JPH0566962B2 - - Google Patents
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- JPH0566962B2 JPH0566962B2 JP14510485A JP14510485A JPH0566962B2 JP H0566962 B2 JPH0566962 B2 JP H0566962B2 JP 14510485 A JP14510485 A JP 14510485A JP 14510485 A JP14510485 A JP 14510485A JP H0566962 B2 JPH0566962 B2 JP H0566962B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- photoelectric conversion
- receiving surface
- interval
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の技術分野)
本発明は、複数の光像の所定方向における間隔
を求める光像間隔の測定装置に関する。
を求める光像間隔の測定装置に関する。
(発明の背景)
従来のこの種の装置としては、例えば特開昭57
−197405号公報に示されている如き曲率半径の自
動測定装置がある。この装置は、4つの光像の所
定方向(直交する2方向)における間隔を求める
ために、ビームスプリツタによつて光束を2分割
し、一方の分割光束に対し他方の分割光束を90度
回転し、その後、各々の光束をドラム形のチヨツ
パに通し、各々の分割光束に対応させて配設した
受光器からの信号を演算装置に入力していた。
−197405号公報に示されている如き曲率半径の自
動測定装置がある。この装置は、4つの光像の所
定方向(直交する2方向)における間隔を求める
ために、ビームスプリツタによつて光束を2分割
し、一方の分割光束に対し他方の分割光束を90度
回転し、その後、各々の光束をドラム形のチヨツ
パに通し、各々の分割光束に対応させて配設した
受光器からの信号を演算装置に入力していた。
しかしながらこのものでは、ビームスプリツタ
等の光束部材と光速の回転部材とを必要とするば
かりでなく、各分割光束に対応させた受光器を設
ける必要があり、高価かつ構造の複雑なものとな
つていた。
等の光束部材と光速の回転部材とを必要とするば
かりでなく、各分割光束に対応させた受光器を設
ける必要があり、高価かつ構造の複雑なものとな
つていた。
(発明の目的)
本発明の目的は、安価かつ構造の簡単な光像間
隔の測定装置を得ることにある。
隔の測定装置を得ることにある。
(発明の概要)
本発明は、受光器の受光面上に生じた少くとも
2つの光像のX方向とY方向における間隔を前記
受光器から出力される光電変換信号によつて求め
る光像間隔の測定装置において、前記受光面上を
X方向へ走査する第1のスリツト群及び前記受光
面上をY方向へ走査する第2のスリツト群を画分
割して形成されると共に、前記受光面に隣接して
配設されるチヨツパ部材と、前記チヨツパ部材を
等速回転せしめる回転駆動装置と、前記チヨツパ
部材が前記受光面上をX方向とY方向のいずれの
方向へ走査しているかの識別信号を出力する識別
信号出力装置と、前記識別信号と前記受光器から
の光電変換信号とを入力し、前記受光面上がX方
向へ走査されているときに前記光電変換信号から
前記光像のX方向での間隔を求めると共に、前記
受光面上がY方向へ走査されているときに前記光
電変換信号から前記光像のY方向での間隔を求め
る演算装置と、を設けたことを特徴とする光像間
隔の測定装置である。
2つの光像のX方向とY方向における間隔を前記
受光器から出力される光電変換信号によつて求め
る光像間隔の測定装置において、前記受光面上を
X方向へ走査する第1のスリツト群及び前記受光
面上をY方向へ走査する第2のスリツト群を画分
割して形成されると共に、前記受光面に隣接して
配設されるチヨツパ部材と、前記チヨツパ部材を
等速回転せしめる回転駆動装置と、前記チヨツパ
部材が前記受光面上をX方向とY方向のいずれの
方向へ走査しているかの識別信号を出力する識別
信号出力装置と、前記識別信号と前記受光器から
の光電変換信号とを入力し、前記受光面上がX方
向へ走査されているときに前記光電変換信号から
前記光像のX方向での間隔を求めると共に、前記
受光面上がY方向へ走査されているときに前記光
電変換信号から前記光像のY方向での間隔を求め
る演算装置と、を設けたことを特徴とする光像間
隔の測定装置である。
(実施例)
以下図面に示した実施例に基づいて本発明を説
明する。
明する。
第1図は本発明の第1実施例を曲率半径の自動
測定装置に応用した光学系を示す図、である。
測定装置に応用した光学系を示す図、である。
第1図において測定光学系の対物レンズ4の光
軸Oに対称な方向から一対の光点を被検眼E1へ
投影するために、対物レンズの光軸Oを含む面内
(第1図紙面内)には一対の投影光学系の光軸
O1,O2が形成されている。対物レンズの光軸O
に対し投影光軸O1,O2の成す角度は共にθであ
る。光軸O1,O2上の照明光源1a,1bを射出
した光束はピンホール板2a,2bを透過後該ピ
ンホール板2a,2b上を焦点面とすコリメータ
レンズ3a,3bにより平行光束にされた後、被
検眼E1へ投影される。
軸Oに対称な方向から一対の光点を被検眼E1へ
投影するために、対物レンズの光軸Oを含む面内
(第1図紙面内)には一対の投影光学系の光軸
O1,O2が形成されている。対物レンズの光軸O
に対し投影光軸O1,O2の成す角度は共にθであ
る。光軸O1,O2上の照明光源1a,1bを射出
した光束はピンホール板2a,2bを透過後該ピ
ンホール板2a,2b上を焦点面とすコリメータ
レンズ3a,3bにより平行光束にされた後、被
検眼E1へ投影される。
一方、第1図の光学系を被検眼E1の方向から
見た第2図からもわかるように、対物レンズの光
軸Oを含む第1図の紙面と直交する面内にも対物
レンズの光軸Oに対称な方向から一対の光点を被
検眼E1へ投影するために一対の投影光学系の光
軸O3,O4が形成されている。投影光軸O3,O4が
対物レンズの光軸Oと成す角度は共にθである。
投影光軸O1,O2,O3,O4は、対物レンズの光軸
Oの一点で交差する如く配置されている。第1図
の紙面に垂直な平面内にあるこの投影光学系も第
1図に図示の投影光学系と同様それぞれの光軸
O3,O4上に照明光源1c,1d、ピンホール板
2c,2d、コリメートレンズ3c,3dを夫々
有する。
見た第2図からもわかるように、対物レンズの光
軸Oを含む第1図の紙面と直交する面内にも対物
レンズの光軸Oに対称な方向から一対の光点を被
検眼E1へ投影するために一対の投影光学系の光
軸O3,O4が形成されている。投影光軸O3,O4が
対物レンズの光軸Oと成す角度は共にθである。
投影光軸O1,O2,O3,O4は、対物レンズの光軸
Oの一点で交差する如く配置されている。第1図
の紙面に垂直な平面内にあるこの投影光学系も第
1図に図示の投影光学系と同様それぞれの光軸
O3,O4上に照明光源1c,1d、ピンホール板
2c,2d、コリメートレンズ3c,3dを夫々
有する。
測定光学系は対物レンズ4の背後に配設した不
図示のビームスプリツタによつて自動測定光路と
検者の観察光路とに分離されるのであるが、説明
を簡略化するために第1図では観察光路を省略す
る。
図示のビームスプリツタによつて自動測定光路と
検者の観察光路とに分離されるのであるが、説明
を簡略化するために第1図では観察光路を省略す
る。
自動測定光路中には対物レンズ4と共にテレセ
ントリツク系を構成する後置対物レンズ6が設け
られており、対物レンズ4の後側焦点面と後置レ
ンズ6の前側焦点面との一致する面内には絞り5
が設けられている。対物レンズ4,6の光路はモ
ータ10に結合したチヨツパ円板7を通つてその
背後に隣接して置かれた4分割の受光器8に達す
る。4分割の受光器8は第1図のA−A′矢視図
である第3図に示したように光電変換素子8a〜
8dを有し、光電変換素子8aは光源1aによる
光点(ピンホール像)を受光し、光電変換素子8
bは光源1bによる光点を受光し、光電変換素子
8cは光源1cによる光点を受光し、光電変換素
子8dは光源1dによる光点を受光するように配
設されている。
ントリツク系を構成する後置対物レンズ6が設け
られており、対物レンズ4の後側焦点面と後置レ
ンズ6の前側焦点面との一致する面内には絞り5
が設けられている。対物レンズ4,6の光路はモ
ータ10に結合したチヨツパ円板7を通つてその
背後に隣接して置かれた4分割の受光器8に達す
る。4分割の受光器8は第1図のA−A′矢視図
である第3図に示したように光電変換素子8a〜
8dを有し、光電変換素子8aは光源1aによる
光点(ピンホール像)を受光し、光電変換素子8
bは光源1bによる光点を受光し、光電変換素子
8cは光源1cによる光点を受光し、光電変換素
子8dは光源1dによる光点を受光するように配
設されている。
チヨツパ円板7は第4図で示した如き平面形状
をしている。すなわち、チヨツパ円板7は半径方
向に3重構造をなしており、外側部には円周方向
に第1領域と第2領域とを分離するためのマーク
が形成されている。すなわち、半周は遮光部(第
1領域)40にて形成され、残りの半周は透光部
(第2領域)41にて形成されている。中間部4
2には円周方向へ等角度間隔で遮光部と透光部が
蒸着等にて形成されている。そして、内側部43
には、チヨツパ円板7の第1領域において、γ=
ae(〓+〓/n)で示される関数曲線で規定されるチヨツ
パ用スリツトが蒸着等によつて形成されており、
また第2領域においてγ=ae-(〓+〓/n)で示される関
数曲線で規定されるチヨツパ用スリツトが蒸着等
によつて形成されている。このチヨツパ用スリツ
トについて詳述すれば以下の如くである。
をしている。すなわち、チヨツパ円板7は半径方
向に3重構造をなしており、外側部には円周方向
に第1領域と第2領域とを分離するためのマーク
が形成されている。すなわち、半周は遮光部(第
1領域)40にて形成され、残りの半周は透光部
(第2領域)41にて形成されている。中間部4
2には円周方向へ等角度間隔で遮光部と透光部が
蒸着等にて形成されている。そして、内側部43
には、チヨツパ円板7の第1領域において、γ=
ae(〓+〓/n)で示される関数曲線で規定されるチヨツ
パ用スリツトが蒸着等によつて形成されており、
また第2領域においてγ=ae-(〓+〓/n)で示される関
数曲線で規定されるチヨツパ用スリツトが蒸着等
によつて形成されている。このチヨツパ用スリツ
トについて詳述すれば以下の如くである。
チヨツパ円板7の法線のうち、基準方向(例え
ば水平方向)となす角度が45度の法線lを含む面
が通るように、受光器8の受光面を自動測定光路
を形成する光学系の光軸に垂直に配設したとき、
チヨツパのためのスリツトを決定する関数曲線が
上記法線と交差する角度をとすると、各関数曲
線は、半円をn等分するとして tan{(90−)・(θ+K/nπ)} γ=a1e として表わされる。ただし、γは極座標における
半径、θは極座標における角度、kは整数0、
1、2、……であり、aは内周部の内径に相当す
る。
ば水平方向)となす角度が45度の法線lを含む面
が通るように、受光器8の受光面を自動測定光路
を形成する光学系の光軸に垂直に配設したとき、
チヨツパのためのスリツトを決定する関数曲線が
上記法線と交差する角度をとすると、各関数曲
線は、半円をn等分するとして tan{(90−)・(θ+K/nπ)} γ=a1e として表わされる。ただし、γは極座標における
半径、θは極座標における角度、kは整数0、
1、2、……であり、aは内周部の内径に相当す
る。
ここで、角度を45度及び135度とすれば、
γ1=a1e(〓+K/n〓) ……式(1)
γ2=a1e-(〓+K/n〓) ……式(2)
となる。そして、式(1)を第1領域、式(2)を第2領
域各々のスリツトを形成するために用いる。すな
わち、各領域の明と暗の境界を上記式(1)、式(2)で
規定して、蒸着等により透明ガラス板上にスリツ
トを形成する。但し、a1<γ1<a2、a1<γ2<a2
(a2は内周部の外径に相当する)であり、また、
第1領域と第2領域の境界を極座標における角度
位置の基準にしてスリツトの各曲線が規定され
る。
域各々のスリツトを形成するために用いる。すな
わち、各領域の明と暗の境界を上記式(1)、式(2)で
規定して、蒸着等により透明ガラス板上にスリツ
トを形成する。但し、a1<γ1<a2、a1<γ2<a2
(a2は内周部の外径に相当する)であり、また、
第1領域と第2領域の境界を極座標における角度
位置の基準にしてスリツトの各曲線が規定され
る。
そうすると、チヨツパ円板7の表方向(第3図
とは逆方向)から見た第5図a,bで示したよう
に、チヨツパ円板7の右回転によつて、第1領域
が受光器8上を横切るときは受光面上は下から上
へ、すなわちY方向へ走査され(第5図a)、第
2領域が受光器8上を横切るときは受光面上は左
から右へ、すなわち上記Y方向に直交するX方向
へ走査されることになる(第5図b)。
とは逆方向)から見た第5図a,bで示したよう
に、チヨツパ円板7の右回転によつて、第1領域
が受光器8上を横切るときは受光面上は下から上
へ、すなわちY方向へ走査され(第5図a)、第
2領域が受光器8上を横切るときは受光面上は左
から右へ、すなわち上記Y方向に直交するX方向
へ走査されることになる(第5図b)。
チヨツパ円板7の外側部は光源と光電変換素子
とによつて挟持されて領域識別装置を構成し、従
つて光電変換素子の光電変換信号から第1領域と
第2領域の識別が行なわれ、また中間部42は別
の専用光源と専用光電変換素子とによつて挟持さ
れ、いわゆるロータリーエンコーダを形成し、こ
の専用光電変換素子の光電変換信号からチヨツパ
円板7の周波数情報を得ている。これらの光源と
光電変換素子とは第1図、第2図ではまとめて受
光器8と同一法線l上にフオトインタラプタ装置
9として示してある。
とによつて挟持されて領域識別装置を構成し、従
つて光電変換素子の光電変換信号から第1領域と
第2領域の識別が行なわれ、また中間部42は別
の専用光源と専用光電変換素子とによつて挟持さ
れ、いわゆるロータリーエンコーダを形成し、こ
の専用光電変換素子の光電変換信号からチヨツパ
円板7の周波数情報を得ている。これらの光源と
光電変換素子とは第1図、第2図ではまとめて受
光器8と同一法線l上にフオトインタラプタ装置
9として示してある。
受光器8は4つの独立した光電変換素子8a,
8b,8c,8dから構成され、各光電変換素子
8a乃至8dはピンホール板2a乃至2dに対応
している。本実施例のチヨツパ円板7の第2領域
は、受光器8の受光面上において第1図の紙面に
垂直な方向、すなわち被検眼E1が球面である時
にはピンホール板2c,2dの像2c′,2d′を結
ぶ方向(X方向)にスリツトを走査する。被検眼
E1がトーリツク面である時には、ピンホール板
の像2a′乃至2d′は被検眼E1によるねじれの影響
を受け、例えば像2a′,2d′の方向はスリツトの
走査方向(矢印×)とはねじれに応じた角度αず
れることになる(第6図参照)。光電変換素子8
dは、チヨツパ円板7のスリツトが丁度ピンホー
ル板2dの像2d′上にある時にのみ高レベルの信
号を出力するから、光電変換素子8dの出力信号
はチヨツパ円板7の回転により、第7図aの如き
一定間隔(スリツトのピツチとチヨツパの回転速
度とで定まる)毎に生ずるパルス信号となる。同
様に光電変換素子8c出力信号は第7図bの如き
信号となる。ピンホール板の像2c′,2d′の方向
がねじれの影響にて所定の角度ずれても、スリツ
トの走査方向は変化しないから、光電変換素子8
cのパルス(第7図a)が生じた後、光電変換素
子8dのパルス(第7図b)が生じるまでの時間
t1(第7図参照)は、ピンホール板の像2c′,2
d′の間隔を受光器8の受光面上におけるスリツト
の走査方向Xへ射影した間隔h1(第6図参照)に
なる。また、光電変換素子8bのパルスが生じた
後、光電変換素子8aのパルスが生じるまでの時
間はピンホール板2a,2bの像2a′,2b′間隔
を受光器8上におけるスリツトの走査方向Xへ射
影した間隔△1に対応する。同様に、チヨツパ円
板7の第1領域において受光器8の受光面を走査
しているとき、光電変換素子8dのパルスが生じ
た後、光電変換素子8cのパルスが生じるまでの
時間(不図示)は、ピンホール板2c,2dの像
2c′,2d′間隔を受光器8の受光面上におけるス
リツトの走査方向Yへ射影した間隔h2に対応する
ことになる。また同様に、光電変換素子8c,8
dからピンホール板2c,2dの像間隔を受光器
8の受光面上におけるスリツトの走査方向Yへ射
影した間隔△2(不図示)に対応した時間を求める
ことができる。
8b,8c,8dから構成され、各光電変換素子
8a乃至8dはピンホール板2a乃至2dに対応
している。本実施例のチヨツパ円板7の第2領域
は、受光器8の受光面上において第1図の紙面に
垂直な方向、すなわち被検眼E1が球面である時
にはピンホール板2c,2dの像2c′,2d′を結
ぶ方向(X方向)にスリツトを走査する。被検眼
E1がトーリツク面である時には、ピンホール板
の像2a′乃至2d′は被検眼E1によるねじれの影響
を受け、例えば像2a′,2d′の方向はスリツトの
走査方向(矢印×)とはねじれに応じた角度αず
れることになる(第6図参照)。光電変換素子8
dは、チヨツパ円板7のスリツトが丁度ピンホー
ル板2dの像2d′上にある時にのみ高レベルの信
号を出力するから、光電変換素子8dの出力信号
はチヨツパ円板7の回転により、第7図aの如き
一定間隔(スリツトのピツチとチヨツパの回転速
度とで定まる)毎に生ずるパルス信号となる。同
様に光電変換素子8c出力信号は第7図bの如き
信号となる。ピンホール板の像2c′,2d′の方向
がねじれの影響にて所定の角度ずれても、スリツ
トの走査方向は変化しないから、光電変換素子8
cのパルス(第7図a)が生じた後、光電変換素
子8dのパルス(第7図b)が生じるまでの時間
t1(第7図参照)は、ピンホール板の像2c′,2
d′の間隔を受光器8の受光面上におけるスリツト
の走査方向Xへ射影した間隔h1(第6図参照)に
なる。また、光電変換素子8bのパルスが生じた
後、光電変換素子8aのパルスが生じるまでの時
間はピンホール板2a,2bの像2a′,2b′間隔
を受光器8上におけるスリツトの走査方向Xへ射
影した間隔△1に対応する。同様に、チヨツパ円
板7の第1領域において受光器8の受光面を走査
しているとき、光電変換素子8dのパルスが生じ
た後、光電変換素子8cのパルスが生じるまでの
時間(不図示)は、ピンホール板2c,2dの像
2c′,2d′間隔を受光器8の受光面上におけるス
リツトの走査方向Yへ射影した間隔h2に対応する
ことになる。また同様に、光電変換素子8c,8
dからピンホール板2c,2dの像間隔を受光器
8の受光面上におけるスリツトの走査方向Yへ射
影した間隔△2(不図示)に対応した時間を求める
ことができる。
第8図に示したように各光電変換素子8a乃至
8dの出力信号は各々に対応する増幅回路71乃
至74にて増幅される。増幅回路71,71の出
力信号は第1時間差測定回路75へ、増幅回路7
3,74の出力信号は第2時間差測定回路76へ
各々入力される。時間差測定回路75,76は2
つの入力信号(パルス)の時間差に応じた信号を
出力する。
8dの出力信号は各々に対応する増幅回路71乃
至74にて増幅される。増幅回路71,71の出
力信号は第1時間差測定回路75へ、増幅回路7
3,74の出力信号は第2時間差測定回路76へ
各々入力される。時間差測定回路75,76は2
つの入力信号(パルス)の時間差に応じた信号を
出力する。
時間差測定回路75,76の出力信号はコンピ
ユータ77に入力される。コンピユータ77は、
領域識別装置78からの識別信号及びロータリー
エンコーダ79からの周波数信号をも入力してお
り、時間差設定回路75,76の出力信号との間
で演算を行ない、一方の主径線の方向での曲率半
径γ1、他方の主径線の方向での曲率半径γ2、ねじ
の角度(これは主径線の方向を定める角度)αを
求め、表示装置80に表示せしめる。
ユータ77に入力される。コンピユータ77は、
領域識別装置78からの識別信号及びロータリー
エンコーダ79からの周波数信号をも入力してお
り、時間差設定回路75,76の出力信号との間
で演算を行ない、一方の主径線の方向での曲率半
径γ1、他方の主径線の方向での曲率半径γ2、ねじ
の角度(これは主径線の方向を定める角度)αを
求め、表示装置80に表示せしめる。
すなわち、コンピユータ77は第9図のフロー
チヤートに示したように、まずロータリーエンコ
ーダ79からチヨツパ円板7の回転周波数に応じ
た信号を入力し、(ステツプ81)、基準の周波数に
対する大小によつて補正値を求め、時間差測定回
路75,76に入力する(ステツプ82)。時間差
測定回路75,76が、例えばパルス間隔をクロ
ツクパルスの数によつて計数するように構成され
ていれば、上記補正値は周波数可変のクロツクパ
ルス発生器(時間差測定回路75,76が内蔵し
ている)に入力され、回転周波数にかかわらず、
常にピンホール像の間隔と1対1に対応した数の
クロツクパルスが計数されるように、クロツクパ
ルスの周波数変化させる。次にコンピユータ77
は、領域識別装置78からの識別信号(例えば第
1領域では遮光部にて光電変換素子は遮光され低
レベルの信号が、第2領域では透光部41によつ
て遮光が解除されるので高レベルの信号が得られ
る)を読み込み(ステツプ83)、第2領域であれ
ば(ステツプ84)、ステツプ85において、第1時
間差測定回路75の出力信号から間隔h2を、第2
時間差測定回路76の出力信号から間隔△1を求
め、またステツプ84において第1領域と判断すれ
ば、第1時間差測定回路75の出力信号から間隔
h2を求める(ステツプ86)。そして、ステツプ85、
86で得られた間隔h1、h2、△から一方の主径線の
方向での曲率半径γ1、他方の主径線の方向での曲
率半径γ2、ねじれの角度αを求め(ステツプ87)、
表示装置80に表示せしめる(ステツプ88)。
チヤートに示したように、まずロータリーエンコ
ーダ79からチヨツパ円板7の回転周波数に応じ
た信号を入力し、(ステツプ81)、基準の周波数に
対する大小によつて補正値を求め、時間差測定回
路75,76に入力する(ステツプ82)。時間差
測定回路75,76が、例えばパルス間隔をクロ
ツクパルスの数によつて計数するように構成され
ていれば、上記補正値は周波数可変のクロツクパ
ルス発生器(時間差測定回路75,76が内蔵し
ている)に入力され、回転周波数にかかわらず、
常にピンホール像の間隔と1対1に対応した数の
クロツクパルスが計数されるように、クロツクパ
ルスの周波数変化させる。次にコンピユータ77
は、領域識別装置78からの識別信号(例えば第
1領域では遮光部にて光電変換素子は遮光され低
レベルの信号が、第2領域では透光部41によつ
て遮光が解除されるので高レベルの信号が得られ
る)を読み込み(ステツプ83)、第2領域であれ
ば(ステツプ84)、ステツプ85において、第1時
間差測定回路75の出力信号から間隔h2を、第2
時間差測定回路76の出力信号から間隔△1を求
め、またステツプ84において第1領域と判断すれ
ば、第1時間差測定回路75の出力信号から間隔
h2を求める(ステツプ86)。そして、ステツプ85、
86で得られた間隔h1、h2、△から一方の主径線の
方向での曲率半径γ1、他方の主径線の方向での曲
率半径γ2、ねじれの角度αを求め(ステツプ87)、
表示装置80に表示せしめる(ステツプ88)。
このようにして上記実施例では、平板状のチヨ
ツパ円板の連続回転によつて直交する2方向の走
査を行なうことができるので、構成が簡単でかつ
精度の良いチヨツパ円板を安価に作ることができ
る。そしてさらに、所定の方向の法線上において
常にスリツトが直交する2方向へ択一走査するよ
うな曲線(式(1)、式(2)による……勿論は45度と
135度に限らない)にてスリツトを形成したから、
受光器の配置に融通性が生ずる、という利点があ
る。
ツパ円板の連続回転によつて直交する2方向の走
査を行なうことができるので、構成が簡単でかつ
精度の良いチヨツパ円板を安価に作ることができ
る。そしてさらに、所定の方向の法線上において
常にスリツトが直交する2方向へ択一走査するよ
うな曲線(式(1)、式(2)による……勿論は45度と
135度に限らない)にてスリツトを形成したから、
受光器の配置に融通性が生ずる、という利点があ
る。
なお、受光器の配置に融通性を持たせるという
ことを無視すれば、第10図に示したように、所
定の方向の法線上でかつまた所定の半径上におい
てスリツトが直交する2方向へ択一走査するよう
に、直線スリツトを形成することができる。この
ものは、受光器を所定の方向の法線上でかつまた
所定の半径R1上に置かなければならないとう制
約はあるものの、その余は第4図のチヨツパ円板
と同一の効果を有する。
ことを無視すれば、第10図に示したように、所
定の方向の法線上でかつまた所定の半径上におい
てスリツトが直交する2方向へ択一走査するよう
に、直線スリツトを形成することができる。この
ものは、受光器を所定の方向の法線上でかつまた
所定の半径R1上に置かなければならないとう制
約はあるものの、その余は第4図のチヨツパ円板
と同一の効果を有する。
さらに、上述の第4図、第10図のような平板
状のチヨツパではなしに、ドラム形のチヨツパを
用いることもできる。その場合にはドラムの回転
中心を対物レンズ6の光軸と平行になすと共に、
対物レンズ6の光軸がドラムの内周面から外側面
に通過するようにその光軸を直角プリズム等で折
り曲げ、ドラムの側面に所定の2方向に直交走査
するスリツトを形成すれば良い。
状のチヨツパではなしに、ドラム形のチヨツパを
用いることもできる。その場合にはドラムの回転
中心を対物レンズ6の光軸と平行になすと共に、
対物レンズ6の光軸がドラムの内周面から外側面
に通過するようにその光軸を直角プリズム等で折
り曲げ、ドラムの側面に所定の2方向に直交走査
するスリツトを形成すれば良い。
(発明の効果)
以上述べたように本発明によれば、光路を変更
するプリズム等を不用とし、直交するX、Y2方
向へ走査するチヨツパ部材を用いることによつ
て、安価かつ構造の簡単な光像間隔の測定装置を
得ることができる。
するプリズム等を不用とし、直交するX、Y2方
向へ走査するチヨツパ部材を用いることによつ
て、安価かつ構造の簡単な光像間隔の測定装置を
得ることができる。
第1図は本発明の第1実施例を曲率半径の自動
測定装置に応用した光学系を示す図、第2図は第
1図の光学系を被検眼E1の方向から見た図、第
3図は第1図のA−A′矢視図、第4図は第1実
施例のチヨツパ円板の平面図、第5図a,bはチ
ヨツパ円板による受光器の走査の様子を説明する
図、第6図は受光器と受光器上のピンホール像の
走査方向への射影間隔を示す図、第7図a,bは
受光器を形成する光電変換素子から得られる信号
の様子を示す図、第8図は曲率半径を求めるため
の電気ブロツク図、第9図は第8図のコンピユー
タのフローチヤート、第10図はチヨツパ円板の
他の実施例を示す平面図、である。 (主要部分の符号の説明)、7……チヨツパ円
板、8……受光器、9……フオトインタラプタ装
置、10……モータ、75……第1時間差測定回
路、76……第2時間差測定回路、77……コン
ピユータ、78……領域識別装置。
測定装置に応用した光学系を示す図、第2図は第
1図の光学系を被検眼E1の方向から見た図、第
3図は第1図のA−A′矢視図、第4図は第1実
施例のチヨツパ円板の平面図、第5図a,bはチ
ヨツパ円板による受光器の走査の様子を説明する
図、第6図は受光器と受光器上のピンホール像の
走査方向への射影間隔を示す図、第7図a,bは
受光器を形成する光電変換素子から得られる信号
の様子を示す図、第8図は曲率半径を求めるため
の電気ブロツク図、第9図は第8図のコンピユー
タのフローチヤート、第10図はチヨツパ円板の
他の実施例を示す平面図、である。 (主要部分の符号の説明)、7……チヨツパ円
板、8……受光器、9……フオトインタラプタ装
置、10……モータ、75……第1時間差測定回
路、76……第2時間差測定回路、77……コン
ピユータ、78……領域識別装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 受光器の受光面上に生じた少くとも2つの光
像の第1方向と第2方向における間隔を前記受光
器から出力される光電変換信号によつて求める光
像間隔の測定装置において、 前記受光面上を第1方向へ走査する第1のスリ
ツト及び前記受光面上を第2方向へ走査する第2
のスリツトを面分割して形成されると共に、前記
受光面に隣接して配設されるチヨツパ部材と、 前記チヨツパ部材を回転せしめる回転駆動装置
と、 前記チヨツパ部材が前記受光面上を前記第1方
向と前記第2方向のいずれの方向へ走査している
かの識別信号を出力する識別信号出力装置と、 前記識別信号と前記受光器からの光電変換信号
とを入力し、前記受光面上が前記第1方向へ走査
されているときに前記光電変換信号から前記光像
の前記第1方向での間隔を求めると共に、前記受
光面が前記第2方向へ走査されているときに前記
光電変換信号から前記光像の前記第2方向での間
隔を求める演算装置と、 を設けたことを特徴とする光像間隔の測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14510485A JPS625109A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 光像間隔の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14510485A JPS625109A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 光像間隔の測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS625109A JPS625109A (ja) | 1987-01-12 |
JPH0566962B2 true JPH0566962B2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=15377466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14510485A Granted JPS625109A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | 光像間隔の測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS625109A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102366468B1 (ko) * | 2021-06-28 | 2022-02-23 | 강구봉 | 리니어가이드 가공을 위한 롤링가공장치 |
-
1985
- 1985-07-02 JP JP14510485A patent/JPS625109A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102366468B1 (ko) * | 2021-06-28 | 2022-02-23 | 강구봉 | 리니어가이드 가공을 위한 롤링가공장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS625109A (ja) | 1987-01-12 |
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