JPH0550356A - 研削加工装置 - Google Patents
研削加工装置Info
- Publication number
- JPH0550356A JPH0550356A JP20774891A JP20774891A JPH0550356A JP H0550356 A JPH0550356 A JP H0550356A JP 20774891 A JP20774891 A JP 20774891A JP 20774891 A JP20774891 A JP 20774891A JP H0550356 A JPH0550356 A JP H0550356A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- spindle
- air bearing
- cooling
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 エアースピンドルを用いた研削加工装置であ
ってエアースピンドルを略定温に保持してその熱的変形
をなくす。 【構成】 空気軸受けに軸支したスピンドル３の一端に
回転砥石６を取り付け、切削水１１をかけつつ被加工物
８を研削加工する研削部１３をカバー１５に収納すると
共に、その天板部１５ａに冷却流体１６の流入孔１５ｂ
を設けてその上に冷却部１４を設置し、スピンドル３を
含む加工領域Ａの一帯にシャワー状冷却流体１６を供給
して上記空気軸受けを略定温に保持する。
ってエアースピンドルを略定温に保持してその熱的変形
をなくす。 【構成】 空気軸受けに軸支したスピンドル３の一端に
回転砥石６を取り付け、切削水１１をかけつつ被加工物
８を研削加工する研削部１３をカバー１５に収納すると
共に、その天板部１５ａに冷却流体１６の流入孔１５ｂ
を設けてその上に冷却部１４を設置し、スピンドル３を
含む加工領域Ａの一帯にシャワー状冷却流体１６を供給
して上記空気軸受けを略定温に保持する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドのコア母材
等の被加工物に溝加工、切断加工、平面加工等の高精密
研削加工を行なう研削加工装置に関するものである。
等の被加工物に溝加工、切断加工、平面加工等の高精密
研削加工を行なう研削加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば磁気ヘッドのコア母材等の高精密
研削加工においては、図３及び図４に示すように、振動
が少なく、ブレや磨耗のないエアースピンドル（１）を
用いる。上記エアースピンドル（１）は、内周面より空
気を噴出する円筒状空気軸受け（２）と、空気軸受け
（２）に非接触で軸支したスピンドル（３）と、スピン
ドル（３）に直結したモータ（４）とを具備し、一対の
フランジ（５）（５）にて挟持した研削用回転砥石
（６）をスピンドル（３）の一端に取り付け、加工台
（７）と被加工物（８）を含む加工領域（Ａ）をカバー
（９）内に収納する。
研削加工においては、図３及び図４に示すように、振動
が少なく、ブレや磨耗のないエアースピンドル（１）を
用いる。上記エアースピンドル（１）は、内周面より空
気を噴出する円筒状空気軸受け（２）と、空気軸受け
（２）に非接触で軸支したスピンドル（３）と、スピン
ドル（３）に直結したモータ（４）とを具備し、一対の
フランジ（５）（５）にて挟持した研削用回転砥石
（６）をスピンドル（３）の一端に取り付け、加工台
（７）と被加工物（８）を含む加工領域（Ａ）をカバー
（９）内に収納する。
【０００３】上記構成において磁気ヘッドのコア母材等
の被加工物（８）を研削加工するに際しては、図４に示
すように、加工台（７）に被加工物（８）を載置してノ
ズル（１０）より切削水（１１）をかけつつスピンドル
（３）を回転させ、回転砥石（６）にて所定の高精密研
削加工を行なう。（但し、図４ではフランジ部（５）を
省略する。）
の被加工物（８）を研削加工するに際しては、図４に示
すように、加工台（７）に被加工物（８）を載置してノ
ズル（１０）より切削水（１１）をかけつつスピンドル
（３）を回転させ、回転砥石（６）にて所定の高精密研
削加工を行なう。（但し、図４ではフランジ部（５）を
省略する。）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする課題
は、回転砥石（６）が高速で回転するため、切削水（１
１）が跳ねて蒸気になって気化熱により周囲の熱を奪
い、更に被加工物（８）や切削水（１１）の水量、水圧
及び回転砥石（６）の形状、回転数等で切削水（１１）
の跳ね方が異なるため、加工領域（Ａ）内の温度が場所
的に変化して温度ムラが生じることを、温度センサ（白
金センサ）（１２）により相異なる複数箇所の温度を測
定して確認している。この場合、エアースピンドル
（１）の周囲で温度差が生じ、例えばエアースピンドル
（１）の上下で熱的膨張量がそれぞれ異なってバイメタ
ルのようにエアースピンドル（１）が撓み、その軸がず
れて研削深さ等が変わって所望の形状、寸法に加工出来
なくなり、加工精度が低下するという不都合を生じる。
は、回転砥石（６）が高速で回転するため、切削水（１
１）が跳ねて蒸気になって気化熱により周囲の熱を奪
い、更に被加工物（８）や切削水（１１）の水量、水圧
及び回転砥石（６）の形状、回転数等で切削水（１１）
の跳ね方が異なるため、加工領域（Ａ）内の温度が場所
的に変化して温度ムラが生じることを、温度センサ（白
金センサ）（１２）により相異なる複数箇所の温度を測
定して確認している。この場合、エアースピンドル
（１）の周囲で温度差が生じ、例えばエアースピンドル
（１）の上下で熱的膨張量がそれぞれ異なってバイメタ
ルのようにエアースピンドル（１）が撓み、その軸がず
れて研削深さ等が変わって所望の形状、寸法に加工出来
なくなり、加工精度が低下するという不都合を生じる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、空気軸受けに
軸支したスピンドルの一端に研削用回転砥石を取り付
け、切削水をかけつつ被加工物を研削加工する研削部
と、上記空気軸受けを略定温に保持する冷却部と、上記
研削部を含む加工領域を収納するカバーとを具備したこ
とを特徴とし、冷却部は、空気軸受けを含む加工領域一
帯にシャワー状冷却流体を供給する冷却流体供給部であ
ること、又は、冷却部は、空気軸受けに内蔵又は巻き付
けた定温保持用冷水管であることを特徴とする。
軸支したスピンドルの一端に研削用回転砥石を取り付
け、切削水をかけつつ被加工物を研削加工する研削部
と、上記空気軸受けを略定温に保持する冷却部と、上記
研削部を含む加工領域を収納するカバーとを具備したこ
とを特徴とし、冷却部は、空気軸受けを含む加工領域一
帯にシャワー状冷却流体を供給する冷却流体供給部であ
ること、又は、冷却部は、空気軸受けに内蔵又は巻き付
けた定温保持用冷水管であることを特徴とする。
【０００６】
【作用】上記技術的手段によれば、冷却部から加工領域
一帯にシャワー状冷却流体を供給し、研削部を含む加工
領域の雰囲気を略定温に保持する。
一帯にシャワー状冷却流体を供給し、研削部を含む加工
領域の雰囲気を略定温に保持する。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を図１乃至図３を参照して以
下に説明する。まず図１において（１３）は研削部、
（１４）は冷却部、（１５）はカバーである。上記研削
部（１３）は、従来と同様、エアースピンドルで（１）
で、空気軸受け（２）に軸支したスピンドル（３）の一
端にフランジ部（図示せず）にて研削用回転砥石（６）
を取り付け、ノズル（１０）から切削水（１１）をかけ
つつ被加工物（８）、例えば磁気ヘッドのコア母材を研
削加工する。冷却部（１４）は、研削部（１３）を含む
加工領域（Ａ）の上方に設置した冷却水（１６）の貯水
槽からなる冷却流体供給部で、上記空気軸受け（２）
（図３を参照）を含む加工領域一帯にシャワー状冷却水
（１６）を供給し、蒸気になった切削水（１１）の気化
熱による周囲温度変化を補って空気軸受け（２）を略定
温に保持する。カバー（１５）は研削部（１３）を含む
加工領域（Ａ）を収納すると共に、冷却部（１４）がそ
の天板（１５ａ）上に設置され、天板部（１５ａ）に冷
却水（１６）の流入孔（１５ｂ）を設ける。
下に説明する。まず図１において（１３）は研削部、
（１４）は冷却部、（１５）はカバーである。上記研削
部（１３）は、従来と同様、エアースピンドルで（１）
で、空気軸受け（２）に軸支したスピンドル（３）の一
端にフランジ部（図示せず）にて研削用回転砥石（６）
を取り付け、ノズル（１０）から切削水（１１）をかけ
つつ被加工物（８）、例えば磁気ヘッドのコア母材を研
削加工する。冷却部（１４）は、研削部（１３）を含む
加工領域（Ａ）の上方に設置した冷却水（１６）の貯水
槽からなる冷却流体供給部で、上記空気軸受け（２）
（図３を参照）を含む加工領域一帯にシャワー状冷却水
（１６）を供給し、蒸気になった切削水（１１）の気化
熱による周囲温度変化を補って空気軸受け（２）を略定
温に保持する。カバー（１５）は研削部（１３）を含む
加工領域（Ａ）を収納すると共に、冷却部（１４）がそ
の天板（１５ａ）上に設置され、天板部（１５ａ）に冷
却水（１６）の流入孔（１５ｂ）を設ける。
【０００８】上記構成によれば、回転砥石（６）の高速
回転により切削水（１１）が跳ねて蒸気になって気化熱
により周囲の熱を奪い、更に切削水（１１）の跳ね方が
異なるため、加工領域（Ａ）内に温度ムラが生じても、
加工領域（Ａ）の一帯に冷却部（１５）からシャワー状
冷却水（１６）を供給し、蒸気になった切削水（１１）
による周囲温度変化を補って空気軸受け（２）を略定温
に保持する。
回転により切削水（１１）が跳ねて蒸気になって気化熱
により周囲の熱を奪い、更に切削水（１１）の跳ね方が
異なるため、加工領域（Ａ）内に温度ムラが生じても、
加工領域（Ａ）の一帯に冷却部（１５）からシャワー状
冷却水（１６）を供給し、蒸気になった切削水（１１）
による周囲温度変化を補って空気軸受け（２）を略定温
に保持する。
【０００９】次に、本発明の他の実施例を図２（ａ）
（ｂ）に示すと、図２（ａ）ではカバー（１７）の天板
部（１７ａ）と側板部（１７ｂ）とにそれぞれエアー取
り入れ口（１７ｃ）と排気口（１７ｄ）を設ける。そし
て、カバー（１７）に研削部（１３）を収納すると共
に、エアー取り入れ口（１７ｃ）から冷却空気（１８）
を加工領域（Ａ）の一帯に供給して排気口（１７ｄ）か
ら排気し、空気軸受け（２）を含む加工領域（Ａ）の雰
囲気を略定温に保持する。
（ｂ）に示すと、図２（ａ）ではカバー（１７）の天板
部（１７ａ）と側板部（１７ｂ）とにそれぞれエアー取
り入れ口（１７ｃ）と排気口（１７ｄ）を設ける。そし
て、カバー（１７）に研削部（１３）を収納すると共
に、エアー取り入れ口（１７ｃ）から冷却空気（１８）
を加工領域（Ａ）の一帯に供給して排気口（１７ｄ）か
ら排気し、空気軸受け（２）を含む加工領域（Ａ）の雰
囲気を略定温に保持する。
【００１０】又、図２（ｂ）ではカバー（１９）の天板
部（１９ａ）に網目状エアー取り入れ口（１９ｂ）を設
け、カバー（１９）に研削部（１３）を収納して、その
まま更に恒温槽（２０）内に保持する。そして、恒温槽
（２０）の天板部（２０ａ）に設けたエアー取り入れ口
（２０ｂ）より冷却空気（２１）を取り入れて排気する
と共に、カバー（１９）内に供給し、空気軸受け（２）
を含む加工領域（Ａ）の雰囲気を略定温に保持する。
部（１９ａ）に網目状エアー取り入れ口（１９ｂ）を設
け、カバー（１９）に研削部（１３）を収納して、その
まま更に恒温槽（２０）内に保持する。そして、恒温槽
（２０）の天板部（２０ａ）に設けたエアー取り入れ口
（２０ｂ）より冷却空気（２１）を取り入れて排気する
と共に、カバー（１９）内に供給し、空気軸受け（２）
を含む加工領域（Ａ）の雰囲気を略定温に保持する。
【００１１】又、図示しないが、その他の実施例として
エアースピンドル（１）の空気軸受け（２）の外周に螺
旋状に冷水管を巻き付けたり、或いは空気軸受け（２）
に螺旋状又は多数本の直線状冷水管を内蔵したり、或い
はノズル（１０）を二股に分けて空気軸受け（２）に直
接、冷水をかけ、エアースピンドル（１）のみ恒温の冷
水にて冷却して略定温に保持しても良い。
エアースピンドル（１）の空気軸受け（２）の外周に螺
旋状に冷水管を巻き付けたり、或いは空気軸受け（２）
に螺旋状又は多数本の直線状冷水管を内蔵したり、或い
はノズル（１０）を二股に分けて空気軸受け（２）に直
接、冷水をかけ、エアースピンドル（１）のみ恒温の冷
水にて冷却して略定温に保持しても良い。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、エアースピンドルによ
り磁気ヘッドのコア母材等を高精密研削加工する際、エ
アースピンドルを略定温に保持したから、エアースピン
ドルの熱的変形が解消して加工精度が向上する。
り磁気ヘッドのコア母材等を高精密研削加工する際、エ
アースピンドルを略定温に保持したから、エアースピン
ドルの熱的変形が解消して加工精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る研削加工装置の実施例を示す部分
断面正面図である。
断面正面図である。
【図２】（ａ）は本発明に係る研削加工装置の他の実施
例を示す部分断面正面図である。 （ｂ）は本発明に係る研削加工装置のその他の実施例を
示す部分断面正面図である。
例を示す部分断面正面図である。 （ｂ）は本発明に係る研削加工装置のその他の実施例を
示す部分断面正面図である。
【図３】従来の研削加工装置の一例を示す部分断面側面
図である。
図である。
【図４】図３に示す研削加工装置の部分断面正面図であ
る。
る。
３ スピンドル ６ 回転砥石 ８ 被加工物 １１ 切削水 １３ 研削部 １４ 冷却部 １５ カバー １５ａ 天板部 １５ｂ 流入孔 １６ 冷却液体 Ａ 加工領域
Claims (3)
- 【請求項１】 空気軸受けに軸支したスピンドルの一端
に研削用回転砥石を取り付け、切削水をかけつつ被加工
物を研削加工する研削部と、上記空気軸受けを略定温に
保持する冷却部と、上記研削部を含む加工領域を収納す
るカバーとを具備したことを特徴とする研削加工装置。 - 【請求項２】 冷却部は、空気軸受けを含む加工領域一
帯にシャワー状冷却流体を供給する冷却流体供給部であ
ることを特徴とする請求項１記載の研削加工装置。 - 【請求項３】 冷却部は、空気軸受けに内蔵又は巻き付
けた定温保持用冷水管であることを特徴とする請求項１
記載の研削加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20774891A JPH0550356A (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | 研削加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20774891A JPH0550356A (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | 研削加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0550356A true JPH0550356A (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=16544891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20774891A Pending JPH0550356A (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | 研削加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0550356A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001252846A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-18 | Tsugami Corp | 空冷・清浄化形工作機械 |
| CN110170921A (zh) * | 2018-02-20 | 2019-08-27 | 株式会社迪思科 | 加工装置的水温设定方法 |
-
1991
- 1991-08-20 JP JP20774891A patent/JPH0550356A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001252846A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-18 | Tsugami Corp | 空冷・清浄化形工作機械 |
| CN110170921A (zh) * | 2018-02-20 | 2019-08-27 | 株式会社迪思科 | 加工装置的水温设定方法 |
| JP2019145643A (ja) * | 2018-02-20 | 2019-08-29 | 株式会社ディスコ | 水温設定方法 |
| CN110170921B (zh) * | 2018-02-20 | 2023-03-14 | 株式会社迪思科 | 加工装置的水温设定方法 |
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