JPH06113570A - Direct driver - Google Patents
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- JPH06113570A JPH06113570A JP4260251A JP26025192A JPH06113570A JP H06113570 A JPH06113570 A JP H06113570A JP 4260251 A JP4260251 A JP 4260251A JP 26025192 A JP26025192 A JP 26025192A JP H06113570 A JPH06113570 A JP H06113570A
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- slide nut
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は各種研削盤、旋盤や搬送
機、またはプリンタ等に使用される直動装置に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motion device used in various grinders, lathes, conveyors, printers and the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】各種研削盤、旋盤や搬送機、またはプリ
ンタ等における直動システムの駆動の為に各種直動装置
が使用されている。中でも、ボールねじを利用した直動
装置は、ねじ軸とスライドナットがボールを介してころ
がり接触しているので高い伝達効率が得られる。しか
も、簡単な潤滑で高速回転に耐え、耐摩耗性も優れるこ
とから機械の高速化、メンテナンスフリーを可能とする
ものである。図4に、ボールねじを利用した直動装置を
使用した搬送機の一例を示す。搬送機10は、基台12
と、基台12の端部に形成された側板13と、基台12
の長手方向に沿って形成されるガイドレール14,14
と、ガイド16,16,16,16を介してガイドレー
ル14上を移動する平板状のスライダ18と、スライダ
18を移動させる駆動力を発生する直動装置20とから
概略構成される。搬送機としては、スライダ18にさら
にこれと連動する搬送板を設けたり、またはスライダ1
8自体を搬送板として使用する。直動装置20は、ガイ
ドレール14と平行に設けられるねじ軸22と、ねじ軸
22に設けられるスライドナット24と、スライドナッ
ト24を回転させる電磁モータ26とからなる。直動装
置20を図5を参照して詳説する。スライドナット24
は円筒状で、その中心部を軸方向にねじ軸22が貫通し
ている。スライドナット24の内部には、複数のボール
28,28,・・・が中をころがり動くボールチューブ3
0が設けられ、ボール28は、螺刻されたねじ軸22の
ボール転走溝52とボールチューブ30内を循環するよ
うになっている。スライドナット24はベアリング34
を介して回転自在に支持板36に支持されており、支持
板36はスライダ18の下面に固定されている。スライ
ダ18には電磁モータ26が固定され、電磁モータ26
はロータ32を介してスライドナット24をねじ軸22
を回転軸として回転させる。2. Description of the Related Art Various linear motion devices are used to drive linear motion systems in various grinding machines, lathes, conveyors, printers and the like. Above all, in a linear motion device using a ball screw, a high transmission efficiency can be obtained because the screw shaft and the slide nut are in rolling contact with each other via balls. Moreover, since it can withstand high speed rotation with simple lubrication and has excellent wear resistance, it enables high speed and maintenance-free operation of the machine. FIG. 4 shows an example of a conveyor using a linear motion device using a ball screw. The carrier 10 has a base 12
A side plate 13 formed at an end of the base 12, and a base 12
Guide rails 14, 14 formed along the longitudinal direction of the
And a plate-like slider 18 that moves on the guide rail 14 via the guides 16, 16, 16, and 16, and a linear motion device 20 that generates a driving force for moving the slider 18. As a carrier, a slider 18 may be further provided with a carrier plate that works together with the slider 18, or the slider 1 may be used.
8 itself is used as a carrier plate. The linear motion device 20 includes a screw shaft 22 provided in parallel with the guide rail 14, a slide nut 24 provided on the screw shaft 22, and an electromagnetic motor 26 for rotating the slide nut 24. The linear motion device 20 will be described in detail with reference to FIG. Slide nut 24
Has a cylindrical shape, and a screw shaft 22 penetrates the central portion in the axial direction. Inside the slide nut 24, a ball tube 3 in which a plurality of balls 28, 28, ...
0 is provided, and the ball 28 circulates in the ball rolling groove 52 of the threaded screw shaft 22 and the ball tube 30. Slide nut 24 is bearing 34
It is rotatably supported by the support plate 36 via the support plate 36, and the support plate 36 is fixed to the lower surface of the slider 18. An electromagnetic motor 26 is fixed to the slider 18, and the electromagnetic motor 26
Attaches the slide nut 24 to the screw shaft 22 via the rotor 32.
Is rotated about.
【0003】この構成の直動装置20及び直動装置20
を設けた搬送機10において、電磁モータ26を作動さ
せてスライドナット24の外周面に接触しているロータ
32を回転させるとことで、スライドナット24がねじ
軸22を中心に回転する。スライドナット24が回転す
ると、スライドナット24が内部に装填したボール28
がねじ軸22のボール転走溝52及びボールチューブ3
0内を転がり、循環する。ボール28は順々とねじ軸2
2のボール転走溝52を軸方向に荷重を受けながら転動
することとなり、スライドナット24はねじ軸22に沿
って移動する。従って、スライドナット24を回転自在
に支持する支持板36もねじ軸22の軸方向に移動する
ことから、これが固定されているスライダ18がねじ軸
22の軸方向に直線的に移動することとなる。The linear motion device 20 and the linear motion device 20 having this structure.
In the transporting machine 10 provided with, the slide nut 24 rotates around the screw shaft 22 by operating the electromagnetic motor 26 to rotate the rotor 32 that is in contact with the outer peripheral surface of the slide nut 24. When the slide nut 24 rotates, the balls 28 loaded inside the slide nut 24
Is the ball rolling groove 52 of the screw shaft 22 and the ball tube 3
It rolls in 0 and circulates. Ball 28 is screw shaft 2 in sequence
The ball is rolled in the second ball rolling groove 52 while receiving a load in the axial direction, and the slide nut 24 moves along the screw shaft 22. Therefore, the support plate 36 that rotatably supports the slide nut 24 also moves in the axial direction of the screw shaft 22, so that the slider 18 to which it is fixed moves linearly in the axial direction of the screw shaft 22. .
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記直
動装置20は、スライドナット24を電磁モータ26に
よって回転させることから、スライドナット24を回転
させる際に駆動力の伝達ロスが大きく、また図5には示
さなかったが、実際にはギヤ機構を有することから、直
動装置20として機構が複雑化し、部品点数が増えると
共に大型化してしまい、さらにはコストアップの要因に
もなるものであった。さらに、摩耗も激しく、耐久性能
にも乏しいものであった。また、スライダ18が静止し
ている場合において、スライダ18が動かないようにす
るために、スライドナット24を回転しないようにして
いる。その為に、電磁モータ26には電圧を印加して保
持力を生じさせている。このスライダ18が静止固定し
ている時にも電磁モータ26に電圧を印加することは非
常に無駄なエネルギを消費してしまっているものであっ
た。However, in the linear motion device 20 described above, since the slide nut 24 is rotated by the electromagnetic motor 26, the transmission loss of the driving force is large when the slide nut 24 is rotated, and FIG. Although not shown in FIG. 3, since the gear mechanism is actually provided, the mechanism of the linear motion device 20 is complicated, the number of parts is increased and the size is increased, and the cost is increased. . Furthermore, the wear was severe and the durability performance was poor. Further, when the slider 18 is stationary, the slide nut 24 is not rotated so that the slider 18 does not move. Therefore, a voltage is applied to the electromagnetic motor 26 to generate a holding force. Even when the slider 18 is stationary and fixed, applying a voltage to the electromagnetic motor 26 consumes very useless energy.
【0005】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、直動装置としての性能が低下することなく、
機構を簡略化し、耐久性能を向上させ、かつ静粛性と省
電力を達成する直動装置を提供するものである。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the performance of a linear motion device is not deteriorated.
It is intended to provide a linear motion device that simplifies the mechanism, improves durability, and achieves quietness and power saving.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の直動装置は、
(1)螺旋状に連続するボール転走溝の形成されたねじ
軸と、(2)前記ボール転走溝を転走するボールを装填
し、該ボールが前記ボール転走溝を転走することで前記
ねじ軸の軸方向に移動自在にねじ軸に取り付けられたス
ライドナットと、(3)略円柱状であって、その軸方向
に振動する第1の圧電素子と周方向に振動する第2の圧
電素子を有し、前記ねじ軸を回転軸として前記スライド
ナットを回転させる超音波モータとを備えたことを特徴
とするものである。The linear motion device of the present invention comprises:
(1) A screw shaft having a spiral ball rolling groove formed therein, and (2) a ball rolling in the ball rolling groove is loaded, and the ball rolls in the ball rolling groove. A slide nut attached to the screw shaft so as to be movable in the axial direction of the screw shaft; (3) a first piezoelectric element that is substantially cylindrical and that vibrates in the axial direction; and a second piezoelectric element that vibrates in the circumferential direction. And an ultrasonic motor that rotates the slide nut with the screw shaft as a rotation shaft.
【0007】[0007]
【作用】本発明の直動装置は、超音波モータによってス
ライドナットをねじ軸を回転軸として回転させること
で、スライドナットに装填されたボールがねじ軸に螺刻
されたボール転走溝を軸方向の荷重を受けながら転動
し、循環し、もってスライドナット自体がねじ軸の軸方
向に直線運動するものである。超音波モータに、軸方向
に振動する第1の圧電素子と周方向に振動する第2の圧
電素子を有してなる複合振動子形超音波モータを使用
し、その中心を軸方向に貫通する貫通孔にねじ軸を緩挿
することで該超音波モータをねじ軸に取り付けることが
でき、取付スペースを非常に小さくすることができ、飛
躍的な小型化が可能となる。超音波モータの圧接面に圧
接されているスライドナットを直接回転させることか
ら、駆動力の伝達機構が簡易で、駆動力の伝達ロスが小
さく、また耐久性が高い。さらには超音波モータの特性
上、分解能も非常に高い。また、スライドナットには超
音波モータが常時圧接しているので、超音波モータの駆
動時でなくとも、即ち、電圧を印加せずとも、スライド
ナットの自由な回転は抑制される。従って、スライドナ
ットを固定するための電圧印加を必要とせず、省エネル
ギを図ることができる。In the linear motion device of the present invention, the ball loaded in the slide nut is rotated in the ball rolling groove formed on the screw shaft by rotating the slide nut with the screw shaft by the ultrasonic motor. It rolls and circulates while receiving a directional load, so that the slide nut itself moves linearly in the axial direction of the screw shaft. An ultrasonic motor uses a composite oscillator ultrasonic motor having a first piezoelectric element that vibrates in the axial direction and a second piezoelectric element that vibrates in the circumferential direction, and the center thereof penetrates in the axial direction. By loosely inserting the screw shaft into the through hole, the ultrasonic motor can be attached to the screw shaft, the mounting space can be made extremely small, and the size can be dramatically reduced. Since the slide nut pressed against the pressure contact surface of the ultrasonic motor is directly rotated, the driving force transmission mechanism is simple, the driving force transmission loss is small, and the durability is high. Furthermore, the resolution is very high due to the characteristics of the ultrasonic motor. Further, since the ultrasonic motor is constantly in pressure contact with the slide nut, free rotation of the slide nut is suppressed even when the ultrasonic motor is not driven, that is, even when no voltage is applied. Therefore, it is not necessary to apply a voltage for fixing the slide nut, and energy can be saved.
【0008】[0008]
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照して説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。本
発明の一実施例である直動装置を図1,2を参照して説
明する。直動装置38は、ねじ軸22とスライドナット
24と超音波モータ44とから概略構成されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. A linear motion device that is an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The linear motion device 38 is roughly composed of a screw shaft 22, a slide nut 24, and an ultrasonic motor 44.
【0009】ねじ軸22は図4に示されているような、
スライダ18の移動方向に沿った円柱状の軸であって、
螺旋状に連続するボール転走溝52が螺刻されている。
ボール転走溝52は、転造による製法が加工精度が高く
好ましい。The screw shaft 22 is as shown in FIG.
A cylindrical shaft along the moving direction of the slider 18,
A ball rolling groove 52 continuous in a spiral shape is threaded.
The ball rolling groove 52 is preferably manufactured by rolling, because of high processing accuracy.
【0010】スライドナット24は、樹脂、合金などか
らなる円筒状の部材で、その軸方向に形成された内部孔
をねじ軸22が貫通している。また、スライドナット2
4は複数のボール28を装填し、スライドナット24を
ねじ軸22に取り付けることで、ボール28はねじ軸2
2のボール転走溝52内にその各ボールの半分程が入り
込む。さらに、スライドナット24にはボール28が内
部を転走するボールチューブ30が設けられており、ボ
ール28はスライドナット24の内部に位置するボール
転走溝52とボールチューブ30内を循環するようにな
っている。スライドナット24は複数のボール28を介
してねじ軸22と接触することになり、スライドナット
24は滑らかにねじ軸22を回転軸として回転する。尤
も、スライドナット24が回転するためにはボール28
がボール転走溝52とボールチューブ30内を転がり動
くことが必要である。スライドナット24の両端部には
ブラシレール56,56が設けられている。ブラシレー
ル56はねじ軸22のボール転走溝52を清掃し、ボー
ル28に異物が接触するのを防ぐ防塵機能をもつもので
ある。スライドナット24にはベアリング88を介して
回転自在に円環板36が設けられ、円環板36はスライ
ドナット24を支持している。円環板36は後述するケ
ース60に固定された支持棒66に軸方向に移動自在に
支持されている。従って、スライドナット24はベアリ
ング88,円環板36、支持棒66を介してケース60
に支持されている。The slide nut 24 is a cylindrical member made of resin, alloy or the like, and the screw shaft 22 penetrates through an internal hole formed in the axial direction of the slide nut 24. Also, slide nut 2
4 is loaded with a plurality of balls 28, and the slide nut 24 is attached to the screw shaft 22, so that the balls 28 are attached to the screw shaft 2
About half of each ball enters into the ball rolling groove 52 of No.2. Further, the slide nut 24 is provided with a ball tube 30 in which the ball 28 rolls. The ball 28 circulates in the ball rolling groove 52 and the ball tube 30 located inside the slide nut 24. Has become. The slide nut 24 comes into contact with the screw shaft 22 via the plurality of balls 28, and the slide nut 24 smoothly rotates about the screw shaft 22 as a rotation shaft. However, in order for the slide nut 24 to rotate, the ball 28
Needs to roll in the ball rolling groove 52 and the ball tube 30. Brush rails 56, 56 are provided at both ends of the slide nut 24. The brush rail 56 has a dustproof function of cleaning the ball rolling groove 52 of the screw shaft 22 and preventing foreign matter from coming into contact with the ball 28. An annular plate 36 is rotatably provided on the slide nut 24 via a bearing 88, and the annular plate 36 supports the slide nut 24. The annular plate 36 is supported by a support rod 66 fixed to a case 60 described later so as to be movable in the axial direction. Therefore, the slide nut 24 is attached to the case 60 via the bearing 88, the annular plate 36, and the support rod 66.
Supported by.
【0011】超音波モータ44は、中空のステータホル
ダ48とステータヘッド46と第1圧電素子40と第2
圧電素子42とステータボトム50とで構成されてい
る。ステータヘッド46の端面である圧接面72はスラ
イドナット24に当接している。ステータホルダ48は
その中心を軸方向に貫通する貫通孔70が形成されてお
り、その貫通孔70にねじ軸22を緩挿して超音波モー
タ44はねじ軸22に取り付けられる。ステータホルダ
48には、超音波モータ44の振動の節部の位置に、外
方に突出するフランジ49が形成されている。第1圧電
素子40,第2圧電素子42は環状であって、PZT
(ジルコン酸チタン酸鉛)を素材とする積層型圧電アク
チュエータあるいは単板の圧電セラミックが使用され
る。これら圧電素子40,42は高周波電流を発生する
図示しない電源装置と接続されており、所定の交流電圧
が印加されることで、第1圧電素子40は超音波モータ
44の軸方向に振動し、第2圧電素子42は超音波モー
タ44の周方向に振動し、これらの振動が組み合わされ
ることでなる合波によって、超音波モータ44の圧接面
72に圧接するスライドナット24を回転させる。圧接
面72とスライドナット24の端面73の間には必要に
応じて摩擦材が介在される。摩擦材は圧接面72、また
は端面73、またはその両面に貼着される。また、圧接
面72とスライドナット24の間に、リング状でスライ
ドナット24と連動するロータを介在させても良い。こ
の場合、超音波モータ44で駆動力を発生させると、そ
の圧接面72に押圧されているロータが回転し、さらに
回転するロータと連動してスライドナット24が回転す
ることになる。The ultrasonic motor 44 includes a hollow stator holder 48, a stator head 46, a first piezoelectric element 40, and a second piezoelectric element 40.
It is composed of a piezoelectric element 42 and a stator bottom 50. The pressure contact surface 72, which is the end surface of the stator head 46, is in contact with the slide nut 24. The stator holder 48 is formed with a through hole 70 penetrating the center thereof in the axial direction, and the screw shaft 22 is loosely inserted into the through hole 70, and the ultrasonic motor 44 is attached to the screw shaft 22. The stator holder 48 is formed with a flange 49 protruding outward at the position of the vibration node of the ultrasonic motor 44. The first piezoelectric element 40 and the second piezoelectric element 42 are ring-shaped and are made of PZT.
A laminated piezoelectric actuator or a single-plate piezoelectric ceramic made of (lead zirconate titanate) is used. These piezoelectric elements 40 and 42 are connected to a power supply device (not shown) that generates a high frequency current, and when a predetermined AC voltage is applied, the first piezoelectric element 40 vibrates in the axial direction of the ultrasonic motor 44, The second piezoelectric element 42 vibrates in the circumferential direction of the ultrasonic motor 44, and a combined wave formed by combining these vibrations rotates the slide nut 24 that is in pressure contact with the pressure contact surface 72 of the ultrasonic motor 44. A friction material is interposed between the pressure contact surface 72 and the end surface 73 of the slide nut 24 as needed. The friction material is attached to the pressure contact surface 72, the end surface 73, or both surfaces thereof. A ring-shaped rotor interlocking with the slide nut 24 may be interposed between the pressure contact surface 72 and the slide nut 24. In this case, when a driving force is generated by the ultrasonic motor 44, the rotor pressed by the pressure contact surface 72 rotates, and the slide nut 24 rotates in conjunction with the rotating rotor.
【0012】超音波モータ44とスライドナット24は
ケース60内に収容されている。ケース60の両端面に
はケース貫通孔62,64が形成され、そのケース貫通
孔62,64をねじ軸22が貫通している。ケース60
には、その内壁に沿って支持棒66が設けられ、支持棒
66はナット68でケース60に固定されている。支持
棒66は、円環板36に形成されている環板貫通孔54
を貫通し、さらにフランジ49に形成されている孔に嵌
合し、超音波モータ44は支持棒66でケース60に支
持固定されている。支持棒66は環板貫通孔54に緩挿
されており、円環板36はねじ軸22の軸方向に移動自
在に支持棒66に支持されている。尚、支持棒66は、
図1では2本の例を示したが、本数は3本もしくはそれ
以上でも良く、また超音波モータ44を支持固定するこ
とのできるものであれば棒状に限られるものではなく、
例えば円筒状であってもかまわない。ケース60の端面
の内側と円環板36の間の位置の支持棒66には付勢手
段58が設けられている。付勢手段58は円環板36を
超音波モータ44側に付勢するものであればどのような
ものであっても良く、ばね部材が適用できる。円環板3
6は付勢手段58によって超音波モータ44側に付勢さ
れ、円環板36とベアリング88を介して連結している
スライドナット24も超音波モータ44側に付勢されて
いる。従って、スライドナット24の端面73は超音波
モータ44の圧接面72に圧接している。即ち、円環板
36に回転自在に支持されているスライドナット24は
超音波モータ44の圧接面72に対してねじ軸22を回
転軸として回転摺動可能に押圧されている。付勢手段5
8はスライドナット24と超音波モータ44を圧接させ
るものであればその構成や位置は限定されるものではな
く、ゴム等の弾性材を使用したり、または、ねじ軸22
を内部に貫通させるように配設したばね部材を使用して
スライドナット24を直接押圧したり、または超音波モ
ータ44に取り付けて超音波モータ44をスライドナッ
ト24側に付勢するものであってもかまわない。ケース
貫通孔62,64に、スライドナット24に設けられて
いるようなブラシレールを設け、ケース60内に異物が
入り込むことを防止することが望ましい。ケース60に
は、図4に示されるような平板状のスライダ18を連結
し、連動させることができる。The ultrasonic motor 44 and the slide nut 24 are housed in a case 60. Case through holes 62 and 64 are formed on both end surfaces of the case 60, and the screw shaft 22 penetrates the case through holes 62 and 64. Case 60
A support rod 66 is provided along the inner wall of the case, and the support rod 66 is fixed to the case 60 by a nut 68. The support rod 66 has an annular plate through hole 54 formed in the annular plate 36.
And is fitted in a hole formed in the flange 49, and the ultrasonic motor 44 is supported and fixed to the case 60 by a support rod 66. The support rod 66 is loosely inserted in the annular plate through hole 54, and the annular plate 36 is supported by the support rod 66 movably in the axial direction of the screw shaft 22. The support rod 66 is
Although FIG. 1 shows two examples, the number may be three or more, and is not limited to the rod shape as long as the ultrasonic motor 44 can be supported and fixed,
For example, it may be cylindrical. A biasing means 58 is provided on the support rod 66 at a position between the inside of the end surface of the case 60 and the annular plate 36. The biasing means 58 may be any means as long as it biases the annular plate 36 toward the ultrasonic motor 44 side, and a spring member can be applied. Toric plate 3
6 is biased to the ultrasonic motor 44 side by the biasing means 58, and the slide nut 24 connected to the annular plate 36 via the bearing 88 is also biased to the ultrasonic motor 44 side. Therefore, the end surface 73 of the slide nut 24 is in pressure contact with the pressure contact surface 72 of the ultrasonic motor 44. That is, the slide nut 24, which is rotatably supported by the annular plate 36, is rotatably pressed against the pressure contact surface 72 of the ultrasonic motor 44 with the screw shaft 22 as the rotation axis. Biasing means 5
The structure and position of the slide nut 24 are not limited as long as the slide nut 24 and the ultrasonic motor 44 are brought into pressure contact with each other, and an elastic material such as rubber is used, or the screw shaft 22
Is used to press the slide nut 24 directly by using a spring member arranged so as to penetrate inside, or to attach it to the ultrasonic motor 44 to urge the ultrasonic motor 44 toward the slide nut 24 side. I don't care. It is desirable to provide brush rails like those provided in the slide nut 24 in the case through holes 62 and 64 to prevent foreign matter from entering the case 60. A flat plate-shaped slider 18 as shown in FIG. 4 can be connected to and interlocked with the case 60.
【0013】上記構成の直動装置38を作動させるに
は、超音波モータ44に所定の交流電流を印加する。超
音波モータ44では第2圧電素子42が周方向に振動し
て回転駆動力を発生させ、第1圧電素子40は軸方向に
伸縮してステータヘッド46とスライドナット24の接
触制御を行なうようになっている。即ち、ばね部材58
のばね力によってステータヘッド46とスライドナット
24が押圧触されている状態で、第2圧電素子42に電
圧を印加すると、第2圧電素子42のねじり力によって
スライドナット24はねじ軸22を回転軸として微小角
度回転する。回転後に第1圧電素子40が縮み、スライ
ドナット24のステータヘッド46に対する押圧力を少
なくすると、第2圧電素子42のねじり量は相殺されて
消失する。ここで第1圧電素子が伸びて圧接面72とス
ライドナット24間の押圧力を再び増加させて、第2圧
電素子42に電圧を印加するとスライドナット24は再
び微小角度回転することになる。こうした第2圧電素子
42の振動と第1圧電素子40の振動の組合せからなる
楕円運動を繰り返し行なうことで、スライドナット24
を一定の方向に連続回転させることができる。この超音
波モータ44の発生する回転駆動力は低速でも高トルク
なものである。To operate the linear motion device 38 having the above structure, a predetermined alternating current is applied to the ultrasonic motor 44. In the ultrasonic motor 44, the second piezoelectric element 42 vibrates in the circumferential direction to generate a rotational driving force, and the first piezoelectric element 40 expands and contracts in the axial direction to control contact between the stator head 46 and the slide nut 24. Has become. That is, the spring member 58
When a voltage is applied to the second piezoelectric element 42 in a state where the stator head 46 and the slide nut 24 are pressed and contacted by the spring force of the slide nut 24, the torsion force of the second piezoelectric element 42 causes the slide nut 24 to rotate the screw shaft 22. As a small angle to rotate. When the first piezoelectric element 40 contracts after rotation and the pressing force of the slide nut 24 against the stator head 46 is reduced, the twist amount of the second piezoelectric element 42 is offset and disappears. Here, when the first piezoelectric element expands to increase the pressing force between the pressure contact surface 72 and the slide nut 24 again and apply a voltage to the second piezoelectric element 42, the slide nut 24 rotates again by a minute angle. By repeatedly performing the elliptic motion that is a combination of the vibration of the second piezoelectric element 42 and the vibration of the first piezoelectric element 40, the slide nut 24
Can be continuously rotated in a fixed direction. The rotational driving force generated by the ultrasonic motor 44 has a high torque even at a low speed.
【0014】超音波モータ44による駆動力で、ねじ軸
22を回転軸としてスライドナット24が回転すると、
その内部に装填されたボール28がボール転走溝52を
転動する。ボール転走溝52内にあるボール28はボー
ル転走溝52をころがり動き、ボールチューブ30内に
送給され、ボールチューブ30内に送給されたボール2
8は反対側から再びボール転走溝52内に送り出され
る。従って、複数のボール28はボール転走溝52とボ
ールチューブ30内を次々と転動し、循環する。この
際、ボール28はねじ軸22の軸方向の荷重を受けなが
ら転動するので、ボール28のボール転走溝52内の転
動と共に、スライドナット24自体がねじ軸22の軸方
向に直線移動することとなる。ばね部材58は第1圧電
素子40と第2圧電素子42の振動により発生した回転
駆動力をスライドナット24に有効に伝達するための付
勢手段である。スライドナット24が図1におけるA方
向に移動すると、スライドナット24にベアリング88
を介してねじ軸22の軸方向に連動する円環板36も移
動し、円環板36はばね部材58を圧縮し、このばね部
材58に対する圧縮力とばね部材58の弾性力が均衡し
た後は、スライドナット24のA方向への移動に連動し
てケース60がA方向に移動する。また、スライドナッ
ト24の回転方向が上記と逆方向であって、スライドナ
ット24がB方向に移動すると、スライドナット24に
押圧触している超音波モータ44にB方向に向けて移動
する力がかかり、超音波モータ44がB方向に移動し始
めると、超音波モータ44とフランジ49にて連結して
いる支持棒66に連動してケース60もB方向に移動す
る。従って、スライドナット24がねじ軸22を回転軸
として回転した場合、回転方向が如何なる回転方向であ
っても、その回転方向に従ってスライドナット24はね
じ軸22の軸方向に沿って直線移動し、スライドナット
24がAまたはBのどちらの方向に直線移動しても、ケ
ース60もねじ軸22の軸方向に沿ってスライドナット
24に連動する。従って、ケース60がねじ軸22に沿
って直線移動するので、図4に示されるようなスライダ
18をケース60と連動するように連結すれば、スライ
ダ18は超音波モータ44の発生する回転駆動力によっ
て、ねじ軸22の軸方向に沿って直線移動することにな
る。従って、本実施例の直動装置38を図4に示すよう
な搬送機10の駆動装置として適用することができる。
尚、この場合、スライダ18に連動する搬送板をさらに
設けたり、またはスライダ18を設けずに、ケース60
を搬送板として利用してもかまわないのは勿論のことで
ある。When the slide nut 24 rotates about the screw shaft 22 as a rotating shaft by the driving force of the ultrasonic motor 44,
The balls 28 loaded therein roll in the ball rolling grooves 52. The ball 28 in the ball rolling groove 52 rolls in the ball rolling groove 52, is fed into the ball tube 30, and is fed into the ball tube 30.
8 is again fed into the ball rolling groove 52 from the opposite side. Therefore, the plurality of balls 28 roll and circulate in the ball rolling groove 52 and the ball tube 30 one after another. At this time, the balls 28 roll while receiving the axial load of the screw shaft 22, so that the slide nut 24 itself moves linearly in the axial direction of the screw shaft 22 along with the rolling of the balls 28 in the ball rolling groove 52. Will be done. The spring member 58 is a biasing means for effectively transmitting the rotational driving force generated by the vibration of the first piezoelectric element 40 and the second piezoelectric element 42 to the slide nut 24. When the slide nut 24 moves in the direction A in FIG.
The circular plate 36 that is interlocked with the axial direction of the screw shaft 22 also moves via the circular plate 36, and the circular plate 36 compresses the spring member 58, and after the compression force on the spring member 58 and the elastic force of the spring member 58 are balanced. Causes the case 60 to move in the A direction in conjunction with the movement of the slide nut 24 in the A direction. Further, when the rotation direction of the slide nut 24 is the opposite direction to the above and the slide nut 24 moves in the B direction, the ultrasonic motor 44 pressing and touching the slide nut 24 has a force to move in the B direction. When the ultrasonic motor 44 starts moving in the B direction, the case 60 also moves in the B direction in conjunction with the support rod 66 connected to the ultrasonic motor 44 by the flange 49. Therefore, when the slide nut 24 rotates about the screw shaft 22 as the rotation axis, the slide nut 24 linearly moves along the axial direction of the screw shaft 22 according to the rotation direction regardless of the rotation direction, and slides. Whether the nut 24 linearly moves in the A or B direction, the case 60 also interlocks with the slide nut 24 along the axial direction of the screw shaft 22. Therefore, since the case 60 linearly moves along the screw shaft 22, if the slider 18 as shown in FIG. 4 is connected so as to be interlocked with the case 60, the slider 18 will generate a rotational driving force generated by the ultrasonic motor 44. Thus, the screw shaft 22 is linearly moved along the axial direction. Therefore, the linear motion device 38 of the present embodiment can be applied as a drive device for the carrier machine 10 as shown in FIG.
In this case, the case 60 may be provided without further providing a carrier plate that interlocks with the slider 18, or without providing the slider 18.
Needless to say, it may be used as a carrier plate.
【0015】前記従来例で示した電磁モータを利用した
直動装置を駆動源とする搬送装置と、本実施例の超音波
モータを利用した直動装置を駆動源とする搬送装置を製
造し、その速度を測定した。その結果、本実施例の超音
波モータを利用した直動装置は、電磁モータを利用した
直動装置と比べて遜色無いものであった。A conveying device using a linear motion device using an electromagnetic motor as a drive source and a conveying device using a linear motion device using an ultrasonic motor according to this embodiment as a drive source are manufactured. The speed was measured. As a result, the linear motion device using the ultrasonic motor according to the present embodiment was comparable to the linear motion device using the electromagnetic motor.
【0016】さらに、スライダ18が静止している時
に、これを動かさないようにするためにスライドナット
24が回転しないようにしなければならないが、電磁モ
ータを利用する場合、電磁モータに電圧を印加し続ける
ことによって保持力(5kgf程度以上)を生じさせなけ
ればならない。しかしながら、超音波モータを利用する
本発明の直動装置によれば、常時、超音波モータを付勢
手段によってスライドナット24に圧接しているので、
その圧接力によって、超音波モータが電気的に作動して
なくともスライドナット24は回転できないようになっ
ている。即ち、スライダ18が静止している時には、超
音波モータ44に電圧を印加することなくスライドナッ
ト24の回転が抑制されているので、省エネルギを達成
することができる。また、超音波モータ44を使用する
ことで、直接スライドナット24を回転駆動するもので
あるから、ギヤ機構等を必要とせず、直動装置として機
構が簡易であり、小型,軽量化を図ることができる。従
って、耐久性能が向上し、発生する音も小さく、静粛性
が高いものである。特に、本実施例では回転駆動力発生
させるのに、第1の圧電素子と第2の圧電素子を有する
略円柱状の複合振動子形超音波モータを使用し、しかも
その超音波モータの中心を軸方向に貫通する貫通孔70
にねじ軸22を挿入および貫通して超音波モータを取り
付けるので、必要とするスペースは非常に小さくて済
み、小型化を飛躍的に向上させるものである。また、分
解能が高い超音波モータ44を使用するものであるか
ら、直動装置としてさらに精度が向上する。また、電磁
モータでなく、超音波モータ44を使用することから、
外部に対して磁気作用の影響がなく、磁性材などの搬送
等にも利用できる。尚、搬送機等に用いる場合に、直動
装置を1つでなく、複数個取り付けることで搬送能力を
高めることができる。Further, when the slider 18 is stationary, it is necessary to prevent the slide nut 24 from rotating in order to prevent the slider 18 from moving. However, when an electromagnetic motor is used, a voltage is applied to the electromagnetic motor. Holding force must be generated (5kgf or more) by continuing. However, according to the linear motion device of the present invention which uses the ultrasonic motor, the ultrasonic motor is constantly in pressure contact with the slide nut 24 by the biasing means.
The pressure contact force prevents the slide nut 24 from rotating even if the ultrasonic motor is not electrically operated. That is, when the slider 18 is stationary, the rotation of the slide nut 24 is suppressed without applying a voltage to the ultrasonic motor 44, so that energy saving can be achieved. Further, since the slide nut 24 is directly driven to rotate by using the ultrasonic motor 44, a gear mechanism or the like is not required, and the mechanism is simple as a linear motion device, and the size and weight can be reduced. You can Therefore, the durability performance is improved, the generated sound is small, and the quietness is high. Particularly, in this embodiment, a substantially cylindrical composite vibrator ultrasonic motor having a first piezoelectric element and a second piezoelectric element is used to generate the rotational driving force, and the center of the ultrasonic motor is Through hole 70 penetrating in the axial direction
Since the ultrasonic motor is attached by inserting and penetrating the screw shaft 22 into the, the space required is extremely small, and the miniaturization is greatly improved. Further, since the ultrasonic motor 44 having high resolution is used, the accuracy of the linear motion device is further improved. Further, since the ultrasonic motor 44 is used instead of the electromagnetic motor,
There is no effect of magnetic action on the outside, and it can be used for transportation of magnetic materials. When used in a carrier machine or the like, it is possible to enhance the carrying capacity by mounting a plurality of linear motion devices instead of one.
【0017】尚、本発明の直動装置は図4に示したよう
な搬送機の他にも、各種研削盤や旋盤、もしくはプリン
タ等、直線駆動力を要するあるゆる機構に用いることが
できる。The linear motion device of the present invention can be used not only for the transporter as shown in FIG. 4 but also for various kinds of grinding machines, lathes, printers, or any other mechanism that requires a linear driving force.
【0018】スライドナットの他の例を図3を参照して
説明する。図3に示すスライドナット80は、樹脂、合
金などからなる略円筒状の部材で、その内部孔をねじ軸
22が貫通している。また、スライドナット80は複数
のボール28を装填し、スライドナット80をねじ軸2
2に取り付けることで、ボール28はねじ軸22のボー
ル転走溝52内にその各ボールの半分程が入り込む。ス
ライドナット80には、図2で示したボールチューブ3
0は設けられておらず、代りにその両端部に、ボール2
8が転動する溝の形成されたエンドキャップ82,83
が設けられ、スライドナット80内には、エンドキャッ
プ82,83に形成された該溝に連通する移送管84が
形成されている。ボール28はスライドナット24の内
部に位置するボール転走溝52と移送管84内を循環す
るようになっている。スライドナット80の片端部には
さらにブラシレール56が設けられている。ブラシレー
ル56はねじ軸22のボール転走溝52を清掃し、ボー
ル28に異物が接触するのを防ぐ防塵機能をもつもので
ある。Another example of the slide nut will be described with reference to FIG. The slide nut 80 shown in FIG. 3 is a substantially cylindrical member made of resin, alloy, or the like, and the screw shaft 22 penetrates the inner hole thereof. Further, the slide nut 80 is loaded with a plurality of balls 28, and the slide nut 80 is attached to the screw shaft 2.
By attaching the ball 28 to the ball 2, about half of each ball 28 enters the ball rolling groove 52 of the screw shaft 22. The slide nut 80 has the ball tube 3 shown in FIG.
0 is not provided, instead the ball 2
End caps 82, 83 in which a groove for rolling 8 is formed
And a transfer pipe 84 communicating with the groove formed in the end caps 82 and 83 is formed in the slide nut 80. The ball 28 circulates in the ball rolling groove 52 located inside the slide nut 24 and the transfer pipe 84. A brush rail 56 is further provided at one end of the slide nut 80. The brush rail 56 has a dustproof function of cleaning the ball rolling groove 52 of the screw shaft 22 and preventing foreign matter from coming into contact with the ball 28.
【0019】スライドナット80は複数のボール28を
介してねじ軸22と接触することになり、スライドナッ
ト80は滑らかにねじ軸22を回転軸として回転する。
尤も、スライドナット80が回転するためにはボール2
8がボール転走溝52と移送管84内を転がり動くこと
が必要である。The slide nut 80 comes into contact with the screw shaft 22 through the plurality of balls 28, and the slide nut 80 smoothly rotates about the screw shaft 22 as a rotation shaft.
However, in order for the slide nut 80 to rotate, the ball 2
It is necessary that 8 rolls in the ball rolling groove 52 and the transfer pipe 84.
【0020】この例のスライドナット80においては、
ボール28を剛体であるエンドキャップ82でボール転
走溝52からすくい上げ、移送管84に送り出すもの
で、ボールチューブを使用するものよりも強度が高く、
安定して高速回転にも対応できると共に、静粛性も高い
ものである。In the slide nut 80 of this example,
The ball 28 is scooped up from the ball rolling groove 52 by the end cap 82 which is a rigid body and sent out to the transfer pipe 84. The strength is higher than that using a ball tube,
It is stable and can handle high-speed rotation, and is highly quiet.
【0021】尚、本発明の直動装置は、超音波リニアモ
ータの駆動力にてスライドナットを回転させ、且つねじ
軸上を直線移動させるものであるから、スライドナット
は、端部に超音波モータを圧接することができ、超音波
モータにて回転駆動され得るものならば、市販の各種ボ
ールねじを適用できるものである。Since the linear motion device of the present invention rotates the slide nut by the driving force of the ultrasonic linear motor and linearly moves on the screw shaft, the slide nut has ultrasonic waves at the end. Any commercially available ball screw can be applied as long as it can be pressed against the motor and can be rotationally driven by the ultrasonic motor.
【0022】[0022]
【発明の効果】本発明の直動装置は、小型軽量で簡易な
構成の超音波モータでねじ軸に取り付けられたスライド
ナットを回転させ、スライドナット内のボールがねじ軸
に形成されているボール転走溝を転動し、循環すること
でスライドナットがねじ軸上を直線運動するもので、超
音波モータを使用して直接スライドナットを駆動するも
のであるから、ギヤ機構等を必要とせず、直動装置とし
て機構が簡易であり、小型,軽量化を図ることができ
る。従って、耐久性能が向上し、発生する音も小さく、
静粛性が高いものである。特に、本発明では回転駆動力
発生させるのに、第1の圧電素子と第2の圧電素子を有
する略円柱状の複合振動子形超音波モータを使用し、し
かもその超音波モータの中心を軸方向に貫通する貫通孔
にねじ軸を挿入および貫通して超音波モータを取り付け
るので、必要とするスペースは非常に小さくて済み、小
型化を飛躍的に向上させるものである。また、超音波モ
ータは分解能が高いものであるから、直動装置として省
エネルギを達成すると共に、さらに精度も向上する。ま
た、電磁モータでなく、超音波モータを使用することか
ら、外部に対して磁気作用の影響がなく、磁性材などの
搬送等にも利用できる。According to the linear motion device of the present invention, the ball in the slide nut is formed on the screw shaft by rotating the slide nut attached to the screw shaft with an ultrasonic motor of small size, light weight and simple structure. The slide nut moves linearly on the screw shaft by rolling and circulating in the rolling groove.Since the slide nut is directly driven by using an ultrasonic motor, no gear mechanism is required. The mechanism of the linear motion device is simple, and it is possible to reduce the size and weight. Therefore, the durability performance is improved, the generated sound is small,
It is highly quiet. Particularly, in the present invention, a substantially cylindrical composite vibrator type ultrasonic motor having a first piezoelectric element and a second piezoelectric element is used to generate the rotational driving force, and the center of the ultrasonic motor is used as an axis. Since the ultrasonic motor is attached by inserting and penetrating the screw shaft into the through hole penetrating in the direction, the space required is very small and the miniaturization is greatly improved. Further, since the ultrasonic motor has a high resolution, it achieves energy saving as a linear motion device and further improves accuracy. Further, since the ultrasonic motor is used instead of the electromagnetic motor, there is no influence of the magnetic action on the outside, and it can be used for carrying magnetic materials and the like.
【0023】また、付勢手段によって超音波モータを常
時スライドナットに圧接しているものであるから、超音
波モータに電圧が印加されず駆動していない時であって
も、付勢手段による超音波モータの圧接力によってスラ
イドナットの自由な回転は抑制されており、直線運動に
おいてスライドナットと連動するスライダの自由運動を
抑えることができる。従って、スライダの静止時に電圧
を印加する必要がなく、省エネルギを図ることができ
る。Further, since the ultrasonic motor is constantly in pressure contact with the slide nut by the biasing means, even when the ultrasonic motor is not driven without being applied with a voltage, the ultrasonic motor is driven by the biasing means. The free rotation of the slide nut is suppressed by the pressure contact force of the sonic motor, and the free movement of the slider that is interlocked with the slide nut during linear movement can be suppressed. Therefore, it is not necessary to apply a voltage when the slider is stationary, and energy can be saved.
【図1】本実施例の直動装置の側面図である。FIG. 1 is a side view of a linear motion device according to an embodiment.
【図2】本実施例の直動装置の要部断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a main part of a linear motion device according to the present embodiment.
【図3】別の態様のスライドナットの断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a slide nut of another mode.
【図4】搬送機の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a carrier.
【図5】従来例の直動装置の概略側面図である。FIG. 5 is a schematic side view of a linear motion device of a conventional example.
20 直動装置 22 ねじ軸 24 スライドナット 28 ボール 30 ボールチューブ 38 直動装置 40 圧電素子 42 圧電素子 44 超音波モータ 52 ボール転走溝 80 スライドナット 20 Linear Motion Device 22 Screw Shaft 24 Slide Nut 28 Ball 30 Ball Tube 38 Linear Motion Device 40 Piezoelectric Element 42 Piezoelectric Element 44 Ultrasonic Motor 52 Ball Rolling Groove 80 Slide Nut
Claims (1)
れたねじ軸と、 前記ボール転走溝を転走するボールを装填し、該ボール
が前記ボール転走溝を転走することで前記ねじ軸の軸方
向に移動自在にねじ軸に取り付けられたスライドナット
と、 略円柱状であって、その軸方向に振動する第1の圧電素
子と周方向に振動する第2の圧電素子を有し、前記ねじ
軸を回転軸として前記スライドナットを回転させる超音
波モータとを備えていることを特徴とする直動装置。1. A screw shaft having a ball rolling groove formed in a spiral shape and a ball rolling in the ball rolling groove are loaded, and the ball rolls in the ball rolling groove. A slide nut attached to the screw shaft so as to be movable in the axial direction of the screw shaft, a first cylinder-shaped first piezoelectric element that vibrates in the axial direction, and a second piezoelectric element that vibrates in the circumferential direction. And a ultrasonic motor that rotates the slide nut with the screw shaft as a rotation shaft.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4260251A JPH06113570A (en) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Direct driver |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP4260251A JPH06113570A (en) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Direct driver |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06113570A true JPH06113570A (en) | 1994-04-22 |
Family
ID=17345455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4260251A Withdrawn JPH06113570A (en) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Direct driver |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06113570A (en) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |