JPH05333249A - 光結合器 - Google Patents
光結合器Info
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- JPH05333249A JPH05333249A JP14141692A JP14141692A JPH05333249A JP H05333249 A JPH05333249 A JP H05333249A JP 14141692 A JP14141692 A JP 14141692A JP 14141692 A JP14141692 A JP 14141692A JP H05333249 A JPH05333249 A JP H05333249A
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Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体発光素子アレイと光ファイバーアレイ
との間，または光ファイバーアレイと半導体受光素子ア
レイとの間で光信号を光学的に結合するための光結合器
に関し，クロストークを無くして，信号伝送の誤りを無
くし，光通信の信頼性を向上させる。 【構成】 アレイ状に配列された複数個のＬＤ（レーザ
ダイオード）１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが出射す
る光信号を，対応する光ファイバー１６ａ，１６ｂ，１
６ｃ，１６ｄへ導く複数個の導波路部１３ａ，１３ｂ，
１３ｃ，１３ｄ，およびこの導波路部１３を被覆する非
導波路部１４から成り，導波路部１３は，ＬＤ１１が出
射する光信号の波長域の光に対して透明な材料から成
り，非導波路部１４は，ＬＤ１１が出射する光信号の波
長域の光を吸収する材料から成る。
との間，または光ファイバーアレイと半導体受光素子ア
レイとの間で光信号を光学的に結合するための光結合器
に関し，クロストークを無くして，信号伝送の誤りを無
くし，光通信の信頼性を向上させる。 【構成】 アレイ状に配列された複数個のＬＤ（レーザ
ダイオード）１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが出射す
る光信号を，対応する光ファイバー１６ａ，１６ｂ，１
６ｃ，１６ｄへ導く複数個の導波路部１３ａ，１３ｂ，
１３ｃ，１３ｄ，およびこの導波路部１３を被覆する非
導波路部１４から成り，導波路部１３は，ＬＤ１１が出
射する光信号の波長域の光に対して透明な材料から成
り，非導波路部１４は，ＬＤ１１が出射する光信号の波
長域の光を吸収する材料から成る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，光結合器，特に半導体
発光素子アレイと光ファイバーアレイとの間，または光
ファイバーアレイと半導体受光素子アレイとの間で光信
号を光学的に結合するための光結合器に関する。
発光素子アレイと光ファイバーアレイとの間，または光
ファイバーアレイと半導体受光素子アレイとの間で光信
号を光学的に結合するための光結合器に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＤ（レーザダイオード）アレイと光フ
ァイバーアレイとの光学的結合，および光ファイバーア
レイとＰＤ（フォトダイオード）アレイとの光学的結合
のために，光結合器が用いられている。
ァイバーアレイとの光学的結合，および光ファイバーア
レイとＰＤ（フォトダイオード）アレイとの光学的結合
のために，光結合器が用いられている。
【０００３】従来の光結合器は，導波路部を伝播する光
信号の導波のみに注目して作製されており，非導波路部
を通過する光については，充分に検討されていなかっ
た。
信号の導波のみに注目して作製されており，非導波路部
を通過する光については，充分に検討されていなかっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように，従来の光
結合器は，非導波路部を通過する光についての配慮が欠
けているので，１つの導波路部中を光信号が伝播する際
に発生する迷光が別の導波路部内に混入する，という事
態が生じる。その結果，クロストークが発生する，とい
う問題があった。
結合器は，非導波路部を通過する光についての配慮が欠
けているので，１つの導波路部中を光信号が伝播する際
に発生する迷光が別の導波路部内に混入する，という事
態が生じる。その結果，クロストークが発生する，とい
う問題があった。
【０００５】クロストークは，信号伝送の誤りを引き起
こし，光通信の信頼性を低下させる。本発明は，上記の
問題点を解決して，クロストークを無くして，信号伝送
の誤りを無くし，光通信の信頼性を向上させることので
きる，光結合器およびその製造方法，特に半導体発光素
子アレイと光ファイバーアレイとの間，または光ファイ
バーアレイと半導体受光素子アレイとの間で光信号を光
学的に結合するための光結合器，およびその製造方法を
提供することを目的とする。
こし，光通信の信頼性を低下させる。本発明は，上記の
問題点を解決して，クロストークを無くして，信号伝送
の誤りを無くし，光通信の信頼性を向上させることので
きる，光結合器およびその製造方法，特に半導体発光素
子アレイと光ファイバーアレイとの間，または光ファイ
バーアレイと半導体受光素子アレイとの間で光信号を光
学的に結合するための光結合器，およびその製造方法を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに，本発明は，次のように構成する。 （１）Ｎ（正の整数）個の半導体発光素子が配列された
半導体発光素子アレイと，Ｎ個の光ファイバーが配列さ
れた光ファイバーアレイとの間で，個々の半導体発光素
子が出射する光信号を対応する光ファイバーへ光学的に
結合する光結合器であって，半導体発光素子が出射する
光信号を光ファイバーへ導くＮ個の導波路部，および該
Ｎ個の導波路部を被覆する非導波路部から成り，導波路
部は，半導体発光素子が出射する光信号の波長域の光に
対して透明な材料から成り，非導波路部は，半導体発光
素子が出射する光信号の波長域の光を吸収する材料から
成るように構成する。
めに，本発明は，次のように構成する。 （１）Ｎ（正の整数）個の半導体発光素子が配列された
半導体発光素子アレイと，Ｎ個の光ファイバーが配列さ
れた光ファイバーアレイとの間で，個々の半導体発光素
子が出射する光信号を対応する光ファイバーへ光学的に
結合する光結合器であって，半導体発光素子が出射する
光信号を光ファイバーへ導くＮ個の導波路部，および該
Ｎ個の導波路部を被覆する非導波路部から成り，導波路
部は，半導体発光素子が出射する光信号の波長域の光に
対して透明な材料から成り，非導波路部は，半導体発光
素子が出射する光信号の波長域の光を吸収する材料から
成るように構成する。
【０００７】（２）Ｎ（正の整数）個の光ファイバーが
配列された光ファイバーアレイと，Ｎ個の半導体受光素
子が配列された半導体受光素子アレイとの間で，個々の
光ファイバーが出射する光信号を対応する半導体受光素
子へ光学的に結合する光結合器であって，光ファイバー
が出射する光信号を半導体受光素子へ導くＮ個の導波路
部，および該Ｎ個の導波路部を被覆する非導波路部から
成り，導波路部は，光ファイバーが出射する光信号の波
長域の光に対して透明な材料から成り，非導波路部は，
光ファイバーが出射する光信号の波長域の光を吸収する
材料から成るように構成する。
配列された光ファイバーアレイと，Ｎ個の半導体受光素
子が配列された半導体受光素子アレイとの間で，個々の
光ファイバーが出射する光信号を対応する半導体受光素
子へ光学的に結合する光結合器であって，光ファイバー
が出射する光信号を半導体受光素子へ導くＮ個の導波路
部，および該Ｎ個の導波路部を被覆する非導波路部から
成り，導波路部は，光ファイバーが出射する光信号の波
長域の光に対して透明な材料から成り，非導波路部は，
光ファイバーが出射する光信号の波長域の光を吸収する
材料から成るように構成する。
【０００８】
【作用】本発明に係る光結合器は，導波路部を，その中
を伝播する光信号の波長域の光に対して透明な材料で構
成し，非導波路部を，導波路部中を伝播する光信号の波
長域の光を吸収する材料で構成している。
を伝播する光信号の波長域の光に対して透明な材料で構
成し，非導波路部を，導波路部中を伝播する光信号の波
長域の光を吸収する材料で構成している。
【０００９】その結果，１つの導波路部中を光信号が伝
播する際に迷光が発生しても，その迷光は，導波路部を
被覆している非導波路部に吸収されてしまうので，他の
導波路部へ混入することはない。
播する際に迷光が発生しても，その迷光は，導波路部を
被覆している非導波路部に吸収されてしまうので，他の
導波路部へ混入することはない。
【００１０】したがって，クロストークが発生すること
が無くなる。このように，本発明に係る光結合器では，
クロストークを無くすことができるので，信号伝送の誤
りが無くなり，光通信の信頼性を向上させることが可能
になる。
が無くなる。このように，本発明に係る光結合器では，
クロストークを無くすことができるので，信号伝送の誤
りが無くなり，光通信の信頼性を向上させることが可能
になる。
【００１１】
【実施例】図１は，本発明の一実施例を示す図であり，
図１（ａ）は平面図，図１（ｂ）はＡ−Ａ’断面図であ
る。
図１（ａ）は平面図，図１（ｂ）はＡ−Ａ’断面図であ
る。
【００１２】図中，１１はＬＤアレイ，１２は光結合
器，１３は導波路部，１４は非導波路部，１５は迷光，
１６は光ファイバーアレイである。ＬＤアレイ１１は，
ＬＤ（レーザダイオード）１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１
１ｄを配列したものである。図１では，４個のＬＤを１
次元に配列した例を示したが，ＬＤの個数は何個でもよ
く，また配列も１次元に限らず，２次元配列とすること
もできる。
器，１３は導波路部，１４は非導波路部，１５は迷光，
１６は光ファイバーアレイである。ＬＤアレイ１１は，
ＬＤ（レーザダイオード）１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１
１ｄを配列したものである。図１では，４個のＬＤを１
次元に配列した例を示したが，ＬＤの個数は何個でもよ
く，また配列も１次元に限らず，２次元配列とすること
もできる。
【００１３】光結合器１２は，導波路部１３ａ，１３
ｂ，１３ｃ，１３ｄおよび，図１（ｂ）に示すように，
導波路部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを被覆する非
導波路部１４から成る。
ｂ，１３ｃ，１３ｄおよび，図１（ｂ）に示すように，
導波路部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを被覆する非
導波路部１４から成る。
【００１４】導波路部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ
は，その一端において，対応するＬＤ１１ａ，１１ｂ，
１１ｃ，１１ｄが出射する光信号を導入し，他端へ向け
て導波する。図１では，４個の導波路部を１次元に配列
した例を示したが，導波路部の個数は，ＬＤの配列に応
じた個数に設定することができ，また配列も１次元に限
らず，ＬＤの配列に応じて２次元配列とすることもでき
る。
は，その一端において，対応するＬＤ１１ａ，１１ｂ，
１１ｃ，１１ｄが出射する光信号を導入し，他端へ向け
て導波する。図１では，４個の導波路部を１次元に配列
した例を示したが，導波路部の個数は，ＬＤの配列に応
じた個数に設定することができ，また配列も１次元に限
らず，ＬＤの配列に応じて２次元配列とすることもでき
る。
【００１５】非導波路部１４は，導波路部１３ａ，１３
ｂ，１３ｃ，１３ｄの配列を所定の位置に保持すると共
に，ＬＤ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが出射する光
信号が対応する導波路部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３
ｄの中を導波する際に発生させる迷光１５を吸収するこ
とにより，クロストークの発生を防止する。
ｂ，１３ｃ，１３ｄの配列を所定の位置に保持すると共
に，ＬＤ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが出射する光
信号が対応する導波路部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３
ｄの中を導波する際に発生させる迷光１５を吸収するこ
とにより，クロストークの発生を防止する。
【００１６】光ファイバーアレイ１６は，光ファイバー
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを配列したものであ
る。図１では，４個の光ファイバーを１次元に配列した
例を示したが，光ファイバーの個数は，導波路部の配列
に応じた個数に設定することができ，また配列も１次元
に限らず，導波路部の配列に応じて２次元配列とするこ
ともできる。
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを配列したものであ
る。図１では，４個の光ファイバーを１次元に配列した
例を示したが，光ファイバーの個数は，導波路部の配列
に応じた個数に設定することができ，また配列も１次元
に限らず，導波路部の配列に応じて２次元配列とするこ
ともできる。
【００１７】以上の構成において，光通信に例えば１．
３μｍ波長域の光を使用する場合，すなわち，ＬＤ１１
ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが波長１．３μｍの光信号
を出射する場合，光結合器１２を構成する導波路部１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの材料として，波長１．３
μｍの光に対して透明であるＧａＡｓを用い，非導波路
部１４の材料として，波長１．３μｍの光に対して不透
明，すなわち波長１．３μｍの光を吸収するＩｎＧａＡ
ｓを用いる。
３μｍ波長域の光を使用する場合，すなわち，ＬＤ１１
ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが波長１．３μｍの光信号
を出射する場合，光結合器１２を構成する導波路部１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの材料として，波長１．３
μｍの光に対して透明であるＧａＡｓを用い，非導波路
部１４の材料として，波長１．３μｍの光に対して不透
明，すなわち波長１．３μｍの光を吸収するＩｎＧａＡ
ｓを用いる。
【００１８】このように導波路部１３ａ，１３ｂ，１３
ｃ，１３ｄおよび非導波路部１４の材料を選択すると，
例えばＬＤ１１ｃから出射された光が導波路部１３ｃを
伝播する際に，図１（ａ）に符号１５として示した迷光
が発生しても，迷光１５は，非導波路部１４に吸収され
てしまうので，迷光１５が導波路部１３ｃに隣接する導
波路部１３ｂ，１３ｄへ混入することは無い。したがっ
て，クロストークが発生することが無い。
ｃ，１３ｄおよび非導波路部１４の材料を選択すると，
例えばＬＤ１１ｃから出射された光が導波路部１３ｃを
伝播する際に，図１（ａ）に符号１５として示した迷光
が発生しても，迷光１５は，非導波路部１４に吸収され
てしまうので，迷光１５が導波路部１３ｃに隣接する導
波路部１３ｂ，１３ｄへ混入することは無い。したがっ
て，クロストークが発生することが無い。
【００１９】光の結合効率を大きくするために，図２
（ｃ）に示すように，導波路部の端部をレンズ形状とす
ることが有効である。以下，導波路部の端部をレンズ形
状とした光結合器の製造方法を工程順に説明する。
（ｃ）に示すように，導波路部の端部をレンズ形状とす
ることが有効である。以下，導波路部の端部をレンズ形
状とした光結合器の製造方法を工程順に説明する。
【００２０】［工程１，図２（ａ）］ＧａＡｓから成る
導波路部２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，およびこれ
らの導波路部２１を被覆し，ＩｎＧａＡｓから成る非導
波路部２２から構成された長尺の基材を所定の長さに切
断する。
導波路部２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，およびこれ
らの導波路部２１を被覆し，ＩｎＧａＡｓから成る非導
波路部２２から構成された長尺の基材を所定の長さに切
断する。
【００２１】［工程２，図２（ｂ）］非導波路部２２を
所定の厚さだけ選択エッチングによって除去し，導波路
部の２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの端部を露出させ
て突起部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，および２４
ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを形成する。非導波路部２
２の選択エッチングには，ドライエッチングおよびウエ
ットエッチングのどちらを用いてもよい。
所定の厚さだけ選択エッチングによって除去し，導波路
部の２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの端部を露出させ
て突起部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，および２４
ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを形成する。非導波路部２
２の選択エッチングには，ドライエッチングおよびウエ
ットエッチングのどちらを用いてもよい。
【００２２】［工程３，図２（ｃ）］突起部２３ａ，２
３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，および２４ａ，２４ｂ，２４
ｃ，２４ｄを選択エッチングする。この時，突起部２
３，２４の周縁部ではエッチングが早く進行するので，
導波路部２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの端部に，レ
ンズ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ，および２６ａ，
２６ｂ，２６ｃ，２６ｄが形成される。
３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，および２４ａ，２４ｂ，２４
ｃ，２４ｄを選択エッチングする。この時，突起部２
３，２４の周縁部ではエッチングが早く進行するので，
導波路部２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの端部に，レ
ンズ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ，および２６ａ，
２６ｂ，２６ｃ，２６ｄが形成される。
【００２３】以上の各工程を経て，導波路部の端部をレ
ンズ形状とした光結合器が完成する。上述の工程３（図
２（ｃ））における，最後に残った突起状の導波路部を
レンズ形状に加工する方法として，イオンビームを用い
る方法を適用することも可能である。
ンズ形状とした光結合器が完成する。上述の工程３（図
２（ｃ））における，最後に残った突起状の導波路部を
レンズ形状に加工する方法として，イオンビームを用い
る方法を適用することも可能である。
【００２４】図３を用いて，この方法を説明する。図
中，３１は導波路部，３２は非導波路部，３３は突起
部，３４はイオンビームである。
中，３１は導波路部，３２は非導波路部，３３は突起
部，３４はイオンビームである。
【００２５】この方法では，まず，導波路部３１ａ，３
１ｂ，３１ｃ，３１ｄの端部に形成された突起部３３
ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを上にして，光結合器本体
をスピンナー上に載置する。
１ｂ，３１ｃ，３１ｄの端部に形成された突起部３３
ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを上にして，光結合器本体
をスピンナー上に載置する。
【００２６】次いで，スピンナーを回転させ，光結合器
本体を回転させながら，斜め上方からイオンビーム３４
を照射する。このイオンビーム３４によって，突起部３
３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄの周縁部の原子を飛ばす
ことにより，導波路部３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ
の端部に，図２（ｃ）に示すようなレンズが形成され
る。
本体を回転させながら，斜め上方からイオンビーム３４
を照射する。このイオンビーム３４によって，突起部３
３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄの周縁部の原子を飛ばす
ことにより，導波路部３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ
の端部に，図２（ｃ）に示すようなレンズが形成され
る。
【００２７】以上，本発明に係る光結合器をＬＤアレイ
と光ファイバーアレイとを光学的に結合される場合につ
いて述べてきたが，本発明に係る光結合器は，光ファイ
バーアレイとＰＤ（フォトダイオード）アレイとの光学
的結合に用いることもできる。この場合には，図１
（ａ）において，ＬＤアレイ１１がＰＤアレイとなり，
個々のＬＤ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄは，それぞ
れ個々のＰＤとなる。
と光ファイバーアレイとを光学的に結合される場合につ
いて述べてきたが，本発明に係る光結合器は，光ファイ
バーアレイとＰＤ（フォトダイオード）アレイとの光学
的結合に用いることもできる。この場合には，図１
（ａ）において，ＬＤアレイ１１がＰＤアレイとなり，
個々のＬＤ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄは，それぞ
れ個々のＰＤとなる。
【００２８】また，光信号は，個々の光ファイバー１６
ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄから出射され，導波路部１
３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ中を伝播して対応する個
々のＰＤに入射する。この時，光信号が導波路部１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ中を伝播する際に発生する
迷光は，非導波路部１４に吸収されるので，クロストー
クが発生することは無い。
ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄから出射され，導波路部１
３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ中を伝播して対応する個
々のＰＤに入射する。この時，光信号が導波路部１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ中を伝播する際に発生する
迷光は，非導波路部１４に吸収されるので，クロストー
クが発生することは無い。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば，半導体発光素子アレイ
と光ファイバーアレイとの間，または光ファイバーアレ
イと半導体受光素子アレイとの間で光信号を光学的に結
合するための光結合器において，クロストークを無くす
ことができるので，信号伝送の誤りが無くなり，光通信
の信頼性が向上する。
と光ファイバーアレイとの間，または光ファイバーアレ
イと半導体受光素子アレイとの間で光信号を光学的に結
合するための光結合器において，クロストークを無くす
ことができるので，信号伝送の誤りが無くなり，光通信
の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】レンズ付き光結合器の製造方法を示す図であ
る。
る。
【図３】レンズ形成のための他の方法を示す図である。
１１ ＬＤアレイ １２ 光結合器 １３ 導波路部 １４ 非導波路部 １５ 迷光 １６ 光ファイバーアレイ
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｎ（正の整数）個の半導体発光素子が配
列された半導体発光素子アレイと，Ｎ個の光ファイバー
が配列された光ファイバーアレイとの間で，個々の半導
体発光素子が出射する光信号を対応する光ファイバーへ
光学的に結合する光結合器であって，半導体発光素子が
出射する光信号を光ファイバーへ導くＮ個の導波路部，
および該Ｎ個の導波路部を被覆する非導波路部から成
り，導波路部は，半導体発光素子が出射する光信号の波
長域の光に対して透明な材料から成り，非導波路部は，
半導体発光素子が出射する光信号の波長域の光を吸収す
る材料から成ることを特徴とする光結合器。 - 【請求項２】 Ｎ（正の整数）個の光ファイバーが配列
された光ファイバーアレイと，Ｎ個の半導体受光素子が
配列された半導体受光素子アレイとの間で，個々の光フ
ァイバーが出射する光信号を対応する半導体受光素子へ
光学的に結合する光結合器であって，光ファイバーが出
射する光信号を半導体受光素子へ導くＮ個の導波路部，
および該Ｎ個の導波路部を被覆する非導波路部から成
り，導波路部は，光ファイバーが出射する光信号の波長
域の光に対して透明な材料から成り，非導波路部は，光
ファイバーが出射する光信号の波長域の光を吸収する材
料から成ることを特徴とする光結合器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14141692A JPH05333249A (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 光結合器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14141692A JPH05333249A (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 光結合器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05333249A true JPH05333249A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15291500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14141692A Withdrawn JPH05333249A (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 光結合器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05333249A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7486846B2 (en) | 2004-02-17 | 2009-02-03 | Hammatsu Photonics K.K. | Optical transmitting /receiving module |
| JP2010097198A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-30 | Panasonic Corp | 光モジュール及びその製造方法 |
-
1992
- 1992-06-02 JP JP14141692A patent/JPH05333249A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7486846B2 (en) | 2004-02-17 | 2009-02-03 | Hammatsu Photonics K.K. | Optical transmitting /receiving module |
| JP2010097198A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-30 | Panasonic Corp | 光モジュール及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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