[go: up one dir, main page]

JPH05341007A - Printed wiring board inspecting device - Google Patents

Printed wiring board inspecting device

Info

Publication number
JPH05341007A
JPH05341007A JP4171484A JP17148492A JPH05341007A JP H05341007 A JPH05341007 A JP H05341007A JP 4171484 A JP4171484 A JP 4171484A JP 17148492 A JP17148492 A JP 17148492A JP H05341007 A JPH05341007 A JP H05341007A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
electrode
inspected
printed wiring
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4171484A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3161047B2 (en
Inventor
Kiyoshi Kimura
潔 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
Japan Synthetic Rubber Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Synthetic Rubber Co Ltd filed Critical Japan Synthetic Rubber Co Ltd
Priority to JP17148492A priority Critical patent/JP3161047B2/en
Priority to KR1019920016553A priority patent/KR100288344B1/en
Priority to US07/942,448 priority patent/US5574382A/en
Priority to DE4231185A priority patent/DE4231185C2/en
Publication of JPH05341007A publication Critical patent/JPH05341007A/en
Priority to US08/657,330 priority patent/US5672978A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3161047B2 publication Critical patent/JP3161047B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide an inspecting device for printed circuit boards embodied in high density with a high reliability, which is capable of easily generating tester connections with the inspecting circuit electrically with high efficiency despite its individual respond type. CONSTITUTION:An inspecting device for printed circuit boards is furnished with an off-grid adapter 10 and inspecting head 20 to be placed on the applicable board to be inspected 1. The head has an inspection electrode plate device 22 fitted with inspection electrodes 21 in lattice arrangement, wherein those of the inspection electrodes 21 in mutually mating positions in each of a plurality of functional regions are connected electrically with one another to form a common electrode. The off-grid adapter 10 and inspecting head 20 are positioned on both surfaces of the board, and two of such common electrodes consisting of inspection electrodes 21 positioned in those segment regions of inspection electrode plate device which are not overlapped one over the other are conected electrically with each other. The inspecting head 20 is installed on a pressing mechanism removably.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の性能
を検査するためのプリント配線板の検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed wiring board inspection device for inspecting the performance of a printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に集積回路などを搭載するプリント
配線板については、集積回路などを搭載する以前に、当
該プリント配線板の配線パターンが所期の性能を有する
ことを確認するためにその電気的特性を検査することが
必要である。従来、このプリント配線板の検査を実行す
る方法としては、基本的に、被検査プリント配線板の被
検査電極の配置パターンに応じて配置された検査電極を
有し、この検査電極がワイア配線によりテスターの検査
回路に電気的に接続される個別対応型の検査電極装置を
用いる方法、並びにユニバーサル型と称される縦横に並
ぶ標準格子点位置に検査電極が形成されてなる検査電極
装置を、被検査プリント配線板の被検査電極とこの検査
電極装置の検査電極とを接続するコネクタと組合せて用
いる方法などが知られている。
2. Description of the Related Art Generally, a printed wiring board on which an integrated circuit or the like is mounted is electrically connected to the printed circuit board before mounting the integrated circuit or the like in order to confirm that the wiring pattern of the printed wiring board has desired performance. It is necessary to inspect the characteristics. Conventionally, the method of inspecting this printed wiring board is basically to have the inspection electrodes arranged according to the arrangement pattern of the electrodes to be inspected of the printed wiring board to be inspected. A method of using a test electrode device of an individual type electrically connected to a test circuit of a tester and a test electrode device called a universal type in which test electrodes are formed at standard grid point positions arranged vertically and horizontally are provided. There is known a method of combining an electrode to be inspected on an inspection printed wiring board with a connector for connecting an inspection electrode of this inspection electrode device, and the like.

【0003】現在、プリント配線板の分野においては、
素子の集積度およびパターンの高密度化が一層推進され
る傾向にあり、これに伴って検査電極装置においても検
査電極の高密度化が必要とされている。しかしながら、
個別対応型の検査電極装置においては、被検査プリント
配線板の被検査電極に対応するパターンの検査電極が必
要であるため、検査回路をユニバーサル型に比較して効
率的に利用することができる利点がある反面、結局、ス
プリングプローブなどを用いて被検査電極と同様に高密
度化された検査電極を形成しなければならず、従って当
該検査電極装置の製作が困難であり、コストが非常に高
いものとなる問題点がある。
At present, in the field of printed wiring boards,
There is a tendency that the degree of integration of elements and the densification of patterns are further promoted, and accordingly, the densification of test electrodes is also required in the test electrode apparatus. However,
In the individually-corresponding type inspection electrode device, since the inspection electrode having the pattern corresponding to the electrode to be inspected of the printed wiring board to be inspected is required, the inspection circuit can be efficiently used as compared with the universal type. On the other hand, in the end, it is necessary to form the densified test electrodes in the same manner as the test electrodes by using a spring probe or the like, so that it is difficult to manufacture the test electrode device and the cost is very high. There are serious problems.

【0004】また、ユニバーサル型検査電極装置におい
ては、テスターの検査回路と対をなす検査電極の隣接す
るもの相互間における距離が一定とされており、高密度
化された被検査電極を有する被検査プリント配線板の検
査のためには、一部の被検査電極については検査電極装
置における最も接近した位置の検査電極に対して電気的
な接続を達成すればよい。しかしながら、他の一部の被
検査電極については、検査電極装置における相当に離隔
した位置の検査電極に電気的に接続させることが必要と
なる場合が多い。これは、被検査電極の密度が検査電極
の密度より相当に高いからである。そして、その結果、
コネクタにおける配線密度を高くする必要があるが、そ
の高密度化にも限度がある。また、実際上、有効に使用
に供することができない検査電極が多く残り、効率的に
も装置としても無駄が多いという問題点がある。
Further, in the universal type inspection electrode device, the distance between the adjacent inspection electrodes forming a pair with the inspection circuit of the tester is constant, and the inspection electrode having the densified inspection electrodes is inspected. In order to inspect the printed wiring board, some of the electrodes to be inspected may be electrically connected to the inspection electrodes at the closest positions in the inspection electrode device. However, for some other electrodes to be inspected, it is often necessary to electrically connect them to the inspection electrodes at positions that are considerably separated from each other in the inspection electrode device. This is because the density of the electrodes to be inspected is considerably higher than the density of the inspection electrodes. And as a result,
It is necessary to increase the wiring density in the connector, but there is a limit to increasing the density. Further, in practice, there are many test electrodes that cannot be effectively used, and there is a problem that there is much waste in terms of efficiency and the device.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
プリント配線板の検査装置においては、望まれている被
検査電極の高密度化に十分に対応することが困難であ
り、その結果、検査電極装置の構成が複雑となり、電気
的な接続を達成するためのコネクタにおける配線パター
ンの高密度化を十分に達成することが困難で信頼性の高
い検査を行うことができない。
As described above, in the conventional printed wiring board inspection apparatus, it is difficult to sufficiently cope with the desired high density of the electrodes to be inspected. The structure of the inspection electrode device becomes complicated, and it is difficult to sufficiently achieve high density of the wiring pattern in the connector for achieving electrical connection, and highly reliable inspection cannot be performed.

【0006】本発明の目的は、基本的に個別対応型の検
査装置でありながら、テスターの検査回路に対する電気
的な接続を高い効率で容易に達成することができ、十分
に高い信頼性をもって高密度化されたプリント配線板の
検査を行うことのできるプリント配線板の検査装置を提
供することにある。
The object of the present invention is basically an individualized inspection device, but it is possible to easily achieve electrical connection to the inspection circuit of the tester with high efficiency, and it is possible to achieve high reliability and high reliability. An object of the present invention is to provide a printed wiring board inspection device capable of inspecting a densified printed wiring board.

【0007】本発明の他の目的は、プリント配線板がそ
の両面に被検査電極を有する場合にも、テスターの検査
回路に対する電気的な接続を高い効率で容易に達成する
ことができ、十分に高い信頼性をもって高密度化された
プリント配線板の検査を行うことのできるプリント配線
板の検査装置を提供することにある。
Another object of the present invention is to sufficiently achieve electrical connection to a test circuit of a tester with high efficiency even when the printed wiring board has electrodes to be inspected on both sides thereof. An object of the present invention is to provide a printed wiring board inspecting device capable of inspecting a highly densified printed wiring board with high reliability.

【0008】本発明の更に他の目的は、被検査プリント
配線板の被検査電極に対する電気的接続システムの異な
る検査機構を容易に代替して利用することができるプリ
ント配線板の検査装置を提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide a printed wiring board inspection apparatus which can easily substitute and use a different inspection mechanism of an electrical connection system for an electrode to be inspected of a printed wiring board to be inspected. Especially.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明のプリント配線の
板検査装置は、検査すべき被検査プリント配線板上に配
置されるオフグリッドアダプターと、このオフグリッド
アダプター上に配置される検査ヘッドとを有してなり、
前記オフグリッドアダプターは、表面に、被検査プリン
ト配線板の被検査電極に対応するパターンの表面電極を
有すると共に、裏面に、当該表面電極と電気的に接続さ
れた格子点位置に配列された裏面電極を有するピッチ変
換ボードと、このピッチ変換ボードの表面と被検査プリ
ント配線板との間に配置される第1の異方導電性シート
とよりなり、前記検査ヘッドは、第2の異方導電性シー
トと、この第2の異方導電性シートを介して前記ピッチ
変換ボードの裏面電極に電気的に接続される格子状配列
の検査電極を有する検査電極板装置とを有してなり、当
該検査電極板装置は、互いに同一の検査電極配置を有す
る複数の機能領域を有すると共に、機能領域の各々にお
ける互いに対応する位置に配置された検査電極が互いに
電気的に接続されて共通化電極が形成されている、こと
を特徴とする。
A printed wiring board inspection apparatus according to the present invention comprises an off-grid adapter arranged on a printed wiring board to be inspected, and an inspection head arranged on the off-grid adapter. Have
The off-grid adapter has a front surface electrode having a pattern corresponding to an electrode to be inspected of a printed wiring board to be inspected on the front surface, and a back surface arranged at a grid point position electrically connected to the front surface electrode on the back surface. A pitch conversion board having electrodes, and a first anisotropic conductive sheet disposed between the surface of the pitch conversion board and the printed wiring board to be inspected, and the inspection head includes a second anisotropic conductive sheet. And a test electrode plate device having a grid-like test electrode electrically connected to the back surface electrode of the pitch conversion board via the second anisotropic conductive sheet. The inspection electrode plate device has a plurality of functional regions having the same inspection electrode arrangement, and the inspection electrodes arranged at corresponding positions in each of the functional regions are electrically connected to each other. Common electrode is formed, characterized in that.

【0010】また、本発明のプリント配線板の検査装置
は、被検査プリント配線板の両面にそれぞれ上記のオフ
グリッドアダプターおよび検査ヘッドが設けられてお
り、被検査プリント配線板の一面側の一方の検査ヘッド
に係る一方の検査電極板装置における共通化電極が、被
検査プリント配線板の他面側の他方の検査ヘッドに係る
他方の検査電極板装置における共通化電極と電気的に接
続されており、互いに電気的に接続されている2つの共
通化電極に係る検査電極は、一方の検査電極板装置と他
方の検査電極板装置における互いに上下に重ならない区
画領域に位置されているものであることを特徴とする。
The printed wiring board inspecting apparatus of the present invention is provided with the above-mentioned off-grid adapter and the inspection head on both sides of the inspected printed wiring board. The common electrode in one inspection electrode plate device related to the inspection head is electrically connected to the common electrode in the other inspection electrode plate device related to the other inspection head on the other surface side of the printed wiring board to be inspected. , The inspection electrodes related to the two common electrodes electrically connected to each other are located in the partition regions that do not vertically overlap each other in one inspection electrode plate device and the other inspection electrode plate device. Is characterized by.

【0011】更に、本発明のプリント配線板の検査装置
は、オフグリッドアダプターおよび検査ヘッドを被検査
プリント配線板に対して押圧する押圧板を含む押圧機構
を有してなり、前記検査ヘッドは押圧機構に着脱自在に
設けられていることを特徴とする。
The printed wiring board inspection apparatus of the present invention further comprises a pressing mechanism including an off-grid adapter and a pressing plate for pressing the inspection head against the inspected printed wiring board, and the inspection head is pressed by the pressing mechanism. It is characterized in that it is detachably attached to the mechanism.

【0012】[0012]

【作用】以上のような構成によれば、被検査プリント配
線板の或る被検査電極と導通する検査電極が検査電極板
装置の複数の機能領域のいずれにも存在し、従って当該
被検査電極とテスターの検査回路との電気的な接続を大
きな自由度で行うことができると共に、テスターの検査
回路に接続すべき端子数が大幅に減少し、しかも各機能
領域における検査電極を共通化電極とすることにより全
体の検査電極の利用効率が高くなる。
According to the above-mentioned structure, the test electrode which is electrically connected to a certain test electrode of the test printed wiring board exists in each of the plurality of functional areas of the test electrode plate apparatus, and therefore the test electrode is inspected. And the tester inspection circuit can be electrically connected with a large degree of freedom, the number of terminals to be connected to the tester inspection circuit is greatly reduced, and the inspection electrodes in each functional area are shared electrodes. By doing so, the utilization efficiency of the entire inspection electrode is increased.

【0013】また、被検査プリント配線板の両面に設け
られた検査電極板装置の各々における上下に重ならない
区画領域の共通化電極に係る検査電極同士を電気的に接
続することにより、一の検査電極とテスターの検査回路
との電気的な接続に更に大きな自由度が得られると共
に、検査回路への接続数を減少させることができる。
Further, one inspection is performed by electrically connecting the inspection electrodes related to the common electrodes in the partitioned areas that do not overlap each other in each of the inspection electrode plate devices provided on both sides of the inspected printed wiring board. Greater degree of freedom can be obtained in the electrical connection between the electrodes and the test circuit of the tester, and the number of connections to the test circuit can be reduced.

【0014】更に、検査ヘッドに係る検査電極板装置を
押圧するための押圧機構に前記検査ヘッドを着脱自在に
設けておくことにより、検査ヘッドおよびオフグリッド
アダプターを取外すことが可能となるので、被検査プリ
ント配線板の被検査電極に対する電気的接続システムの
異なる検査機構を容易に代替して利用することが可能と
なる。
Further, since the inspection head is detachably provided in the pressing mechanism for pressing the inspection electrode plate device related to the inspection head, the inspection head and the off-grid adapter can be detached. It is possible to easily substitute and use a different inspection mechanism of the electrical connection system for the electrodes to be inspected of the inspection printed wiring board.

【0015】[0015]

【実施例】図1は、本発明に係るプリント配線板の検査
装置の一例における要部の構成を示す説明用断面図であ
る。図1において、1は検査すべき被検査プリント配線
板であって、その両面に被検査電極2が形成されてい
る。そして、この被検査プリント配線板1の上面側およ
び下面側に、それぞれ、オフグリッドアダプター10を
介して検査ヘッド20が配置されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is an explanatory sectional view showing the structure of the main part of an example of a printed wiring board inspection apparatus according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an inspected printed wiring board to be inspected, on which electrodes 2 to be inspected are formed. The inspection heads 20 are arranged on the upper surface side and the lower surface side of the inspected printed wiring board 1 via the off-grid adapters 10, respectively.

【0016】オフグリッドアダプター10は、ピッチ変
換ボード13と、このピッチ変換ボード13と被検査プ
リント配線板1との間に配設される第1の異方導電性シ
ート14とによって構成されており、ピッチ変換ボード
13の被検査プリント配線板1側の表面には、被検査プ
リント配線板1の被検査電極2に相対するパターンの表
面電極11が形成されており、ピッチ変換ボード13の
反対の裏面には、当該表面電極11と電気的に接続され
た裏面電極12が格子点位置に配列された状態で形成さ
れている。
The off-grid adapter 10 comprises a pitch conversion board 13 and a first anisotropic conductive sheet 14 arranged between the pitch conversion board 13 and the printed wiring board 1 to be inspected. On the surface of the pitch conversion board 13 on the inspected printed wiring board 1 side, a surface electrode 11 having a pattern facing the inspected electrode 2 of the inspected printed wiring board 1 is formed. A back surface electrode 12 electrically connected to the front surface electrode 11 is formed on the back surface in a state of being arranged at lattice point positions.

【0017】検査ヘッド20は、検査電極板装置22
と、この検査電極板装置22と前記ピッチ変換ボード1
3との間に配設される第2の異方導電性シート23とに
よって構成されており、検査電極板装置22の表面に
は、ピッチ変換ボード13の裏面電極12に適合する格
子状配列、すなわち格子点位置のすべてに配列された状
態で形成された検査電極21が形成されている。この検
査電極板装置22においては、後述するように、テスタ
ーの検査回路30の電極数に対応するよう検査点数を減
少させるために、各検査電極21を共通化電極とするた
めの配線回路28が多層構成で形成されると共に、この
配線回路28の一部により、検査電極板装置22の一端
部に外部引出し端子部29が形成され、この外部引出し
端子部29の各端子は、着脱自在に接続されたコネクタ
25により、テスターの検査回路30に接続されてい
る。
The inspection head 20 includes an inspection electrode plate device 22.
The inspection electrode plate device 22 and the pitch conversion board 1
And a second anisotropic conductive sheet 23 disposed between the inspection electrode plate device 22 and the third anisotropic conductive sheet 23. That is, the inspection electrodes 21 are formed so as to be arranged at all the lattice point positions. In this inspection electrode plate device 22, as will be described later, in order to reduce the number of inspection points corresponding to the number of electrodes of the inspection circuit 30 of the tester, a wiring circuit 28 for making each inspection electrode 21 a common electrode is provided. The external lead-out terminal portion 29 is formed at one end of the inspection electrode plate device 22 by a part of the wiring circuit 28 while being formed in a multi-layered structure, and each terminal of the external lead-out terminal portion 29 is detachably connected. The connector 25 is connected to the test circuit 30 of the tester.

【0018】31は上面側の検査ヘッド20に係る検査
電極板装置22を下方に押圧するための押圧板であり、
図示しない押圧機構に着脱自在に設けられている。ま
た、この押圧板31は、その押圧方向(図において下
方)における基準レベル、すなわち押圧操作が開始され
ていない基準のレベルが調整可能に設けられている。そ
して、下面側の検査電極板装置22の下面には弾性緩衝
材よりなる受け板32が配置されている。
Reference numeral 31 is a pressing plate for pressing down the inspection electrode plate device 22 of the inspection head 20 on the upper surface side.
It is detachably attached to a pressing mechanism (not shown). The pressing plate 31 is provided so that the reference level in the pressing direction (downward in the drawing), that is, the reference level at which the pressing operation is not started, can be adjusted. A receiving plate 32 made of an elastic cushioning material is arranged on the lower surface of the inspection electrode plate device 22 on the lower surface side.

【0019】検査ヘッド20における検査電極板装置2
2について具体的に説明すると、図2は、検査電極板装
置22として用いられる検査電極エレメント26を示
す。この検査電極エレメント26は、矩形の板状絶縁性
基体の一面に、いわゆるユニバーサル配列に従い、縦横
に並ぶ標準格子点位置に検査電極pが形成されて構成さ
れている。この検査電極エレメント26は、その一面の
領域が鎖線で示すように縦方向および横方向において各
々2分割されて互いに等しい矩形の合計4つの機能領域
A,B,CおよびD(図2で左上、右上、左下および右
下の順)が形成されており、また機能領域A〜Dの各々
においては、互いに同一の配置で縦横に並ぶ検査電極p
を有する。
Inspection electrode plate device 2 in inspection head 20
2 will be specifically described. FIG. 2 shows an inspection electrode element 26 used as the inspection electrode plate device 22. The inspection electrode element 26 is formed by forming inspection electrodes p on one surface of a rectangular plate-shaped insulating substrate at standard grid point positions arranged vertically and horizontally according to a so-called universal arrangement. The inspection electrode element 26 has a total of four functional areas A, B, C, and D (upper left in FIG. 2, which is a rectangle in which one surface area is divided into two in the vertical direction and the horizontal direction as shown by a chain line and is equal to each other. Upper right, lower left, and lower right) are formed, and in each of the functional areas A to D, the inspection electrodes p arranged vertically and horizontally in the same arrangement as each other.
Have.

【0020】今、機能領域A〜Dの各々において、縦m
行、横n列で並ぶ検査電極pの特定の位置にあるものを
特定するために、第m行第n列の位置にある検査電極p
の番地表示を(m,n)とし、さらに機能領域までを特
定する場合には、当該番地表示の先頭に機能領域を示す
記号A〜Dを付して表わすこととする。例えば、機能領
域Aにおける第1行第1列にある検査電極はA(1,
1)で表わされる。
Now, in each of the functional areas A to D, the vertical m
In order to specify the inspection electrodes p arranged in rows and n columns in the horizontal direction, the inspection electrodes p in the position of the m-th row and the n-th column are specified.
In the case where the address display of (m, n) is specified and further up to the functional area is specified, symbols A to D indicating the functional area are added to the head of the address display. For example, the inspection electrode in the first row, first column in the functional area A is A (1,
It is represented by 1).

【0021】検査電極エレメント26の機能領域A〜D
の各々における対応位置にある検査電極pは、接続部材
によって互いに電気的に接続されている。すなわち、同
一の番地表示(m,n)を有する検査電極pは各機能領
域A〜Dの各々にあって合計4つ存在するが、これら同
一の番地表示を有する4つの検査電極pを互いに電気的
に接続させるのである。この互いに電気的に接続された
検査電極をこの明細書において「共通化電極」といい、
P(m,n)で表わすこととする。従って、或る共通化
電極P(m,n)は、電気的に接続されている4つの分
岐された端子としての検査電極A(m,n)、B(m,
n),C(m,n)およびD(m,n)よりなるものと
なる。
Functional areas A to D of the inspection electrode element 26
The inspection electrodes p at the corresponding positions in each of the above are electrically connected to each other by a connecting member. That is, there are a total of four test electrodes p having the same address display (m, n) in each of the functional areas A to D, but the four test electrodes p having the same address display are electrically connected to each other. To make a physical connection. The inspection electrodes electrically connected to each other are referred to as "common electrodes" in this specification,
It is represented by P (m, n). Therefore, a certain common electrode P (m, n) is a test electrode A (m, n), B (m, n) as four branched terminals that are electrically connected.
n), C (m, n) and D (m, n).

【0022】以上の同一の番地表示(m,n)を有する
検査電極の電気的な接続は、適宜の接続部材によって達
成されればよく、その具体的な構成乃至手段は限定され
るものではない。図1の実施例における検査電極板装置
22においては、上記のような検査電極エレメント26
の絶縁性基体に配線回路28が多層に形成されることに
より、接続部材が構成されているが、適宜のリードワイ
アにより接続部材を構成することも可能である。そし
て、検査電極エレメント26の検査電極pが、この検査
電極板装置22の検査電極21を形成する。
The electrical connection of the inspection electrodes having the same address indication (m, n) as described above may be achieved by an appropriate connecting member, and the specific configuration or means is not limited. .. In the inspection electrode plate device 22 in the embodiment of FIG. 1, the inspection electrode element 26 as described above is used.
Although the connecting member is formed by forming the wiring circuits 28 in multiple layers on the insulating substrate, it is also possible to form the connecting member by an appropriate lead wire. Then, the inspection electrode p of the inspection electrode element 26 forms the inspection electrode 21 of the inspection electrode plate device 22.

【0023】図示の例における第1の異方導電性シート
14および第2の異方導電性シート23は、いずれもシ
ートの厚み方向に導電性を有している。そして、第2の
異方導電性シート23は、検査ヘッド20の検査電極2
1に対応した位置に配列された多数の導電路形成部24
が少なくとも一面において厚み方向に突起状に形成され
ており、電気的な接触安定性を向上させる機能を有して
いる。
The first anisotropic conductive sheet 14 and the second anisotropic conductive sheet 23 in the illustrated example are both electrically conductive in the thickness direction of the sheet. The second anisotropic conductive sheet 23 is used as the inspection electrode 2 of the inspection head 20.
1. A large number of conductive path forming portions 24 arranged at positions corresponding to 1
Is formed in a protrusion shape in the thickness direction on at least one surface, and has a function of improving electrical contact stability.

【0024】以上のような構成のプリント配線板の検査
装置においては、押圧機構の押圧板31と受け板32と
の間に、オフグリッドアダプター10および検査ヘッド
20を介して被検査プリント配線板1を押圧することに
より、被検査プリント配線板1の被検査電極2の各々が
検査ヘッド20の検査電極21の何れかと電気的に接続
され、これにより、テスターの検査回路30に電気的に
接続された状態となって所期の検査が行われる。この押
圧状態においては、下面側の受け板32が弾性緩衝材よ
りなるため、押圧板31により検査ヘッド20およびオ
フグリッドアダプター10に作用される押圧力は全体に
均一な圧力分布のものとなる。
In the printed wiring board inspecting apparatus having the above-described structure, the inspected printed wiring board 1 is provided between the pressing plate 31 and the receiving plate 32 of the pressing mechanism via the off-grid adapter 10 and the inspection head 20. By pressing, each of the electrodes 2 to be inspected of the printed wiring board 1 to be inspected is electrically connected to any of the inspection electrodes 21 of the inspection head 20, and thereby to the inspection circuit 30 of the tester. The desired inspection is performed. In this pressed state, since the receiving plate 32 on the lower surface side is made of the elastic cushioning material, the pressing force applied to the inspection head 20 and the off-grid adapter 10 by the pressing plate 31 has a uniform pressure distribution as a whole.

【0025】而して、検査ヘッド20の検査電極板装置
22においては、その複数の機能領域において同一の配
置状態で検査電極21が形成されていると共に、各機能
領域における対応する位置にある検査電極21が配線回
路28によって互いに電気的に接続されて共通化電極と
されているため、或る被検査電極2と導通する検査電極
21が各機能領域のいずれにも存在し、従って当該被検
査電極2とテスターの検査回路30との電気的な接続を
大きな自由度で行うことができると共に、テスターの検
査回路30に接続すべき端子数は、共通化電極の数でよ
いから、検査電極21の総数に比して大幅に減少する。
その結果、被検査プリント配線板1上の被検査電極2が
特定の個所に非常に高密度化された状態に形成されたも
のであっても、当該個所とは離隔した機能領域の共通化
電極を利用して、すなわち、いわば当該共通化電極によ
って分散された位置の検査電極を利用することにより、
所要の電気的な接続を容易に達成することができると共
に、高い信頼性の検査を実行することができる。
Thus, in the inspection electrode plate device 22 of the inspection head 20, the inspection electrodes 21 are formed in the same arrangement state in the plurality of functional regions, and the inspection is performed at the corresponding position in each functional region. Since the electrodes 21 are electrically connected to each other by the wiring circuit 28 and are used as a common electrode, the inspection electrode 21 that is electrically connected to a certain electrode 2 to be inspected is present in each of the functional areas, and therefore the inspected electrode 2 is in contact. The electrical connection between the electrode 2 and the tester inspection circuit 30 can be performed with a large degree of freedom, and the number of terminals to be connected to the tester inspection circuit 30 may be the number of common electrodes. Significantly reduced compared to the total number of.
As a result, even if the electrode 2 to be inspected on the inspected printed wiring board 1 is formed in a very high density at a specific location, a common electrode in a functional region separated from the location. By using the test electrodes at the positions dispersed by the common electrode, so to speak,
The required electrical connection can be easily achieved and a highly reliable test can be performed.

【0026】また、検査電極板装置22において、検査
電極エレメント26の各機能領域における検査電極pを
共通化電極とすることにより、検査電極エレメント26
の全体の検査電極pの利用効率が高くなるため、無駄な
検査電極が大幅に減少し、極めて高い効率で検査を実施
することができる。
Further, in the inspection electrode plate device 22, the inspection electrode p in each functional region of the inspection electrode element 26 is made a common electrode, so that the inspection electrode element 26
Since the use efficiency of all the inspection electrodes p is high, the number of useless inspection electrodes is significantly reduced, and the inspection can be performed with extremely high efficiency.

【0027】図3は、本発明の他の実施例を示す。この
図においては、被検査プリント配線板1の上面側に配置
される一方の検査電極板装置50、被検査プリント配線
板1の下面側に配置される他方の検査電極板装置60お
よびその関連部分のみが示されている。この例において
は、一方の検査電極板装置50は、一方向(図における
X方向)に並ぶ2つの機能領域50A,50Bが形成さ
れており、各機能領域50A,50Bにおいては同一の
配置状態で検査電極pが形成されており、各機能領域5
0A,50Bにおいて同一の位置にある検査電極p同
士、例えば機能領域50Aの検査電極50A(1,1)
と機能領域50Bの検査電極50B(1,1)とが接続
部材51によって電気的に接続されている。この図3に
おいて、接続部材51はワイアより成るもののように示
してあるが、実際には既述のように多層配線回路による
ことが好ましい。
FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. In this figure, one inspection electrode plate device 50 arranged on the upper surface side of the inspected printed wiring board 1, the other inspection electrode plate device 60 arranged on the lower surface side of the inspected printed wiring board 1 and its related parts. Only shown. In this example, one inspection electrode plate device 50 is formed with two functional regions 50A and 50B arranged in one direction (X direction in the drawing), and the functional regions 50A and 50B are arranged in the same arrangement. The inspection electrode p is formed and each functional region 5
The inspection electrodes p at the same position in 0A and 50B, for example, the inspection electrodes 50A (1,1) in the functional region 50A.
And the inspection electrode 50B (1,1) in the functional region 50B are electrically connected by the connection member 51. In FIG. 3, the connecting member 51 is shown to be made of wire, but in practice it is preferable to use a multilayer wiring circuit as described above.

【0028】また、他方の検査電極板装置60において
も、一方の検査電極板装置50におけると全く同様に、
X方向に並ぶ2つの機能領域60A,60Bが形成され
ており、各機能領域60A,60Bにおいて同一の位置
にある検査電極p同士が接続部材61によって電気的に
接続されている。
Also, in the other inspection electrode plate device 60, just as in the one inspection electrode plate device 50,
Two functional regions 60A and 60B arranged in the X direction are formed, and the inspection electrodes p located at the same position in each functional region 60A and 60B are electrically connected by the connection member 61.

【0029】そして、一方の検査電極板装置50の共通
化電極は、各々、他方の検査電極板装置60における共
通化電極と、第2の接続部材70により、更に互いに電
気的に接続される。このように第2の接続部材70によ
って互いに電気的に接続される2つの共通化電極に係る
検査電極は、一方の検査電極板装置50と他方の検査電
極板装置60における互いに上下に重ならない区画領域
に位置されているものである。
The common electrodes of the one inspection electrode plate device 50 are further electrically connected to the common electrodes of the other inspection electrode plate device 60 by the second connecting member 70. In this way, the inspection electrodes related to the two common electrodes electrically connected to each other by the second connection member 70 are sections that do not overlap with each other in the inspection electrode plate device 50 on one side and the inspection electrode plate device 60 on the other side. It is located in the area.

【0030】例えば、図3において、一方の検査電極板
装置50を、区画線Dによって示すように、前記のX方
向に対して直角のY方向に並ぶ2つの互いに同様の区画
領域50a,50bに区画すると共に、他方の検査電極
板装置60をも同様にしてY方向に並ぶ2つの互いに同
様の区画領域60a,60bに区画する。ここで、図の
例においては、説明のために、各区画領域には、いずれ
も11個の検査電極pが存在する状態とされている。
For example, in FIG. 3, one inspection electrode plate device 50 is divided into two similar division regions 50a and 50b arranged in the Y direction perpendicular to the X direction, as indicated by the division line D. In addition to partitioning, the other inspection electrode plate device 60 is similarly partitioned into two similar partitioning regions 60a and 60b arranged in the Y direction. Here, in the example of the drawing, for the sake of explanation, it is assumed that there are 11 inspection electrodes p in each of the partitioned regions.

【0031】そして、一方の検査電極板装置50の区画
領域50aと上下に重ならない他方の検査電極板装置6
0の区画領域60bとにおいて、並びに区画領域50b
と区画領域60aとにおいて、対応する順序の共通化電
極に係る検査電極p同士を電気的に接続する。図におい
ては、機能領域50Bに属し区画領域50aに属する検
査電極50B(1,1)と、機能領域60Bに属し区画
領域60bに属する検査電極60B(1,11)とが接続
部材70Aによって電気的に接続され、また、機能領域
50Aに属し区画領域50bに属する検査電極50A
(1,11)と、機能領域60Aに属し区画領域60aに
属する検査電極60A(1,1)とが接続部材70Bに
よって電気的に接続されている。そして、他の検査電極
pについても同様にして第2の接続部材70によって電
気的な接続がなされる。
Then, the other inspection electrode plate device 6 which does not vertically overlap the partitioned area 50a of the one inspection electrode plate device 50.
0 and the divided area 60b, as well as the divided area 50b
In the partition area 60a, the inspection electrodes p related to the common electrode in the corresponding order are electrically connected to each other. In the figure, the inspection electrode 50B (1,1) belonging to the functional region 50B and the partitioned region 50a and the inspection electrode 60B (1,11) belonging to the functional region 60B and the partitioned region 60b are electrically connected by the connecting member 70A. Electrode 50A connected to the functional area 50A and belonging to the partitioned area 50b
(1,11) and the inspection electrode 60A (1,1) belonging to the functional area 60A and belonging to the partitioned area 60a are electrically connected by the connecting member 70B. Then, the other inspection electrodes p are also electrically connected by the second connecting member 70 in the same manner.

【0032】この実施例においては、各検査電極板装置
50および60の各々における機能領域が2つであって
各機能領域間における対応する検査電極同士が電気的に
接続されており、更に一方の検査電極板装置50と他方
の検査電極板装置60との間において、上下に重ならな
い区画領域における共通化電極に係る検査電極同士が電
気的に接続されているため、この点においても既述の共
通化電極の場合と同様の原理により、一の検査電極pと
テスターの検査回路30との電気的な接続に大きな自由
度が得られると共に、当該検査回路30への接続数を減
少させることができる。
In this embodiment, each of the inspection electrode plate devices 50 and 60 has two functional areas, and corresponding inspection electrodes are electrically connected to each other between the functional areas. Between the inspection electrode plate device 50 and the other inspection electrode plate device 60, the inspection electrodes related to the common electrode in the partitioned areas that do not vertically overlap are electrically connected to each other. According to the same principle as in the case of the common electrode, a large degree of freedom can be obtained in the electrical connection between one test electrode p and the test circuit 30 of the tester, and the number of connections to the test circuit 30 can be reduced. it can.

【0033】そして、この例においては、各検査電極板
装置50および60の各々における機能領域が2つであ
るために、各機能領域間における対応する検査電極同士
の電気的な接続のための接続部材51,61の配置が容
易であり、多層配線回路として容易に実現することがで
きる。
In this example, since each of the test electrode plate devices 50 and 60 has two functional regions, the corresponding test electrodes are electrically connected to each other between the functional regions. The members 51 and 61 are easily arranged, and can be easily realized as a multilayer wiring circuit.

【0034】以上において、実際の第2の接続部材70
による電気的な接続は、例えばテスターの検査回路30
に至る電気通路の配線において実施することもできる。
すなわち、一方の検査電極板装置50からテスターの検
査回路30に至る配線と、他方の検査電極板装置60か
らテスターの検査回路30に至る配線とが、適宜の位置
で接続されればよい。更に、この電気的な接続は、テス
ターの検査回路30において実現することもできる。こ
のように、配線上で第2の接続部材による電気的な接続
を達成する場合には、実際には当該第2の接続部材を各
検査電極板装置間に設ける必要がないので、上下の検査
ヘッド20間の空間における構成を複雑化することが回
避される。
In the above, the actual second connecting member 70
The electrical connection by means of, for example, a tester inspection circuit 30
It can also be implemented in the wiring of the electric path leading to.
That is, the wiring from one inspection electrode plate device 50 to the tester inspection circuit 30 and the wiring from the other inspection electrode plate device 60 to the tester inspection circuit 30 may be connected at appropriate positions. Furthermore, this electrical connection can also be realized in the test circuit 30 of the tester. As described above, in the case of achieving the electrical connection by the second connecting member on the wiring, it is not necessary to actually provide the second connecting member between the inspection electrode plate devices, so that the upper and lower inspections are performed. Complicated construction in the space between the heads 20 is avoided.

【0035】また、既述のように、検査装置を構成する
上面側の検査ヘッド20に係る検査電極板装置22を下
方に押圧するための押圧板を押圧機構に着脱自在に設け
ておくことにより、検査ヘッド20およびオフグリッド
アダプター10を取外すことが可能となるので、被検査
プリント配線板の被検査電極に対する電気的接続システ
ムの異なる検査機構を容易に代替して利用することがで
き、そのような検査機構の利点を有効に活用することが
できる。
Further, as described above, a pressing plate for pressing downward the inspection electrode plate device 22 relating to the inspection head 20 on the upper surface side constituting the inspection device is detachably provided in the pressing mechanism. Since the inspection head 20 and the off-grid adapter 10 can be removed, it is possible to easily substitute and use a different inspection mechanism of the electrical connection system for the electrodes to be inspected of the printed wiring board to be inspected. It is possible to effectively utilize the advantages of various inspection mechanisms.

【0036】例えば、図4に示すように、端子保持板4
2においてスプリングプローブ41が被検査プリント配
線板1の被検査電極2の配置パターンに対応して配置さ
れ、ワイア配線43によってスプリングプローブ41が
テスターの検査回路30に電気的に接続されて使用され
る個別対応型検査機構80が広く使用されているが、こ
のような個別対応型検査機構80を、検査ヘッド20お
よびオフグリッドアダプター10の代わりに交換して用
いることが容易にであり、これにより、既存の設備の無
用化乃至荒廃が回避される。
For example, as shown in FIG. 4, the terminal holding plate 4
2, the spring probe 41 is arranged corresponding to the arrangement pattern of the electrodes 2 to be inspected of the printed wiring board 1 to be inspected, and the spring probe 41 is electrically connected to the inspection circuit 30 of the tester by the wire wiring 43 for use. Although the personalized inspection mechanism 80 is widely used, it is easy to replace and use the personalized inspection mechanism 80 instead of the inspection head 20 and the off-grid adapter 10. Uselessness or desolation of existing equipment is avoided.

【0037】このように、電気的接続システムの異なる
他の検査機構を代替して利用する場合においては、押圧
板31を、その押圧方向(図において下方)における基
準レベルが調整可能に設けておくことにより、当該他の
検査機構の全体の厚みが異なる場合にも十分に確実に押
圧機構を使用することができる。更に、コネクタ25を
も着脱自在としておくことにより、テスターの検査回路
への接続機構をも共通に使用することが可能となる。
As described above, when another inspection mechanism having a different electrical connection system is used as a substitute, the pressing plate 31 is provided so that the reference level in the pressing direction (downward in the drawing) can be adjusted. As a result, the pressing mechanism can be used with sufficient reliability even when the total thickness of the other inspection mechanism is different. Furthermore, by making the connector 25 also detachable, it is possible to commonly use the connection mechanism for the tester inspection circuit.

【0038】[0038]

【発明の効果】請求項1の発明によれば、基本的に個別
対応型の検査装置でありながら、被検査プリント配線板
の被検査電極とテスターの検査回路との電気的な接続を
高い効率で、かつ大きな自由度で容易に達成することが
でき、十分に高い信頼性をもって高密度化されたプリン
ト配線板の検査を行うことのできるプリント配線板の検
査装置を提供することができる。
According to the first aspect of the present invention, the electrical connection between the electrodes to be inspected of the printed wiring board to be inspected and the inspection circuit of the tester is made highly efficient even though it is basically an individualized inspection device. In addition, it is possible to provide a printed wiring board inspection device that can be easily achieved with a large degree of freedom and that can inspect a printed wiring board having a high density with sufficiently high reliability.

【0039】しかも、検査ヘッドは、ユニバーサル配置
で検査電極が配列されている検査電極板装置を利用する
にも拘わらず、当該検査電極が共通化電極を形成してい
ることにより、有効に使用することのできない検査電極
の数が減少するので、同一の検査電極密度の被検査領域
に対しては、より大きい面積の被検査領域における被検
査電極について検査することができ、かつ、異方導電性
シートを使用するオフグリッドアダプターにより高い信
頼性をもってプリント配線板の検査を行うことができ
る。
Moreover, the inspection head uses the inspection electrode plate device in which the inspection electrodes are arranged in a universal arrangement, but the inspection head forms a common electrode, so that the inspection head is effectively used. Since the number of test electrodes that cannot be tested is reduced, it is possible to test the test electrodes in a test area having a larger area with respect to the test area having the same test electrode density, and to obtain anisotropic conductivity. The off-grid adapter that uses the sheet enables highly reliable inspection of the printed wiring board.

【0040】請求項2の発明によれば、プリント配線板
がその両面に被検査電極を有する場合にも、被検査プリ
ント配線板の両面に設けられた検査電極板装置の各々に
おける上下に重ならない区画領域の共通化電極に係る検
査電極同士を電気的に接続することにより、被検査電極
とテスターの検査回路との電気的な接続に更に大きな自
由度が得られると共に、当該検査回路に対する接続端子
数を減少させることができる。
According to the second aspect of the present invention, even when the printed wiring board has the electrodes to be inspected on both sides, the inspection electrode plate devices provided on both sides of the inspected printed wiring board do not overlap with each other in the vertical direction. By electrically connecting the inspection electrodes related to the common electrode in the partitioned area, a greater degree of freedom can be obtained in the electrical connection between the electrode to be inspected and the inspection circuit of the tester, and a connection terminal for the inspection circuit. The number can be reduced.

【0041】請求項3の発明によれば、検査ヘッドに係
る検査電極板装置を押圧するための押圧機構に検査ヘッ
ドを着脱自在に設けておくことにより、検査ヘッドおよ
びオフグリッドアダプターを取外すことが可能となるの
で、被検査プリント配線板の被検査電極に対する電気的
接続システムの異なる検査機構を容易に代替して利用す
ることができる。
According to the third aspect of the present invention, the inspection head and the off-grid adapter can be removed by detachably providing the inspection head to the pressing mechanism for pressing the inspection electrode plate device related to the inspection head. As a result, it is possible to easily substitute and use a different inspection mechanism of the electrical connection system for the inspected electrodes of the inspected printed wiring board.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のプリント配線板の検査装置の一実施例
における要部の構成を示す説明用断面図である。
FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view showing a configuration of a main part in an embodiment of a printed wiring board inspection apparatus of the present invention.

【図2】図1における検査電極板装置として用いられる
検査電極エレメントの説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a test electrode element used as the test electrode plate device in FIG.

【図3】本発明の他の実施例における2つの検査電極板
装置における構成を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration of two inspection electrode plate devices according to another embodiment of the present invention.

【図4】個別対応型検査機構の一例の構成を示す説明図
である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration of an example of an individualized inspection mechanism.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被検査プリント配線板 2 被検査電極 10 オフグリッドアダプター 11 表面電極 12 裏面電極 13 ピッチ変
換ボード 14 第1の異方導電性シート 20 検査ヘッ
ド 21 検査電極 22 検査電極
板装置 23 第2の異方導電性シート 24 導電路形
成部 25 コネクタ 26 検査電極
エレメント 28 配線回路 29 外部引出
し端子部 30 検査回路 31 押圧板 32 弾性緩衝材 41 スプリン
グプローブ 42 端子保持板 43 ワイア配
線 50 一方の検査電極板装置 50A,50B
機能領域 50a,50b 区画領域 60A,60B
機能領域 60a,60b 区画領域 51 接続部材 60 他方の検査電極板装置 61 接続部材 70,70A,70B 第2の接続部材 80 個別対応型検査機構 p 検査電極 A,B,C,D 機能領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspected printed wiring board 2 Inspected electrode 10 Off-grid adapter 11 Front surface electrode 12 Back surface electrode 13 Pitch conversion board 14 1st anisotropic conductive sheet 20 Inspection head 21 Inspection electrode 22 Inspection electrode plate device 23 2nd anisotropic Conductive sheet 24 Conductive path forming portion 25 Connector 26 Inspection electrode element 28 Wiring circuit 29 External lead terminal portion 30 Inspection circuit 31 Pressing plate 32 Elastic cushioning material 41 Spring probe 42 Terminal holding plate 43 Wire wiring 50 One inspection electrode plate device 50A , 50B
Functional area 50a, 50b Partition area 60A, 60B
Functional area 60a, 60b Partition area 51 Connection member 60 Other inspection electrode plate device 61 Connection member 70, 70A, 70B Second connection member 80 Individualized inspection mechanism p Inspection electrode A, B, C, D Functional area

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 検査すべき被検査プリント配線板上に配
置されるオフグリッドアダプターと、このオフグリッド
アダプター上に配置される検査ヘッドとを有してなり、 前記オフグリッドアダプターは、表面に、被検査プリン
ト配線板の被検査電極に対応するパターンの表面電極を
有すると共に、裏面に、当該表面電極と電気的に接続さ
れた格子点位置に配列された裏面電極を有するピッチ変
換ボードと、このピッチ変換ボードの表面と被検査プリ
ント配線板との間に配置される第1の異方導電性シート
とよりなり、 前記検査ヘッドは、第2の異方導電性シートと、この第
2の異方導電性シートを介して前記ピッチ変換ボードの
裏面電極に電気的に接続される格子状配列の検査電極を
有する検査電極板装置とを有してなり、当該検査電極板
装置は、互いに同一の検査電極配置を有する複数の機能
領域を有すると共に、機能領域の各々における互いに対
応する位置に配置された検査電極が互いに電気的に接続
されて共通化電極が形成されている、ことを特徴とする
プリント配線板の検査装置。
1. An off-grid adapter arranged on a printed wiring board to be inspected to be inspected, and an inspection head arranged on the off-grid adapter, wherein the off-grid adapter is provided on a surface thereof. A pitch conversion board having a front surface electrode having a pattern corresponding to an electrode to be inspected of a printed wiring board to be inspected and having a back surface electrode arranged at a lattice point position electrically connected to the front surface electrode on the back surface, The first anisotropic conductive sheet is disposed between the surface of the pitch conversion board and the printed wiring board to be inspected, and the inspection head includes a second anisotropic conductive sheet and the second anisotropic conductive sheet. A test electrode plate device having a grid-like array of test electrodes electrically connected to the back electrode of the pitch conversion board via a unidirectional conductive sheet. Having a plurality of functional regions having the same inspection electrode arrangement, and the inspection electrodes arranged at corresponding positions in each of the functional regions are electrically connected to each other to form a common electrode, An inspection device for printed wiring boards.
【請求項2】 被検査プリント配線板の両面にそれぞれ
請求項1に記載のオフグリッドアダプターおよび検査ヘ
ッドが設けられており、被検査プリント配線板の一面側
の一方の検査ヘッドに係る一方の検査電極板装置におけ
る共通化電極が、被検査プリント配線板の他面側の他方
の検査ヘッドに係る他方の検査電極板装置における共通
化電極と電気的に接続されており、互いに電気的に接続
されている2つの共通化電極に係る検査電極は、一方の
検査電極板装置と他方の検査電極板装置における互いに
上下に重ならない区画領域に位置されているものである
ことを特徴とするプリント配線板の検査装置。
2. The off-grid adapter and the inspection head according to claim 1 are provided on both sides of the inspected printed wiring board, respectively, and one inspection of one inspection head on one surface side of the inspected printed wiring board is performed. The common electrode in the electrode plate device is electrically connected to the common electrode in the other inspection electrode plate device related to the other inspection head on the other surface side of the printed wiring board to be inspected, and is electrically connected to each other. The test electrodes relating to the two common electrodes are located in partitioned areas that do not overlap with each other in one test electrode plate device and the other test electrode plate device. Inspection equipment.
【請求項3】 オフグリッドアダプターおよび検査ヘッ
ドを被検査プリント配線板に対して押圧する押圧板を含
む押圧機構を有してなり、前記検査ヘッドは押圧機構に
着脱自在に設けられていることを特徴とする請求項1に
記載のプリント配線板の検査装置。
3. A pressing mechanism including an off-grid adapter and a pressing plate for pressing the inspection head against the printed wiring board to be inspected, wherein the inspection head is detachably mounted on the pressing mechanism. The printed wiring board inspection device according to claim 1.
JP17148492A 1991-09-17 1992-06-08 Inspection equipment for printed wiring boards Expired - Lifetime JP3161047B2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17148492A JP3161047B2 (en) 1992-06-08 1992-06-08 Inspection equipment for printed wiring boards
KR1019920016553A KR100288344B1 (en) 1991-09-17 1992-09-09 Inspection electrode unit for printed wiring boards, inspection apparatus including the same, and inspection method for printed wiring boards
US07/942,448 US5574382A (en) 1991-09-17 1992-09-09 Inspection electrode unit for printed wiring board
DE4231185A DE4231185C2 (en) 1991-09-17 1992-09-17 Test electrode unit for printed circuit boards and test device with such a test electrode unit
US08/657,330 US5672978A (en) 1991-09-17 1996-06-03 Inspection apparatus for printed wiring board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17148492A JP3161047B2 (en) 1992-06-08 1992-06-08 Inspection equipment for printed wiring boards

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05341007A true JPH05341007A (en) 1993-12-24
JP3161047B2 JP3161047B2 (en) 2001-04-25

Family

ID=15923963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17148492A Expired - Lifetime JP3161047B2 (en) 1991-09-17 1992-06-08 Inspection equipment for printed wiring boards

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3161047B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000156253A (en) * 1998-09-16 2000-06-06 Jsr Corp Stacked connector device and inspection device for circuit board
WO2004077904A1 (en) * 2003-01-17 2004-09-10 Jsr Corporation Circuit board checker and circuit board checking method
JP2007071699A (en) * 2005-09-07 2007-03-22 Rika Denshi Co Ltd Vertical probe card
JP2007165391A (en) * 2005-12-09 2007-06-28 Tsutomu Takahashi Printed board inspection apparatus and grid conversion board therefor
WO2018021216A1 (en) * 2016-07-28 2018-02-01 日本電産リード株式会社 Inspection jig, substrate inspection device, and method for manufacturing inspection jig

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000156253A (en) * 1998-09-16 2000-06-06 Jsr Corp Stacked connector device and inspection device for circuit board
WO2004077904A1 (en) * 2003-01-17 2004-09-10 Jsr Corporation Circuit board checker and circuit board checking method
KR100721478B1 (en) * 2003-01-17 2007-05-23 제이에스알 가부시끼가이샤 Circuit board checker and circuit board checking method
US7279914B2 (en) 2003-01-17 2007-10-09 Jsr Corporation Circuit board checker and circuit board checking method
US7541823B2 (en) 2003-01-17 2009-06-02 Jsr Corporation Circuit board checker and circuit board checking method
JP2007071699A (en) * 2005-09-07 2007-03-22 Rika Denshi Co Ltd Vertical probe card
JP2007165391A (en) * 2005-12-09 2007-06-28 Tsutomu Takahashi Printed board inspection apparatus and grid conversion board therefor
WO2018021216A1 (en) * 2016-07-28 2018-02-01 日本電産リード株式会社 Inspection jig, substrate inspection device, and method for manufacturing inspection jig
KR20190035703A (en) * 2016-07-28 2019-04-03 니혼덴산리드가부시키가이샤 Inspection jig, substrate inspection apparatus, and manufacturing method of inspection jig
JPWO2018021216A1 (en) * 2016-07-28 2019-05-09 日本電産リード株式会社 Inspection jig, substrate inspection apparatus, and manufacturing method of inspection jig
US10877069B2 (en) 2016-07-28 2020-12-29 Nidec-Read Corporation Inspection jig, substrate inspection device, and method for manufacturing inspection jig

Also Published As

Publication number Publication date
JP3161047B2 (en) 2001-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100288344B1 (en) Inspection electrode unit for printed wiring boards, inspection apparatus including the same, and inspection method for printed wiring boards
US5399982A (en) Printed circuit board testing device with foil adapter
JP2755486B2 (en) Printed circuit board test apparatus with foil adapter
US8248091B2 (en) Universal array type probe card design for semiconductor device testing
TWI397696B (en) Probe assembly
JP2010541275A (en) Wafer test method and probe card therefor
KR20090013717A (en) Electrical signal connector
JP3092191B2 (en) Circuit board inspection equipment
JP2008536109A (en) Probe card and manufacturing method thereof
JPH1164425A (en) Method and device for continuity inspection in electronic part
US7501838B2 (en) Contact assembly and LSI chip inspecting device using the same
US7217139B2 (en) Interconnect assembly for a probe card
JP5079806B2 (en) Inspection structure
JPH05341007A (en) Printed wiring board inspecting device
GB2156532A (en) Apparatus for testing a printed circuit board
JPH11344521A (en) Stacked connector device, and inspection device of circuit substrate
JP3924724B2 (en) Module for inspection equipment for inspecting printed circuit boards
US7559773B2 (en) Electrical connecting apparatus
KR101207957B1 (en) Module for a parallel tester for the testing of circuit board
JP2004274010A (en) Prober
JP3030978B2 (en) Circuit board inspection electrode device and inspection method
KR100720122B1 (en) Probe Device of Semiconductor Wafer Inspector
JP2007086044A (en) Prober device, and probe assembly used therefor
JP2001124815A (en) Printed circuit board inspection device
JP2000156253A (en) Stacked connector device and inspection device for circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010123

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090223

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090223

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110223

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110223

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120223

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120223

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223

Year of fee payment: 12