JPH05341151A - How to connect optical components and optical fibers - Google Patents
How to connect optical components and optical fibersInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、石英系材料で構成され
る光学部品の端面と光ファイバの端面を突き合わせ、そ
の接合部に炭酸ガスレーザ光を照射して光学部品と光フ
ァイバとを融着する光学部品と光ファイバとの接続方法
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an end face of an optical component made of a silica-based material and an end face of an optical fiber, and the joint part is irradiated with carbon dioxide laser light to fuse the optical component and the optical fiber. And a method for connecting an optical component and an optical fiber.
【0002】[0002]
【従来の技術】石英を材料に用いた光学部品は、リン、
ボロン、ゲルマニウム、チタン及びフッ素等の不純物を
ドーパントとして用いることにより、光に対する屈折率
を任意に制御できるため、低損失の光導波路を有するこ
とができる。2. Description of the Related Art Optical parts using quartz as a material are phosphorus,
By using impurities such as boron, germanium, titanium, and fluorine as dopants, the refractive index with respect to light can be arbitrarily controlled, so that an optical waveguide with low loss can be provided.
【0003】最近では、ホトリソグラフィーを用いて光
導波路を高精度、高密度に加工した光分岐器、波長合分
波器、光フィルタ等の通信用光学部品の開発が盛んに行
われている。Recently, communication optical components such as an optical branching device, a wavelength multiplexer / demultiplexer, and an optical filter in which an optical waveguide is processed with high accuracy and high density by using photolithography have been actively developed.
【0004】一般に、(光導波路を有する)石英系の光
学部品と、石英系光ファイバとの融着には炭酸ガスレー
ザが用いられている。炭酸ガスレーザは、波長が10.
6μmで、石英系材料に良く吸収されるため融着用熱源
としては最適である。しかも、炭酸ガスレーザ光をレン
ズで集光させることにより、微小なスポットで材料の任
意の部位に照射して選択的に溶融させることが可能であ
る。Generally, a carbon dioxide gas laser is used for fusion bonding of a silica-based optical component (having an optical waveguide) and a silica-based optical fiber. The carbon dioxide laser has a wavelength of 10.
Since it is 6 μm and is well absorbed by the quartz material, it is an optimum heat source for fusing. Moreover, by collecting the carbon dioxide gas laser light with the lens, it is possible to irradiate an arbitrary portion of the material with a minute spot to selectively melt the material.
【0005】図11は光学部品の一例の外観斜視図であ
り、図12及び図13は光学部品と光ファイバとを接続
する従来の方法を説明するための側面図である。FIG. 11 is an external perspective view of an example of an optical component, and FIGS. 12 and 13 are side views for explaining a conventional method for connecting an optical component and an optical fiber.
【0006】図11に示すように光学部品1は、石英系
の材料からなり、光を(破線で示す導波路内を)伝達さ
せるコア2と、石英系の材料からなりこれらのコア2よ
りも低い屈折率を有すると共に、これらのコア2を取り
囲むように形成されたクラッド3とで形成されている。As shown in FIG. 11, the optical component 1 is made of a silica-based material, and has a core 2 for transmitting light (in the waveguide shown by a broken line) and a silica-based material. The cladding 3 has a low refractive index and is formed so as to surround these cores 2.
【0007】光学部品1の両端面1a、1bは上面1c
に対して直角に切断されており、鏡面研磨されていると
共にコア2が露出している。Both end surfaces 1a and 1b of the optical component 1 are upper surfaces 1c.
It is cut at a right angle with respect to, is mirror-polished, and the core 2 is exposed.
【0008】図12に示すように、光学部品1の端面1
aに、レンズ3により集光されスポット状になった炭酸
ガスレーザ光4を用いて、光ファイバ5のコア6と光学
部品1のコア2とが同軸になるように融着される。この
とき接合部7における光学部品1の上面の高さは光ファ
イバ5の上面より突出しており、炭酸ガスレーザ光4の
スポットは接合部7の境界線上を矢印P1 方向に照射し
ている。As shown in FIG. 12, the end surface 1 of the optical component 1 is
The carbon dioxide laser light 4 focused by the lens 3 into a spot shape is used for a, and the core 6 of the optical fiber 5 and the core 2 of the optical component 1 are fused so as to be coaxial. At this time, the height of the upper surface of the optical component 1 at the joint portion 7 projects from the upper surface of the optical fiber 5, and the spot of the carbon dioxide laser light 4 irradiates the boundary line of the joint portion 7 in the arrow P 1 direction.
【0009】また図13に示すように接合部における光
学部品の上面の高さと光ファイバの上面の高さが等しい
場合もある。In some cases, as shown in FIG. 13, the height of the upper surface of the optical component at the joint and the height of the upper surface of the optical fiber are equal.
【0010】図14は、光ファイバ及び光学部品の接合
部への炭酸ガスレーザ光のスポットの照射状態を示す平
面図である。FIG. 14 is a plan view showing the irradiation state of spots of carbon dioxide laser light on the joint between the optical fiber and the optical component.
【0011】同図に示すように、炭酸ガスレーザ光4の
スポット4aの中心が、光学部品1と光ファイバ5との
接合部7に位置するように照射される。As shown in the figure, the carbon dioxide laser beam 4 is irradiated so that the center of the spot 4a is located at the joint 7 between the optical component 1 and the optical fiber 5.
【0012】[0012]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光学部
品1や光ファイバ5に用いられる石英系材料は、炭酸ガ
スレーザ光4に対して高い吸収率を有するため、照射し
た炭酸ガスレーザ光4の多くは石英系材料の表面近傍で
吸収される(図15(a)及び図15(b)参照)。However, since the silica-based material used for the optical component 1 and the optical fiber 5 has a high absorption rate for the carbon dioxide gas laser light 4, most of the irradiated carbon dioxide laser light 4 is quartz. It is absorbed near the surface of the system material (see FIGS. 15 (a) and 15 (b)).
【0013】このため、炭酸ガスレーザ光4が照射され
た石英系材料の表面では急激に温度が上昇し、石英が溶
融して融着が進行するのに対し、石英系材料の内部及び
裏側では、表面で吸収されなかったわずかなエネルギー
と表面からの熱伝導によるエネルギーしか寄与できな
い。Therefore, the temperature of the surface of the quartz material irradiated with the carbon dioxide laser beam 4 rapidly rises, and the quartz melts and fusion proceeds, whereas the inside and the back of the quartz material Only a small amount of energy not absorbed on the surface and energy due to heat conduction from the surface can be contributed.
【0014】尚、図15(a)は光ファイバと炭酸ガス
レーザ光との関係を示す模式図であり、図15(b)は
光学部品と炭酸ガスレーザ光との関係を示す模式図であ
る。同図(a)及び(b)において各矢印P2 は炭酸ガ
スレーザ光の分布を示している。Incidentally, FIG. 15A is a schematic diagram showing the relationship between the optical fiber and the carbon dioxide laser light, and FIG. 15B is a schematic view showing the relationship between the optical component and the carbon dioxide laser light. In FIGS. 9A and 9B, each arrow P 2 indicates the distribution of carbon dioxide laser light.
【0015】また、光ファイバ5及び光導波路1は、ク
ラッド3、8がコア2、6の周囲を取り巻くように形成
されているため、表面からの炭酸ガスレーザ光4の照射
によってクラッド3、8の溶融温度とコア2、6の溶融
温度との間に差が生じてしまうという問題がある。すな
わち、クラッド3、8の表面に炭酸ガスレーザ光4が照
射されて十分に溶けていたとしても、コア2、6付近や
接合部の裏側(図の下側)では溶融が不十分となるた
め、機械強度が劣化してしまう。Since the optical fibers 5 and the optical waveguide 1 are formed so that the claddings 3 and 8 surround the cores 2 and 6, the carbon dioxide gas laser light 4 from the surface irradiates the claddings 3 and 8. There is a problem that a difference occurs between the melting temperature and the melting temperatures of the cores 2 and 6. That is, even if the surfaces of the clads 3 and 8 are sufficiently melted by being irradiated with the carbon dioxide laser beam 4, the melting is insufficient near the cores 2 and 6 and the back side of the joint (the lower side of the figure). The mechanical strength will deteriorate.
【0016】これとは逆に、炭酸ガスレーザ光4を十分
に照射して接合部7の裏側まで十分に溶融すると、表面
からコア2、6にかけての過剰溶融による変形が生じ、
融着部での光伝送損失が増大するという問題がある。On the contrary, when the carbon dioxide laser beam 4 is sufficiently irradiated to sufficiently melt the back side of the joint portion 7, deformation due to excessive melting occurs from the surface to the cores 2 and 6.
There is a problem that the optical transmission loss at the fused portion increases.
【0017】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、融着が制御性良く行われる光学部品と光ファイバと
の接続方法を提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to solve the above problems and to provide a method of connecting an optical component and an optical fiber in which fusion is performed with good controllability.
【0018】[0018]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本願の第1の本発明は、石英系材料で構成される光学
部品の端面と光ファイバの端面を突き合わせ、その接合
部に炭酸ガスレーザ光を照射して光学部品と光ファイバ
とを融着する接続方法において、光ファイバのクラッド
端面を光学部品の接合面より炭酸ガスレーザ光の照射方
向側に突出させて融着するものである。In order to achieve the above-mentioned object, the first invention of the present application is to make an end surface of an optical component made of a silica-based material and an end surface of an optical fiber abut against each other, and a carbon dioxide gas laser at a joint thereof. In a connection method of irradiating light to fuse an optical component and an optical fiber, the cladding end surface of the optical fiber is projected toward the carbon dioxide laser light irradiation direction side from the joint surface of the optical component and fused.
【0019】本願の第2の本発明は、石英系材料で構成
される光学部品の端面と光ファイバの端面を突き合わ
せ、その接合部に炭酸ガスレーザ光を照射して光学部品
と光ファイバとを融着する接続方法において、接合部に
照射される炭酸ガスレーザ光のスポット中心を、光学部
品側の接合面より光軸方向にずらして照射するものであ
る。According to a second aspect of the present invention, the end faces of an optical component made of a silica-based material and the end face of an optical fiber are abutted against each other, and a carbon dioxide gas laser beam is applied to the joint to fuse the optical component and the optical fiber. In the connection method for attachment, the spot center of the carbon dioxide laser light with which the joint is irradiated is shifted in the optical axis direction from the joint surface on the optical component side and then irradiated.
【0020】本願の第3の本発明は、石英系材料で構成
される光学部品の端面と光ファイバの端面を突き合わ
せ、その接合部に炭酸ガスレーザ光を照射して光学部品
と光ファイバとを融着する接続方法において、光ファイ
バの端面を熱処理した後、光学部品を突き合わせて炭酸
ガスレーザ光で融着するものである。According to a third aspect of the present invention, the end faces of an optical component made of a silica-based material and the end face of an optical fiber are abutted against each other, and a carbon dioxide gas laser beam is irradiated to the joint to fuse the optical component and the optical fiber. In the splicing connection method, after the end face of the optical fiber is heat-treated, the optical parts are butted and fused with carbon dioxide laser light.
【0021】本願の第4の発明は、石英系材料で構成さ
れる光学部品の端面と光ファイバの端面を突き合わせ、
その接合部に炭酸ガスレーザ光を照射して光学部品と光
ファイバとを融着する接続方法において、炭酸ガスレー
ザ光と共に他の炭酸ガスレーザ光を用いて、接合部を中
心に炭酸ガスレーザ光の照射方向以外の方向から照射す
ると共に、炭酸ガスレーザ光の密度が他の炭酸ガスレー
ザ光の密度より小さいものである。According to a fourth aspect of the present invention, the end face of an optical component made of a quartz material and the end face of an optical fiber are butted against each other,
In the connection method of irradiating the joint part with a carbon dioxide laser beam to fuse the optical component and the optical fiber, another carbon dioxide gas laser beam is used together with the carbon dioxide gas laser beam, except the irradiation direction of the carbon dioxide gas laser beam around the joint part. And the density of carbon dioxide laser light is smaller than the density of other carbon dioxide laser light.
【0022】本願の第5の本発明は、石英系材料で構成
される光学部品の端面と光ファイバの端面を突き合わ
せ、その接合部に炭酸ガスレーザ光を照射して光学部品
と光ファイバとを融着する接続方法において、炭酸ガス
レーザ光の照射部に冷却のためのガスを吹き付けながら
融着するものである。According to a fifth aspect of the present invention, the end faces of an optical component made of a silica-based material and the end face of an optical fiber are abutted against each other, and a carbon dioxide gas laser beam is irradiated to the joint to fuse the optical component and the optical fiber. In the connection method of bonding, the carbon dioxide laser light irradiation part is melted by spraying a gas for cooling.
【0023】[0023]
【作用】本願の第1の発明によれば、光ファイバのクラ
ッドが光学部品の接合面より炭酸ガスレーザ光の照射方
向側に突出しているため、光ファイバの端面付近の炭酸
ガスレーザ光の照射量が増加してコア付近から裏側にか
けて炭酸ガスレーザ光の到達量が向上して溶融速度差が
低下する。According to the first invention of the present application, since the cladding of the optical fiber is projected toward the carbon dioxide laser light irradiation direction side from the joint surface of the optical component, the irradiation amount of the carbon dioxide laser light near the end face of the optical fiber is reduced. The amount of carbon dioxide gas laser light reaching the core increases from the core to the back side, and the difference in melting rate decreases.
【0024】本願の第2の発明によれば、接合部に照射
される炭酸ガスレーザ光のスポット中心が光学部品側の
光軸方向にずれて照射されるため、光学部品の熱容量と
光ファイバの熱容量に応じて適切に配分され、両端面の
溶融が同じ割合で制御性良く進行する。According to the second invention of the present application, since the spot center of the carbon dioxide laser light applied to the joint is displaced in the optical axis direction on the optical component side, the heat capacity of the optical component and the heat capacity of the optical fiber are obtained. The melting of both end faces proceeds at the same rate with good controllability.
【0025】本願の第3の発明によれば、光ファイバの
端面が熱処理されるため、クラッドが溶融して曲率を有
し、光学部品を突き合わせると隙間が形成され炭酸ガス
レーザ光が照射される面積が増加し、接合部の溶融が十
分に進行する。According to the third aspect of the present invention, since the end face of the optical fiber is heat-treated, the cladding has a curvature and has a curvature, and when the optical components are butted, a gap is formed and the carbon dioxide laser beam is irradiated. The area is increased, and the melting of the joint is sufficiently advanced.
【0026】本願の第4の発明によれば、接合部への炭
酸ガスレーザ光が一方向だけでなく他の方向からも照射
されるので、光学部品と光ファイバとが均等に溶融され
る。According to the fourth invention of the present application, since the carbon dioxide laser beam to the joint is irradiated from not only one direction but also the other direction, the optical component and the optical fiber are uniformly melted.
【0027】本願の第5の発明によれば、炭酸ガスレー
ザ光の照射部にガスが吹き付けられるため、融着部の局
部的な過剰溶融が防止されると共に深さ方向の温度が均
一になる。According to the fifth aspect of the present invention, since the gas is blown onto the carbon dioxide laser light irradiation portion, local excessive melting of the fusion portion is prevented and the temperature in the depth direction becomes uniform.
【0028】[0028]
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
【0029】図1は本発明の光学部品と光ファイバとの
接続方法の第1の実施例の説明図である。尚、従来例と
共通の部材には共通の符号を用いた。FIG. 1 is an explanatory view of a first embodiment of a method for connecting an optical component and an optical fiber according to the present invention. The same reference numerals are used for the members common to the conventional example.
【0030】同図において、10は光学部品を示してお
り、5は光ファイバを示している。光学部品10は例え
ば光通信用の光を伝達するコア(導波路)11と、コア
11を取り囲むように形成されたクラッド12からなっ
ている(図11に示した光学部品と略同一形状)。光学
部品10は光ファイバ5を接合する部分の端面10aは
上面10cと直角かつ鏡面研磨されており、コア11が
端面10aに露出している。このような光学部品(図の
右側)10の端面10aに、光ファイバ5のクラッド8
の上面が光学部品10の上面10cより突出するよう
に、かつ光ファイバ5のコア6と光学部品10のコア1
1とが互いに同軸となるように突き合わされている。In the figure, 10 indicates an optical component, and 5 indicates an optical fiber. The optical component 10 includes, for example, a core (waveguide) 11 that transmits light for optical communication and a clad 12 formed so as to surround the core 11 (substantially the same shape as the optical component shown in FIG. 11). The end surface 10a of the optical component 10 where the optical fiber 5 is joined is perpendicular to the upper surface 10c and is mirror-polished, and the core 11 is exposed on the end surface 10a. On the end face 10a of such an optical component (on the right side of the drawing) 10, the cladding 8 of the optical fiber 5 is provided.
Of the optical fiber 5 and the core 1 of the optical component 10 so that the upper surface of the optical component 10 protrudes from the upper surface 10c of the optical component 10.
1 and 1 are butted so as to be coaxial with each other.
【0031】光ファイバ5のコア6と光学部品10のコ
ア11との位置合わせは、光ファイバ側から入射した光
を光学部品のコア側で光出力を測定器(図示せず)でモ
ニタしながら行われる。The core 6 of the optical fiber 5 and the core 11 of the optical component 10 are aligned with each other by monitoring the light output from the optical fiber side on the core side of the optical component with a measuring device (not shown). Done.
【0032】これらの光学部品10及び光ファイバ5が
突き合わされた接合部13に、例えばZnSeからなる
レンズ3で集光されスポット状となった炭酸ガスレーザ
光4が、光ファイバ5のクラッド8が突出した側(図の
上側)から矢印P1 方向に照射される。The carbon dioxide laser light 4 in the form of a spot which is condensed by the lens 3 made of ZnSe, for example, is projected onto the clad 8 of the optical fiber 5 at the joint 13 where the optical component 10 and the optical fiber 5 are butted against each other. Irradiation is performed in the direction of arrow P 1 from the side (upper side of the figure).
【0033】これにより光学部品10のクラッド12と
光ファイバ5のクラッド8とが融着されると共に、光学
部品10のコア11と光ファイバ5のコア6とが融着さ
れる。As a result, the clad 12 of the optical component 10 and the clad 8 of the optical fiber 5 are fused together, and the core 11 of the optical component 10 and the core 6 of the optical fiber 5 are fused together.
【0034】尚、光学部品10及び光ファイバ5は石英
系材料で構成されており、炭酸ガスレーザ光4は後述す
るシングルモードとなっている。The optical component 10 and the optical fiber 5 are made of a quartz material, and the carbon dioxide laser light 4 is in a single mode described later.
【0035】次に実施例の作用を述べる。Next, the operation of the embodiment will be described.
【0036】光ファイバ5のクラッド8が光学部品10
の上面10cより炭酸ガスレーザ光の照射方向側に突出
しているため、光ファイバ5の右端面付近の炭酸ガスレ
ーザ光4の照射量が増加してコア6付近から裏側にかけ
て炭酸ガスレーザ光4の到達量が向上して溶融速度差が
低下する。これにより光ファイバ5と光学部品10の接
合部13において、光ファイバ5と光学部品10とが均
等に融着される。The cladding 8 of the optical fiber 5 is the optical component 10
Since it protrudes from the upper surface 10c of the carbon dioxide laser light toward the irradiation direction side, the irradiation amount of the carbon dioxide laser light 4 near the right end face of the optical fiber 5 increases, and the arrival amount of the carbon dioxide laser light 4 from the vicinity of the core 6 to the back side is increased. It improves and the melting rate difference decreases. As a result, the optical fiber 5 and the optical component 10 are evenly fused at the joint 13 between the optical fiber 5 and the optical component 10.
【0037】次に具体的な数値を挙げて説明するが、こ
れに限定されるものではない。Next, specific numerical values will be described, but the present invention is not limited thereto.
【0038】光学部品10のコア11の高さが約9μ
m、コア11からクラッド12の上面10cまでの高さ
が約8μm、光ファイバ5のコア径は約9μm及びクラ
ッド径が約125μmのとき、光ファイバ5のクラッド
8が光学部品10のクラッド12より約50μm程突出
する。この状態で炭酸ガスレーザ光4を接合部13に照
射すると、光ファイバ5のコア6付近のクラッド8と光
学部品10のクラッド12とが十分に溶融し、かつ、光
ファイバ5の裏側(図の下側)へも十分なエネルギーが
到達するため、融着による光信号の伝送損失が0.5d
B以下に抑えることができ、しかも機械的強度に優れた
永久接続部を形成することができた。The height of the core 11 of the optical component 10 is about 9 μm.
m, the height from the core 11 to the upper surface 10c of the clad 12 is about 8 μm, the core diameter of the optical fiber 5 is about 9 μm and the clad diameter is about 125 μm, the clad 8 of the optical fiber 5 is more than the clad 12 of the optical component 10. It projects about 50 μm. When the joint portion 13 is irradiated with the carbon dioxide laser light 4 in this state, the clad 8 near the core 6 of the optical fiber 5 and the clad 12 of the optical component 10 are sufficiently melted, and the back side of the optical fiber 5 (bottom of the figure). Since sufficient energy reaches the side), the optical signal transmission loss due to fusion is 0.5d.
It was possible to form the permanent connection part which could be suppressed to B or less and which was excellent in mechanical strength.
【0039】以上において、本実施例によれば光ファイ
バ5のクラッド8を光学部品10の接合部13より炭酸
ガスレーザ光4の照射方向側に突出させて融着するの
で、光ファイバ5と光学部品10との融着が制御性良く
行われる。In the above, according to the present embodiment, the clad 8 of the optical fiber 5 is projected from the joint portion 13 of the optical component 10 toward the irradiation direction side of the carbon dioxide gas laser light 4 and fused, so that the optical fiber 5 and the optical component are joined. Fusing with 10 is performed with good controllability.
【0040】図2は、第1の実施例の他の構成例を示す
説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing another configuration example of the first embodiment.
【0041】図1に示した実施例との相違点は、光学部
品20の接合部21の近傍のみクラッド22の厚さが薄
くなっている点である。同構成例においても図1に示し
た実施例と同様に、光ファイバ5のコア6付近のクラッ
ド8と光学部品20のクラッド22及びコア23とが十
分に溶融し、かつ、光ファイバ5の裏側へも十分なエネ
ルギーが到達するため光ファイバ5と光学部品20とが
制御性良く融着される。The difference from the embodiment shown in FIG. 1 is that the thickness of the clad 22 is thin only in the vicinity of the joint portion 21 of the optical component 20. Also in the configuration example, as in the embodiment shown in FIG. 1, the clad 8 near the core 6 of the optical fiber 5 and the clad 22 and the core 23 of the optical component 20 are sufficiently melted, and the back side of the optical fiber 5 is formed. Since sufficient energy reaches the optical fiber 5, the optical fiber 5 and the optical component 20 are fused together with good controllability.
【0042】図3は、第2の実施例を説明するための説
明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining the second embodiment.
【0043】図1に示した実施例においては光ファイバ
5と光学部品20との融点において光ファイバ5を照射
方向に突出させる例で説明したが、光ファイバの接合面
を同一とし、炭酸ガスレーザ光のスポット中心を融着部
から光学部品側にずらすことでも融着が良好となる。In the embodiment shown in FIG. 1, an example in which the optical fiber 5 is projected in the irradiation direction at the melting points of the optical fiber 5 and the optical component 20 has been described, but the joining surfaces of the optical fibers are the same and carbon dioxide laser light is used. The fusion is also improved by displacing the spot center of the above from the fusion portion to the optical component side.
【0044】同図において、5は光ファイバを示し、3
0は光学部品を示す。In the figure, 5 indicates an optical fiber, and 3
0 indicates an optical component.
【0045】ここで、シングルモードの炭酸ガスレーザ
光4は、図4に示すようなガウス分布型のエネルギー分
布となっている。この分布は、ZnSeからなるレンズ
3を用いて炭酸ガスレーザ光4を集光しても略維持され
る。すなわちシングルモードの炭酸ガスレーザ光4で
は、スポット4aの中心に近付くほど実効的なパワー密
度が大きくなる傾向がある。尚、図4は本実施例に用い
られる炭酸ガスレーザ光のスポット中心からの距離とエ
ネルギーとの関係を示す図である。Here, the single mode carbon dioxide gas laser beam 4 has a Gaussian distribution type energy distribution as shown in FIG. This distribution is substantially maintained even if the carbon dioxide gas laser light 4 is condensed using the lens 3 made of ZnSe. That is, in the single mode carbon dioxide gas laser beam 4, the effective power density tends to increase as it approaches the center of the spot 4a. FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the distance from the spot center of the carbon dioxide laser light used in this embodiment and the energy.
【0046】そこで、炭酸ガスレーザ光4のスポット4
aの中心を接合部31よりも光学部品側にずらすことに
より、光ファイバ5に、ガウス分布型の炭酸ガスレーザ
光の周辺部、即ちパワー密度が小さい部分が照射される
ようにすれば、光ファイバ5の過剰溶融を抑制すること
ができる。Therefore, the spot 4 of the carbon dioxide laser beam 4
By displacing the center of a toward the optical component side with respect to the joint portion 31, it is possible to irradiate the optical fiber 5 with the peripheral portion of the Gaussian-distributed carbon dioxide gas laser light, that is, the portion with low power density. The excessive melting of No. 5 can be suppressed.
【0047】さらに、光ファイバ5及び光学部品30の
熱容量差を補正して、光ファイバ5及び光学部品30の
両方が略均一に温度上昇するようにずらし量を設定すれ
ば、低損失な融着部を得ることができる。Further, if the difference in heat capacity between the optical fiber 5 and the optical component 30 is corrected and the shift amount is set so that the temperature of both the optical fiber 5 and the optical component 30 rises substantially uniformly, the fusion with low loss is achieved. You can get a part.
【0048】また、照射する炭酸ガスレーザ4のスポッ
ト4aの中心のずらし量ΔLを100μm〜900μm
に設定し、炭酸ガスレーザ光4のパワー密度を1.3×
102 W/cm2 〜1.5×103 W/cm2 に設定す
ることにより、石英系材料の溶融が制御性良く進行する
ため、融着部を過剰に溶融させて損失増加を招くことが
なく、低損失かつ高機械強度を有する融着部を得ること
ができる(融着損失約0.2dB,耐引張強度約700
g)。Further, the shift amount ΔL of the center of the spot 4a of the carbon dioxide laser 4 to be irradiated is 100 μm to 900 μm.
And set the power density of carbon dioxide laser light 4 to 1.3 ×
By setting it to 10 2 W / cm 2 to 1.5 × 10 3 W / cm 2 , melting of the quartz-based material proceeds with good controllability, so that the fused portion is excessively melted and loss is increased. It is possible to obtain a fused portion having low loss and high mechanical strength (fusion loss of about 0.2 dB, tensile strength of about 700).
g).
【0049】図5は、第3の実施例を説明するための説
明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining the third embodiment.
【0050】図1に示した実施例との相違点は、光ファ
イバを光学部品に溶融着合する前に、光ファイバの端面
に熱処理を施し曲率を持たせる点である。The difference from the embodiment shown in FIG. 1 is that the end surface of the optical fiber is heat-treated to have a curvature before the optical fiber is fused and bonded to the optical component.
【0051】図5において、40は図11に示した光学
部品1と同様な構造を有する光学部品を示し、41は図
12に示した光ファイバ5と同様な構造を有する光ファ
イバを示している。In FIG. 5, reference numeral 40 denotes an optical component having the same structure as the optical component 1 shown in FIG. 11, and 41 denotes an optical fiber having the same structure as the optical fiber 5 shown in FIG. ..
【0052】光ファイバ41は、図示しない光ファイバ
カッタによりカッティングされた後、先端が例えばアー
ク放電の炎で熱処理され、カッティング面41aが溶融
して周囲に曲率をもつ。The optical fiber 41, after being cut by an optical fiber cutter (not shown), is heat-treated at the tip by, for example, a flame of arc discharge, and the cutting surface 41a is melted to have a curvature in the periphery.
【0053】熱処理が施された光ファイバ41のコア4
2と光学部品40のコア43とが同軸になるように位置
合わせを行った後、接合部44に炭酸ガスレーザ光4を
照射して融着を行うと、図6に示すような状態で接続さ
れた。すなわち、コア42及びコア43、クラッド45
及びクラッド46が融着される。尚、図6は図5に示し
た方法による接続状態図である。The core 4 of the optical fiber 41 that has been heat-treated
2 is aligned with the core 43 of the optical component 40 so as to be coaxial with each other, and then the joint portion 44 is irradiated with the carbon dioxide gas laser beam 4 to perform fusion bonding, which results in a connection as shown in FIG. It was That is, the core 42, the core 43, and the clad 45
And the clad 46 is fused. Incidentally, FIG. 6 is a connection state diagram by the method shown in FIG.
【0054】このようにして融着を行った場合の接続損
失は0.2dB/ケで、引張強度は1.5Kgであっ
た。しかしながら、光ファイバ41のカッティング面4
1aに熱処理を施さない場合には、接続損失が0.2d
B/ケで同等であるが引張強度は0.4Kgしかなかっ
た。これは炭酸ガスレーザ光4が接合部の上側から照射
されるため、A点での融着が不十分なときには鋭角なV
字状の間隙が生じることがあり、この場合には光ファイ
バ41を引っ張ったときにB点に応力が集中して破断し
てしまうことがある。しかし上述の方法ではV字状の間
隙の角度が鈍角であり、光ファイバ41を引っ張っても
引張力が分散されるため高強度が得られる。When fusion was carried out in this manner, the splice loss was 0.2 dB / piece and the tensile strength was 1.5 kg. However, the cutting surface 4 of the optical fiber 41
If 1a is not heat-treated, splice loss is 0.2d.
The tensile strength was only 0.4 Kg, although it was the same as B / ke. This is because the carbon dioxide gas laser beam 4 is irradiated from above the joint, so that when the fusion at the point A is insufficient, a sharp angle V
Character-shaped gaps may occur, and in this case, when the optical fiber 41 is pulled, stress may be concentrated at point B and break. However, in the above method, the angle of the V-shaped gap is obtuse, and even if the optical fiber 41 is pulled, the tensile force is dispersed, so that high strength can be obtained.
【0055】一般に炭酸ガスレーザ光4での融着は微妙
な波長変動により、炭酸ガスレーザ光4が照射された石
英ガラスの温度が変化する。しかし、上記のように前処
理を施すことで融着不十分な箇所が生じても強度の劣化
が少なくてすむ。In general, the fusion with the carbon dioxide gas laser beam 4 changes the temperature of the quartz glass irradiated with the carbon dioxide gas laser beam 4 due to a slight wavelength variation. However, by performing the pretreatment as described above, the strength is less likely to be deteriorated even if a portion where the fusion is insufficient is generated.
【0056】尚、クラッド層45の厚さは約20μm
で、コア42、43の比屈折率差(Δn)が0.3%で
あり、光ファイバ41には1.3μm帯シングルモード
光ファイバを用いた。また本実施例ではアーク放電を用
いて光ファイバ41の熱処理を行ったが、これに限定さ
れるものではなく水素酸素炎等を用いて曲率を持たせて
もよい。The thickness of the cladding layer 45 is about 20 μm.
The relative refractive index difference (Δn) between the cores 42 and 43 was 0.3%, and a 1.3 μm band single mode optical fiber was used as the optical fiber 41. Further, in the present embodiment, the heat treatment of the optical fiber 41 is performed using arc discharge, but the present invention is not limited to this, and a hydrogen oxygen flame or the like may be used to provide curvature.
【0057】図7は第4の実施例を説明するための説明
図、図8は図7に示した方法による融着後の光ファイバ
及び光学部品を示す図である。FIG. 7 is an explanatory view for explaining the fourth embodiment, and FIG. 8 is a view showing an optical fiber and an optical component after fusion bonding by the method shown in FIG.
【0058】同図における特徴は、炭酸ガスレーザ光4
と共に、他の炭酸ガスレーザ光50を用いて、接合部5
1を中心に炭酸ガスレーザ光4の照射方向以外の他の方
向からも照射する点にある。The feature in the figure is that the carbon dioxide laser light 4
Together with another carbon dioxide laser light 50,
1 is the center, and the carbon dioxide laser beam 4 is also irradiated from a direction other than the irradiation direction.
【0059】炭酸ガスレーザ光4を上方から接合部51
に照射する際に、光ファイバ5の裏側の融着が不十分に
なることがある。この不十分な融着を防止するために上
側だけでなく他の方向からも炭酸ガスレーザ光を照射す
るものである。The carbon dioxide laser beam 4 is applied from above to the joining portion 51.
In some cases, the fusion of the back side of the optical fiber 5 may be insufficient when irradiating the surface. In order to prevent this insufficient fusion, the carbon dioxide gas laser beam is irradiated not only from the upper side but also from other directions.
【0060】図7において、52は炭酸ガスレーザ光5
0を集光するレンズを示す。接合部51に上から照射す
る炭酸ガスレーザ光4のパワー密度を3×102 W/c
m2 〜7×102 W/cm2 に設定し、接合部51に下
から照射する炭酸ガスレーザ光50のパワー密度を1×
102 W/cm2 〜4×102 W/cm2 に設定した。In FIG. 7, 52 is a carbon dioxide laser beam 5
A lens for collecting 0 is shown. The power density of the carbon dioxide laser beam 4 irradiating the joint portion 51 from above is 3 × 10 2 W / c.
m 2 to 7 × 10 2 W / cm 2, and the power density of the carbon dioxide laser light 50 irradiating the joint 51 from below is 1 ×.
It was set to 10 2 W / cm 2 to 4 × 10 2 W / cm 2 .
【0061】まず、石英系の光学部品の下側からパワー
密度約2.1×102 W/cm2 の炭酸ガスレーザ光5
0を接合部51に約1.5秒間照射したまま保持し、そ
の後光学部品10の上側からパワー密度約4.5×10
2 W/cm2 の炭酸ガスレーザ光4を接合部に照射す
る。これにより上方からの炭酸ガスレーザ光4のエネル
ギーが到達しにくい部分にも照射されるので、接合部5
1の接触部が滑らかに溶融して図8に示すように光ファ
イバ5と光学部品10とが十分に融着する。尚、図7は
図1に示した第1の実施例に適用した場合を示している
が、これに限定されるものではなく第2及び第3の実施
例の場合にも適用される。First, a carbon dioxide gas laser beam 5 having a power density of about 2.1 × 10 2 W / cm 2 is applied from the lower side of the silica-based optical component.
0 is kept on the joint 51 for about 1.5 seconds, and then the power density is about 4.5 × 10 from the upper side of the optical component 10.
The joint portion is irradiated with carbon dioxide gas laser light 4 of 2 W / cm 2 . As a result, the carbon dioxide laser light 4 from above is also applied to the portion where the energy is difficult to reach, so that the joint 5
The contact portion 1 melts smoothly, and the optical fiber 5 and the optical component 10 are sufficiently fused as shown in FIG. Note that FIG. 7 shows a case where the present invention is applied to the first embodiment shown in FIG. 1, but the present invention is not limited to this, and it is also applicable to the second and third embodiments.
【0062】図9は第4の実施例に関わる他の構成例を
説明するための説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining another configuration example related to the fourth embodiment.
【0063】同図においてパッケージ60の中に固定さ
れた金属ブロック61の上に石英系の光学部品62が取
り付けられている。この光学部品62の端部(正面)に
露出したコア(光軸が紙面に垂直)63に、光ファイバ
5(光軸が紙面に垂直)のコア6が同軸になるように突
き合わせられる。光学部品62は、導波路としてのコア
63と、コア63を取り囲むように設けられコア63よ
り低い屈折率を有するクラッド64とで形成されてい
る。In the figure, a silica-based optical component 62 is mounted on a metal block 61 fixed in a package 60. The core 6 of the optical fiber 5 (optical axis is perpendicular to the paper surface) is abutted so as to be coaxial with the core (optical axis is perpendicular to the paper surface) 63 exposed at the end (front surface) of the optical component 62. The optical component 62 is formed of a core 63 as a waveguide and a clad 64 surrounding the core 63 and having a lower refractive index than the core 63.
【0064】光ファイバ5と光学部品62との突き合わ
せ部の斜め上方の2方向から、パワー密度約1.5×1
02 W/cm2 の炭酸ガスレーザ光65(矢印P4 方
向)、66(矢印P5 方向)が図示しないZnSeレン
ズでそれぞれ集光され、突き合わせ部に約1秒間照射さ
れる。その後突き合わせ部の真上からパワー密度約4.
0×102 W/cm2 の炭酸ガスレーザ光4が、図示し
ないZnSeレンズで集光され、突き合わせ部に照射さ
れる。これにより突き合わせ部が滑らかに溶融して光フ
ァイバ5と光学部品62とが融着する。尚、このときの
融着損失は約0.2dB、引張耐荷重は約1.5Kgと
なった。From two directions diagonally above the abutting portion of the optical fiber 5 and the optical component 62, the power density is about 1.5 × 1.
Carbon dioxide gas laser beams 65 (direction of arrow P 4 ) and 66 (direction of arrow P 5 ) of 0 2 W / cm 2 are respectively collected by a ZnSe lens (not shown), and irradiated at the abutting portion for about 1 second. Then, the power density is about 4.
Carbon dioxide gas laser beam 4 of 0 × 10 2 W / cm 2 is condensed by a ZnSe lens (not shown) and is irradiated on the abutting portion. As a result, the butted portion is melted smoothly, and the optical fiber 5 and the optical component 62 are fused. At this time, the fusion loss was about 0.2 dB, and the tensile load resistance was about 1.5 Kg.
【0065】図10は第5の実施例を説明するための説
明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the fifth embodiment.
【0066】図1に示した実施例との相違点は、炭酸ガ
スレーザ光の照射部に冷却用のためのガスを吹き付ける
ことにより接合部の表面を強制的に冷却した点である。The difference from the embodiment shown in FIG. 1 is that the surface of the joint is forcibly cooled by spraying a gas for cooling the carbon dioxide laser light irradiation portion.
【0067】図10において70は冷却のためのガスを
吹き出す吹き出しノズルを示す。In FIG. 10, reference numeral 70 designates a blowing nozzle for blowing a gas for cooling.
【0068】光学部品10は、例えば厚さ約1mmの石
英基板の上に、断面が約9μm×9μmの矩形コア11
と、コア11を約10μmの高さまで埋め込むクラッド
12とで形成されている。この石英系の光学部品10の
左側の端面に、直径約9μmのコア6と直径約125μ
mのクラッド8からなる1.3μm帯用シングルモード
光ファイバ5を、光軸が同軸になるように調整して突き
合わせる。この状態のまま、光学部品10側から光ファ
イバ5側に向けて矢印P7 方向にHeガスを毎分約10
cc吹き付ける。このときの吹き付けノズル70の開口
径は約2mmであり、光学部品10のクラッド12から
1mmの高さに保持した。上方からパワー密度約5.9
×102 W/cm2 の炭酸ガスレーザ光4を照射したと
ころ、融着損失は約0.3dBで、引張耐荷重約1.4
Kgの融着部が得られた。The optical component 10 comprises, for example, a rectangular core 11 having a cross section of about 9 μm × 9 μm on a quartz substrate having a thickness of about 1 mm.
And a clad 12 that embeds the core 11 to a height of about 10 μm. On the end face on the left side of the quartz optical component 10, a core 6 having a diameter of about 9 μm and a diameter of about 125 μm are provided.
The 1.3 μm single-mode optical fiber 5 for the 1.3 μm band, which is composed of the cladding 8 of m, is adjusted so that the optical axes thereof are coaxial with each other. In this state, He gas is supplied from the optical component 10 side toward the optical fiber 5 side in the direction of arrow P 7 at about 10 min / min.
spray cc. At this time, the opening diameter of the spray nozzle 70 was about 2 mm, and it was held at a height of 1 mm from the clad 12 of the optical component 10. Power density of about 5.9 from above
When irradiated with a carbon dioxide gas laser beam 4 of × 10 2 W / cm 2 , the fusion loss was about 0.3 dB, and the tensile withstand load was about 1.4.
A fused portion of Kg was obtained.
【0069】尚、本願では第2の発明において光ファイ
バのクラッド面と光学部品のクラッド面とが一致してい
るが、これに限定せず光ファイバのクラッドが突出して
いてもよい。In the present invention, the cladding surface of the optical fiber and the cladding surface of the optical component coincide with each other in the second invention, but the invention is not limited to this, and the cladding of the optical fiber may be projected.
【0070】[0070]
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。In summary, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.
【0071】(1) 石英系の材料からなる光ファイバと、
石英系の材料からなり導波路を有する光学部品とを低損
失かつ機械強度に優れた融着を行うことができる。(1) An optical fiber made of a quartz material,
It is possible to perform fusion bonding with an optical component made of a quartz-based material and having a waveguide with low loss and excellent mechanical strength.
【0072】(2) 光ファイバ融着型石英系光デバイスの
信頼性及び寿命を向上させることができる。(2) It is possible to improve the reliability and the life of the fused silica optical device.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本発明の光学部品と光ファイバとの接続方法の
第1の実施例の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a first embodiment of a method for connecting an optical component and an optical fiber according to the present invention.
【図2】図1に示した第1の実施例の他の構成例を示す
説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing another configuration example of the first embodiment shown in FIG.
【図3】本発明の光学部品と光ファイバとの接続方法の
第2の実施例を説明するための説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining a second embodiment of a method for connecting an optical component and an optical fiber according to the present invention.
【図4】本実施例に用いられる炭酸ガスレーザ光のスポ
ット中心からの距離とエネルギーとの関係を示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a distance from a spot center of carbon dioxide laser light used in this example and energy.
【図5】本発明の光学部品と光ファイバとの接続方法の
第3の実施例を説明するための説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining a third embodiment of a method for connecting an optical component and an optical fiber according to the present invention.
【図6】図5に示した方法による接続を示す接続状態図
である。FIG. 6 is a connection state diagram showing connection by the method shown in FIG.
【図7】第4の実施例を説明するための説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a fourth embodiment.
【図8】図7に示した方法による融着後の光ファイバ及
び光学部品を示す図である。8 is a diagram showing an optical fiber and an optical component after fusion bonding by the method shown in FIG.
【図9】第4の実施例に関わる他の構成例を説明するた
めの説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating another configuration example according to the fourth embodiment.
【図10】本発明の第5の実施例を説明するための説明
図である。FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining a fifth embodiment of the present invention.
【図11】本実施例及び従来例に用いられる光学部品の
一例の外観斜視図である。FIG. 11 is an external perspective view of an example of an optical component used in this example and a conventional example.
【図12】光学部品と光ファイバとを接続する従来の方
法を説明するための側面図である。FIG. 12 is a side view for explaining a conventional method for connecting an optical component and an optical fiber.
【図13】光学部品と光ファイバとを接続する従来の方
法を説明するための側面図である。FIG. 13 is a side view for explaining a conventional method for connecting an optical component and an optical fiber.
【図14】光ファイバ及び光学部品の接合部への炭酸ガ
スレーザ光のスポットの照射状態を示す平面図である。FIG. 14 is a plan view showing an irradiation state of spots of carbon dioxide laser light on a joint portion of an optical fiber and an optical component.
【図15】(a)は光ファイバと炭酸ガスレーザ光との
関係を示す模式図であり、(b)は光学部品と炭酸ガス
レーザ光との関係を示す模式図である。FIG. 15A is a schematic diagram showing a relationship between an optical fiber and carbon dioxide laser light, and FIG. 15B is a schematic diagram showing a relationship between optical components and carbon dioxide laser light.
3、52 レンズ 4、50、65 炭酸ガスレーザ光 4a スポット 5、41 光ファイバ 6、11、23、42、43、63 コ ア 8、12、22、45、46、64 クラッド 10、20、30、40、62 光学部品 10a、10b 端 面 10c 上 面 13、21、44、51 接合部 60 パッケージ 61 金属ブロック 70 吹き出しノズル 3, 52 lens 4, 50, 65 carbon dioxide laser light 4a spot 5, 41 optical fiber 6, 11, 23, 42, 43, 63 core 8, 12, 22, 45, 46, 64 clad 10, 20, 30, 40, 62 Optical components 10a, 10b End surface 10c Upper surface 13, 21, 44, 51 Joining portion 60 Package 61 Metal block 70 Blowing nozzle
Claims (10)
と光ファイバの端面を突き合わせ、その接合部に炭酸ガ
スレーザ光を照射して該光学部品と該光ファイバとを融
着する接続方法において、前記光ファイバのクラッド端
面を前記光学部品の接合面より前記炭酸ガスレーザ光の
照射方向側に突出させて融着することを特徴とする光学
部品と光ファイバとの接続方法。1. A connection method in which an end face of an optical component made of a quartz-based material and an end face of an optical fiber are abutted against each other, and a carbon dioxide gas laser beam is irradiated to the joint portion to fuse the optical component and the optical fiber. A method for connecting an optical component and an optical fiber, characterized in that a clad end face of the optical fiber is projected toward a carbon dioxide gas laser beam irradiation direction side from a joint surface of the optical component and fused.
ァイバのクラッドの突出量が、30μmから60μmま
での範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の光
学部品と光ファイバとの接続方法。2. The optical component and the optical fiber according to claim 1, wherein the protrusion amount of the clad of the optical fiber with respect to the joint surface of the optical component is within a range of 30 μm to 60 μm. Connection method.
と光ファイバの端面を突き合わせ、その接合部に炭酸ガ
スレーザ光を照射して該光学部品と該光ファイバとを融
着する接続方法において、接合部に照射される炭酸ガス
レーザ光のスポット中心を、前記光学部品側の接合面よ
り光軸方向にずらして照射することを特徴とする光学部
品と光ファイバとの接続方法。3. A connection method in which an end face of an optical component made of a quartz-based material and an end face of an optical fiber are abutted against each other, and a carbon dioxide laser beam is irradiated to the joint portion to fuse the optical component and the optical fiber. A method for connecting an optical component and an optical fiber, wherein the spot center of the carbon dioxide laser light with which the joint portion is irradiated is shifted in the optical axis direction from the joint surface on the side of the optical component and then irradiated.
ずれを100μmから900μmまでに設定し、前記炭
酸ガスレーザ光のパワー密度を1.3×102 から1.
5×103 W/cm2 までに設定したことを特徴とする
請求項3に記載の光学部品と光ファイバとの接続方法。4. The deviation of the spot center of the carbon dioxide laser light is set from 100 μm to 900 μm, and the power density of the carbon dioxide laser light is 1.3 × 10 2 to 1.
The method for connecting the optical component and the optical fiber according to claim 3, wherein the setting is made up to 5 × 10 3 W / cm 2 .
と光ファイバの端面を突き合わせ、その接合部に炭酸ガ
スレーザ光を照射して該光学部品と該光ファイバとを融
着する接続方法において、前記光ファイバの端面を熱処
理した後、前記光学部品を突き合わせて前記炭酸ガスレ
ーザ光で融着することを特徴とする光学部品と光ファイ
バとの接続方法。5. A connection method in which an end face of an optical component made of a quartz-based material and an end face of an optical fiber are abutted against each other, and a carbon dioxide gas laser beam is irradiated to the joint portion to fuse the optical component and the optical fiber. After the heat treatment of the end face of the optical fiber, the optical components are butted and fused with the carbon dioxide gas laser beam to connect the optical component and the optical fiber.
は水素酸素炎を用いて曲率を持たせることを特徴とする
請求項5に記載の光学部品と光ファイバとの接続方法。6. The method of connecting an optical component and an optical fiber according to claim 5, wherein the end surface of the optical fiber is provided with a curvature by using arc discharge or hydrogen-oxygen flame.
スレーザ光を用いて、接合部を中心に前記炭酸ガスレー
ザ光の照射方向以外の他の方向からも照射することを特
徴とする請求項1及び請求項6のいずれか1項に記載の
光学部品と光ファイバとの接続方法。7. The carbon dioxide gas laser beam is used together with another carbon dioxide gas laser beam to irradiate from a direction other than the irradiation direction of the carbon dioxide gas laser beam around the joint. Item 7. A method for connecting the optical component according to any one of items 6 and the optical fiber.
面と光ファイバの端面を突き合わせ、その接合部に炭酸
ガスレーザ光を照射して該光学部品と該光ファイバとを
融着する接続方法において、前記炭酸ガスレーザ光と共
に他の炭酸ガスレーザ光を用いて、接合部を中心に前記
炭酸ガスレーザ光の照射方向以外の方向から照射すると
共に、前記炭酸ガスレーザ光の密度を前記他の炭酸ガス
レーザ光の密度より小さくしたことを特徴とする光学部
品と光ファイバとの接合方法。8. A connection method in which an end face of an optical component made of a quartz-based material and an end face of an optical fiber are abutted against each other, and a carbon dioxide laser beam is irradiated to the joint portion to fuse the optical component and the optical fiber. The carbon dioxide gas laser beam is used together with the carbon dioxide gas laser beam to irradiate from a direction other than the irradiation direction of the carbon dioxide gas laser beam around the joint, and the density of the carbon dioxide gas laser beam is set to the density of the other carbon dioxide gas laser beam. A method for joining an optical component and an optical fiber, which is characterized by being made smaller.
と光ファイバの端面を突き合わせ、その接合部に炭酸ガ
スレーザ光を照射して該光学部品と該光ファイバとを融
着する接続方法において、前記炭酸ガスレーザ光の照射
部に冷却のためのガスを吹き付けながら融着することを
特徴とする光学部品と光ファイバとの接続方法。9. A connection method in which an end face of an optical component made of a quartz-based material and an end face of an optical fiber are abutted against each other, and a carbon dioxide gas laser beam is irradiated to the joint portion to fuse the optical component and the optical fiber together. A method for connecting an optical component and an optical fiber, characterized in that the carbon dioxide laser light irradiation portion is fused while being blown with a gas for cooling.
付けるガスにヘリウム、アルゴン、窒素などの不活性ガ
スを用いたことを特徴とする請求項9に記載の光学部品
と光ファイバとの接続方法。10. The method for connecting an optical component and an optical fiber according to claim 9, wherein an inert gas such as helium, argon, or nitrogen is used as a gas blown onto the carbon dioxide laser beam irradiation portion.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14949292A JPH05341151A (en) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | How to connect optical components and optical fibers |
Applications Claiming Priority (1)
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JP14949292A JPH05341151A (en) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | How to connect optical components and optical fibers |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05341151A true JPH05341151A (en) | 1993-12-24 |
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ID=15476337
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JP14949292A Pending JPH05341151A (en) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | How to connect optical components and optical fibers |
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Country | Link |
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JP (1) | JPH05341151A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021063880A (en) * | 2019-10-11 | 2021-04-22 | 三菱電線工業株式会社 | Optical fiber end structure and optical connector structure using the same |
JP2022065166A (en) * | 2019-10-11 | 2022-04-26 | 三菱電線工業株式会社 | Optical fiber end structure and optical connector structure using the same |
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-
1992
- 1992-06-09 JP JP14949292A patent/JPH05341151A/en active Pending
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