JPH0563488A - 弾性表面波変換器 - Google Patents
弾性表面波変換器Info
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- JPH0563488A JPH0563488A JP3218498A JP21849891A JPH0563488A JP H0563488 A JPH0563488 A JP H0563488A JP 3218498 A JP3218498 A JP 3218498A JP 21849891 A JP21849891 A JP 21849891A JP H0563488 A JPH0563488 A JP H0563488A
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14502—Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
- H03H9/14505—Unidirectional SAW transducers
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 特定の周波数のみを取り出しかつ挿入損失を
低減した小型化可能な一方向性弾性表面波変換器を提供
する。 【構成】 圧電基板１の表面に入力側インタデジタルト
ランスデューサ電極１０と出力側インタデジタルトラン
スデューサ電極を配置する。各電極２、３間で弾性表面
波を励振または受信する。電極２と電極３との間には、
短絡した浮き電極４を設ける。電極２、３によって励振
された弾性表面波の位相と浮き電極４によって反射した
波の位相とが波の前進方向にほぼ同位相に、後退方向に
ほぼ逆位相になるように、電極２、電極３および浮き電
極４が配置される。そして、電極列方向にいくに従い正
電極側から負電極側または負電極側から正電極側へ電極
長さが距離重み付けされる。浮き電極４の配置は各組の
電極２と電極３において非対称である。
低減した小型化可能な一方向性弾性表面波変換器を提供
する。 【構成】 圧電基板１の表面に入力側インタデジタルト
ランスデューサ電極１０と出力側インタデジタルトラン
スデューサ電極を配置する。各電極２、３間で弾性表面
波を励振または受信する。電極２と電極３との間には、
短絡した浮き電極４を設ける。電極２、３によって励振
された弾性表面波の位相と浮き電極４によって反射した
波の位相とが波の前進方向にほぼ同位相に、後退方向に
ほぼ逆位相になるように、電極２、電極３および浮き電
極４が配置される。そして、電極列方向にいくに従い正
電極側から負電極側または負電極側から正電極側へ電極
長さが距離重み付けされる。浮き電極４の配置は各組の
電極２と電極３において非対称である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波変換器に関
するもので、詳細には、トランスバーサル型一方向性弾
性表面波変換器のもつインタデジタルトランスデューサ
（以下、「ＩＤＴ」という）電極の電極配列構造に関す
るものである。本発明の弾性表面波変換器は、例えば移
動体通信用の各種フィルタに適用することができる。
するもので、詳細には、トランスバーサル型一方向性弾
性表面波変換器のもつインタデジタルトランスデューサ
（以下、「ＩＤＴ」という）電極の電極配列構造に関す
るものである。本発明の弾性表面波変換器は、例えば移
動体通信用の各種フィルタに適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】従来のＩＤＴ電極としては、特公平３−
２０９２９号公報に示されるように、正負電極間にこれ
らの電極とは非接触の浮き電極を設けたものが知られて
いる。このものは、開放および短絡浮き電極によって反
射される波動の向きに一方向性をもたせたものである。
２０９２９号公報に示されるように、正負電極間にこれ
らの電極とは非接触の浮き電極を設けたものが知られて
いる。このものは、開放および短絡浮き電極によって反
射される波動の向きに一方向性をもたせたものである。
【０００３】一方向性変換器としては、マルチストリッ
プカップラーを用いた一方向性変換器、多相系一方向性
変換器、単相系一方向性変換器等があるが（マイクロ波
回路の基礎と応用（総合電子出版社）1990年8 月20日発
行280 頁参照）、前記公報に示されるＩＤＴ電極は、単
相系一方向性変換器に該当し、そのうち浮き電極による
反射を用いた一方向性変換器である。
プカップラーを用いた一方向性変換器、多相系一方向性
変換器、単相系一方向性変換器等があるが（マイクロ波
回路の基礎と応用（総合電子出版社）1990年8 月20日発
行280 頁参照）、前記公報に示されるＩＤＴ電極は、単
相系一方向性変換器に該当し、そのうち浮き電極による
反射を用いた一方向性変換器である。
【０００４】この浮き電極による反射を用いた一方向性
変換器が大きな一方向性をもつ理由は次のとおりであ
る。圧電体基板上の金属ストリップ電極の反射係数は、
膜厚、電極幅等によって変化し、特に、反射位相は、各
ストリップ電極を電気的に短絡した場合と開放した場合
で１８０度異なる。いま、正負励振電極間の中心からず
らした位置に開放型の浮き電極を配置すると、表面波の
励振中心と反射中心のシフトが起こり方向性が得られ
る。また、短絡系の浮き電極を用いると、反射位相が１
８０度異なることから、逆方向性が得られる。これによ
り、２個の浮き電極を配置すると、より大きな反射が得
られ、大きな方向性が得られる。
変換器が大きな一方向性をもつ理由は次のとおりであ
る。圧電体基板上の金属ストリップ電極の反射係数は、
膜厚、電極幅等によって変化し、特に、反射位相は、各
ストリップ電極を電気的に短絡した場合と開放した場合
で１８０度異なる。いま、正負励振電極間の中心からず
らした位置に開放型の浮き電極を配置すると、表面波の
励振中心と反射中心のシフトが起こり方向性が得られ
る。また、短絡系の浮き電極を用いると、反射位相が１
８０度異なることから、逆方向性が得られる。これによ
り、２個の浮き電極を配置すると、より大きな反射が得
られ、大きな方向性が得られる。
【０００５】このような弾性表面波トランスバーサルフ
ィルタの特徴としては、弾性表面波の伝搬速度が電磁波
の速度に比べて遅いため小型軽量の素子が得られるこ
と、基板上での信号のタッピングが容易なこと、ＩＤＴ
の電極形状がインパルス応答に１：１に対応しているこ
とがある。インパルス応答に対応した電極の従来の重み
付け法としては、電極の交差幅を中心付近で広くし、端
に向かって徐々に狭くして励振強度に適当な分布をもた
せる方法（アポタイズ法）、電極の交差幅を一定にし軸
方向電界強度に重み付けをする方法（軸方向重み付け
法）並びに電極を適当に間引く法（間引法）等が知られ
ている。
ィルタの特徴としては、弾性表面波の伝搬速度が電磁波
の速度に比べて遅いため小型軽量の素子が得られるこ
と、基板上での信号のタッピングが容易なこと、ＩＤＴ
の電極形状がインパルス応答に１：１に対応しているこ
とがある。インパルス応答に対応した電極の従来の重み
付け法としては、電極の交差幅を中心付近で広くし、端
に向かって徐々に狭くして励振強度に適当な分布をもた
せる方法（アポタイズ法）、電極の交差幅を一定にし軸
方向電界強度に重み付けをする方法（軸方向重み付け
法）並びに電極を適当に間引く法（間引法）等が知られ
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の一方向性弾性表面波変換器によると、特定の
周波数のみを取り出し、挿入損失を減らすには不十分で
あった。本発明は、このような問題点を解決するために
なされたもので、特定の周波数のみを取り出しかつ挿入
損失を低減した小型化可能な一方向性弾性表面波変換器
を提供することを目的とする。
うな従来の一方向性弾性表面波変換器によると、特定の
周波数のみを取り出し、挿入損失を減らすには不十分で
あった。本発明は、このような問題点を解決するために
なされたもので、特定の周波数のみを取り出しかつ挿入
損失を低減した小型化可能な一方向性弾性表面波変換器
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明による弾性表面波変換器は、圧電基板表面にＩ
ＤＴ電極を配置し、弾性表面波を励振または受信する弾
性表面波変換器において、前記ＩＤＴ電極の正電極およ
び負電極と、前記ＩＤＴ電極の正電極および負電極間に
設けられる浮き電極とを有し、前記ＩＤＴ電極によって
励振された弾性表面波の位相と前記浮き電極によって反
射した波の位相とが波の前進方向にほぼ同位相に、後退
方向にほぼ逆位相になるように、前記正電極、前記負電
極および前記浮き電極が配置され、かつ電極列方向に行
くに従い正電極側から負電極側または負電極側から正電
極側へ電極長さが距離重み付けされることを特徴とす
る。
の本発明による弾性表面波変換器は、圧電基板表面にＩ
ＤＴ電極を配置し、弾性表面波を励振または受信する弾
性表面波変換器において、前記ＩＤＴ電極の正電極およ
び負電極と、前記ＩＤＴ電極の正電極および負電極間に
設けられる浮き電極とを有し、前記ＩＤＴ電極によって
励振された弾性表面波の位相と前記浮き電極によって反
射した波の位相とが波の前進方向にほぼ同位相に、後退
方向にほぼ逆位相になるように、前記正電極、前記負電
極および前記浮き電極が配置され、かつ電極列方向に行
くに従い正電極側から負電極側または負電極側から正電
極側へ電極長さが距離重み付けされることを特徴とす
る。
【０００８】ここに、「距離重み付け」とは、送信（入
力）側ＩＤＴ電極と受信（出力）側電極間の距離を変化
させることをいう。具体的には、例えば図２において、
入出力各部の対数を（Ｎ1 ，Ｎ2 ，…Ｎn ），（Ｎ1
´，Ｎ2 ´，…Ｎn ´）、各部分の電極間距離を（ｘ
1 ，ｘ2 ，…ｘn ）とし、Ｎi ，Ｎi ´（ｉ＝１〜ｎ）
を同じ数にする場合と異なる数にする場合の両方につい
てｘi-1 −ｘi （２≦ｉ≦ｎ）＝Ｍ・λ／２（Ｍ≧１の
整数）とし、交差幅ａi （１≦ｉ≦ｎ）を適当な関数例
えばカイザー関数等で与えることにより、所望の特性を
得ることをいう。
力）側ＩＤＴ電極と受信（出力）側電極間の距離を変化
させることをいう。具体的には、例えば図２において、
入出力各部の対数を（Ｎ1 ，Ｎ2 ，…Ｎn ），（Ｎ1
´，Ｎ2 ´，…Ｎn ´）、各部分の電極間距離を（ｘ
1 ，ｘ2 ，…ｘn ）とし、Ｎi ，Ｎi ´（ｉ＝１〜ｎ）
を同じ数にする場合と異なる数にする場合の両方につい
てｘi-1 −ｘi （２≦ｉ≦ｎ）＝Ｍ・λ／２（Ｍ≧１の
整数）とし、交差幅ａi （１≦ｉ≦ｎ）を適当な関数例
えばカイザー関数等で与えることにより、所望の特性を
得ることをいう。
【０００９】前記浮き電極は、開放型の浮き電極と短絡
型の浮き電極からなる場合と、短絡型の浮き電極のみか
らなる場合とがある。前記弾性表面波変換器は、前記浮
き電極の配置を各組の正電極と負電極において非対称で
あるように設計することができる。前記圧電基板は、開
放型の浮き電極と短絡型の浮き電極を用いる場合、電気
機械結合係数Ｋ2 が１％以上の基板を用いるのが望まし
く、短絡型の浮き電極のみを用いる場合、電気機械結合
係数Ｋ2 が１％以下の基板、例えば水晶を用いるのが望
ましい。
型の浮き電極からなる場合と、短絡型の浮き電極のみか
らなる場合とがある。前記弾性表面波変換器は、前記浮
き電極の配置を各組の正電極と負電極において非対称で
あるように設計することができる。前記圧電基板は、開
放型の浮き電極と短絡型の浮き電極を用いる場合、電気
機械結合係数Ｋ2 が１％以上の基板を用いるのが望まし
く、短絡型の浮き電極のみを用いる場合、電気機械結合
係数Ｋ2 が１％以下の基板、例えば水晶を用いるのが望
ましい。
【００１０】
【作用】本発明の弾性表面波変換器によると、基板の圧
電効果を利用したすだれ状ＩＤＴの電極指にＲＦ電圧を
印加すると、圧電効果により基板表面近傍に周期的歪を
生じる。弾性表面波の波長λがＩＤＴの電極周期ｄにほ
ぼ一致する周波数ｆo （＝ｖ／ｄ、ｖ：弾性表面波速
度）で、各電極指から励起された弾性表面波が同相に加
わるので送受波間の感度が最も高くなる。
電効果を利用したすだれ状ＩＤＴの電極指にＲＦ電圧を
印加すると、圧電効果により基板表面近傍に周期的歪を
生じる。弾性表面波の波長λがＩＤＴの電極周期ｄにほ
ぼ一致する周波数ｆo （＝ｖ／ｄ、ｖ：弾性表面波速
度）で、各電極指から励起された弾性表面波が同相に加
わるので送受波間の感度が最も高くなる。
【００１１】本発明の弾性表面波変換器によると、距離
重み付けによる電極配列を採ったので、同等の狭帯域特
性を得るのに「アポタイズによる重み付け電極」と「正
規型電極」の組合わせに比較して、挿入損失の増大を抑
えかつ電極本数を減らすことができる。さらに、浮き電
極の配置を各組の正負の電極において非対称にすること
により、弾性表面波の反射を増加させた強い方向性とリ
ップルの少ない狭帯域フィルタが得られる。
重み付けによる電極配列を採ったので、同等の狭帯域特
性を得るのに「アポタイズによる重み付け電極」と「正
規型電極」の組合わせに比較して、挿入損失の増大を抑
えかつ電極本数を減らすことができる。さらに、浮き電
極の配置を各組の正負の電極において非対称にすること
により、弾性表面波の反射を増加させた強い方向性とリ
ップルの少ない狭帯域フィルタが得られる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。まず、本発明をなすに至った基本的な考え方につ
いて説明する。圧電、電歪基板上に通常の正負ＩＤＴ電
極を設け、それぞれの電極の間隔をλ／２とし、これら
両電極間に周波数ｆ＝ｖ／λなる交流電圧を印加する
と、λにほぼ等しい弾性表面波が励起され、励起された
弾性表面波は基板表面をＩＤＴ電極列に沿って左右均等
に伝搬する。浮き電極の位置を前記ＩＤＴ電極の中央か
らはずれた位置に配置すると、前記浮き電極により波動
の両方向性が崩れてＩＤＴ電極列の左右いずれか一方に
伝搬する波動が大となる。
する。まず、本発明をなすに至った基本的な考え方につ
いて説明する。圧電、電歪基板上に通常の正負ＩＤＴ電
極を設け、それぞれの電極の間隔をλ／２とし、これら
両電極間に周波数ｆ＝ｖ／λなる交流電圧を印加する
と、λにほぼ等しい弾性表面波が励起され、励起された
弾性表面波は基板表面をＩＤＴ電極列に沿って左右均等
に伝搬する。浮き電極の位置を前記ＩＤＴ電極の中央か
らはずれた位置に配置すると、前記浮き電極により波動
の両方向性が崩れてＩＤＴ電極列の左右いずれか一方に
伝搬する波動が大となる。
【００１３】図２は、本発明の第１実施例による一方向
性弾性表面波フィルタの電極構成を示すもので、図２
中、１はフィルタの基板、１０は入力側正負ＩＤＴ電
極、１１は出力側正負ＩＤＴ電極を示す。図１は、図２
に示すＡ部分を電極列方向に引き伸した拡大図である。
図１中、２、３は正負ＩＤＴ電極、４はコ字状に短絡し
た浮き電極である。
性弾性表面波フィルタの電極構成を示すもので、図２
中、１はフィルタの基板、１０は入力側正負ＩＤＴ電
極、１１は出力側正負ＩＤＴ電極を示す。図１は、図２
に示すＡ部分を電極列方向に引き伸した拡大図である。
図１中、２、３は正負ＩＤＴ電極、４はコ字状に短絡し
た浮き電極である。
【００１４】短絡型の浮き電極４の位置を一方のＩＤＴ
電極３のそばに近接させ、両者の中心間隔をｘとしたも
のである。ｘの値は、浮き電極幅をλ／１２とすると、
λ／１２＜ｘ＜λ／６の間で適切に並び、浮き電極のイ
ンピーダンスも適当な値に設定すると、励起される波動
エネルギーが一方向に強く伝搬する。短絡した浮き電極
４によって反射される波動の位相は、それぞれ独立した
浮き電極４によって反射される波動の位相に比して１８
０度反転する。従って伝搬する波動エネルギーが一方向
に増大する。
電極３のそばに近接させ、両者の中心間隔をｘとしたも
のである。ｘの値は、浮き電極幅をλ／１２とすると、
λ／１２＜ｘ＜λ／６の間で適切に並び、浮き電極のイ
ンピーダンスも適当な値に設定すると、励起される波動
エネルギーが一方向に強く伝搬する。短絡した浮き電極
４によって反射される波動の位相は、それぞれ独立した
浮き電極４によって反射される波動の位相に比して１８
０度反転する。従って伝搬する波動エネルギーが一方向
に増大する。
【００１５】図２に示すように、入力側正負ＩＤＴ電極
１０と出力側正負ＩＤＴ電極１１の電極配列構造は、波
動の伝搬路の中心に対し出力側と入力側とで反転した電
極配列構造をもつ。また入力側正負ＩＤＴ電極１０と出
力側正負ＩＤＴ電極１１は、距離重み付けが連続的に得
られるようにＩＤＴ電極２、ＩＤＴ電極３、浮き電極４
が配列される。すなわち、入力側正負ＩＤＴ電極１０と
出力側正負ＩＤＴ電極１１の各電極の交差している部分
をａ1 ，ａ2 ，ａ3 ，…ａn-1 ，ａn とした場合、ａ1
に該当する部分の入力側ＩＤＴ電極１０と出力側ＩＤＴ
電極１１の距離をｘ1 、ａ2 に該当する距離をｘ2 、ａ
n に該当する距離をｘn とするとｘi-1−ｘi （２≦ｉ
≦ｎ）＝λとし、ａi （１≦ｉ≦ｎ）を例えばカイザー
関数で与えている。
１０と出力側正負ＩＤＴ電極１１の電極配列構造は、波
動の伝搬路の中心に対し出力側と入力側とで反転した電
極配列構造をもつ。また入力側正負ＩＤＴ電極１０と出
力側正負ＩＤＴ電極１１は、距離重み付けが連続的に得
られるようにＩＤＴ電極２、ＩＤＴ電極３、浮き電極４
が配列される。すなわち、入力側正負ＩＤＴ電極１０と
出力側正負ＩＤＴ電極１１の各電極の交差している部分
をａ1 ，ａ2 ，ａ3 ，…ａn-1 ，ａn とした場合、ａ1
に該当する部分の入力側ＩＤＴ電極１０と出力側ＩＤＴ
電極１１の距離をｘ1 、ａ2 に該当する距離をｘ2 、ａ
n に該当する距離をｘn とするとｘi-1−ｘi （２≦ｉ
≦ｎ）＝λとし、ａi （１≦ｉ≦ｎ）を例えばカイザー
関数で与えている。
【００１６】基板１の材料は、例えばＬｉＮｂＯ3 、Ｌ
ｉＴａＯ3 、水晶、Ｂｉ12ＧｅＯ20、ＡｌＰＯ4 、Ｌｉ
2 Ｂ4 Ｏ7 等を用いることができる。このうち、水晶が
特に望ましい。浮き電極による反射を用いた一方向性変
換器の構造は、一体のフォトリソグラフィで作成でき
る。電極の線幅がλ／１６〜λの範囲であり、３００Ｍ
ＨZ 以下の周波数帯が適当範囲である。例えば１００Ｍ
ＨZ で挿入損失約２．３ｄＢのフィルタが得られる。
ｉＴａＯ3 、水晶、Ｂｉ12ＧｅＯ20、ＡｌＰＯ4 、Ｌｉ
2 Ｂ4 Ｏ7 等を用いることができる。このうち、水晶が
特に望ましい。浮き電極による反射を用いた一方向性変
換器の構造は、一体のフォトリソグラフィで作成でき
る。電極の線幅がλ／１６〜λの範囲であり、３００Ｍ
ＨZ 以下の周波数帯が適当範囲である。例えば１００Ｍ
ＨZ で挿入損失約２．３ｄＢのフィルタが得られる。
【００１７】この第１実施例の弾性波フィルタによる
と、電極対数を低減し、一方向性をもつ波動エネルギー
を大幅に増大することができる。これによりフィルタの
小型化が図れる。特に、電気機械結合係数Ｋ2 が小さい
場合は、電極の質量の付加による機械的反射が一方向性
に重要であり、そのためには図１に示す構造の一方向性
変換器のように機械的反射を非対称にするために開放型
の浮き電極を取り除き短絡型の浮き電極のみにするのが
望ましい。
と、電極対数を低減し、一方向性をもつ波動エネルギー
を大幅に増大することができる。これによりフィルタの
小型化が図れる。特に、電気機械結合係数Ｋ2 が小さい
場合は、電極の質量の付加による機械的反射が一方向性
に重要であり、そのためには図１に示す構造の一方向性
変換器のように機械的反射を非対称にするために開放型
の浮き電極を取り除き短絡型の浮き電極のみにするのが
望ましい。
【００１８】次に、本発明の第１実施例による一方向性
弾性波フィルタの挿入損失の特性を前記実施例と従来の
比較例とで比較した。その結果を図７および図９に示
す。図８は従来の比較例による弾性表面波フィルタの電
極配列構造を示す。図８中、１５は入力側正負ＩＤＴ電
極、１６は出力側正負ＩＤＴ電極を示す。図７に示す第
１実施例では、挿入損失が小さな特性でかつ帯域外減衰
量を大きくとることができることが解る。これに対し図
８に示す比較例では、挿入損失もやや大きく帯域外減衰
量も良くない。
弾性波フィルタの挿入損失の特性を前記実施例と従来の
比較例とで比較した。その結果を図７および図９に示
す。図８は従来の比較例による弾性表面波フィルタの電
極配列構造を示す。図８中、１５は入力側正負ＩＤＴ電
極、１６は出力側正負ＩＤＴ電極を示す。図７に示す第
１実施例では、挿入損失が小さな特性でかつ帯域外減衰
量を大きくとることができることが解る。これに対し図
８に示す比較例では、挿入損失もやや大きく帯域外減衰
量も良くない。
【００１９】従って本発明の第１実施例による電極配置
構造によると、電極対数を大幅に低減でき、この結果弾
性表面波変換器の小型化を図ることができるとともに、
帯域外減衰量の良好な特性が得られ、挿入損失の小さな
フィルタ特性を実現できるという効果がある。本発明の
他の実施例としては、図３〜図６に示す第２実施例〜第
５実施例が挙げられる。
構造によると、電極対数を大幅に低減でき、この結果弾
性表面波変換器の小型化を図ることができるとともに、
帯域外減衰量の良好な特性が得られ、挿入損失の小さな
フィルタ特性を実現できるという効果がある。本発明の
他の実施例としては、図３〜図６に示す第２実施例〜第
５実施例が挙げられる。
【００２０】図３に示す第２実施例は、第１実施例のＩ
ＤＴ電極２と短絡型の浮き電極４との間に開放型の浮き
電極６を付加した例である。この第２実施例の場合に用
いる基板としては、電気機械結合係数Ｋ2 が１％以上の
基板を用いるのが望ましい。第４図に示す第３実施例
は、第１実施例に示す短絡型の浮き電極４を短絡した電
極５を接続して一連の短絡型の浮き電極４にした例であ
る。
ＤＴ電極２と短絡型の浮き電極４との間に開放型の浮き
電極６を付加した例である。この第２実施例の場合に用
いる基板としては、電気機械結合係数Ｋ2 が１％以上の
基板を用いるのが望ましい。第４図に示す第３実施例
は、第１実施例に示す短絡型の浮き電極４を短絡した電
極５を接続して一連の短絡型の浮き電極４にした例であ
る。
【００２１】図５に示す第４実施例は、図１に示す短絡
型の電極４に代えて開放型の電極８を設けた例である。
図６に示す第５実施例は、図１に示す第１実施例のＩＤ
Ｔ電極２、３の電極列方向の幅を短絡型の浮き電極の幅
に比べ相対的に約２倍太くした例である。本発明の範囲
は、前述した第１実施例から第５実施例に限定されるも
のでなく前記実施例の修正および変更は適宜可能であ
る。
型の電極４に代えて開放型の電極８を設けた例である。
図６に示す第５実施例は、図１に示す第１実施例のＩＤ
Ｔ電極２、３の電極列方向の幅を短絡型の浮き電極の幅
に比べ相対的に約２倍太くした例である。本発明の範囲
は、前述した第１実施例から第５実施例に限定されるも
のでなく前記実施例の修正および変更は適宜可能であ
る。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の一方向性
弾性表面波変換器によると、格別の位相器を必要とせず
して一方向性変換器を得ることができることはもちろ
ん、変換器の電極対数を低減することにより小型化が図
れ、かつ挿入損失の小さなフィルタが得られるという効
果がある。また製造コストも低廉化できる。
弾性表面波変換器によると、格別の位相器を必要とせず
して一方向性変換器を得ることができることはもちろ
ん、変換器の電極対数を低減することにより小型化が図
れ、かつ挿入損失の小さなフィルタが得られるという効
果がある。また製造コストも低廉化できる。
【図１】本発明の第１実施例による弾性表面波フィルタ
の入力側電極配列構造を示すもので、図２に示すＡ部分
を電極列方向に引き伸した部分拡大図である。
の入力側電極配列構造を示すもので、図２に示すＡ部分
を電極列方向に引き伸した部分拡大図である。
【図２】本発明の第１実施例による弾性表面波フィルタ
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図３】本発明の第２実施例による電極配列構造を示す
部分拡大図である。
部分拡大図である。
【図４】本発明の第３実施例による電極配列構造を示す
部分拡大図である。
部分拡大図である。
【図５】本発明の第４実施例による電極配列構造を示す
部分拡大図である。
部分拡大図である。
【図６】本発明の第５実施例による電極配列構造を示す
部分拡大図である。
部分拡大図である。
【図７】本発明の第１実施例による弾性表面波フィルタ
の特性を示す特性図である。
の特性を示す特性図である。
【図８】従来の比較例の弾性表面波フィルタを示す概略
構成図である。
構成図である。
【図９】従来の比較例による弾性表面波フィルタの特性
を示す特性図である。
を示す特性図である。
１ 圧電基板 ２、３ ＩＤＴ電極（正電極、負電極） ４ 短絡した浮き電極 １０ 入力側正負ＩＤＴ電極 １１ 出力側正負ＩＤＴ電極
Claims (3)
- 【請求項１】圧電基板表面にインタデジタルトランスデ
ューサ電極を配置し、弾性表面波を励振または受信する
弾性表面波変換器において、 前記インタデジタルトランスデューサ電極の正電極およ
び負電極と、 前記インタデジタルトランスデューサ電極の正電極およ
び負電極間に設けられる浮き電極と、 前記インタデジタルトランスデューサ電極によって励振
された弾性表面波の位相と前記浮き電極によって反射し
た波の位相とが波の前進方向にほぼ同位相に、後退方向
にほぼ逆位相になるように、前記正電極、前記負電極お
よび前記浮き電極が配置され、 電極列方向に行くに従い正電極側から負電極側または負
電極側から正電極側へ電極長さが距離重み付けされるこ
とを特徴とする弾性表面波変換器。 - 【請求項２】前記浮き電極は、短絡した浮き電極のみか
らなることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波変換
器。 - 【請求項３】前記浮き電極の配置が各組の正電極と負電
極において電気的および機械的に非対称であることを特
徴とする請求項１または２記載の弾性表面波変換器。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP03218498A JP3096102B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 弾性表面波フィルタ装置 |
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| DE69216007T DE69216007T2 (de) | 1991-08-29 | 1992-08-28 | Richtwandler mit schwebenden Elektroden für akustische Oberflächenwellen |
| US08/064,675 US5306978A (en) | 1991-08-29 | 1993-05-21 | Surface acoustic wave unidirectional transducer having floating electrodes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03218498A JP3096102B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 弾性表面波フィルタ装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0563488A true JPH0563488A (ja) | 1993-03-12 |
| JP3096102B2 JP3096102B2 (ja) | 2000-10-10 |
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ID=16720878
Family Applications (1)
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