JPH0599176A - スクリユー式ドライ真空ポンプ - Google Patents
スクリユー式ドライ真空ポンプInfo
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- JPH0599176A JPH0599176A JP28066791A JP28066791A JPH0599176A JP H0599176 A JPH0599176 A JP H0599176A JP 28066791 A JP28066791 A JP 28066791A JP 28066791 A JP28066791 A JP 28066791A JP H0599176 A JPH0599176 A JP H0599176A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 2
- 241000255777 Lepidoptera Species 0.000 claims 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ポンプの性能が低下することなく、シールガ
ス供給量を微量に調整することができるスクリュー式ド
ライ真空ポンプを提供すること。 【構成】 吸込側の軸封部と吐出側の軸封部により軸受
部等からの油やグリースがロータ室に侵入しないように
シールされ、且つ該軸封部にはシールガス供給部からシ
ールガスを供給する構造のスクリュー式ドライ真空ポン
プにおいて、シールガス供給部からのシールガスはレギ
ュレータ１等のガス圧調整手段により一定圧に調整し、
流量調節バルブ又は絞り弁２を介してから分岐し、一方
は前記吐出側の軸封部に供給すると共に、もう一方は更
に流量調節バルブ又は絞り弁３を介して吸込側の軸封部
に供給する。
ス供給量を微量に調整することができるスクリュー式ド
ライ真空ポンプを提供すること。 【構成】 吸込側の軸封部と吐出側の軸封部により軸受
部等からの油やグリースがロータ室に侵入しないように
シールされ、且つ該軸封部にはシールガス供給部からシ
ールガスを供給する構造のスクリュー式ドライ真空ポン
プにおいて、シールガス供給部からのシールガスはレギ
ュレータ１等のガス圧調整手段により一定圧に調整し、
流量調節バルブ又は絞り弁２を介してから分岐し、一方
は前記吐出側の軸封部に供給すると共に、もう一方は更
に流量調節バルブ又は絞り弁３を介して吸込側の軸封部
に供給する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置等で用い
るスクリュー式ドライ真空ポンプに関するものである。
るスクリュー式ドライ真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来技術】スクリュー式ドライ真空ポンプは、軸受、
タイミングギヤを潤滑する油或いはグリースがロータ室
へ侵入するのを極力減らすために軸封機構を設け、更に
該軸封機構にはシールガスを供給している。このシール
ガスは図５に示すように、レギュレータ１０１等で一定
の圧力（正圧）に調整して、流量調節バルブ或いは絞り
弁１０２，１０３を介して吸込側の軸封機構及び吐出側
の軸封機構に供給している。
タイミングギヤを潤滑する油或いはグリースがロータ室
へ侵入するのを極力減らすために軸封機構を設け、更に
該軸封機構にはシールガスを供給している。このシール
ガスは図５に示すように、レギュレータ１０１等で一定
の圧力（正圧）に調整して、流量調節バルブ或いは絞り
弁１０２，１０３を介して吸込側の軸封機構及び吐出側
の軸封機構に供給している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のスクリュー式ドライ真空ポンプにおいては一定の圧
力（正圧）に調整され、流量調節バルブ或いは絞り弁１
０２，１０３を介してそれぞれの軸封機構に供給されて
いるため、吸込側では流量調節バルブ或いは絞り弁１０
３の前後では圧力比が大きく、シールガスは大きく膨張
して供給されるのでポンプの性能が低下してしまうとい
う問題があった。また、シールガス供給量を微量に調整
するのも困難であった。
来のスクリュー式ドライ真空ポンプにおいては一定の圧
力（正圧）に調整され、流量調節バルブ或いは絞り弁１
０２，１０３を介してそれぞれの軸封機構に供給されて
いるため、吸込側では流量調節バルブ或いは絞り弁１０
３の前後では圧力比が大きく、シールガスは大きく膨張
して供給されるのでポンプの性能が低下してしまうとい
う問題があった。また、シールガス供給量を微量に調整
するのも困難であった。
【０００４】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、ポンプの性能が低下することなく、シールガス供給
量を微量に調整することができるスクリュー式ドライ真
空ポンプを提供することを目的とする。
で、ポンプの性能が低下することなく、シールガス供給
量を微量に調整することができるスクリュー式ドライ真
空ポンプを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、ケーシングのロータ室内に互いに噛み合って
回転する一対の雄ロータと雌ロータを具備し、ケーシン
グ吸込口から吸い込んだ流体を雄ロータと雌ロータとで
形成された歯溝空間に吸込みケーシング吐出口から排出
するように構成され、吸込側の軸封部と吐出側の軸封部
により軸受部等からの油やグリースがロータ室に侵入し
ないようにシールされ、且つ該軸封部にはシールガス供
給部からシールガスを供給する構造のスクリュー式ドラ
イ真空ポンプにおいて、図１に示すように、シールガス
供給部からのシールガスはレギュレータ１等のガス圧調
整手段により一定圧に調整し、流量調節バルブ又は絞り
弁２を介してから分岐し、一方は前記吐出側の軸封部に
供給すると共に、もう一方は更に流量調節バルブ又は絞
り弁３を介して吸込側の軸封部に供給することを特徴と
する。
本発明は、ケーシングのロータ室内に互いに噛み合って
回転する一対の雄ロータと雌ロータを具備し、ケーシン
グ吸込口から吸い込んだ流体を雄ロータと雌ロータとで
形成された歯溝空間に吸込みケーシング吐出口から排出
するように構成され、吸込側の軸封部と吐出側の軸封部
により軸受部等からの油やグリースがロータ室に侵入し
ないようにシールされ、且つ該軸封部にはシールガス供
給部からシールガスを供給する構造のスクリュー式ドラ
イ真空ポンプにおいて、図１に示すように、シールガス
供給部からのシールガスはレギュレータ１等のガス圧調
整手段により一定圧に調整し、流量調節バルブ又は絞り
弁２を介してから分岐し、一方は前記吐出側の軸封部に
供給すると共に、もう一方は更に流量調節バルブ又は絞
り弁３を介して吸込側の軸封部に供給することを特徴と
する。
【０００６】
【作用】上記のように一定圧に調整されたシールガスは
流量調節バルブ又は絞り弁２を介してから分岐し、一方
は吐出側の軸封部に供給し、他一方は更に流量調節バル
ブ又は絞り弁３を介して吸込側の軸封部に供給するの
で、吸込側では流量調節バルブ或いは絞り弁２と３の２
段の調整となり、流量調節バルブ或いは絞り弁３の前後
では圧力比が小さく、シールガスは大きく膨張すること
がなく、ポンプの性能の低下がない。
流量調節バルブ又は絞り弁２を介してから分岐し、一方
は吐出側の軸封部に供給し、他一方は更に流量調節バル
ブ又は絞り弁３を介して吸込側の軸封部に供給するの
で、吸込側では流量調節バルブ或いは絞り弁２と３の２
段の調整となり、流量調節バルブ或いは絞り弁３の前後
では圧力比が小さく、シールガスは大きく膨張すること
がなく、ポンプの性能の低下がない。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明のスクリュー式ドライ真空ポンプに
用いるシールガス供給系の概要を示す図である。本シー
ルガス供給系は、シールガス供給部からのシールガスを
レギュレータ１により、一定圧に調整し、更に流量調節
バルブ又は絞り弁２を介して分岐し、一方は吐出側の軸
封機構に供給し、もう一方は更に流量調節バルブ又は絞
り弁３を介して吸込側の軸封機構に供給している。
する。図１は本発明のスクリュー式ドライ真空ポンプに
用いるシールガス供給系の概要を示す図である。本シー
ルガス供給系は、シールガス供給部からのシールガスを
レギュレータ１により、一定圧に調整し、更に流量調節
バルブ又は絞り弁２を介して分岐し、一方は吐出側の軸
封機構に供給し、もう一方は更に流量調節バルブ又は絞
り弁３を介して吸込側の軸封機構に供給している。
【０００８】図２は本発明のスクリュー式ドライ真空ポ
ンプの構造を示す側断面図である。本スクリュー式ドラ
イ真空ポンプは主ケーシング１１と吐出ケーシング１２
とで形成される空間には、雄ロータ１７ａと雌ロータ１
７ｂとが、それぞれ軸受１５ａ，１５ｂにより回転自在
に支持され、軸封機構１６ａ，１６ｂにより軸受１５
ａ，１５ｂの潤滑油からシールされている。
ンプの構造を示す側断面図である。本スクリュー式ドラ
イ真空ポンプは主ケーシング１１と吐出ケーシング１２
とで形成される空間には、雄ロータ１７ａと雌ロータ１
７ｂとが、それぞれ軸受１５ａ，１５ｂにより回転自在
に支持され、軸封機構１６ａ，１６ｂにより軸受１５
ａ，１５ｂの潤滑油からシールされている。
【０００９】雄ロータ１７ａの軸は電動機２２の軸に直
結され、雌ロータ１７ｂはタイミングギヤ２０，２０に
より雄ロータ１７ａと微小間隔を保って回転されるよう
になっている。
結され、雌ロータ１７ｂはタイミングギヤ２０，２０に
より雄ロータ１７ａと微小間隔を保って回転されるよう
になっている。
【００１０】吸込口１８ａから吸込まれた気体は、吸込
ポート１８ｂを通り主ケーシング１１のロータ室内壁と
雄雌ロータ１７ａ，１７ｂとで形成された歯溝空間に吸
入され、圧縮過程を経て吐出ポート１９ｂを介して吐出
口１９ａから吐出されるようになっている。なお図中の
符号１３はギヤカバー、１４は電動機ケーシングであ
る。
ポート１８ｂを通り主ケーシング１１のロータ室内壁と
雄雌ロータ１７ａ，１７ｂとで形成された歯溝空間に吸
入され、圧縮過程を経て吐出ポート１９ｂを介して吐出
口１９ａから吐出されるようになっている。なお図中の
符号１３はギヤカバー、１４は電動機ケーシングであ
る。
【００１１】図１のシールガス供給系の流量調節バルブ
又は絞り弁２を介して分岐し、一方はシールガスは図２
に示す構造のスクリュー式ドライ真空ポンプの吐出側の
軸封機構１６ａに供給され、更に流量調節バルブ又は絞
り弁３を通って吸込側の軸封機構１６ｂに供給される。
又は絞り弁２を介して分岐し、一方はシールガスは図２
に示す構造のスクリュー式ドライ真空ポンプの吐出側の
軸封機構１６ａに供給され、更に流量調節バルブ又は絞
り弁３を通って吸込側の軸封機構１６ｂに供給される。
【００１２】図３はシールガスが供給される軸封機構の
概略構造を示す図である。同図においては吸込側の軸封
機構１６ｂの概略構造を示す。図示するように、雄ロー
タ１７ａの軸１７ｃの周囲には軸シール部材１６ｂ１，
１６ｂ２，１６ｂ３が設けられており、雄ロータ１７ａ
側の軸シール部材１６ｂ１と１６ｂ２との間にケーシン
グ１１に設けられたシールガス供給孔１１ａを通して、
図１の流量調節バルブ又は絞り弁３を通ったシールガス
が供給される。これにより、軸受１５の潤滑油はロータ
室内に侵入することはなくなる。なお、２２は軸受１５
から侵入する潤滑油を溜めておくオイルドレン室であ
る。
概略構造を示す図である。同図においては吸込側の軸封
機構１６ｂの概略構造を示す。図示するように、雄ロー
タ１７ａの軸１７ｃの周囲には軸シール部材１６ｂ１，
１６ｂ２，１６ｂ３が設けられており、雄ロータ１７ａ
側の軸シール部材１６ｂ１と１６ｂ２との間にケーシン
グ１１に設けられたシールガス供給孔１１ａを通して、
図１の流量調節バルブ又は絞り弁３を通ったシールガス
が供給される。これにより、軸受１５の潤滑油はロータ
室内に侵入することはなくなる。なお、２２は軸受１５
から侵入する潤滑油を溜めておくオイルドレン室であ
る。
【００１３】なお、雌ロータ１７ｂの吸込側の軸封機構
及び雄雌ロータの吐出側の軸封機構１６ａの構造も図３
と略同一であるからその図示及び説明は省略する。
及び雄雌ロータの吐出側の軸封機構１６ａの構造も図３
と略同一であるからその図示及び説明は省略する。
【００１４】図４はスクリュー式ドライ真空ポンプが多
段（図では２段）構成の場合のシールガス供給系の概略
構成を示す図である。本シールガス供給系は、シールガ
ス供給部からのシールガスをレギュレータ１により、一
定圧に調整し、更に流量調節バルブ又は絞り弁２を介し
て分岐し、一方は第１段のポンプの吐出側の軸封機構に
供給し、もう一方は更に流量調節バルブ又は絞り弁３を
介して第１段のポンプの吸込側の軸封機構に供給してい
る。また、流量調節バルブ又は絞り弁２を通ったシール
ガスは流量調節バルブ又は絞り弁４を介して分岐し、一
方は第２段のポンプの吐出側の軸封機構に供給し、もう
一方は更に流量調節バルブ又は絞り弁５を介して第１段
のポンプの吸込側の軸封機構に供給している。
段（図では２段）構成の場合のシールガス供給系の概略
構成を示す図である。本シールガス供給系は、シールガ
ス供給部からのシールガスをレギュレータ１により、一
定圧に調整し、更に流量調節バルブ又は絞り弁２を介し
て分岐し、一方は第１段のポンプの吐出側の軸封機構に
供給し、もう一方は更に流量調節バルブ又は絞り弁３を
介して第１段のポンプの吸込側の軸封機構に供給してい
る。また、流量調節バルブ又は絞り弁２を通ったシール
ガスは流量調節バルブ又は絞り弁４を介して分岐し、一
方は第２段のポンプの吐出側の軸封機構に供給し、もう
一方は更に流量調節バルブ又は絞り弁５を介して第１段
のポンプの吸込側の軸封機構に供給している。
【００１５】なお、図４において、流量調節バルブ又は
絞り弁３の取付け位置は、流量調節バルブ又は絞り弁２
と４の間に直列に挿入してもよい。
絞り弁３の取付け位置は、流量調節バルブ又は絞り弁２
と４の間に直列に挿入してもよい。
【００１６】真空ポンプが多段の場合でも、図４に示す
ようにシールガス供給系を構成することにより、吸込側
において流量調節バルブ或いは絞り弁の前後では圧力比
が大きく、シールガスは大きく膨張してポンプの性能が
低下してしまうということはない。
ようにシールガス供給系を構成することにより、吸込側
において流量調節バルブ或いは絞り弁の前後では圧力比
が大きく、シールガスは大きく膨張してポンプの性能が
低下してしまうということはない。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、一
定圧に調整されたシールガスは流量調節バルブ又は絞り
弁を介してから分岐し、一方は吐出側の軸封部に供給
し、他一方は更に流量調節バルブ又は絞り弁を介して吸
込側の軸封部に供給するので、吸込側では流量調節バル
ブ或いは絞り弁の２段の調整となり、流量調節バルブ或
いは絞り弁３前後では圧力比が小さく、シールガスは大
きく膨張することがないから、ポンプの性能の低下がな
いという優れた効果が得られる。
定圧に調整されたシールガスは流量調節バルブ又は絞り
弁を介してから分岐し、一方は吐出側の軸封部に供給
し、他一方は更に流量調節バルブ又は絞り弁を介して吸
込側の軸封部に供給するので、吸込側では流量調節バル
ブ或いは絞り弁の２段の調整となり、流量調節バルブ或
いは絞り弁３前後では圧力比が小さく、シールガスは大
きく膨張することがないから、ポンプの性能の低下がな
いという優れた効果が得られる。
【図１】本発明のスクリュー式ドライ真空ポンプに用い
るシールガス供給系の概要を示す図である。
るシールガス供給系の概要を示す図である。
【図２】本発明のスクリュー式ドライ真空ポンプの構造
を示す側断面図である。
を示す側断面図である。
【図３】シールガスが供給される軸封機構の概略構造を
示す図である。
示す図である。
【図４】スクリュー式ドライ真空ポンプが多段（図では
２段）構成の場合のシールガス供給系の概略構成を示す
図である。
２段）構成の場合のシールガス供給系の概略構成を示す
図である。
【図５】従来のスクリュー式ドライ真空ポンプに用いる
シールガス供給系の概要を示す図である。
シールガス供給系の概要を示す図である。
１ レギュレータ ２ 流量調節バルブ或いは絞り弁 ３ 流量調節バルブ或いは絞り弁 ４ 流量調節バルブ或いは絞り弁 ５ 流量調節バルブ或いは絞り弁 １１ 主ケーシング １２ 吐出ケーシング １３ ギヤカバー １４ 電動機ケーシング １５ａ 軸受 １５ｂ 軸受 １６ａ 軸封機構 １６ｂ 軸封機構 １７ａ 雄ロータ １７ｂ 雌ロータ １８ａ 吸込口 １８ｂ 吸込ポート １９ａ 吐出口 １９ｂ 吐出ポート ２０ タイミングギヤ ２２ 電動機
Claims (1)
- 【請求項１】 ケーシングのロータ室内に互いに噛み合
って回転する一対の雄ロータと雌ロータを具備し、ケー
シング吸込口から吸い込んだ流体を雄ロータと雌ロータ
とで形成された歯溝空間に吸込みケーシング吐出口から
排出するように構成され、吸込側の軸封部と吐出側の軸
封部により軸受部等からの油やグリースがロータ室に侵
入しないようにシールされ、且つ該軸封部にはシールガ
ス供給部からシールガスを供給する構造のスクリュー式
ドライ真空ポンプにおいて、 前記シールガス供給部からのシールガスはガス圧調整手
段により一定圧に調整し、流量調節バルブ又は絞り弁を
介してから分岐し、一方は前記吐出側の軸封部に供給す
ると共に、もう一方は更に流量調節バルブ又は絞り弁を
介して前記吸込側の軸封部に供給することを特徴とする
スクリュー式ドライ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28066791A JPH0599176A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | スクリユー式ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28066791A JPH0599176A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | スクリユー式ドライ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0599176A true JPH0599176A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17628260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28066791A Pending JPH0599176A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | スクリユー式ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0599176A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107063A1 (en) * | 2008-02-28 | 2009-09-03 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Debris mitigation device with rotating foil trap and drive assembly |
| JP2015214934A (ja) * | 2014-05-12 | 2015-12-03 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ装置 |
| WO2021119879A1 (zh) * | 2019-12-15 | 2021-06-24 | 江苏亚太工业泵科技发展有限公司 | 排气侧内置氮气密封的螺杆真空泵 |
| CN113544384A (zh) * | 2019-03-14 | 2021-10-22 | 阿特利耶博世股份有限公司 | 干式气体泵和多个干式气体泵的组 |
-
1991
- 1991-10-01 JP JP28066791A patent/JPH0599176A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107063A1 (en) * | 2008-02-28 | 2009-09-03 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Debris mitigation device with rotating foil trap and drive assembly |
| US8338797B2 (en) | 2008-02-28 | 2012-12-25 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Debris mitigation device with rotating foil trap and drive assembly |
| JP2015214934A (ja) * | 2014-05-12 | 2015-12-03 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ装置 |
| CN113544384A (zh) * | 2019-03-14 | 2021-10-22 | 阿特利耶博世股份有限公司 | 干式气体泵和多个干式气体泵的组 |
| CN113544384B (zh) * | 2019-03-14 | 2023-09-08 | 阿特利耶博世股份有限公司 | 干式气体泵和多个干式气体泵的组 |
| WO2021119879A1 (zh) * | 2019-12-15 | 2021-06-24 | 江苏亚太工业泵科技发展有限公司 | 排气侧内置氮气密封的螺杆真空泵 |
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