (38).
7) is fed to heat the joint (34) to raise its temperature.
With this temperature rise, the joint (34) expands and the fitting hole (35) has a large diameter, and the tip of each of the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) extends from the fitting hole (35). The portion can be pulled out, and in this state, the connections of both pipes (30) and (32) may be separated.

【0019】また、この後、冷凍機(6)を再度取り付
けるために、配管(30),(32)同士を接続すると
きには、上記と同様に、ジョイント(34)の嵌合孔
(35)に両配管(30),(32)の各先端部を嵌合
すれば、タンク(1)内の液化冷媒の寒冷によりジョイ
ント(34)が冷却されて縮小し、嵌合孔(35)に両
配管(30),(32)の各先端部をシール状態で締結
する。
Further, after that, when the pipes (30) and (32) are connected to each other for reattaching the refrigerator (6), the fitting hole (35) of the joint (34) is connected in the same manner as above. If the tip ends of both pipes (30) and (32) are fitted, the joint (34) is cooled and reduced by the cooling of the liquefied refrigerant in the tank (1), and both pipes are fitted into the fitting hole (35). The tip ends of (30) and (32) are fastened in a sealed state.

【0020】このようにしてタンク側及び冷凍機側配管
(30),(32)同士の接続及び分離がタンク(1)
周囲の壁部分を破壊することなく行え、冷凍機(6)の
点検や修理作業を容易にかつ低コストで行うことができ
る。
In this way, the tank side and refrigerator side pipes (30) and (32) are connected and separated from each other by the tank (1).
This can be done without breaking the surrounding wall parts, and the inspection and repair work of the refrigerator (6) can be performed easily and at low cost.

【0021】請求項2の発明では、ジョイント(34)
は冷凍機側配管(32)の先端部に係止固定されている
ので、そのジョイント(34)を常に冷凍機側配管(3
2)ないし冷凍機(6)と一体的に取り扱うことができ
る。このため、冷凍機の取外し時や組付時にジョイント
(34)が脱落することはなく、両配管(30),(3
2)の接続及び分離を容易に行うことができるととも
に、冷凍機(6)を取り外す都度、ジョイント(34)
をも併せて一体的に取外しして、その点検や修理が容易
となる。しかも、ジョイント(34)が冷凍機側配管
(32)の先端に設けられていることで、冷凍機(6)
の取外しの際、このジョイント(34)を新しいものに
容易に交換してもよく、ジョイント(34)のシール効
果を安定して得ることができる。
In the invention of claim 2, the joint (34)
Is fixed to the tip of the refrigerator side pipe (32), the joint (34) is always connected to the refrigerator side pipe (3).
2) or the refrigerator (6) can be handled integrally. Therefore, the joint (34) does not fall off when the refrigerator is removed or assembled, and both pipes (30), (3
The connection and disconnection of 2) can be easily performed, and the joint (34) is removed every time the refrigerator (6) is removed.
It is also possible to integrally remove and inspect and repair it. Moreover, since the joint (34) is provided at the tip of the refrigerator side pipe (32), the refrigerator (6)
At the time of removal, the joint (34) may be easily replaced with a new one, and the sealing effect of the joint (34) can be stably obtained.

【0022】請求項3の発明では、タンク側配管(3
0)及び冷凍機側配管(32)の接続時、両配管(3
0),(32)の各先端部外周にそれぞれ取り付けられ
ている円筒状シール部材(31),(33)がジョイン
ト(34)の嵌合孔(35)内に嵌合される。この状態
で寒冷によりジョイント(34)が縮小すると、シール
部材(31),(33)外周のシール用突条(31
a),(33a)がジョイント(34)の嵌合孔(3
5)内面の軟質金属からなるコーティング層(36)に
食い込んで密着し、コーティング層(36)がシール部
材(31),(33)外周に密着するように変形し、こ
のことでジョイント(34)のシール性を向上させるこ
とができる。
In the invention of claim 3, the tank side pipe (3
0) and the refrigerator side pipe (32) are connected, both pipes (3
The cylindrical seal members (31) and (33) attached to the outer peripheries of the respective tip portions of (0) and (32) are fitted in the fitting holes (35) of the joint (34). In this state, when the joint (34) shrinks due to cold, the sealing ridges (31) around the seal members (31), (33)
a) and (33a) are fitting holes (3) of the joint (34).
5) The coating layer (36) made of a soft metal on the inner surface bites into and adheres to the coating layer (36), so that the coating layer (36) deforms so as to adhere to the outer periphery of the seal members (31) and (33). The sealing property of can be improved.

【0023】請求項4の発明では、加熱手段(37)は
ジョイント(34)の外周に巻き付けられたバンドヒー
タであるので、ジョイント(34)の加熱に好適な加熱
手段(37)が具体的に容易に得られる。
In the invention of claim 4, since the heating means (37) is a band heater wound around the outer periphery of the joint (34), the heating means (37) suitable for heating the joint (34) is specifically described. Easily obtained.

【0024】請求項5の発明では、ジョイント(34)
を構成する形状記憶合金がニッケル・チタン形状記憶合
金であるので、加熱手段(37)の加熱により膨張し、
冷却により縮小する機能を持った形状記憶合金が具体的
に容易に得られる。
In the invention of claim 5, the joint (34)
Since the shape memory alloy constituting the is a nickel-titanium shape memory alloy, it is expanded by heating by the heating means (37),
A shape memory alloy having a function of being reduced by cooling can be specifically and easily obtained.

【0025】[0025]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図2は本発明の実施例に係る極低温冷凍装置の全
体構成を示し、この冷凍装置は超電導磁石の超電導コイ
ルを冷却するためのもので、液化した液体ヘリウムを貯
溜するヘリウムタンク(1)(デュワー)と、該ヘリウ
ムタンク(1)に付設された冷凍機(6)とを有し、上
記ヘリウムタンク(1)内には超電導コイル(Cs )が
液体ヘリウムにより浸漬されて収容され、この液体ヘリ
ウムにより超電導コイル(Cs )を臨界温度以下に冷却
保持する。上記ヘリウムタンク(1)の周りには輻射シ
ールド(2)が間隔をあけて配置され、該輻射シールド
(2)の外側には外壁部材(3)が間隔をあけて配置さ
れている。タンク(1)の上側ではタンク(1)と輻射
シールド(2)との間隔、及び輻射シールド(2)と外
壁部材(3)との間隔はそれぞれ他の部分よりも大きく
され、この間隔の大きい側の外壁部材(3)に開口
(4)が形成されており、上記冷凍機(6)はこの開口
(4)を通して外壁部材(3)外側から嵌挿されてい
る。尚、作動状態では、タンク(1)と外壁部材(3)
との間は真空状態とされる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 shows the entire structure of a cryogenic refrigerating apparatus according to an embodiment of the present invention. This refrigerating apparatus is for cooling a superconducting coil of a superconducting magnet, and a helium tank (1) (which stores liquefied liquid helium (1) ( Dewar) and a refrigerator (6) attached to the helium tank (1), and a superconducting coil (Cs) is immersed in the helium tank (1) and stored therein with liquid helium. The superconducting coil (Cs) is cooled and held below the critical temperature by helium. A radiation shield (2) is arranged around the helium tank (1) with a space, and an outer wall member (3) is arranged outside the radiation shield (2) with a space. On the upper side of the tank (1), the distance between the tank (1) and the radiation shield (2) and the distance between the radiation shield (2) and the outer wall member (3) are made larger than the other portions, respectively, and this distance is large. An opening (4) is formed in the outer wall member (3) on the side, and the refrigerator (6) is fitted from the outside of the outer wall member (3) through the opening (4). In the operating state, the tank (1) and the outer wall member (3)
A vacuum state is maintained between and.

【0026】一方、冷凍機(6)は、図6に示すように
予冷冷凍機(7)とJ−T冷凍機(16)とを組み合わ
せた冷凍機で構成されている。上記予冷冷凍機(7)
は、G−M(ギフォード・マクマホン)サイクルの冷凍
機で構成されていて、J−T冷凍機(16)におけるヘ
リウムガス(冷媒ガス)を予冷するためにヘリウムガス
を圧縮及び膨張させる。この冷凍機(7)は図外の予冷
用圧縮機と、外壁部材(3)の上側壁に取り付けられた
膨張機(8)とを閉回路に接続してなる。上記膨張機
(8)は、外壁部材(3)の外部に配置される密閉円筒
状のケース(9)と、該ケース(9)に連設された大小
2段構造のシリンダ(10)とを有する。上記ケース
(9)には上記予冷用圧縮機の吐出側に接続される高圧
ガス入口(11)と、同吸込側に接続される低圧ガス出
口(12)とが開口されている。一方、シリンダ(1
0)は外壁部材(3)の上側壁を貫通してその内部に延
びており、その大径部(10a)の先端部は所定温度レ
ベルに冷却保持される第1ヒートステーション(13)
に、また小径部(10b)の先端部は上記第1ヒートス
テーション(13)よりも低い温度レベルに冷却保持さ
れる第2ヒートステーション(14)にそれぞれ形成さ
れている。(15)はシリンダ(10)の大径部(10
a)基端部に一体に形成された取付フランジで、外壁部
材(3)の開口(4)を外部から気密状にシールして閉
塞するものである。
On the other hand, the refrigerator (6) is composed of a combination of a pre-cooling refrigerator (7) and a JT refrigerator (16) as shown in FIG. The above pre-cooling refrigerator (7)
Is composed of a GM (Gifford McMahon) cycle refrigerator, and compresses and expands the helium gas in order to precool the helium gas (refrigerant gas) in the JT refrigerator (16). This refrigerator (7) comprises a pre-cooling compressor (not shown) and an expander (8) attached to the upper wall of the outer wall member (3) connected in a closed circuit. The expander (8) includes a closed cylindrical case (9) arranged outside the outer wall member (3), and a large and small two-stage structure cylinder (10) connected to the case (9). Have. A high-pressure gas inlet (11) connected to the discharge side of the pre-cooling compressor and a low-pressure gas outlet (12) connected to the suction side of the case (9) are opened. Meanwhile, the cylinder (1
No. 0) penetrates the upper wall of the outer wall member (3) and extends to the inside thereof, and the tip of the large diameter portion (10a) is cooled and held at a predetermined temperature level in the first heat station (13).
Further, the tip of the small diameter portion (10b) is formed in the second heat station (14) which is cooled and held at a temperature level lower than that of the first heat station (13). (15) is the large diameter part (10
a) A mounting flange integrally formed at the base end portion, which seals and closes the opening (4) of the outer wall member (3) from the outside in an airtight manner.

【0027】すなわち、ここでは図示しないが、シリン
ダ(10)内には、上記各ヒートステーション(1
3),(14)に対応する位置にそれぞれ膨張空間を区
画形成するフリータイプのディスプレーサ(置換器)が
往復動可能に嵌挿されている。一方、上記ケース(9)
内には、回転する毎に開閉するロータリバルブと、該ロ
ータリバルブを駆動するバルブモータとが収容されてい
る。ロータリバルブは、上記高圧ガス入口(11)から
流入したヘリウムガスを上記シリンダ(10)内の各膨
張空間に供給し、又は各膨張空間内で膨張したヘリウム
ガスを低圧ガス出口(12)から排出するように切り換
わる。そして、このロータリバルブの開閉により高圧ヘ
リウムガスをシリンダ(10)内の各膨張空間でサイモ
ン膨張させて、その膨張に伴う温度降下により極低温レ
ベルの寒冷を発生させ、その寒冷をシリンダ(10)に
おける第1及び第2ヒートステーション(13),(1
4)にて保持する。つまり、予冷冷凍機(7)では、圧
縮機から吐出された高圧のヘリウムガスを膨張機(8)
に供給し、その膨張機(8)での断熱膨張によりヒート
ステーション(13),(14)の温度を低下させて、
J−T冷凍機(16)における後述の予冷器(22),
(24)を予冷するとともに、膨張した低圧ヘリウムガ
スを圧縮機に戻して再圧縮するように構成されている。
尚、上記シリンダ(10)の第1ヒートステーション
(13)には上記ヘリウムタンク(1)周りの輻射シー
ルド(2)が伝熱可能に支持されている。
That is, although not shown here, in the cylinder (10), each heat station (1
Free-type displacers (replacers) that partition and form expansion spaces are reciprocally fitted at positions corresponding to 3) and 14). On the other hand, case (9) above
A rotary valve that opens and closes each time it rotates and a valve motor that drives the rotary valve are housed therein. The rotary valve supplies the helium gas flowing in from the high pressure gas inlet (11) to each expansion space in the cylinder (10) or discharges the helium gas expanded in each expansion space from the low pressure gas outlet (12). To switch to. Then, by opening and closing this rotary valve, the high-pressure helium gas is expanded by Simon in each expansion space in the cylinder (10), and a temperature drop due to the expansion causes a cryogenic level of cold to be generated. First and second heat stations (13), (1
Hold in 4). That is, in the pre-cooling refrigerator (7), the high-pressure helium gas discharged from the compressor is used for the expander (8).
The temperature of the heat stations (13) and (14) is lowered by adiabatic expansion of the expander (8),
A pre-cooler (22) described later in the J-T refrigerator (16),
(24) is pre-cooled, and the expanded low-pressure helium gas is returned to the compressor and re-compressed.
A radiation shield (2) around the helium tank (1) is supported by the first heat station (13) of the cylinder (10) so as to be able to transfer heat.

【0028】一方、上記J−T冷凍機(16)は、約4
Kレベルの寒冷を発生させるためにヘリウムガスを圧縮
して膨張させる冷凍機であって、ヘリウムガスを圧縮す
るJ−T圧縮機(図示せず)と、その圧縮されたヘリウ
ムガスをジュール・トムソン膨張させる膨張機(17)
とを備えている。この膨張機(17)は上記予冷冷凍機
(7)における膨張機(8)の取付フランジ(15)に
一体に設けられるもので(図1及び図2参照)、第1〜
第3のJ−T熱交換器(18)〜(20)を備えてい
る。この各J−T熱交換器(18)〜(20)は1次側
をそれぞれ通過するヘリウムガス間で互いに熱交換させ
るもので、第1J−T熱交換器(18)の1次側はJ−
T圧縮機の吐出側に接続されている。また、第1及び第
2のJ−T熱交換器(18),(19)の各1次側同士
はコンタミネーション除去用の吸着器(21)、及び上
記予冷冷凍機(7)における膨張機(8)の第1ヒート
ステーション(13)外周に配置した第1予冷器(2
2)を介して接続されている。同様に、第2及び第3J
−T熱交換器(19),(20)の各1次側同士は吸着
器(23)、及び膨張機(8)の第2ヒートステーショ
ン(14)外周に配置した第2予冷器(24)を介して
接続されている。さらに、上記第3J−T熱交換器(2
0)の1次側は吸着器(25)を介して高圧のヘリウム
ガスをジュール・トムソン膨張させるJ−T弁(26)
に接続されている。このJ−T弁(26)は外壁部材
(3)外から操作ロッド(26a)によって開度が調整
される。図2に示す如く、上記J−T弁(26)は、ス
テンレス鋼製の管からなる液冷媒配管としての液体ヘリ
ウム戻し配管(28)を介してヘリウムタンク(1)内
に連通されている。また、このヘリウムタンク(1)内
は、同様のステンレス鋼管からなるガス冷媒配管として
のヘリウムガス吸入配管(29)を介して上記第3J−
T熱交換器(20)の2次側に接続されている。そし
て、この第3J−T熱交換器(20)の2次側は第2及
び第1J−T熱交換器(19),(18)の各2次側を
経て上記J−T圧縮機の吸込側に接続されている。
On the other hand, the JT refrigerator (16) has about 4
A refrigerator that compresses and expands helium gas in order to generate K-level cold, and a JT compressor (not shown) that compresses helium gas, and the compressed helium gas used by Joule Thomson. Expander to expand (17)
It has and. The expander (17) is provided integrally with the mounting flange (15) of the expander (8) of the pre-cooling refrigerator (7) (see FIGS. 1 and 2).
A third JT heat exchanger (18) to (20) is provided. The respective J-T heat exchangers (18) to (20) are for exchanging heat with each other between the helium gases passing through the primary side, and the primary side of the first J-T heat exchanger (18) is J −
It is connected to the discharge side of the T compressor. The primary side of each of the first and second JT heat exchangers (18) and (19) is an adsorber (21) for removing contamination, and an expander in the precooling refrigerator (7). The first precooler (2) arranged on the outer periphery of the first heat station (13) of (8)
2) is connected. Similarly, the second and third J
Each primary side of the -T heat exchangers (19), (20) is an adsorber (23), and a second precooler (24) arranged on the outer periphery of the second heat station (14) of the expander (8). Connected through. Further, the third JT heat exchanger (2
The primary side of (0) is a JT valve (26) that expands high-pressure helium gas by Joule-Thomson through an adsorber (25).
It is connected to the. The opening of the J-T valve (26) is adjusted from the outside of the outer wall member (3) by the operation rod (26a). As shown in FIG. 2, the JT valve (26) is connected to the helium tank (1) through a liquid helium return pipe (28) as a liquid refrigerant pipe made of a stainless steel pipe. In addition, the inside of the helium tank (1) is connected to the above-mentioned third J- via a helium gas suction pipe (29) as a gas refrigerant pipe made of the same stainless steel pipe.
It is connected to the secondary side of the T heat exchanger (20). Then, the secondary side of the third J-T heat exchanger (20) passes through the secondary sides of the second and first J-T heat exchangers (19), (18), and then the suction of the J-T compressor. Connected to the side.

【0029】すなわち、J−T冷凍機(16)において
は、冷媒回路の一部が液体ヘリウム戻し配管(28)及
びヘリウムガス吸入配管(29)を介してヘリウムタン
ク(1)内に開放されており、タンク(1)内で蒸発し
たヘリウムガスをガス吸入配管(29)から冷媒回路に
吸い込んで膨張機(17)の第3〜第1J−T熱交換器
(20)〜(18)の各2次側を通してJ−T圧縮機に
吸入圧縮する。また、このJ−T圧縮機により圧縮され
た高圧ヘリウムガスを膨張機(17)の第1〜第3のJ
−T熱交換器(18)〜(20)において、圧縮機側に
向かう低温低圧のヘリウムガスと熱交換させるととも
に、第1及び第2予冷器(22),(24)でそれぞれ
膨張機(8)の第1及び第2ヒートステーション(1
3),(14)で冷却した後、J−T弁(26)でジュ
ール・トムソン膨張させて約4Kの液状態のヘリウムと
なし、この液体ヘリウムを液体ヘリウム戻し配管(2
8)を経由してタンク(1)内に戻すようになされてい
る。
That is, in the JT refrigerator (16), a part of the refrigerant circuit is opened into the helium tank (1) through the liquid helium return pipe (28) and the helium gas suction pipe (29). Each of the third to first JT heat exchangers (20) to (18) of the expander (17) by sucking the helium gas evaporated in the tank (1) into the refrigerant circuit from the gas suction pipe (29). Intake compression through the secondary side into the JT compressor. In addition, the high-pressure helium gas compressed by the JT compressor is used for the first to the third J of the expander (17).
In the -T heat exchangers (18) to (20), heat is exchanged with the low-temperature and low-pressure helium gas toward the compressor side, and the expander (8) is respectively used in the first and second precoolers (22) and (24). ) First and second heat stations (1
After cooling by 3) and (14), the JT valve (26) expands it by Joule-Thomson to obtain liquid helium of about 4K, and this liquid helium is returned to the liquid helium return pipe (2).
It is designed to be returned to the tank (1) via 8).

【0030】図2に示すように、上記液体ヘリウム戻し
配管(28)及びヘリウムガス吸入配管(29)はいず
れもヘリウムタンク(1)の外側部分でタンク側配管
(30)と冷凍機側配管(32)との2つに分割されて
いる。
As shown in FIG. 2, the liquid helium return pipe (28) and the helium gas suction pipe (29) are both outside of the helium tank (1) and are connected to the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (30). 32) and 32).

【0031】すなわち、ヘリウムタンク(1)内の上壁
部には2本のタンク側配管(30),(30)が左右に
並んで吊下げ支持され、この各配管(30)の下端部は
タンク(1)内に開口され、他端部はタンク(1)の冷
凍機(6)側の上壁を貫通してその外部に延びている。
一方、J−T冷凍機(16)には左右1対の冷凍機側配
管(32),(32)がそれぞれ上記タンク側配管(3
0),(30)に対応して突設されている。この両冷凍
機側配管(32),(32)はそれぞれJ−T冷凍機
(16)のJ−T弁(26)及び第3J−T熱交換器
(20)の2次側に連通されるもので、いずれもヘリウ
ムタンク(1)側に延びている。
That is, two tank-side pipes (30) and (30) are hung and supported side by side on the upper wall of the helium tank (1), and the lower end of each pipe (30) is It is opened in the tank (1) and the other end thereof penetrates the upper wall of the tank (1) on the refrigerator (6) side and extends to the outside thereof.
On the other hand, in the JT refrigerator (16), a pair of left and right refrigerator side pipes (32) and (32) are respectively provided on the tank side pipe (3).
It is provided so as to correspond to 0) and (30). The two refrigerator side pipes (32), (32) are respectively connected to the JT valve (26) of the JT refrigerator (16) and the secondary side of the third JT heat exchanger (20). All of them extend to the helium tank (1) side.

【0032】図1及び図3に示すように、上記各タンク
側配管(30)の先端部外周には円筒状のタンク側シー
ル部材(31)が、また各冷凍機側配管(32)の先端
部外周には同形状の冷凍機側シール部材(33)がそれ
ぞれ溶接により気密シール状態で取り付けられ、これら
シール部材(31),(33)は後述のジョイント(3
4)の嵌合孔(35)内に嵌合可能とされている。図3
に拡大詳示するように、タンク側シール部材(31)の
外周には複数(図では5つ)のシール用突条(31
a),(31a),…が、また冷凍機側シール部材(3
3)の外周には同数のシール用突条(33a),(33
a),…がそれぞれ中心線方向に間隔をあけて並んで形
成されている。これら各突条(31a),(33a)
は、ジョイント(34)の縮小時に嵌合孔(35)のコ
ーティング層(36)に食い込んで密着するものであ
る。
As shown in FIGS. 1 and 3, a cylindrical tank-side sealing member (31) is provided on the outer periphery of the tip of each tank-side pipe (30), and the tip of each refrigerator-side pipe (32). Refrigerator-side seal members (33) of the same shape are attached to the outer periphery of the parts in a hermetically sealed state by welding. These seal members (31) and (33) are joints (3
It is possible to fit in the fitting hole (35) of 4). Figure 3
As shown in the enlarged view in FIG. 3, a plurality of (5 in the figure) sealing projections (31) are provided on the outer periphery of the tank-side sealing member (31).
a), (31a), ... Also, the refrigerator side seal member (3
3), the same number of sealing ridges (33a), (33)
a), ... Are formed side by side with an interval in the center line direction. Each of these ridges (31a), (33a)
When the joint (34) is contracted, it digs into and adheres to the coating layer (36) of the fitting hole (35).

【0033】上記液体ヘリウム戻し配管(28)及びヘ
リウムガス吸入配管(29)の各々のタンク側配管(3
0)と冷凍機側配管(32)とはそれぞれ図外の係止手
段により冷凍機(6)側に係止されるジョイント(3
4),(34)によって分離可能に接続される。この各
ジョイント(34)は嵌合孔(35)を有する円筒状の
もので、この嵌合孔(35)内部にタンク側配管(3
0)及び冷凍機側配管(32)の各シール部材(3
1),(33)を略半分ずつ中心線方向から嵌合するこ
とで、タンク側配管(30)及び冷凍機側配管(32)
をヘリウムの流通可能に接続する。そして、この各ジョ
イント(34)での配管(30),(32)同士の接続
により、液体ヘリウム戻し配管(28)及びヘリウムガ
ス吸入配管(29)がそれぞれ接続状態となるようにな
されている。
Tank side pipes (3) of the liquid helium return pipe (28) and the helium gas suction pipe (29)
0) and the refrigerator side pipe (32) are respectively locked to the refrigerator (6) side by locking means (not shown).
4) and (34) are separably connected. Each of the joints (34) has a cylindrical shape having a fitting hole (35), and the tank side pipe (3) is provided inside the fitting hole (35).
0) and each seal member (3) of the refrigerator side pipe (32)
The tank-side pipe (30) and the refrigerator-side pipe (32) are fitted by fitting 1) and (33) approximately half each from the center line direction.
To connect helium in a flowable manner. The liquid helium return pipe (28) and the helium gas suction pipe (29) are connected to each other by connecting the pipes (30) and (32) to each other at the joints (34).

【0034】上記ジョイント(34)は、昇温により嵌
合孔(35)からタンク側配管(30)及び冷凍機側配
管(32)の各先端のシール部材(31),(33)を
取外し可能に拡張する一方、Mf変態点以下への降温に
より嵌合孔(35)に両シール部材(31),(33)
をシール状態で締結可能に縮小する可逆性形状記憶効果
又は2方向形状記憶効果を有する例えばニッケル・チタ
ン形状記憶合金からなる。また、嵌合孔(35)の内面
には銅等の軟質金属からなるコーティング層(36)が
形成され、このコーティング層(36)は、ジョイント
(34)が冷却されて縮小したときにタンク側配管(3
0)及び冷凍機側配管(32)の各先端のシール部材
(31),(33)外周に密着するように変形する。
In the joint (34), the seal members (31), (33) at the respective ends of the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) can be removed from the fitting hole (35) by the temperature rise. On the other hand, the sealing members (31) and (33) are inserted into the fitting hole (35) by lowering the temperature below the Mf transformation point.
Is made of, for example, nickel-titanium shape memory alloy having a reversible shape memory effect or a two-way shape memory effect of shrinking in a sealable state. Further, a coating layer (36) made of a soft metal such as copper is formed on the inner surface of the fitting hole (35), and the coating layer (36) is on the tank side when the joint (34) is cooled and contracted. Piping (3
0) and the pipes (32) on the refrigerator side are deformed so as to come into close contact with the outer peripheries of the seal members (31), (33).

【0035】上記各ジョイント(34)の外周にはジョ
イント(34)を加熱する加熱手段としてのバンドヒー
タ(37)が巻き付けられている。このヒータ(37)
にはヒータ(37)に給電する給電手段(38)が接続
され、この給電手段(38)は上記予冷冷凍機(7)に
おける膨張機(8)の取付フランジ(15)に取り付け
た電源端子(39)を備えている。
A band heater (37) as a heating means for heating the joint (34) is wound around the outer periphery of each joint (34). This heater (37)
A power supply means (38) for supplying power to the heater (37) is connected to the power supply terminal (38), which is mounted on the mounting flange (15) of the expander (8) of the pre-cooling refrigerator (7). 39).

【0036】次に、上記実施例の作用について説明す
る。超電導磁石の利用状態では、その超電導磁石の超電
導コイル(Cs )がヘリウムタンク(1)内の液体ヘリ
ウムにより臨界温度以下に冷却保持される。また、2本
のタンク側配管(30),(30)と冷凍機側配管(3
2),(32)とはそれぞれジョイント(34),(3
4)で接続されて(図5参照)、連続した液体ヘリウム
戻し配管(28)及びヘリウムガス吸入配管(29)を
構成しており、上記ヘリウムタンク(1)内で蒸発した
ヘリウムガスは、タンク(1)内に開口するヘリウムガ
ス吸入配管(29)から吸い込まれてJ−T冷凍機(1
6)の冷媒回路に供給され、そこで圧縮及び膨張により
冷却されて液化する。この液体ヘリウムは液体ヘリウム
戻し配管(28)を経てタンク(1)内に戻される。こ
のことによって、タンク(1)内に液体ヘリウムが所定
量以上貯溜されて、超電導コイル(Cs )が臨界温度以
下に安定して冷却される。
Next, the operation of the above embodiment will be described. In the utilization state of the superconducting magnet, the superconducting coil (Cs) of the superconducting magnet is cooled and maintained below the critical temperature by the liquid helium in the helium tank (1). Also, two tank side pipes (30) and (30) and a refrigerator side pipe (3
2) and (32) are joints (34) and (3), respectively.
4) is connected (see FIG. 5) to form a continuous liquid helium return pipe (28) and a helium gas suction pipe (29), and the helium gas evaporated in the helium tank (1) is stored in the tank. The JT refrigerator (1) is sucked in from the helium gas suction pipe (29) opening in (1).
It is supplied to the refrigerant circuit of 6), where it is cooled and liquefied by compression and expansion. The liquid helium is returned to the tank (1) through the liquid helium return pipe (28). As a result, the liquid helium is stored in the tank (1) in a predetermined amount or more, and the superconducting coil (Cs) is stably cooled below the critical temperature.

【0037】冷凍機(6)の運転についてさらに詳しく
説明すると、その定常運転状態では、予冷冷凍機(7)
における圧縮機から供給された高圧のヘリウムガスが膨
張機(8)の各膨張空間で膨張し、このガスの膨張に伴
う温度降下によりシリンダ(10)の第1ヒートステー
ション(13)が所定温度レベルに、また第2ヒートス
テーション(14)が第1ヒートステーション(13)
よりも低い温度レベルにそれぞれ冷却される。上記第1
ヒートステーション(13)の冷却に伴い、該ヒートス
テーション(7)に伝熱可能に接触している輻射シール
ド(2)の温度が降下し、このことでヘリウムタンク
(1)内が外部から輻射シールドされる。
The operation of the refrigerator (6) will be described in more detail. In the steady operation state, the pre-cooling refrigerator (7) is used.
The high-pressure helium gas supplied from the compressor in the above expands in each expansion space of the expander (8), and the temperature drop accompanying the expansion of this gas causes the first heat station (13) of the cylinder (10) to reach a predetermined temperature level. And the second heat station (14) is the first heat station (13)
Each is cooled to a lower temperature level. First above
With the cooling of the heat station (13), the temperature of the radiation shield (2) that is in contact with the heat station (7) so as to be able to transfer heat drops, which causes the inside of the helium tank (1) to be shielded from the outside. To be done.

【0038】一方、これと同時に、J−T冷凍機(1
6)では、圧縮機から吐出された高圧のヘリウムガスが
第1J−T熱交換器(18)の1次側に入り、そこで圧
縮機側へ向かう2次側の低圧ヘリウムガスと熱交換され
て常温300Kから約50Kまで冷却され、その後、上
記膨張機(8)の第1ヒートステーション(13)外周
の第1予冷器(22)に入ってさらに冷却される。この
冷却されたガスは第2J−T熱交換器(19)の1次側
に入って、同様に2次側の低圧ヘリウムガスとの熱交換
により約15Kまで冷却された後、膨張機(8)の第2
ヒートステーション(14)外周の第2予冷器(24)
に入ってさらに冷却される。この後、ガスは第3J−T
熱交換器(20)の1次側に入って2次側の低圧ヘリウ
ムガスとの熱交換によりさらに冷却され、しかる後にJ
−T弁(26)に至る。このJ−T弁(26)では高圧
ヘリウムガスは絞られてジュール・トムソン膨張し、約
4Kの液状態のヘリウムとなり、この液体ヘリウムは液
体ヘリウム戻し配管(28)を経由してタンク(1)へ
供給される。また、タンク(1)内で蒸発したヘリウム
ガスは、ヘリウムガス吸入配管(29)を介して第3J
−T熱交換器(20)の2次側に吸入され、第2及び第
1J−T熱交換器(19),(18)の各2次側を経由
して圧縮機に吸い込まれて圧縮される。
On the other hand, at the same time, the JT refrigerator (1
In 6), the high-pressure helium gas discharged from the compressor enters the primary side of the first JT heat exchanger (18) and is heat-exchanged with the low-pressure helium gas on the secondary side toward the compressor side. It is cooled from room temperature 300K to about 50K, and then enters the first precooler (22) on the outer periphery of the first heat station (13) of the expander (8) and is further cooled. This cooled gas enters the primary side of the second J-T heat exchanger (19) and is cooled to about 15 K by heat exchange with the low pressure helium gas on the secondary side, and then expanded (8 ) Second
The second precooler (24) around the heat station (14)
It enters and is cooled further. After this, the gas is the third JT
It enters the primary side of the heat exchanger (20) and is further cooled by heat exchange with the low pressure helium gas on the secondary side.
To the T valve (26). In this JT valve (26), the high-pressure helium gas is throttled and expanded by Joule-Thomson into liquid helium of about 4K, and this liquid helium is passed through the liquid helium return pipe (28) to the tank (1). Is supplied to. Further, the helium gas evaporated in the tank (1) passes through the helium gas suction pipe (29) to the third J
It is sucked into the secondary side of the -T heat exchanger (20), sucked into the compressor via the secondary sides of the second and first J-T heat exchangers (19), (18), and compressed. It

【0039】そして、上記冷凍機(6)を点検や修理等
で外壁部材(3)から取り外すときには、取付フランジ
(15)の外壁部材(3)との接合を取り外す。また、
これと前後して、液体ヘリウム戻し配管(28)及びヘ
リウムガス吸入配管(29)の各々におけるタンク側配
管(30)と冷凍機側配管(32)との接続を切り離す
ために、上記取付フランジ(15)の電源端子(39)
に電源を接続して、給電手段(38)を介してヒータ
(37)に給電し、該ヒータ(37)の発熱により各ジ
ョイント(34)を例えば100℃程度に加熱昇温させ
る。各ジョイント(34)は、昇温により拡張し降温に
より縮小する特性を持つ形状記憶合金製であるので、図
4に示すように、その昇温に伴いジョイント(34)が
拡開して内部の嵌合孔(35)が大径になり、嵌合孔
(35)からタンク側配管(30)及び冷凍機側配管
(32)の各先端のシール部材(31),(33)がそ
れぞれ抜出し可能となる。この状態で、冷凍機(6)を
外壁部材(3)の開口(4)から抜き出すと、それに伴
い各タンク側配管(30)と各冷凍機側配管(32)と
が自動的に分離される。
When removing the refrigerator (6) from the outer wall member (3) for inspection or repair, the joint of the mounting flange (15) with the outer wall member (3) is removed. Also,
Before and after this, in order to disconnect the connection between the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) in each of the liquid helium return pipe (28) and the helium gas suction pipe (29), the above-mentioned mounting flange ( 15) Power supply terminal (39)
A power source is connected to the heater (37) to supply power to the heater (37) through the power supply means (38), and the heat generated by the heater (37) heats and raises each joint (34) to, for example, about 100 ° C. Since each joint (34) is made of a shape memory alloy that has the characteristic of expanding when the temperature rises and contracting when the temperature falls, as shown in FIG. 4, the joint (34) expands as the temperature rises, and The fitting hole (35) has a large diameter, and the sealing members (31) and (33) at the respective tips of the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) can be extracted from the fitting hole (35). Becomes In this state, when the refrigerator (6) is pulled out from the opening (4) of the outer wall member (3), the tank side pipes (30) and the refrigerator side pipes (32) are automatically separated accordingly. .

【0040】このようにして外壁部材(3)から取り外
した冷凍機(6)を点検ないし修理した後に再度取り付
けるときには、各ジョイント(34)及び各ヒータ(3
7)の組合せを新しいものと交換しておき、上記と同様
にヒータ(37)への給電により各ジョイント(34)
を拡開させた状態で、外壁部材(3)の開口(4)に冷
凍機(6)を嵌挿する。このとき、上記各ジョイント
(34)は拡開状態にあるので、冷凍機(6)の嵌挿作
業に伴い、ジョイント(34)の嵌合孔(35)にタン
ク側配管(30)及び冷凍機側配管(32)の各先端の
シール部材(31),(33)がスムーズに嵌合する。
この状態でヒータ(37)への給電を停止すると、各ジ
ョイント(34)はタンク(1)内の液体ヘリウムから
の冷却を受けてMf変態点以下で嵌合孔(35)の内径
が小さくなるように縮小し、その嵌合孔(35)にタン
ク側配管(30)及び冷凍機側配管(32)の各シール
部材(31),(33)がシール状態で締結され、元の
ように各タンク側配管(30)と各冷凍機側配管(3
2)とがヘリウム流通可能に接続される。この状態で
は、図5に示すように、ジョイント(34)が縮小する
と、シール部材(31),(33)外周の各シール用突
条(31a),(33a)がジョイント(34)の嵌合
孔(35)内面の軟質金属からなるコーティング層(3
6)に食い込んで密着し、該コーティング層(36)が
シール部材(31),(33)外周に密着するように変
形することとなり、このことでジョイント(34)のシ
ール性を向上させることができる。
When the refrigerator (6) thus removed from the outer wall member (3) is inspected or repaired and then attached again, each joint (34) and each heater (3)
The combination of 7) is exchanged with a new one, and each joint (34) is supplied by supplying power to the heater (37) as described above.
The refrigerator (6) is inserted into the opening (4) of the outer wall member (3) in the state where the refrigerator is expanded. At this time, since the joints (34) are in the expanded state, the tank side pipe (30) and the refrigerator are fitted into the fitting hole (35) of the joint (34) as the refrigerator (6) is fitted and inserted. The sealing members (31) and (33) at the respective ends of the side pipe (32) are fitted smoothly.
When the power supply to the heater (37) is stopped in this state, each joint (34) is cooled by the liquid helium in the tank (1) and the inner diameter of the fitting hole (35) becomes smaller at the Mf transformation point or lower. The sealing members (31) and (33) of the tank-side pipe (30) and the refrigerator-side pipe (32) are fastened in a sealed state to the fitting hole (35), and each of Tank side piping (30) and each refrigerator side piping (3
2) and are connected so that helium can flow. In this state, as shown in FIG. 5, when the joint (34) contracts, the sealing ridges (31a) and (33a) on the outer circumferences of the seal members (31) and (33) fit into the joint (34). Coating layer (3) made of a soft metal on the inner surface of the hole (35)
6) Bites into and adheres to 6), and the coating layer (36) is deformed so as to adhere to the outer periphery of the seal members (31) and (33), which improves the sealability of the joint (34). it can.

【0041】したがって、この実施例では、タンク側及
び冷凍機側配管(30),(32)同士の接続及び分離
に当たりタンク(1)周囲の外壁部材(3)を破壊する
必要がなく、冷凍機(6)の点検や修理作業を容易にか
つ低コストで行うことができる。
Therefore, in this embodiment, it is not necessary to destroy the outer wall member (3) around the tank (1) when connecting and disconnecting the tank-side and refrigerator-side pipes (30) and (32), and the refrigerator is not required. The inspection and repair work of (6) can be performed easily and at low cost.

【0042】また、ジョイント(34)をその外周に巻
き付けたバンドヒータ(37)で加熱するので、ジョイ
ント(34)の加熱に好適な加熱手段が容易に得られ
る。
Further, since the joint (34) is heated by the band heater (37) wound around the outer periphery thereof, a heating means suitable for heating the joint (34) can be easily obtained.

【0043】尚、予め上記各ジョイント(34)を冷凍
機側配管(32)の先端部に、嵌合孔(35)の一部に
該冷凍機側配管(32)のシール部材(33)を嵌合し
た状態で係止固定しておくようにしてもよい。こうする
ことで、そのジョイント(34)を常に冷凍機側配管
(32)と一体的に取り扱うことができ、冷凍機(6)
の取外し時や組付時にジョイント(34)が脱落するこ
とがなく、両配管(30),(32)の接続及び分離を
容易に行うことができる。また、各ジョイント(34)
が冷凍機側配管(32)の先端に設けられ、かつこのジ
ョイント(34)加熱用のヒータ(37)への電源端子
(39)が冷凍機(6)の取付フランジ(15)に取り
付けられているので、冷凍機(6)を取り外す都度、こ
れらをも併せて一体的に取り外すことができ、その点検
や修理が容易となる。しかも、ジョイント(34)が冷
凍機側配管(32)の先端に配置されていることで、冷
凍機(6)の取外しの際、このジョイント(34)を新
しいものに容易に交換することもでき、ジョイント(3
4)のシール効果を安定して得ることができる利点があ
る。
The joints (34) are attached to the tip of the refrigerator side pipe (32) and the seal member (33) of the refrigerator side pipe (32) is provided in a part of the fitting hole (35) in advance. You may make it lock-fix in the fitted state. By doing so, the joint (34) can always be handled integrally with the refrigerator side pipe (32), and the refrigerator (6)
The joint (34) does not fall off during removal or assembly, and the pipes (30) and (32) can be easily connected and separated. Also, each joint (34)
Is provided at the tip of the refrigerator side pipe (32), and the power supply terminal (39) to the heater (37) for heating the joint (34) is attached to the attachment flange (15) of the refrigerator (6). Therefore, each time the refrigerator (6) is removed, these can be integrally removed together, and the inspection and repair thereof can be facilitated. Moreover, since the joint (34) is arranged at the tip of the refrigerator side pipe (32), the joint (34) can be easily replaced with a new one when the refrigerator (6) is removed. , Joint (3
There is an advantage that the sealing effect of 4) can be stably obtained.

【0044】[0044]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よると、液化冷媒を貯溜するタンクと、極低温レベルの
寒冷を発生させる冷凍機とを備え、タンク内で蒸発した
冷媒ガスを配管を介して冷凍機の冷媒回路に取り込んで
圧縮及び膨張により冷却して再液化し、この液化した冷
媒を配管を介してタンク内に戻すようにした極低温冷凍
装置において、上記冷媒配管をタンク外部でタンク側配
管と冷凍機側配管とに分割し、加熱昇温により拡開して
タンク側及び冷凍機側の各配管の端部を抜出し可能とす
る一方、冷却降温により縮小して両配管を保持する特性
を持つ形状記憶合金製のジョイントを設け、さらにこの
ジョイントを加熱する加熱手段を設け、この加熱手段に
対する給電をコントロールするようにしたことにより、
点検や修理等のために冷凍機を取り外す際に、タンク側
及び冷凍機側配管同士の接続及び分離をタンク周囲の壁
部分を破壊することなく行うことができ、冷凍機の点検
や修理作業の容易化及びコストダウン化を図ることがで
きる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the tank for storing the liquefied refrigerant and the refrigerator for generating the cryogenic temperature are provided, and the refrigerant gas evaporated in the tank is piped. In a cryogenic refrigeration system in which the refrigerant pipe is taken into the refrigerant circuit of the refrigerator and cooled by compression and expansion to be reliquefied, and the liquefied refrigerant is returned to the tank through a pipe, The tank side pipe and the refrigerator side pipe are divided by and the ends of each pipe on the tank side and the refrigerator side can be extracted by expanding by heating and heating, while both pipes are reduced by cooling and cooling. By providing a joint made of a shape memory alloy having a holding property, further providing a heating means for heating this joint, and by controlling the power supply to this heating means,
When removing the refrigerator for inspection or repair, the tank side and refrigerator side pipes can be connected and disconnected without destroying the wall part around the tank. It is possible to achieve simplification and cost reduction.

【0045】請求項2の発明によれば、ジョイントを冷
凍機側配管の先端部に対し、嵌合孔の一部に該冷凍機側
配管の先端部を嵌合した状態で係止固定するようにした
ことにより、ジョイントを常に冷凍機側配管ないし冷凍
機と一体的に取り扱うことができ、冷凍機の取外し時や
組付時にジョイントを脱落することなく、両配管の接続
及び分離を容易に行うことができるとともに、冷凍機の
取外しに併せてジョイントをも取り外して、その点検や
修理を容易に行うことができ、さらにはジョイントを新
しいものに容易に交換することもでき、ジョイントのシ
ール効果を安定して得ることができる。
According to the second aspect of the invention, the joint is locked and fixed to the tip of the refrigerator side pipe while the tip of the refrigerator side pipe is fitted in a part of the fitting hole. By doing so, the joint can always be handled integrally with the refrigerator side piping or the refrigerator, and it is easy to connect and disconnect both pipes without dropping the joint when removing or assembling the refrigerator. In addition to removing the refrigerator, the joint can also be removed for easy inspection and repair, and the joint can be easily replaced with a new one to improve the joint sealing effect. It can be stably obtained.

【0046】請求項3の発明によると、ジョイントの嵌
合孔内面に銅等の軟質金属からなるコーティング層を形
成する一方、冷凍機側配管及びタンク側配管の各先端部
外周にはそれぞれジョイントの嵌合孔内に嵌合可能な円
筒状シール部材を取り付け、このシール部材の外周に、
ジョイントの縮小時に嵌合孔のコーティング層に食い込
んで密着する少なくとも1つのシール用突条を設けたこ
とにより、コーティング層をシール部材外周に密着する
ように変形させてジョイントのシール性を向上させるこ
とができる。
According to the third aspect of the present invention, the coating layer made of a soft metal such as copper is formed on the inner surface of the fitting hole of the joint, while the joints are formed on the outer circumferences of the respective tip portions of the refrigerator side pipe and the tank side pipe. Attach a cylindrical seal member that can be fitted in the fitting hole, and on the outer periphery of this seal member,
By providing at least one sealing ridge that bites into and adheres to the coating layer of the fitting hole when the joint is reduced, the coating layer is deformed so as to closely adhere to the outer periphery of the seal member, and the joint sealability is improved. You can

【0047】請求項4の発明によれば、加熱手段をジョ
イント外周に巻き付けられたバンドヒータとしたことに
より、ジョイントの加熱に好適な加熱手段が具体的に容
易に得られる。
According to the invention of claim 4, since the heating means is a band heater wound around the outer circumference of the joint, the heating means suitable for heating the joint can be specifically and easily obtained.

【0048】請求項5の発明によると、ジョイントを構
成する形状記憶合金をニッケル・チタン形状記憶合金と
したことにより、加熱手段の加熱により膨張し、冷却に
より縮小する機能を持った形状記憶合金が具体的に容易
に得られる。
According to the invention of claim 5, the shape memory alloy forming the joint is a nickel-titanium shape memory alloy, so that a shape memory alloy having a function of expanding by heating of the heating means and contracting by cooling is provided. Specifically easily obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例における要部を拡大して示す一
部破断正面図である。
FIG. 1 is a partially cutaway front view showing an enlarged main part in an embodiment of the present invention.

【図2】実施例における極低温冷凍装置の全体構成を示
す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the overall configuration of a cryogenic refrigeration system in an example.

【図3】接合前のジョイント及びシール部材を示す斜視
図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a joint and a seal member before joining.

【図4】接合前のジョイント及びシール部材を示す断面
図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a joint and a seal member before joining.

【図5】接合後のジョイント及びシール部材を示す断面
図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a joint and a seal member after joining.

【図6】極低温冷凍装置の全体構成を示す冷媒回路図で
ある。
FIG. 6 is a refrigerant circuit diagram showing the overall configuration of a cryogenic refrigeration system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

(1) ヘリウムタンク (3) 外壁部材 (6) 冷凍機 (7) 予冷冷凍機 (16) J−T冷凍機 (28) 液体ヘリウム戻し配管(液冷媒配管) (29) ヘリウムガス吸入配管(ガス冷媒配管) (30) タンク側配管 (31),(33) シールド部材 (31a),(33a) 突条 (32) 冷凍機側配管 (34) ジョイント (35) 嵌合孔 (37) ヒータ (38) 給電手段 (CS ) 超電導コイル (1) Helium tank (3) Outer wall member (6) Refrigerator (7) Precooling refrigerator (16) JT refrigerator (28) Liquid helium return pipe (liquid refrigerant pipe) (29) Helium gas suction pipe (gas Refrigerant pipe) (30) Tank side pipe (31), (33) Shield member (31a), (33a) Protrusion (32) Refrigerator side pipe (34) Joint (35) Fitting hole (37) Heater (38 ) Power supply means (CS) Superconducting coil

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 極低温レベルの液冷媒を貯溜するタンク
(1)と、該タンク(1)に取外し可能に付設され、冷
媒回路の一部が液冷媒配管(28)及びガス冷媒配管
(29)を介してタンク(1)内に開放された冷凍機
(6)とを備え、タンク(1)内で蒸発したガス冷媒を
ガス冷媒配管(29)を介して冷凍機(6)に吸入して
圧縮及び膨張させ、その膨張による温度降下により液冷
媒を生成して液冷媒配管(28)を介してタンク(1)
内に戻すようにした極低温冷凍装置において、 上記液及びガス冷媒配管(28),(29)はそれぞれ
タンク(1)外部でタンク側配管(30)と冷凍機側配
管(32)とに分割されており、 嵌合孔(35)内部に上記タンク側配管(30)及び冷
凍機側配管(32)の各先端部を突合せ状態で嵌合して
タンク側配管(30)と冷凍機側配管(32)とを着脱
可能に接続する円筒状ジョイント(34)が設けられ、 上記ジョイント(34)は、昇温により嵌合孔(35)
からタンク側配管(30)及び冷凍機側配管(32)の
各先端部を取外し可能に拡張する一方、降温により嵌合
孔(35)にタンク側配管(30)及び冷凍機側配管
(32)の各先端部をシール状態で締結可能に縮小する
形状記憶合金からなり、 上記ジョイント(34)を加熱する加熱手段(37)
と、 上記加熱手段(37)に給電する給電手段(38)とが
設けられていることを特徴とする極低温冷凍装置。
1. A tank (1) for storing a liquid refrigerant at an extremely low temperature level, and a tank (1) detachably attached to the tank (1), wherein a part of the refrigerant circuit is a liquid refrigerant pipe (28) and a gas refrigerant pipe (29). ) And a refrigerator (6) opened in the tank (1) via the gas refrigerant pipe (29) to suck the gas refrigerant evaporated in the tank (1) into the refrigerator (6). To compress and expand, and the expansion causes a temperature drop to generate a liquid refrigerant, and the tank (1) passes through the liquid refrigerant pipe (28).
In the cryogenic refrigeration system in which the liquid and gas refrigerant pipes (28) and (29) are respectively divided into a tank side pipe (30) and a refrigerator side pipe (32) outside the tank (1). The tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe are fitted in the fitting hole (35) by fitting the respective tip portions of the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) in a butt state. A cylindrical joint (34) for detachably connecting with (32) is provided, and the joint (34) is fitted with a fitting hole (35) due to a temperature rise.
From the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32), the respective tip portions are detachably expanded, and at the same time, the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32) are inserted into the fitting hole (35) due to the temperature drop. A heating means (37) for heating the joint (34), which is made of a shape memory alloy that shrinks each of the distal end portions of the joint in a sealable state.
And a power feeding means (38) for feeding power to the heating means (37).
【請求項2】 請求項1の極低温冷凍装置において、 ジョイント(34)は冷凍機側配管(32)の先端部
に、嵌合孔(35)の一部に該冷凍機側配管(32)の
先端部を嵌合した状態で係止固定されていることを特徴
とする極低温冷凍装置。
2. The cryogenic refrigeration system according to claim 1, wherein the joint (34) is provided at the tip of the refrigerator side pipe (32), and the refrigerator side pipe (32) is provided at a part of the fitting hole (35). A cryogenic refrigerating device, wherein the distal end portion of the is locked and fixed in a fitted state.
【請求項3】 請求項1又は2の極低温冷凍装置におい
て、 ジョイント(34)の嵌合孔(35)内面には銅等の軟
質金属からなるコーティング層(36)が形成されてい
る一方、 タンク側配管(30)及び冷凍機側配管(32)の各先
端部外周にはそれぞれジョイント(34)の嵌合孔(3
5)内に嵌合可能な円筒状シール部材(31),(3
3)が取り付けられ、 上記シール部材(31),(33)の外周には、ジョイ
ント(34)の縮小時に嵌合孔(35)のコーティング
層(36)に食い込んで密着する少なくとも1つのシー
ル用突条(31a),(33a)がそれぞれ設けられて
いることを特徴とする極低温冷凍装置。
3. The cryogenic refrigerator according to claim 1, wherein a coating layer (36) made of a soft metal such as copper is formed on the inner surface of the fitting hole (35) of the joint (34). The fitting holes (3) of the joint (34) are respectively provided on the outer peripheries of the tip ends of the tank side pipe (30) and the refrigerator side pipe (32).
5) Cylindrical seal members (31), (3) that can be fitted inside
3) is attached to the outer periphery of the seal members (31) and (33) for at least one seal that bites into the coating layer (36) of the fitting hole (35) and closely adheres when the joint (34) is reduced. A cryogenic refrigeration system, characterized in that it is provided with ridges (31a), (33a), respectively.
【請求項4】 請求項1、2又は3の極低温冷凍装置に
おいて、 加熱手段(37)は、ジョイント(34)の外周に巻き
付けられたバンドヒータであることを特徴とする極低温
冷凍装置。
4. The cryogenic refrigerator according to claim 1, 2 or 3, wherein the heating means (37) is a band heater wound around the outer periphery of the joint (34).
【請求項5】 請求項1、2、3又は4の極低温冷凍装
置において、 ジョイント(34)は、ニッケル・チタン形状記憶合金
からなることを特徴とする極低温冷凍装置。
5. The cryogenic refrigerator according to claim 1, 2, 3 or 4, wherein the joint (34) is made of nickel-titanium shape memory alloy.
JP27011092A 1992-10-08 1992-10-08 Cryogenic refrigerator Withdrawn JPH06123504A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27011092A JPH06123504A (en) 1992-10-08 1992-10-08 Cryogenic refrigerator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27011092A JPH06123504A (en) 1992-10-08 1992-10-08 Cryogenic refrigerator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06123504A true JPH06123504A (en) 1994-05-06

Family

ID=17481680

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27011092A Withdrawn JPH06123504A (en) 1992-10-08 1992-10-08 Cryogenic refrigerator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06123504A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100664854B1 (en) * 2005-07-28 2007-01-04 두산중공업 주식회사 Cryogenic Cooling System

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100664854B1 (en) * 2005-07-28 2007-01-04 두산중공업 주식회사 Cryogenic Cooling System

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8671698B2 (en) Gas liquifier
EP2562489B1 (en) Cooling system and cooling method
JPH0444202A (en) Cryostat with liquefying refrigerating machine
JPS5880474A (en) Cryogenic cooling device
US4484458A (en) Apparatus for condensing liquid cryogen boil-off
JP2019078481A (en) Cryogenic system
JPH06123504A (en) Cryogenic refrigerator
JPH05332655A (en) Cryogenic refrigerator mounting device
JP3843186B2 (en) Overhaul device and overhaul method for cryogenic refrigerator
JP3669911B2 (en) Liquefied gas storage device
JP3278973B2 (en) Cryogenic refrigerator
JPS59214280A (en) Cryostat
JP2001108320A (en) Cryogenic refrigeration equipment
JPH0650618A (en) Cryogenic freezer
CN113724960B (en) Refrigerator mounting structure for low temperature system
JP3589434B2 (en) Cryogenic refrigeration equipment
CN120202386A (en) Joule-Thomson refrigerator
JPS63210572A (en) Cryogenic freezer
JP3109243B2 (en) Cryogenic refrigerator
JPH0452467A (en) Cryogenic refrigerator
CN118451287A (en) Ultra-low temperature cooling device
JPH09236340A (en) Cryogenic refrigeration equipment
JPH09236344A (en) Cryogenic refrigeration equipment
JPH09196487A (en) Cryogenic refrigerator
JPH0285653A (en) cryogenic refrigerator

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20000104