JPH05301077A - Ultrasonic wave generator - Google Patents
Ultrasonic wave generatorInfo
- Publication number
- JPH05301077A JPH05301077A JP10668692A JP10668692A JPH05301077A JP H05301077 A JPH05301077 A JP H05301077A JP 10668692 A JP10668692 A JP 10668692A JP 10668692 A JP10668692 A JP 10668692A JP H05301077 A JPH05301077 A JP H05301077A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oscillator
- integration capacitor
- frequency
- drive
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 49
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 35
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 7
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 6
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、超音波ウェルダや超音
波加工機などの超音波応用装置の振動子を共振周波数で
駆動する超音波発生装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic wave generator for driving a vibrator of an ultrasonic wave application device such as an ultrasonic welder or an ultrasonic processing machine at a resonance frequency.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、超音波応用装置の振動子の共振
特性の尖鋭度Qは大きな値となっているので、これを超
音波周波数で発振させる超音波発生装置は、その動作効
率を高めるために振動子を共振周波数で駆動するように
なっている。しかし、このような超音波発生装置では、
振動子に接続するホーンやツールを交換したり温度変化
や負荷変動等が生じるなどすると、振動子の共振周波数
が変化して駆動周波数と同期しなくなるので、一般的に
は振動子の駆動周波数をPLL(Phase LockedLoop)
方式の自動追尾回路で共振周波数に追尾制御するなどし
ている。このような超音波発生装置の自動追尾回路は、
例えば、発振周波数が可変自在な電圧制御発振器である
VCO(Voltage Controlled Oscillator)などで形
成されており、振動子の振動速度に比例した検出信号と
駆動電流との相対位相が一致するように振動子の駆動電
源の発振周波数を追尾制御するようになっている。2. Description of the Related Art Generally, the sharpness Q of the resonance characteristic of a vibrator of an ultrasonic wave application apparatus has a large value. Therefore, an ultrasonic wave generation apparatus that oscillates this at an ultrasonic frequency is required to increase its operating efficiency. The oscillator is driven at the resonance frequency. However, in such an ultrasonic generator,
When the horn or tool connected to the oscillator is replaced or the temperature or load changes, etc., the resonant frequency of the oscillator changes and becomes out of synchronization with the drive frequency. PLL (Phase Locked Loop)
The automatic tracking circuit of the method controls the tracking to the resonance frequency. The automatic tracking circuit of such an ultrasonic generator is
For example, it is formed by a VCO (Voltage Controlled Oscillator) or the like, which is a voltage controlled oscillator whose oscillation frequency is variable, and the oscillator is arranged so that the relative phase between the detection signal proportional to the oscillation speed of the oscillator and the drive current match. The oscillating frequency of the driving power source is controlled to be tracked.
【0003】より具体的には、このような超音波発生装
置では、図3(a)に例示するように、VCOの制御範囲
の略中央に振動子の共振周波数f01が位置し、このよう
な共振周波数f01において振動子の相対位相差信号φs
の周波数特性上のゼロクロスと駆動電流Itの周波数特
性上のディップとが一致する。そして、このような超音
波発生装置では、同図(b)に例示するように、ツールの
交換等のために振動子の共振周波数f01が共振周波数f
02まで低下したり、同図(c)に例示するように、振動子
の共振周波数f01が共振周波数f03まで上昇することが
ある。いずれの場合も、相対位相差信号φsが“+”で
あるならばVCOを高い周波数に制御し、相対位相差信
号φsが“−”であるならばVCOを低い周波数に制御
することで、f1〜f2の範囲内にあるVCOの発振周波
数を、相対位相差信号φsのゼロをクロスする点となる
f01〜f03の共振周波数に向けて追尾制御することにな
る。このような超音波発生装置では、VCOの制御範囲
f1〜f2内に存在する振動子の相対位相差信号φsのゼ
ロクロスが一つで有効範囲が広いので、VCOの発振開
始周波数がf1からf2の範囲内の何処にあっても共振周
波数を追尾することができる。More specifically, in such an ultrasonic generator, as shown in FIG. 3 (a), the resonance frequency f 01 of the vibrator is located approximately in the center of the control range of the VCO. At relative resonance frequency f 01
The zero cross on the frequency characteristic of 1 and the dip on the frequency characteristic of the drive current It match. In such an ultrasonic generator, the resonance frequency f 01 of the vibrator is changed to the resonance frequency f 01 for tool replacement or the like as illustrated in FIG.
The resonance frequency f 01 may decrease to 02 or may increase to the resonance frequency f 03 as illustrated in FIG. In either case, if the relative phase difference signal φs is “+”, the VCO is controlled to a high frequency, and if the relative phase difference signal φs is “−”, the VCO is controlled to a low frequency. The oscillation frequency of the VCO in the range of 1 to f 2 is controlled to be tracked toward the resonance frequencies of f 01 to f 03 , which are points where the zero of the relative phase difference signal φs crosses. In such an ultrasonic wave generator, since there is only one zero cross of the relative phase difference signal φs of the vibrator existing within the control range f 1 to f 2 of the VCO and the effective range is wide, the oscillation start frequency of the VCO is f 1 It is possible to track the resonance frequency anywhere in the range from to f 2 .
【0004】しかし、実際の超音波発生装置では、図4
(a)に例示するように、振動系の複雑化に伴って振動子
の共振周波数f01の近傍に障害となるゼロクロスf3,
f4等が発生している場合が一般的であり、このような
場合は、周波数f3〜f4が追尾制御の有効範囲となる。
なお、同図(b)は振動系やツールの交換によって共振周
波数f01がf02に低下した場合の相対位相差信号φsと
駆動電流Itとを例示しており、同様に(c)は共振周波
数f01がf03に上昇した場合の相対位相差信号φsと駆
動電流Itとを例示している。そして、このような位相
差特性のもので共振周波数fが変化する場合、これらの
全ての場合を満足する位相差特性の有効範囲はf5〜f6
に短縮され、この範囲内にVCOのドリフトも入るよう
にする必要が生じることになる。つまり、このような超
音波発生装置では、振動子やVCOの特性変動の許容値
を狭く制限しないと発振開始時に誤動作が発生するの
で、例えば、振動子に連結するツールが交換自在な工作
機などでは汎用性が著しく低下することになって好まし
くない。However, in the actual ultrasonic wave generator, as shown in FIG.
As illustrated in (a), the zero cross f 3 , which becomes an obstacle in the vicinity of the resonance frequency f 01 of the oscillator due to the complication of the vibration system,
If f 4 like is occurring is common, in such a case, the frequency f 3 ~f 4 becomes effective range of the tracking control.
It should be noted that FIG. 7B illustrates the relative phase difference signal φs and the drive current It when the resonance frequency f 01 is lowered to f 02 due to the replacement of the vibration system or the tool. Similarly, FIG. The relative phase difference signal φs and the drive current It when the frequency f 01 rises to f 03 are illustrated. Then, such a case where the resonance frequency f in those phase difference characteristics change, the effective range of the phase difference characteristic which satisfies all of these cases is f 5 ~f 6
Therefore, it becomes necessary to make VCO drift within this range. In other words, in such an ultrasonic generator, a malfunction occurs at the start of oscillation unless the allowable value of the characteristic variation of the vibrator or VCO is narrowly restricted. Therefore, for example, a machine tool in which a tool connected to the vibrator is exchangeable. However, the versatility is significantly reduced, which is not preferable.
【0005】そこで、このような課題を解決するものと
して、本出願人が特公昭61-10194号公報に開示した超音
波発生装置では、発振開始時にPLL回路の追尾制御の
有効範囲よりも広範囲にスイープを行なって共振点を検
出し、この共振点にVCOのスイープ周波数をロックし
てから追尾制御を開始するようになっている。なお、上
記公報に開示された超音波発生装置では、スイープに利
用する積分コンデンサとPLL制御に利用する積分コン
デンサとを別個に動作させることで、PLL制御の実行
中もスイープロックの積分電圧を保持するようになって
いる。In order to solve such a problem, the ultrasonic generator disclosed by the applicant in Japanese Patent Publication No. Sho 61-10194 has a wider range than the effective range of the tracking control of the PLL circuit at the start of oscillation. Sweep is performed to detect a resonance point, and the sweep frequency of the VCO is locked at this resonance point before tracking control is started. In the ultrasonic generator disclosed in the above publication, the integral capacitor used for sweeping and the integral capacitor used for PLL control are operated separately, so that the integral voltage of the sweep lock is held even during the execution of PLL control. It is supposed to do.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記公報に開示された
超音波発生装置では、広範囲なスイープで共振点をロッ
クしてから追尾制御を開始するので、振動子やVCOの
特性変動の許容値を拡大して汎用性を向上させることが
できる。しかし、この超音波発生装置では、実際にはス
イープロック用の積分コンデンサが保持する電荷は自然
放電によって経時的に低下するので、この積分コンデン
サの電圧値が許容範囲を逸脱してロックした共振点が発
振動作中にリセットされると云うことが発生する。In the ultrasonic generator disclosed in the above publication, since the resonance point is locked by the sweep over a wide range and the tracking control is started, the allowable value of the characteristic fluctuation of the oscillator or VCO is set. It can be expanded to improve versatility. However, in this ultrasonic generator, the charge held by the integration capacitor for sweep lock actually decreases over time due to spontaneous discharge, so the voltage value of this integration capacitor deviates from the allowable range and the resonance point Occurs during the oscillation operation.
【0007】そこで、上述のようなアナログ値のサンプ
ルホールドによるスイープロックの不確実性を解決する
ため、さらに本出願人は特開昭60-34776号公報にCPU
(Central Processing Unit)によってスイープロッ
クをデジタル値で行なうことを提案したが、これでは回
路構造が複雑化して小型軽量化や生産性向上が阻害され
ることになる。Therefore, in order to solve the uncertainty of the sweep lock due to the sample hold of the analog value as described above, the applicant of the present invention further discloses the CPU in JP-A-60-34776.
Although it has been proposed that the sweep locking is performed with a digital value by the (Central Processing Unit), this will complicate the circuit structure and hinder the reduction in size and weight and the improvement in productivity.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
作動開始時にバイアス電圧がチャージされるメイン積分
コンデンサを設け、このメイン積分コンデンサの経時的
に変化するバイアス電圧で制御された周波数を発生する
電圧制御発振器を設け、この電圧制御発振器で駆動され
る駆動回路を設け、この駆動回路の経時的に変化する駆
動周波数でスイープ発振する振動子を設け、この振動子
の駆動電流と駆動電圧との一方と振動速度信号との位相
差を比較する位相比較器を設け、この位相比較器の出力
を積分して位相差比較出力を生成するサブ積分コンデン
サを設け、このサブ積分コンデンサが生成した位相差比
較出力のゼロクロスを検出するゼロクロス検出器を設
け、このゼロクロス検出器がゼロクロスを検出すると前
記サブ積分コンデンサの位相差比較出力を前記メイン積
分コンデンサに接続する切替スイッチを設けた。The invention according to claim 1 is
A main integration capacitor that is charged with a bias voltage at the start of operation is provided, and a voltage controlled oscillator that generates a frequency controlled by the bias voltage that changes with time of this main integration capacitor is provided. A phase comparator for providing a circuit, providing a vibrator that oscillates at a drive frequency that changes with time of the drive circuit, and comparing the phase difference between one of the drive current and the drive voltage of the vibrator and the vibration speed signal. And a sub-integration capacitor that integrates the output of this phase comparator to generate a phase-difference comparison output, and a zero-cross detector that detects the zero-cross of the phase-difference comparison output generated by this sub-integration capacitor. When the detector detects zero cross, the phase difference comparison output of the sub integration capacitor is connected to the main integration capacitor. The switch is provided that.
【0009】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、作動開始時から少なくとも位相比較器の接
続先をメイン積分コンデンサに切替スイッチが切替える
までは駆動回路に供給する駆動電流を制限する保護回路
を設けた。According to a second aspect of the invention, in the first aspect of the invention, the drive current supplied to the drive circuit is limited from the start of operation until at least the changeover switch switches the connection destination of the phase comparator to the main integration capacitor. A protection circuit is provided.
【0010】[0010]
【作用】請求項1記載の発明は、作動開始時の振動子の
共振周波数の検出を行なうための駆動周波数のスイープ
と作動継続中の振動子の共振周波数の追尾制御との両方
を一個のメイン積分コンデンサで行なうことができるの
で、振動子の共振周波数の検出と追尾制御とを別個の積
分コンデンサで行なっていた従来の超音波発生装置のよ
うに、積分コンデンサの自然放電によってスイープロッ
クした共振周波数がリセットされることがないので、超
音波発生装置の信頼性の向上に寄与することができ、こ
のようなスイープロックをコンピュータによるデジタル
値で行なうことも要しないので、その回路構造が簡略で
小型軽量化や生産性向上に寄与することができる。According to the invention described in claim 1, both the sweep of the drive frequency for detecting the resonance frequency of the vibrator at the start of operation and the tracking control of the resonance frequency of the vibrator during continuous operation are provided in one main unit. Since it can be performed by the integration capacitor, the resonance frequency swept-locked by the natural discharge of the integration capacitor like the conventional ultrasonic generator that detects the resonance frequency of the oscillator and the tracking control by separate integration capacitors. Since it is not reset, it can contribute to the improvement of the reliability of the ultrasonic generator, and since it is not necessary to perform such sweep lock with a digital value by a computer, its circuit structure is simple and compact. It can contribute to weight reduction and productivity improvement.
【0011】請求項2記載の発明は、広範囲の周波数を
スイープして振動子の共振点を検出しても駆動回路に過
大な駆動電流が流入しないので、各部の破壊を防止する
ことができる。According to the second aspect of the invention, even if the resonance point of the vibrator is detected by sweeping a wide range of frequencies, an excessive drive current does not flow into the drive circuit, so that it is possible to prevent damage to each part.
【0012】[0012]
【実施例】本発明の実施例を図1及び図2に基づいて説
明する。まず、この超音波発生装置1では、図1に例示
するように、セットスイッチ2とリセットスイッチ3と
が接続された発振イネーブルFF(Flip Flop)4が第
一・第二の微分器5,6を各々介して第一・第二のワン
ショットマルチ7,8に接続されており、この第一のワ
ンショットマルチ7が接続されたトランジスタ9と前記
発振イネーブルFF4とはトランジスタ10を介してフ
ォトカプラ11に接続されている。そして、このフォト
カプラ11の出力端子にはMOS(Metal−Oxide−Se
miconductor)トランジスタ12のゲートとソースとが接
続され、このMOSトランジスタ12のドレインとソー
スとには抵抗器13とが並列に接続され、この抵抗器1
3の両端部に直流電源14とパワーアンプ15とが接続
されている。一方、前記第二の微分器6と第二のワンシ
ョットマルチ8との間に設けられたオアゲート16の他
方の入力端子には、VCO18の制御入力に接続された
DCアンプ38の出力がウインドコンパレータ17を介
して接続されており、このVCO18と前記発振イネー
ブルFF4とがアンドゲート19を介して前記パワーア
ンプ15に接続されている。そして、このパワーアンプ
15に接続された出力トランス20が共軛整合用インダ
クタ21と抵抗器22とを各々介して振動子23の両端
に接続されており、この振動子23に接続された検出セ
ンサ24と前記出力トランス20の一端とが振動速度信
号esと駆動電流itとを各々出力するようになってい
る。Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. First, in this ultrasonic generator 1, as illustrated in FIG. 1, an oscillation enable FF (Flip Flop) 4 to which a set switch 2 and a reset switch 3 are connected is provided with first and second differentiators 5, 6 Is connected to the first and second one-shot multis 7 and 8 respectively, and the transistor 9 connected to the first one-shot multi 7 and the oscillation enable FF 4 are connected via a transistor 10 to a photocoupler. 11 is connected. The output terminal of the photocoupler 11 has a MOS (Metal-Oxide-Se)
The gate and the source of the transistor 12 are connected to each other, and the drain and the source of the MOS transistor 12 are connected to the resistor 13 in parallel.
A DC power supply 14 and a power amplifier 15 are connected to both ends of 3. On the other hand, at the other input terminal of the OR gate 16 provided between the second differentiator 6 and the second one-shot multi 8, the output of the DC amplifier 38 connected to the control input of the VCO 18 is connected to the window comparator. The VCO 18 and the oscillation enable FF 4 are connected to each other via the AND gate 19 and the power amplifier 15. The output transformer 20 connected to the power amplifier 15 is connected to both ends of the oscillator 23 via the common matching inductor 21 and the resistor 22, respectively, and the detection sensor connected to the oscillator 23. 24 and one end of the output transformer 20 output the vibration speed signal es and the drive current it, respectively.
【0013】そこで、これら振動速度信号esと駆動電
流itとがフィードバックされる位相比較器25に積分
抵抗器26とサブ積分コンデンサ27とが順次接続され
ており、このサブ積分コンデンサ27にはゼロクロス検
出器28と切替スイッチである第一のアナログスイッチ
29とが接続されている。また、駆動電流itのみがA
C/DC(Alternating Current/Direct Curren
t)変換器30を介してフィードバックされる電流比較器
31と前記ゼロクロス検出器28とはアンドゲート32
を介してスイープ用FF33に接続されており、このス
イープ用FF33の他の入力端子には前記第二のワンシ
ョットマルチ8がインバータ34と第三の微分器35と
を順次介して接続されている。Therefore, an integration resistor 26 and a sub-integration capacitor 27 are sequentially connected to the phase comparator 25 to which the vibration speed signal es and the drive current it are fed back, and the sub-integration capacitor 27 detects zero cross. The device 28 and the first analog switch 29, which is a changeover switch, are connected to each other. Also, only the drive current it is A
C / DC (Alternating Current / Direct Curren
t) The current comparator 31 fed back through the converter 30 and the zero-cross detector 28 are AND gates 32.
Is connected to the sweep FF 33 via the, and the second one-shot multi 8 is connected to the other input terminal of the sweep FF 33 via the inverter 34 and the third differentiator 35 in sequence. ..
【0014】ここで、この第二のワンショットマルチ8
は第二のアナログスイッチ36に接続されており、これ
ら第一・第二のアナログスイッチ29,36にはメイン
積分コンデンサ37が接続されると共にDCアンプ38
を介して前記ウインドコンパレータ17と前記VCO1
8とが接続されている。ここで、前記第一のアナログス
イッチ29には定電流電源39も接続されており、この
定電流電源39と前記サブ積分コンデンサ27との一方
を選択的に前記メイン積分コンデンサ37に切替接続す
るようになっている。なお、このメイン積分コンデンサ
37は追尾制御用で前記サブ積分コンデンサ27はスイ
ープ用なので、このサブ積分コンデンサ27は応答性を
向上させるために前記メイン積分コンデンサ37に比較
して小容量となっている。また、この超音波発生装置1
では、前記振動子23の駆動電圧を生成する駆動回路4
0が、パワーアンプ15と出力トランス20と共軛整合
用インダクタ21及び抵抗器22等で形成されており、
作動開始時から少なくとも共振点が検出されるまではパ
ワーアンプ15に供給される電源電流を制限する保護回
路41が、前記トランジスタ10とフォトカプラ11と
MOSトランジスタ12及び抵抗器13等で形成されて
いる。Here, this second one-shot multi 8
Is connected to a second analog switch 36, and a main integration capacitor 37 is connected to the first and second analog switches 29 and 36, and a DC amplifier 38 is connected.
Via the window comparator 17 and the VCO 1
And 8 are connected. Here, a constant current power supply 39 is also connected to the first analog switch 29, and one of the constant current power supply 39 and the sub integration capacitor 27 is selectively connected to the main integration capacitor 37 by switching. It has become. Since the main integration capacitor 37 is for tracking control and the sub integration capacitor 27 is for sweeping, the sub integration capacitor 27 has a smaller capacity than the main integration capacitor 37 in order to improve responsiveness. .. In addition, this ultrasonic generator 1
Then, the drive circuit 4 for generating the drive voltage of the vibrator 23
0 is formed by a power amplifier 15, an output transformer 20, a common matching inductor 21 and a resistor 22.
A protection circuit 41 that limits the power supply current supplied to the power amplifier 15 from the start of operation until at least the resonance point is detected is formed by the transistor 10, the photocoupler 11, the MOS transistor 12, the resistor 13, and the like. There is.
【0015】このような構成において、この超音波発生
装置1は、例えば、振動子23に複数種類のホーンやツ
ール(共に図示せず)を交換自在に連結する超音波ウェル
ダや超音波加工機などに利用されるようになっている。
そして、このような超音波発生装置1では、ホーンの交
換や温度変化や負荷変動等のために振動子23の共振周
波数が変化すると、この振動子23の駆動電圧の周波数
を共振周波数に追尾制御するようになっている。なお、
本実施例の超音波発生装置1は、振動子23の並列共振
点駆動、つまり、定電圧性電源による駆動を行なうもの
である。In the ultrasonic wave generating apparatus 1 having such a structure, for example, an ultrasonic welder or an ultrasonic processing machine in which a plurality of kinds of horns and tools (both not shown) are exchangeably connected to the vibrator 23, etc. Is being used for.
Then, in such an ultrasonic generator 1, when the resonance frequency of the vibrator 23 changes due to replacement of the horn, temperature change, load change, etc., the frequency of the drive voltage of the vibrator 23 is controlled to follow the resonance frequency. It is supposed to do. In addition,
The ultrasonic wave generator 1 of the present embodiment drives the oscillator 23 in parallel resonance point, that is, drives by a constant voltage power supply.
【0016】そこで、このような超音波発生装置1の追
尾制御を実行する際の各部の動作を図2のタイムチャー
トに基づいて以下に詳述する。まず、時間T0において
利用者(図示せず)がセットスイッチ2を投入すると発振
イネーブルFF4がセットされて出力Q1が“0”から
“1”に変化するので、これが一端に入力されたアンド
ゲート19はオープン状態となってVCO18の発振出
力をパワーアンプ15に伝送することになる。そこで、
このパワーアンプ15や共軛整合用インダクタ21等か
らなる駆動回路40が振動子23を発振駆動するので、
この振動子23はVCO18が出力する発振周波数に対
応した駆動周波数で超音波振動を開始することになる
が、この超音波発生装置1では、発振駆動の開始時にV
CO18の発振周波数をスイープさせて振動子23の共
振点を検出するようになっている。Therefore, the operation of each part when executing the tracking control of the ultrasonic wave generating apparatus 1 will be described in detail below with reference to the time chart of FIG. First, when the user (not shown) turns on the set switch 2 at time T 0 , the oscillation enable FF 4 is set and the output Q 1 changes from “0” to “1”. The gate 19 is opened and the oscillation output of the VCO 18 is transmitted to the power amplifier 15. Therefore,
Since the drive circuit 40 including the power amplifier 15 and the common matching inductor 21 drives the oscillator 23 to oscillate,
The oscillator 23 starts ultrasonic vibration at a drive frequency corresponding to the oscillation frequency output by the VCO 18, but in the ultrasonic generator 1, V is generated at the start of oscillation drive.
The resonance frequency of the oscillator 23 is detected by sweeping the oscillation frequency of the CO 18.
【0017】つまり、セットスイッチ2の投入時の発振
イネーブルFF4の出力Q1は、第二の微分器6で立上
がりが急激なパルスに変換されてオアゲート16から第
二のワンショットマルチ8にも入力されるので、この第
二のワンショットマルチ8はトリガーされてリセットパ
ルスP2を出力する。すると、このリセットパルスP2に
よって第二のアナログスイッチ36の動作状態S1がメ
ークされてメイン積分コンデンサ37のバイアス電圧V
CBが電圧Esにチャージされ、この電圧EsがDCアンプ
38で増幅されてVCO18の発振周波数をスイープ開
始時の周波数にセットすることになる。そこで、このV
CO18の発振周波数がアンドゲート19を介して伝送
されたパワーアンプ15は発振信号に対応した周波数の
駆動電圧を出力するので、この駆動電圧は出力トランス
20によってインピーダンスマッチングが行なわれてか
ら共軛整合用インダクタ21を介して振動子23に印加
されることになる。That is, the output Q 1 of the oscillation enable FF 4 when the set switch 2 is turned on is converted into a pulse having a sharp rise by the second differentiator 6 and is also input from the OR gate 16 to the second one-shot multi 8. As a result, the second one-shot multi 8 is triggered and outputs the reset pulse P 2 . Then, the operation state S 1 of the second analog switch 36 is made by the reset pulse P 2 and the bias voltage V of the main integration capacitor 37 is increased.
CB is charged to the voltage Es, this voltage Es is amplified by the DC amplifier 38, and the oscillation frequency of the VCO 18 is set to the frequency at the start of the sweep. So this V
The power amplifier 15 to which the oscillation frequency of the CO 18 is transmitted via the AND gate 19 outputs a driving voltage having a frequency corresponding to the oscillation signal. It will be applied to the vibrator 23 through the inductor 21 for.
【0018】このようにすることで、この超音波発生装
置1では、発振動作を開始するためにセットスイッチ2
を投入した時間T0では、振動子23がスイープ開始時
の周波数で駆動されることになる。By doing so, in this ultrasonic generator 1, the set switch 2 is started to start the oscillating operation.
At the time T 0 when is input, the oscillator 23 is driven at the frequency at the start of the sweep.
【0019】さらに、この超音波発生装置1では、リセ
ットパルスP2はインバータ34で位相反転されてから
第三の微分器35で微分されるので、振動子23の発振
駆動が開始されてから時間T1となって、第二のワンシ
ョットマルチ8によるリセット時間が完了してリセット
パルスP2の出力が停止されると、第三の微分器35の
出力のフォールエッジでトリガーされるスイープ用FF
33の出力Q2が“1”となり、これによって第一のア
ナログスイッチ29の動作状態S2は定電流電源39側
に切替わる。すると、前述のようにしてメイン積分コン
デンサ37のバイアス電圧VCBは定電流電源39の出力
電流でディスチャージされて電圧Esから経時的に低下
するので、この電圧低下に対応してVCO18の発振周
波数が上昇するのでパワーアンプ15が生成する振動子
23の駆動周波数も上昇することになる。Further, in this ultrasonic generator 1, the reset pulse P 2 is phase-inverted by the inverter 34 and then differentiated by the third differentiator 35, so that the time elapsed after the oscillation drive of the oscillator 23 is started. At T 1 , when the reset time by the second one-shot multi 8 is completed and the output of the reset pulse P 2 is stopped, the sweep FF triggered by the fall edge of the output of the third differentiator 35.
The output Q 2 of 33 becomes "1", whereby the operating state S 2 of the first analog switch 29 is switched to the constant current power supply 39 side. Then, as described above, the bias voltage V CB of the main integration capacitor 37 is discharged by the output current of the constant current power supply 39 and decreases with time from the voltage Es. Therefore, the oscillation frequency of the VCO 18 corresponds to this voltage decrease. Since it rises, the drive frequency of the oscillator 23 generated by the power amplifier 15 also rises.
【0020】このようにすることで、この超音波発生装
置1では、時間T0においてスイープ開始時の周波数で
発振駆動された振動子23の駆動周波数が時間T1から
は経時的に上昇することになるので、この振動子23の
駆動周波数はスイープされることになる。By doing so, in the ultrasonic generator 1, the drive frequency of the oscillator 23 oscillated and driven at the frequency at the start of the sweep at the time T 0 increases with time from the time T 1. Therefore, the drive frequency of the vibrator 23 is swept.
【0021】そして、このように振動子23への駆動周
波数が上昇すると振動子23のインピーダンスの周波数
特性に対応した電流がながれるので、これは抵抗器22
で駆動電流itとして検出されてAC/DC変換器30
と位相比較器25の一端とに入力され、この位相比較器
25の他端には振動子23の振動速度に対応して検出セ
ンサ24が出力する振動速度信号esが入力される。ま
た、駆動電流itが入力されたAC/DC変換器30は
図示するように駆動電流の大きさに比例した周波数特性
の直流信号Itを電流比較器31に出力するので、この
電流比較器31は、直流信号Itが予め設定された閾値
Vよりも低下すると検出信号P3をアンドゲート32の
一端に出力する。一方、位相比較器25は入力された駆
動電流itと振動速度信号esとを比較して位相差を検
出するので、これが積分抵抗器26とサブ積分コンデン
サ27とで位相差比較出力φsに変換されてゼロクロス
検出器28に入力される。ここで、このゼロクロス検出
器28は、位相差比較出力φsが立下がり方向のゼロク
ロスとなることをモニタするので、時間T2においてゼ
ロクロスを確認したゼロクロス検出器28の出力信号は
アンドゲート32に出力される。この時、このアンドゲ
ート32は上述のように検出信号P3によって開放され
ているので、この時間T2におけるアンドゲート32の
出力信号によってスイープ用FF33がリセットされて
第一のアナログスイッチ29が初期状態に復帰すること
になる。When the driving frequency of the vibrator 23 rises in this way, a current corresponding to the frequency characteristic of the impedance of the vibrator 23 flows, and this is the resistance of the resistor 22.
Is detected as the drive current it by the AC / DC converter 30.
And the vibration speed signal es output from the detection sensor 24 corresponding to the vibration speed of the vibrator 23 is input to the other end of the phase comparator 25. The AC / DC converter 30 to which the drive current it is input outputs a DC signal It having a frequency characteristic proportional to the magnitude of the drive current to the current comparator 31, as shown in the figure. When the DC signal It falls below a preset threshold V, the detection signal P 3 is output to one end of the AND gate 32. On the other hand, the phase comparator 25 detects the phase difference by comparing the input drive current it with the vibration speed signal es, and this is converted into the phase difference comparison output φs by the integration resistor 26 and the sub-integration capacitor 27. Is input to the zero-cross detector 28. Here, since the zero-cross detector 28 monitors that the phase difference comparison output φs becomes a zero-cross in the falling direction, the output signal of the zero-cross detector 28 which has confirmed the zero-cross at time T 2 is output to the AND gate 32. To be done. At this time, since the AND gate 32 is opened by the detection signal P 3 as described above, the sweep FF 33 is reset by the output signal of the AND gate 32 at the time T 2 , and the first analog switch 29 is initialized. It will return to the state.
【0022】このようにすることで、この超音波発生装
置1では、メイン積分コンデンサ37に対するディスチ
ャージが停止されて振動子23の励振駆動が共振点で行
なわれ、続いて位相比較器25が出力する駆動電流it
と振動速度信号esとの位相差信号がメイン積分コンデ
ンサ37に出力されるので、このメイン積分コンデンサ
37のバイアス電圧VCBに対応してVCO18やパワー
アンプ15等が駆動する振動子23の駆動周波数は共振
周波数に安定的に追尾制御されることになる。By doing so, in this ultrasonic generator 1, the discharge to the main integration capacitor 37 is stopped, the excitation drive of the oscillator 23 is performed at the resonance point, and then the phase comparator 25 outputs. Drive current it
Since the phase difference signal between the vibration speed signal es and the vibration speed signal es is output to the main integration capacitor 37, the drive frequency of the vibrator 23 driven by the VCO 18 and the power amplifier 15 corresponding to the bias voltage V CB of the main integration capacitor 37. Will be stably tracked to the resonance frequency.
【0023】なお、この超音波発生装置1では、上述の
ような時間T1〜T3における駆動周波数のスイープによ
り共振点が検出されない場合はメイン積分コンデンサ3
7は時間T3までディスチャージを継続し、そのバイア
ス電圧VCBをDCアンプ38で増幅した後にモニタして
いるウインドコンパレータ17でリミットが検出され
る。さらに、このウインドコンパレータ17からオアゲ
ート16を介してワンショットマルチ8に出力が至る
と、このワンショットマルチ8はトリガーされてリセッ
トパルスP2を出力するので、このリセットパルスP2に
よりスイープが再開されて再び共振点のサーチが行なわ
れる。なお、この超音波発生装置1では、上述のような
スイープの再開は、通常の追尾動作中に振動系の破損な
どの不具合が発生して追尾不能となったり負荷が過大と
なって位相差が極度に増大した場合にも行なわれる。さ
らに、図2に例示したタイムチャートの破線は、共振点
を検出する際のスイープ用FF33のリセット機能を停
止させ、共振点が検出されないようにしてスイープ動作
を繰返した状態を示している。In the ultrasonic generator 1, if the resonance point is not detected due to the sweep of the driving frequency at the times T 1 to T 3 as described above, the main integration capacitor 3
7 continues discharging until time T 3 , and the limit is detected by the window comparator 17 which monitors the bias voltage V CB after it is amplified by the DC amplifier 38. Further, when the output from the window comparator 17 to the one-shot multi 8 via the OR gate 16, the one-shot multi 8 is triggered and outputs the reset pulse P 2 , so that the sweep is restarted by the reset pulse P 2. Then, the resonance point is searched again. In the ultrasonic generator 1, the restart of the sweep as described above causes a trouble such as damage of the vibration system during a normal tracking operation to make tracking impossible or an excessive load causes a phase difference. It is also done in case of extreme increase. Further, the broken line of the time chart illustrated in FIG. 2 shows a state in which the reset function of the sweep FF 33 at the time of detecting the resonance point is stopped so that the resonance point is not detected and the sweep operation is repeated.
【0024】また、この超音波発生装置1では、上述の
ように広範囲の周波数をスイープして振動子23の共振
点を検出するので、この共振点の近傍の周波数では振動
子23の駆動電流itが共振時に比較して過大となるこ
とがある。この場合、過大な電流の通電によってパワー
アンプ15やネットワークが過負荷となったり、振動子
23等の励振が過大となって破壊が生じる懸念があるの
で、この超音波発生装置1では、上述のような破壊を防
止する保護回路41が設けられている。Further, in the ultrasonic generator 1, since the resonance point of the vibrator 23 is detected by sweeping a wide range of frequencies as described above, the driving current it of the vibrator 23 is at a frequency near the resonance point. May be too large when compared with the resonance. In this case, the power amplifier 15 and the network may be overloaded by the application of an excessive current, or the vibration of the vibrator 23 or the like may become excessively large, resulting in damage. Therefore, in the ultrasonic generator 1, A protection circuit 41 is provided to prevent such damage.
【0025】つまり、セットスイッチ2を投入して発振
イネーブルFF4の出力Q1が“1”となると、この立
上がり信号は第一の微分器5で微分されてから第一のワ
ンショットマルチ7をトリガーする。この時、この第一
のワンショットマルチ7の出力パルスP1の継続時間は
スイープに要する時間T3よりも長い時間T4に設定され
ており、この出力パルスP1によってトランジスタ9は
オン状態となる。つまり、スイープ完了後の時間T4ま
ではトランジスタ12はオフ状態なので、パワーアンプ
15への供給電圧+Bは直流電源14から抵抗器13を
介して通電されることになり、過大な電流によるパワー
アンプ15やネットワークの破壊を防止することができ
る。That is, when the set switch 2 is turned on and the output Q 1 of the oscillation enable FF 4 becomes "1", this rising signal is differentiated by the first differentiator 5 and then the first one-shot multi 7 is triggered. To do. At this time, the duration of the output pulse P 1 of the first one-shot multi 7 is set to a time T 4 longer than the time T 3 required for the sweep, and the output pulse P 1 causes the transistor 9 to turn on. Become. That is, since the transistor 12 is in the off state until the time T 4 after the completion of the sweep, the supply voltage + B to the power amplifier 15 is supplied from the DC power source 14 through the resistor 13, and the power amplifier due to the excessive current flows. It is possible to prevent the destruction of 15 and the network.
【0026】さらに、この超音波発生装置1では、時間
T3までに共振点の検出が完了してPLL方式の追尾制
御が安定すると、時間T4で第一のワンショットマルチ
7の出力パルスP1が停止してトランジスタ9はオフ状
態となる。すると、このトランジスタ9に接続されたト
ランジスタ10がオン状態となってフォトカプラ11が
駆動されるので、MOSトランジスタ12の動作状態Q
3がオンとなる。すると、抵抗器13がショートされる
ので直流電源14は直接的にパワーアンプ15に電力を
供給することになり、このパワーアンプ15は直流電源
14のもとでフルに駆動されることになる。Further, in the ultrasonic generator 1, when the detection of the resonance point is completed by the time T 3 and the tracking control of the PLL system becomes stable, the output pulse P of the first one-shot multi 7 at the time T 4 . 1 stops and the transistor 9 is turned off. Then, since the transistor 10 connected to the transistor 9 is turned on and the photocoupler 11 is driven, the operating state Q of the MOS transistor 12 is increased.
3 turns on. Then, the resistor 13 is short-circuited, so that the DC power supply 14 directly supplies power to the power amplifier 15, and the power amplifier 15 is fully driven under the DC power supply 14.
【0027】なお、上述のような過電流を防止する保護
回路は、パルス幅制御されたスイッチングレギュレータ
(図示せず)などで供給電圧を低下させる構造でも実施可
能である。また、この超音波発生装置1では、利用者が
リセットスイッチ3を操作すると発振イネーブルFF4
の出力Q1が“0”となり、ゲート19が閉じられて振
動子23の発振駆動が停止されるようになっている。The protection circuit for preventing overcurrent as described above is a pulse width controlled switching regulator.
It is also possible to use a structure (not shown) to reduce the supply voltage. Further, in this ultrasonic generator 1, when the user operates the reset switch 3, the oscillation enable FF 4
Output Q 1 of "0" becomes "0", the gate 19 is closed, and the oscillation drive of the vibrator 23 is stopped.
【0028】さらに、本実施例の超音波発生装置1で
は、定電圧性駆動電源によって振動子23を並列共振点
駆動することを例示して説明を行なったが、本発明は上
記形式に限定されるものではなく、定電流性駆動電源に
よる直列共振点で振動子23を駆動する場合において
も、一部の回路を変更することなどで同様な効果を得る
ことができる。なお、このような回路変更としては、例
えば、位相比較入力として振動速度信号と振動子駆動電
圧とを利用するようなことが実施可能である。Further, in the ultrasonic generator 1 of the present embodiment, the description has been given by exemplifying that the vibrator 23 is driven at the parallel resonance point by the constant voltage drive power source, but the present invention is not limited to the above-mentioned form. Even when the oscillator 23 is driven at the series resonance point by the constant current drive power source, the same effect can be obtained by changing some circuits. Note that, as such a circuit change, for example, it is possible to use the vibration velocity signal and the vibrator drive voltage as the phase comparison input.
【0029】[0029]
【発明の効果】請求項1記載の発明は、作動開始時にバ
イアス電圧がチャージされるメイン積分コンデンサを設
け、このメイン積分コンデンサの経時的に変化するバイ
アス電圧で制御された周波数を発生する電圧制御発振器
を設け、この電圧制御発振器で駆動される駆動回路を設
け、この駆動回路の経時的に変化する駆動周波数でスイ
ープ発振する振動子を設け、この振動子の駆動電流と駆
動電圧との一方と振動速度信号との位相差を比較する位
相比較器を設け、この位相比較器の出力を積分して位相
差比較出力を生成するサブ積分コンデンサを設け、この
サブ積分コンデンサが生成した位相差比較出力のゼロク
ロスを検出するゼロクロス検出器を設け、このゼロクロ
ス検出器がゼロクロスを検出すると前記サブ積分コンデ
ンサの位相差比較出力を前記メイン積分コンデンサに接
続する切替スイッチを設けたことにより、作動開始時の
振動子の共振周波数の検出を行なうための駆動周波数の
スイープと作動継続中の振動子の共振周波数の追尾制御
との両方を一個のメイン積分コンデンサで行なうことが
できるので、振動子の共振周波数の検出と追尾制御とを
別個の積分コンデンサで行なっていた従来の超音波発生
装置のように、積分コンデンサの自然放電によってスイ
ープロックした共振周波数がリセットされることがない
ので、超音波発生装置の信頼性の向上に寄与することが
でき、このようなスイープロックをコンピュータによる
デジタル値で行なうことも要しないので、その回路構造
が簡略で小型軽量化や生産性向上に寄与することができ
る等の効果を有するものである。According to the first aspect of the present invention, the main control capacitor is provided which is charged with the bias voltage at the start of operation, and the voltage control which generates the frequency controlled by the bias voltage which changes with time of the main control capacitor. An oscillator is provided, a drive circuit driven by this voltage controlled oscillator is provided, and a vibrator that performs sweep oscillation at a drive frequency that changes with time of this drive circuit is provided, and one of the drive current and the drive voltage of this vibrator is provided. A phase comparator that compares the phase difference with the vibration velocity signal is provided, a sub-integration capacitor that integrates the output of this phase comparator to generate a phase difference comparison output, and the phase difference comparison output generated by this sub-integration capacitor A zero-cross detector for detecting the zero-cross of the sub-integration capacitor is provided when the zero-cross detector detects the zero-cross. By providing a changeover switch for connecting the force to the main integration capacitor, the drive frequency sweep for detecting the resonance frequency of the vibrator at the start of operation and the tracking control of the resonance frequency of the vibrator during continuous operation are provided. Both of them can be performed by a single main integration capacitor, so that the natural discharge of the integration capacitor, like the conventional ultrasonic generator that detects the resonance frequency of the oscillator and tracking control by separate integration capacitors. Since the sweep-locked resonance frequency is not reset by this, it can contribute to the improvement of the reliability of the ultrasonic generator, and since it is not necessary to perform such sweep-lock with a digital value by a computer, The circuit structure is simple, and it has effects such as contributing to size reduction and weight reduction and productivity improvement.
【0030】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、作動開始時から少なくとも位相比較器の接
続先をメイン積分コンデンサに切替スイッチが切替える
までは駆動回路に供給する駆動電流を制限する保護回路
を設けたことにより、広範囲の周波数をスイープして振
動子の共振点を検出しても駆動回路に過大な駆動電流が
流入しないので、各部の破壊を防止することができる等
の効果を有するものである。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the drive current supplied to the drive circuit is limited from the start of operation until at least the changeover switch switches the connection destination of the phase comparator to the main integration capacitor. By providing a protection circuit that prevents the excessive drive current from flowing into the drive circuit even when the resonance point of the oscillator is detected by sweeping a wide range of frequencies, it is possible to prevent damage to each part. Is to have.
【図1】本発明の実施例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
【図2】タイムチャートである。FIG. 2 is a time chart.
【図3】第一の従来例を示す特性図である。FIG. 3 is a characteristic diagram showing a first conventional example.
【図4】第二の従来例を示す特性図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing a second conventional example.
1 超音波発生装置 23 振動子 25 位相比較器 27 サブ積分コンデンサ 28 ゼロクロス検出器 29 切替スイッチ 37 メイン積分コンデンサ 40 駆動回路 41 保護回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ultrasonic generator 23 Transducer 25 Phase comparator 27 Sub-integration capacitor 28 Zero cross detector 29 Changeover switch 37 Main integration capacitor 40 Drive circuit 41 Protection circuit
Claims (2)
れるメイン積分コンデンサと、このメイン積分コンデン
サの経時的に変化するバイアス電圧で制御された周波数
を発生する電圧制御発振器と、この電圧制御発振器で駆
動される駆動回路と、この駆動回路の経時的に変化する
駆動周波数でスイープ発振する振動子と、この振動子の
駆動電流と駆動電圧との一方と振動速度信号との位相差
を比較する位相比較器と、この位相比較器の出力を積分
して位相差比較出力を生成するサブ積分コンデンサと、
このサブ積分コンデンサが生成した位相差比較出力のゼ
ロクロスを検出するゼロクロス検出器と、このゼロクロ
ス検出器がゼロクロスを検出すると前記サブ積分コンデ
ンサの位相差比較出力を前記メイン積分コンデンサに接
続する切替スイッチとよりなることを特徴とする超音波
発生装置。1. A main integration capacitor to which a bias voltage is charged at the start of operation, a voltage controlled oscillator that generates a frequency controlled by a bias voltage that changes with time of the main integration capacitor, and a voltage controlled oscillator that drives the voltage. Drive circuit, a vibrator that oscillates at a drive frequency that changes with time of this drive circuit, and a phase comparison that compares the phase difference between one of the drive current and drive voltage of this vibrator and the vibration velocity signal. And a sub-integration capacitor that integrates the output of this phase comparator to generate a phase difference comparison output,
A zero-cross detector that detects a zero-cross of the phase difference comparison output generated by the sub-integration capacitor, and a changeover switch that connects the phase-difference comparison output of the sub-integration capacitor to the main integration capacitor when the zero-cross detector detects a zero-cross. An ultrasonic wave generator comprising:
接続先をメイン積分コンデンサに切替スイッチが切替え
るまでは駆動回路に供給する駆動電流を制限する保護回
路を設けたことを特徴とする請求項1記載の超音波発生
装置。2. A protection circuit for limiting the drive current supplied to the drive circuit from the start of operation until at least the connection point of the phase comparator is switched to the main integration capacitor by the changeover switch. The ultrasonic generator described.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10668692A JPH0655300B2 (en) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Ultrasonic generator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10668692A JPH0655300B2 (en) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Ultrasonic generator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05301077A true JPH05301077A (en) | 1993-11-16 |
JPH0655300B2 JPH0655300B2 (en) | 1994-07-27 |
Family
ID=14439943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10668692A Expired - Fee Related JPH0655300B2 (en) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Ultrasonic generator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0655300B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2145718A3 (en) * | 2008-07-16 | 2011-04-27 | Calsonic Kansei Corporation | Ultrasonic welder and joined body obtained by the welder |
US8132459B2 (en) * | 2008-09-13 | 2012-03-13 | Texas Instruments Incorporated | System and method to determine mechanical resonance of an accelerometer |
JP2021053609A (en) * | 2019-10-02 | 2021-04-08 | 株式会社タカラトミー | Ultrasonic vibration generating circuit |
-
1992
- 1992-04-24 JP JP10668692A patent/JPH0655300B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2145718A3 (en) * | 2008-07-16 | 2011-04-27 | Calsonic Kansei Corporation | Ultrasonic welder and joined body obtained by the welder |
US8132459B2 (en) * | 2008-09-13 | 2012-03-13 | Texas Instruments Incorporated | System and method to determine mechanical resonance of an accelerometer |
JP2021053609A (en) * | 2019-10-02 | 2021-04-08 | 株式会社タカラトミー | Ultrasonic vibration generating circuit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0655300B2 (en) | 1994-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4275363A (en) | Method of and apparatus for driving an ultrasonic transducer including a phase locked loop and a sweep circuit | |
US4879528A (en) | Ultrasonic oscillation circuit | |
US4965532A (en) | Circuit for driving ultrasonic transducer | |
JPH0347912B2 (en) | ||
US4577500A (en) | Driving control method of ultrasonic transducer | |
US20080224783A1 (en) | Ultrasonic operation apparatus for detecting initial resonance frequency and for shifting to pll operation | |
EP0272657B1 (en) | Drive network for an ultrasonic probe | |
JPH09140168A (en) | Driver for oscillation motor | |
JP3652098B2 (en) | Load abnormality detection circuit for inverter | |
US5233274A (en) | Drive circuit for langevin type ultrasonic bolt-tightening motor | |
JPH04200282A (en) | Drive device for ultrasonic motor | |
KR970055156A (en) | Resonant Converter Control System | |
JPH05301077A (en) | Ultrasonic wave generator | |
JP3328393B2 (en) | Electrostatic powder coating gun and high voltage generation method | |
JP2647713B2 (en) | Ultrasonic drive | |
JP2766787B2 (en) | Ultrasonic transducer drive | |
JP2002045368A (en) | Ultrasonic coagulation incision device | |
JP2691011B2 (en) | Ultrasonic transducer drive | |
JP4512721B2 (en) | Oscillation control circuit of multi-frequency ultrasonic cleaner | |
JP3695773B2 (en) | Drive unit for ultrasonic transducer | |
JPS6271476A (en) | Resonance type inverter circuit | |
JP2540466B2 (en) | Method and circuit device for controlling charge / discharge state of vibration circuit | |
JPH0663507A (en) | Piezoelectric vibrator driving circuit | |
JPH05143168A (en) | Ultrasonic wave generator | |
JP2025054962A (en) | Oscillator drive circuit and oscillator drive method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070727 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 14 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080727 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080727 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090727 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 16 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 17 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |