JPH05315084A - Device for ionizing air and method thereof - Google Patents
Device for ionizing air and method thereofInfo
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- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内で発
生する静電気を除去するための空気イオン化装置および
その方法の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air ionization apparatus and method for removing static electricity generated in a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、半導体製造のクリーンルーム
では、静電気の発生し易い相対湿度が４０％程度となる
低湿度環境であることや、ウェハ及び半導体素子を電気
抵抗の高いプラスチック容器で運搬するために、ウェハ
や半導体素子が絶縁されて、容易に静電気を帯び、高帯
電している。この静電気はウェハ表面上に塵埃を付着さ
せたり、ウェハ上のＩＣや半導体素子を破壊してしま
い、製品の歩留まりを低下させている。しかも、最近の
半導体素子の高密度化に伴い、クリーンルームの超高清
浄度化が望まれると共に半導体素子の静電気耐性も低下
し、この様な静電気による生産障害が、益々問題となっ
ている。2. Description of the Related Art Conventionally, in a semiconductor manufacturing clean room, a relative humidity in which static electricity is easily generated is about 40% and a wafer and semiconductor elements are transported in a plastic container having high electric resistance. In addition, the wafers and semiconductor elements are insulated, easily charged with static electricity, and highly charged. This static electricity causes dust to adhere to the surface of the wafer, destroys ICs and semiconductor elements on the wafer, and reduces the yield of products. Moreover, with the recent increase in the density of semiconductor elements, it is desired to make the clean room ultra-clean, and the electrostatic resistance of the semiconductor elements is also lowered, and such production failures due to static electricity are becoming more and more problems.
【０００３】そこで従来より、クリーンルームにおける
静電気を除去する対策として、空気イオン化装置が利用
されている。この空気イオン化装置では、これに設けら
れた電極に高電圧を印加してコロナ放電を起こさせ、そ
の時発生するイオンによって帯電体上の電荷を中和させ
て除電を行っている。Therefore, conventionally, an air ionizer has been used as a measure for removing static electricity in a clean room. In this air ionization device, a high voltage is applied to the electrodes provided therein to cause corona discharge, and the ions generated at that time neutralize the charge on the charged body to remove the charge.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
空気イオン化装置では、イオンの発生を容易にし、且つ
発生したイオンの消耗を防止するのために、電極は露出
した状態で除電対象物の近傍に配設されている。このた
め、次に示すような問題が発生している。However, in the conventional air ionization apparatus, in order to facilitate the generation of ions and prevent the consumption of the generated ions, the electrodes are exposed in the vicinity of the object to be neutralized. It is arranged. Therefore, the following problems occur.
【０００５】（１）オゾンの発生 … 除電対象物近傍
の空気をコロナ放電によりイオン化しているため、空気
中の窒素や水蒸気がイオン化する以外に、酸素がオゾン
となる反応も起こることになる。このオゾンの酸化作用
により、シリコンウェハの表面が酸化されたり、空気中
の微量の不純物と反応して、２次粒子を生じる。(1) Generation of ozone ... Since the air in the vicinity of the object to be neutralized is ionized by corona discharge, in addition to ionizing nitrogen and water vapor in the air, a reaction in which oxygen becomes ozone also occurs. Due to this oxidizing action of ozone, the surface of the silicon wafer is oxidized or reacts with a slight amount of impurities in the air to generate secondary particles.
【０００６】（２）電磁ノイズの発生 … 放電時に放
電極から発生する不規則な電磁波が、半導体素子を内蔵
した精密機器やコンピュータ等の誤作動を引き起こす。(2) Generation of electromagnetic noise: An irregular electromagnetic wave generated from the discharge electrode at the time of discharge causes malfunction of a precision instrument or computer having a semiconductor element.
【０００７】（３）イオン発生電極からの発塵 … コ
ロナ放電を起こさせる毎に電極が摩耗し、その摩耗した
電極材が飛散する。また、高性能フィルタで除去されな
かった空気中のＳｉＯ2 微粒子がイオン発生電極上に析
出し、これがある程度の大きさになると再飛散する。こ
の様な発塵により、生産効率が低下することになる。(3) Dust generation from the ion generating electrode: Each time corona discharge is generated, the electrode is worn and the worn electrode material is scattered. In addition, SiO 2 fine particles in the air that have not been removed by the high-performance filter are deposited on the ion generating electrode and are re-scattered when they become a certain size. Such dust generation reduces production efficiency.
【０００８】本発明は、上記のような従来技術の課題を
解決するために提供されたもので、その目的は、オゾン
や電磁ノイズ、および発塵等の発生を起こすこと無く除
電を行うことのできる高効率の空気イオン化方法、およ
びその装置を提供することである。The present invention has been provided to solve the above-mentioned problems of the prior art, and its purpose is to eliminate static electricity without generating ozone, electromagnetic noise, dust, and the like. A high-efficiency air ionization method and an apparatus therefor.
【０００９】[0009]
【課題を解決するため手段】請求項１記載の空気イオン
化装置は、非反応性ガスの供給部と、非反応性ガスのイ
オン化を行う無電極イオン発生部と、交流不平等電界面
を発生させてイオンの非接触搬送を行うイオン搬送部
と、正負のイオンを帯電体に供給するためのミキシング
部とを備えたことを特徴とする。An air ionization apparatus according to claim 1, wherein a non-reactive gas supply section, an electrodeless ion generation section for ionizing the non-reactive gas, and an AC non-uniform electric field surface are generated. And a mixing unit for supplying positive and negative ions to the charged body.
【００１０】また、請求項２記載の空気イオン化方法
は、クリーンルーム内の静電気を除去するために、非反
応性ガスを無電極下でイオン化し、正負のイオンを交流
不平等電界面により非接触搬送し、帯電体に供給するこ
とを特徴とする。Further, in the air ionization method according to a second aspect of the present invention, in order to remove static electricity in a clean room, a non-reactive gas is ionized under an electrodeless condition, and positive and negative ions are transferred in a non-contact manner by an AC nonuniform electric field surface. It is characterized in that it is supplied to the charged body.
【００１１】請求項３記載の空気イオン化方法は、請求
項２記載の非反応性ガスとして、高純度窒素ガスを使用
することを特徴とする。The air ionization method according to claim 3 is characterized in that high purity nitrogen gas is used as the non-reactive gas according to claim 2.
【００１２】[0012]
【作用】以上のような構成を有する請求項１記載の発明
は、非反応性ガスが無電極イオン発生部によりイオン化
される。このイオン発生部を２個設けることにより、一
方から負イオンが非接触イオン搬送部およびミキシング
部を介して帯電体に供給される。また、他方から正イオ
ンが帯電体に供給される。この時、イオン搬送部に交流
不平等電界を発生させることにより、イオンを非接触状
態で搬送することができる。In the invention of the first aspect having the above-mentioned constitution, the non-reactive gas is ionized by the electrodeless ion generating section. By providing the two ion generating units, negative ions are supplied from one side to the charged body through the non-contact ion transporting unit and the mixing unit. Further, positive ions are supplied to the charged body from the other side. At this time, ions can be transported in a non-contact state by generating an AC unequal electric field in the ion transport unit.
【００１３】また、請求項２記載の発明は、非反応性ガ
スがイオン化されて、イオン搬送部に発生する交流不平
等電界面により非接触状態で帯電体近傍まで搬送され
る。これにより、イオンを消耗することなしに帯電体ま
で供給することができる。また、非反応性ガスを無電極
下でイオン化するため、オゾンの発生・電磁波の発生・
発塵は起こらない。According to the second aspect of the present invention, the non-reactive gas is ionized and is transported to the vicinity of the charged body in a non-contact state by the AC non-uniform electric field surface generated in the ion transport section. As a result, it is possible to supply even the charged body without consuming the ions. In addition, since non-reactive gas is ionized under no electrodes, ozone is generated, electromagnetic waves are generated,
No dust is generated.
【００１４】請求項３記載の発明は、非反応性ガスとし
て、酸素等の他のガスや微粒子等の不純物を含まない高
純度窒素ガスが使用されることにより、オゾンの発生や
発塵等が起こらず、イオンを高効率で供給することがで
きる。According to the third aspect of the present invention, as the non-reactive gas, high-purity nitrogen gas containing no other gas such as oxygen or impurities such as fine particles is used, so that generation of ozone or dust is prevented. Ions can be supplied with high efficiency without occurring.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本発明の空気イオン化装置の一実施例
を図面に従って説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the air ionizer of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１６】即ち、空気イオン化装置は、図１に示す様
に、イオン発生部１とイオン搬送部２、およびイオンの
ミキシング部３とから構成される。That is, as shown in FIG. 1, the air ionizer comprises an ion generator 1, an ion carrier 2, and an ion mixer 3.
【００１７】イオン発生部１には、非反応性ガスであ
り、酸素等他のガスや微粒子等の不純物を含まない高純
度ドライ窒素ガスの供給管４が設けられ、分岐管により
２方向に配設されている。それぞれの供給管４は、バル
ブ６を介してＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）
等による非反応性樹脂により構成されたイオン発生室７
に接続されている。このイオン発生室７の供給管４接続
部と対向する壁面には、イオン搬送部２との接続部が設
けられている。この様なイオン発生室７には、供給管４
接続部近傍に紫外線を発生させる紫外線ランプ８が設け
られている。また、イオン搬送部２との接続部近傍の外
壁面周囲には、正負のイオンを分離するために直流バイ
アス電極９が設けられている。この直流バイアス電極９
により、一方のイオン発生室７Ａからは負イオンがイオ
ン搬送部２Ａに供給される様に、また、他方のイオン発
生室７Ｂからは正イオンがイオン搬送部２Ｂに供給され
る様に構成されている。ここで、負イオンの供給を行う
構成部材等には、必要に応じて符号と共にＡを、また、
正イオンの供給を行う部材等にはＢを付す。The ion generating section 1 is provided with a supply pipe 4 of high-purity dry nitrogen gas which is a non-reactive gas and does not contain impurities such as oxygen and other gases and fine particles, and is distributed in two directions by a branch pipe. It is set up. Each supply pipe 4 is connected via a valve 6 to PTFE (polytetrafluoroethylene).
Ion generation chamber 7 made of non-reactive resin
It is connected to the. On the wall surface of the ion generation chamber 7 facing the connection portion of the supply pipe 4, a connection portion with the ion transport portion 2 is provided. In such an ion generating chamber 7, the supply pipe 4
An ultraviolet lamp 8 that emits ultraviolet rays is provided near the connecting portion. A DC bias electrode 9 for separating positive and negative ions is provided around the outer wall surface near the connection with the ion carrier 2. This DC bias electrode 9
Thus, the negative ions are supplied from the one ion generation chamber 7A to the ion transport unit 2A, and the positive ions are supplied from the other ion generation chamber 7B to the ion transport unit 2B. There is. Here, for components and the like that supply negative ions, A is attached together with a symbol as necessary, and
B is attached to a member or the like that supplies positive ions.
【００１８】前記イオン発生部１に接続されるイオン搬
送部２として、図２に示す様に、外管１０ａおよび内管
１０ｂにより二重構造に構成される配管１０が設けら
れ、ミキシング部３まで配設されている。この配管１０
は、外管１０ａが金属により構成され、内管１０ｂがＰ
ＴＦＥ等による非反応性樹脂により構成されている。そ
して、内管１０ｂの外周面にはイオン発生部１との接続
部からミキシング部３までらせん状電極１１が配設され
て、交流の高電圧が印加されている。ミキシング部３で
は、帯電体Ｓ近傍に開口部１２を有し、各ミキシング部
３Ａ，３Ｂの開口部１２Ａ，１２Ｂは近接して配設され
ている。As the ion carrier 2 connected to the ion generator 1, as shown in FIG. 2, a pipe 10 having a double structure including an outer pipe 10a and an inner pipe 10b is provided, and up to the mixing unit 3. It is arranged. This piping 10
The outer tube 10a is made of metal, and the inner tube 10b is P
It is made of non-reactive resin such as TFE. A spiral electrode 11 is provided on the outer peripheral surface of the inner tube 10b from the connection with the ion generating portion 1 to the mixing portion 3, and a high AC voltage is applied. The mixing section 3 has an opening 12 near the charged body S, and the openings 12A and 12B of the mixing sections 3A and 3B are arranged close to each other.
【００１９】以上の様に構成される本実施例では、次の
様にして帯電体Ｓ上の電荷が除電される。まず、イオン
発生室７内部において、供給管４から供給された高純度
ドライ窒素ガスに紫外線を照射することにより、窒素が
正負のイオンとなる。ここで、紫外線の波長が短い方が
イオン化に適する。この様なイオンは、イオン発生室７
外壁面に設けられた直流バイアス電極９により、正イオ
ンと負イオンとに分離され、一方がイオン搬送部２に送
られる。これは、一方のイオン発生室７Ａ内では直流バ
イアス電極９に負電圧が印加されることにより正イオン
が捕集されて、負イオンのみがイオン搬送部２Ａに供給
される。また、他方のイオン発生室７Ｂ内では、正電圧
が印加されることにより負イオンが捕集されて、正イオ
ンのみがイオン搬送部２Ｂに供給される。前述の様に負
イオンおよび正イオンは、それぞれのイオン搬送部２
Ａ，２Ｂからミキシング部３Ａ，３Ｂに搬送され開口部
１２Ａ，１２Ｂから排出される。この時、それぞれの開
口部１２Ａ，１２Ｂが隣接して設けられ、帯電体Ｓ近傍
に配設されているため、開口部１２から排出された両イ
オンが帯電体Ｓの正負の電荷をそれぞれ中和する。この
様にして除電が行われる。In the present embodiment constructed as described above, the charges on the charged body S are eliminated as follows. First, in the inside of the ion generation chamber 7, by irradiating the high-purity dry nitrogen gas supplied from the supply pipe 4 with ultraviolet rays, nitrogen becomes positive and negative ions. Here, the shorter the wavelength of ultraviolet light is, the more suitable for ionization. Such ions are generated in the ion generation chamber 7
A DC bias electrode 9 provided on the outer wall surface separates positive ions and negative ions, and one of them is sent to the ion carrier 2. In this, in one ion generating chamber 7A, a negative voltage is applied to the DC bias electrode 9 to collect positive ions, and only negative ions are supplied to the ion carrier 2A. Further, in the other ion generation chamber 7B, negative ions are collected by applying a positive voltage, and only positive ions are supplied to the ion carrier 2B. As described above, the negative ions and the positive ions are supplied to the respective ion carrier units 2
It is conveyed from A, 2B to the mixing sections 3A, 3B and discharged from the openings 12A, 12B. At this time, since the openings 12A and 12B are provided adjacent to each other and arranged near the charged body S, both ions ejected from the opening 12 neutralize the positive and negative charges of the charged body S, respectively. To do. In this way, static elimination is performed.
【００２０】なお、各イオン搬送部２Ａ，２Ｂでは、次
の様にしてイオンがミキシング部３Ａ，３Ｂに搬送され
る。すなわち、イオン搬送部２の構成により、内管１０
ｂ内部には交流不平等電界面Ｋ（以下、電界カーテンと
する）が発生して、帯電したイオンが空間的に非接触状
態で静止することになる。これに窒素ガスの供給圧力が
加わることにより窒素ガスの供給方向となるミキシング
部３方向に、イオンが搬送される。In each of the ion transport units 2A and 2B, the ions are transported to the mixing units 3A and 3B as follows. That is, due to the configuration of the ion transport unit 2, the inner tube 10
An AC unequal electric field surface K (hereinafter referred to as an electric field curtain) is generated in the inside of b, and the charged ions are spatially stationary in a non-contact state. When the supply pressure of the nitrogen gas is applied to this, the ions are transported in the direction of the mixing unit 3, which is the supply direction of the nitrogen gas.
【００２１】ここで、この様な電界カーテンＫの発生メ
カニズムおよび作用について記述する。まず、図３に示
すように、２本の棒状電極１３，１３を平行に配設し、
交流電圧を印加してそれぞれの正負をスイッチングする
ことにより交番電界を発生させる。ここで、帯電粒子、
例えば正電荷を有する帯電粒子ｑの場合には、スイッチ
ングにより一定間隔で交互となる負電極方向に、電気力
線に沿ってクーロン力ｆが働く。このクーロン力ｆによ
り帯電粒子ｑが電気力線に沿って運動し、その結果帯電
粒子ｑに遠心力Ｆが生じ、帯電粒子ｑの軌道は中心線上
から両電極方向に一定の速度・振幅で蛇行しながら棒状
電極１３から離れる方向となる。これが、図４に示す様
に４本の電極１３を同一円上に一定間隔で設けた四重極
交番電極の場合には、各遠心力Ｆが電極により取り囲ま
れた中心方向に作用し、帯電粒子ｑは中心位置に閉じ込
められた状態、すなわち静止した状態となる。これが、
定在波電界カーテンの作用として知られている。この電
界カーテンの作用により中央付近に束縛される帯電粒子
ｑに対し、各遠心力Ｆに対して垂直となる方向に力を加
えると、帯電粒子ｑを非接触状態で一定方向に移動させ
ることができる。Here, the generation mechanism and action of such an electric field curtain K will be described. First, as shown in FIG. 3, two rod-shaped electrodes 13, 13 are arranged in parallel,
An alternating electric field is generated by applying an alternating voltage and switching between positive and negative. Where charged particles,
For example, in the case of the charged particles q having a positive charge, the Coulomb force f acts along the lines of electric force in the direction of the negative electrode which alternates at regular intervals by switching. Due to this Coulomb force f, the charged particles q move along the lines of electric force, and as a result, a centrifugal force F is generated on the charged particles q, and the trajectory of the charged particles q meanders from the center line toward both electrodes at a constant velocity and amplitude. Meanwhile, the direction is away from the rod-shaped electrode 13. In the case of a quadrupole alternating electrode in which four electrodes 13 are provided on the same circle at regular intervals as shown in FIG. 4, each centrifugal force F acts in the direction of the center surrounded by the electrodes, and the charging is performed. The particle q is in a state of being confined in the central position, that is, in a stationary state. This is,
Known as the action of a standing wave electric field curtain. When a force is applied to the charged particles q bound near the center by the action of the electric field curtain in a direction perpendicular to each centrifugal force F, the charged particles q can be moved in a fixed direction in a non-contact state. it can.
【００２２】以上の様な電界カーテンの作用をイオンに
利用し、２本のらせん状電極を用いることにより、イオ
ン搬送管内部にチューブ状の電界カーテンＫを設けるこ
とができる。これにより、イオンを非接触状態で搬送す
ることが可能となる。By utilizing the action of the electric field curtain as described above for ions and using two spiral electrodes, a tubular electric field curtain K can be provided inside the ion carrier tube. This allows the ions to be transported in a non-contact state.
【００２３】以上の様に実施例によれば、非反応性ガス
である窒素ガスをイオン化して用いているため、除電対
象物であるウェハ等の構成に影響を及ぼすことが無い。
しかも、窒素ガスとして酸素等の他のガスや微粒子等の
不純物を含有しない高純度ドライ窒素ガスを使用してい
るため、オゾンの発生は起こらず、シリコンウェハ表面
が酸化される等の問題が解決される。As described above, according to the embodiment, since nitrogen gas which is a non-reactive gas is ionized and used, there is no influence on the structure of the wafer or the like which is the object of static elimination.
Moreover, since high-purity dry nitrogen gas containing no other gas such as oxygen or impurities such as fine particles is used as the nitrogen gas, ozone is not generated and the problem that the surface of the silicon wafer is oxidized is solved. To be done.
【００２４】そして、イオン化を紫外線ランプ８により
行うため、コロナ放電を行う電極が必要無い。このた
め、従来問題となっていた摩耗した電極材の飛散やＳｉ
Ｏ2 粒子の再飛散等の発塵が皆無となる。さらに、イオ
ンを搬送する方式であるため、ミキシング部３での電磁
ノイズの発生は起こらない。これにより、半導体素子を
内蔵した精密機器の誤作動等の生産障害は起こらない。Since the ionization is performed by the ultraviolet lamp 8, no electrode for corona discharge is required. For this reason, the scattering of worn-out electrode material and Si
No dust is generated due to re-dispersion of O 2 particles. Furthermore, since it is a method of transporting ions, electromagnetic noise does not occur in the mixing section 3. As a result, production failures such as malfunction of precision equipment having a built-in semiconductor element do not occur.
【００２５】さらに、イオン搬送部２に電界カーテンＫ
を利用することにより、イオンはイオン発生室１からミ
キシング部３まで搬送部壁面等他物質に接触することな
く、一定速度で供給することができる。これにより、イ
オンを消耗することなしに帯電体まで搬送することがで
き、効率的に除電を行うことができる。Further, the electric field curtain K is provided on the ion carrier 2.
By using, the ions can be supplied from the ion generation chamber 1 to the mixing unit 3 at a constant speed without coming into contact with other substances such as the wall surface of the transfer unit. As a result, the ions can be transported to the charged body without being consumed, and the charge can be efficiently removed.
【００２６】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものでなく、具体的な各部材の形状、或いは各々の取
付け位置及び方法は適宜変更可能である。例えば、イオ
ン搬送部におけるイオンの搬送方法は、定在波電界カー
テンと窒素ガスの供給圧力とによる以外に、進行波電界
カーテンの作用を利用することも可能である。この進行
波電界カーテンは多相交流電圧を印加することにより発
生し、帯電粒子は電極列から反発力と推力を得て、反時
計方向の回転を行いながら順方向に進行する。これをイ
オンに利用することにより、正負に分離されたイオン
が、窒素ガス供給圧力の影響を受けること無く一定速度
で搬送されるので、確実に除電を行うことができる。The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the specific shapes of the respective members, or the mounting positions and methods of the respective members can be appropriately changed. For example, as a method of transporting ions in the ion transport unit, the action of the traveling wave electric field curtain may be used instead of using the standing wave electric field curtain and the supply pressure of nitrogen gas. This traveling wave electric field curtain is generated by applying a multi-phase AC voltage, and the charged particles obtain a repulsive force and a thrust force from the electrode array and travel in the forward direction while rotating counterclockwise. By using this as ions, the positively and negatively separated ions are transported at a constant speed without being affected by the nitrogen gas supply pressure, so that the charge can be reliably removed.
【００２７】さらに、窒素ガスに限定されず、除電対象
物や装置構成部材等に影響を及ぼさず、イオン化が可能
なアルゴン等の非反応性ガスに適宜変更可能である。ま
た、非反応性ガスのイオン化を行う手段は紫外線ランプ
に限定されず、重水素ランプ等によりイオン化を行うこ
とが可能であり、除電対象物や装置構成部材等に影響を
及ぼさないものであれば、適宜変更可能である。Further, the gas is not limited to nitrogen gas, and can be appropriately changed to a non-reactive gas such as argon which can be ionized without affecting the object to be destaticized or components of the apparatus. Further, the means for ionizing the non-reactive gas is not limited to the ultraviolet lamp, it is possible to ionize with a deuterium lamp or the like, as long as it does not affect the object to be neutralized or the device constituent members , Can be changed as appropriate.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明の空気イオン化装置によれば、オ
ゾンや電磁ノイズ、および発塵等の発生を起こすこと無
く除電を行うことのできる、高効率の空気イオン化装置
およびその方法を提供することができる。According to the air ionization apparatus of the present invention, it is possible to provide a highly efficient air ionization apparatus and a method thereof capable of removing electricity without generating ozone, electromagnetic noise, dust, and the like. You can
【図１】本発明の空気イオン化装置の一実施例を示す模
式図。FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of an air ionization device of the present invention.
【図２】図１の要部拡大説明図。FIG. 2 is an enlarged explanatory view of a main part of FIG.
【図３】電界カーテンのメカニズムを示す説明図。FIG. 3 is an explanatory view showing a mechanism of an electric field curtain.
【図４】同じく四重極交番電界による電界カーテンのメ
カニズムを示す説明図。FIG. 4 is an explanatory view showing a mechanism of an electric field curtain due to an alternating quadrupole electric field.
１ … イオン発生部 ２ … イオン搬送部 ３ … ミキシング部 ４ … 供給管 ６ … バルブ ７ … イオン発生室 ８ … 紫外線ランプ ９ … 直流バイアス電極 １０ … 配管 １１ … らせん状電極 １２ … 開口部 １３ … 棒状電極 1 ... Ion generating part 2 ... Ion transporting part 3 ... Mixing part 4 ... Supply pipe 6 ... Valve 7 ... Ion generating chamber 8 ... UV lamp 9 ... DC bias electrode 10 ... Piping 11 ... Helical electrode 12 ... Opening 13 ... Rod electrode
Claims (3)
イオン搬送部と、 正負のイオンを帯電体に供給するためのミキシング部と
を備えたことを特徴とする空気イオン化装置。1. A non-reactive gas supply unit, an electrodeless ion generation unit for ionizing the non-reactive gas, an ion transport unit for non-contact transport of ions by generating an AC unequal electric field surface, and a positive / negative And a mixing unit for supplying the charged ions to the charged body.
めの空気イオン化方法において、非反応性ガスを無電極
下でイオン化し、正負のイオンを交流不平等電界面によ
り非接触搬送し、帯電体に供給することを特徴とする空
気イオン化方法。2. An air ionization method for removing static electricity in a clean room, in which a non-reactive gas is ionized under an electrodeless condition, positive and negative ions are non-contactly transported by an AC non-uniform electric field surface and supplied to a charged body. An air ionization method comprising:
使用することを特徴とする請求項２記載の空気イオン化
方法。3. The air ionization method according to claim 2, wherein high-purity nitrogen gas is used as the non-reactive gas.
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