JPH05291361A - 半導体装置のリード構造 - Google Patents
半導体装置のリード構造Info
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- JPH05291361A JPH05291361A JP12002392A JP12002392A JPH05291361A JP H05291361 A JPH05291361 A JP H05291361A JP 12002392 A JP12002392 A JP 12002392A JP 12002392 A JP12002392 A JP 12002392A JP H05291361 A JPH05291361 A JP H05291361A
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- semiconductor chip
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16245—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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- Wire Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体基板実装後のリード接続部分に生じる
熱応力を有効に緩和することができる半導体装置のリー
ド構造を提供する。 【構成】 ベースフィルム7上にパターン成形したイン
ナーリード4にボンディングされた半導体チップ2を搭
載して成る半導体装置1において、所定長さに切断した
インナーリード4を半導体チップ2の形状に沿って引き
回すように屈曲成形し、半導体チップ2のバンプ3に接
続されたインナーリード4の一端部4aと基板5に接続
される他端部4bとが高さ方向に離隔するようにしたも
のである。インナーリード4は例えばコ字状に屈曲成形
されているが、基板5からの高さ方向に有効長を有して
いるため熱応力を確実に緩和することができる。
熱応力を有効に緩和することができる半導体装置のリー
ド構造を提供する。 【構成】 ベースフィルム7上にパターン成形したイン
ナーリード4にボンディングされた半導体チップ2を搭
載して成る半導体装置1において、所定長さに切断した
インナーリード4を半導体チップ2の形状に沿って引き
回すように屈曲成形し、半導体チップ2のバンプ3に接
続されたインナーリード4の一端部4aと基板5に接続
される他端部4bとが高さ方向に離隔するようにしたも
のである。インナーリード4は例えばコ字状に屈曲成形
されているが、基板5からの高さ方向に有効長を有して
いるため熱応力を確実に緩和することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ベースフィルム上にパ
ターン成形されたリードに半導体チップをボンディング
接続して成る半導体装置、特にTAB(Tape Automated
Bonding)パッケージに好適な半導体装置のリード構造
に関する。
ターン成形されたリードに半導体チップをボンディング
接続して成る半導体装置、特にTAB(Tape Automated
Bonding)パッケージに好適な半導体装置のリード構造
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、コンピュータ等の電子機器は小型
化,軽量化が要求されており、そのため電子機器に使用
される半導体チップを樹脂等により成るフレキシブルな
テープに実装したものがあり、その一種として、ビーム
リードと呼ばれる実装方式が知られている。図9は従来
のビームリード方式によって実装された半導体パッケー
ジの構成例を示しており、図において半導体パッケージ
21は、半導体チップ22にバンプ23を介してリード
24がボンディング接続されている。基板25には所定
の電気回路を構成する電極26が形成されていて、上記
リード24の先端部を電極26と接続することにより半
導体パッケージ21の実装が行われている。
化,軽量化が要求されており、そのため電子機器に使用
される半導体チップを樹脂等により成るフレキシブルな
テープに実装したものがあり、その一種として、ビーム
リードと呼ばれる実装方式が知られている。図9は従来
のビームリード方式によって実装された半導体パッケー
ジの構成例を示しており、図において半導体パッケージ
21は、半導体チップ22にバンプ23を介してリード
24がボンディング接続されている。基板25には所定
の電気回路を構成する電極26が形成されていて、上記
リード24の先端部を電極26と接続することにより半
導体パッケージ21の実装が行われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】かかる従来のビームリ
ード方式で実装された半導体装置において、特にリード
24は図示したように半導体チップ22から横方向にほ
ぼ直線状に延び出ていて、そのまま基板25の電極26
と接続するようになっている。即ち、リード24におけ
るバンプ23接続部分と電極26接続部分との間の基板
25から高さ方向の距離hが極めて小さい又はh≒0と
なっている。このようにリード24が平面的且つ直線状
に配置されているため、基板25等の発熱に起因してリ
ード24の接続部分に熱応力が発生し、且つこの熱応力
を緩和・吸収することができなかった。
ード方式で実装された半導体装置において、特にリード
24は図示したように半導体チップ22から横方向にほ
ぼ直線状に延び出ていて、そのまま基板25の電極26
と接続するようになっている。即ち、リード24におけ
るバンプ23接続部分と電極26接続部分との間の基板
25から高さ方向の距離hが極めて小さい又はh≒0と
なっている。このようにリード24が平面的且つ直線状
に配置されているため、基板25等の発熱に起因してリ
ード24の接続部分に熱応力が発生し、且つこの熱応力
を緩和・吸収することができなかった。
【0004】つまり、かかる熱応力の発生原因としては
主に半導体チップ22とリード24と基板25又は電極
26との間に熱膨張率の差があるためと考えられるが、
半導体チップ22等が作動した際に生じる発熱により、
半導体チップ22を挟んだ両側のリード24相互間で例
えば引張応力を生じさせる。そしてリード24は直線状
になっているためこのような引張応力を逃がすことがで
きない。このためビームリード方式のようなリード構造
を、ベースフィルム上に薄く且つ微細な多数のリードを
パターン成形TAB方式に採用すると、特に上記バンプ
23部分や電極26との接続部分で裂損もしくは破断の
危険があり、それらを有効に防止することが困難であっ
た。
主に半導体チップ22とリード24と基板25又は電極
26との間に熱膨張率の差があるためと考えられるが、
半導体チップ22等が作動した際に生じる発熱により、
半導体チップ22を挟んだ両側のリード24相互間で例
えば引張応力を生じさせる。そしてリード24は直線状
になっているためこのような引張応力を逃がすことがで
きない。このためビームリード方式のようなリード構造
を、ベースフィルム上に薄く且つ微細な多数のリードを
パターン成形TAB方式に採用すると、特に上記バンプ
23部分や電極26との接続部分で裂損もしくは破断の
危険があり、それらを有効に防止することが困難であっ
た。
【0005】本発明は上記課題を解決するために、半導
体基板実装後のリード接続部分に生じる熱応力を有効に
緩和することができる半導体装置のリード構造を提供す
ることを目的とする。
体基板実装後のリード接続部分に生じる熱応力を有効に
緩和することができる半導体装置のリード構造を提供す
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による半導体装置
のリード構造は、ベースフィルム上にパターン成形され
た多数のリードの一端部に半導体チップを接続して成る
半導体装置において、所定長さに切断されて実装基板に
接続される上記各リードの他端部と上記半導体チップに
接続された上記各リードの一端部との間が屈曲成形され
ていると共に、それら各リードの一端部と他端部とが高
さ方向に離隔されているものである。
のリード構造は、ベースフィルム上にパターン成形され
た多数のリードの一端部に半導体チップを接続して成る
半導体装置において、所定長さに切断されて実装基板に
接続される上記各リードの他端部と上記半導体チップに
接続された上記各リードの一端部との間が屈曲成形され
ていると共に、それら各リードの一端部と他端部とが高
さ方向に離隔されているものである。
【0007】また本発明による半導体装置のリード構造
では、上記各リードが上記半導体チップの上側から下側
へ向かってその半導体チップの外周に沿って屈曲成形さ
れ、上記半導体装置が上記実装基板にフェースアップ方
式で実装されることが望ましい。さらに、上記各リード
が上記半導体チップの下側で屈曲成形され、上記半導体
装置が上記実装基板にフェースダウン方式で実装される
ことも望ましい。
では、上記各リードが上記半導体チップの上側から下側
へ向かってその半導体チップの外周に沿って屈曲成形さ
れ、上記半導体装置が上記実装基板にフェースアップ方
式で実装されることが望ましい。さらに、上記各リード
が上記半導体チップの下側で屈曲成形され、上記半導体
装置が上記実装基板にフェースダウン方式で実装される
ことも望ましい。
【0008】又、本発明による半導体装置のリード構造
では、上記リードがほぼコ字状もしくは円弧状に屈曲成
形されていることが望ましい。
では、上記リードがほぼコ字状もしくは円弧状に屈曲成
形されていることが望ましい。
【0009】さらに特に上記各リードの他端部が上記ベ
ースフィルムを残存させた位置で切断されていることが
望ましい。
ースフィルムを残存させた位置で切断されていることが
望ましい。
【0010】又、上記半導体チップと上記各リードとの
間に絶縁材を介在させることが望ましい。
間に絶縁材を介在させることが望ましい。
【0011】
【作用】本発明によれば、所定長さに打ち抜かれたリー
ドは実装基板に接続されるが、このリードは上記のよう
に屈曲成形され、これによりリードの一方の端部と他方
の端部とは実装基板から高さ方向に離隔する。リードの
実装基板との接続部分に熱応力が生じたとしても、リー
ドは実装基板から高さ方向に有効な長さを有しているか
ら、この高さ方向部分でかかる熱応力を吸収し、且つそ
れが伝達するのを防止することができる。そして半導体
チップを挟んだ両側のインナーリード相互間においても
引張作用を及ぼし合うことはなく、この結果インナーリ
ードの裂損等を確実に防止することができる。
ドは実装基板に接続されるが、このリードは上記のよう
に屈曲成形され、これによりリードの一方の端部と他方
の端部とは実装基板から高さ方向に離隔する。リードの
実装基板との接続部分に熱応力が生じたとしても、リー
ドは実装基板から高さ方向に有効な長さを有しているか
ら、この高さ方向部分でかかる熱応力を吸収し、且つそ
れが伝達するのを防止することができる。そして半導体
チップを挟んだ両側のインナーリード相互間においても
引張作用を及ぼし合うことはなく、この結果インナーリ
ードの裂損等を確実に防止することができる。
【0012】上記リードを屈曲成形する場合、各リード
が上記半導体チップの上側から下側へ向かってその半導
体チップの外周に沿って屈曲成形されることにより、フ
ェースアップ方式で実装する際に極めて効果的である。
また各リードが上記半導体チップの下側で屈曲成形され
ることにより、フェースダウン方式で実装する際に極め
て効果的である。
が上記半導体チップの上側から下側へ向かってその半導
体チップの外周に沿って屈曲成形されることにより、フ
ェースアップ方式で実装する際に極めて効果的である。
また各リードが上記半導体チップの下側で屈曲成形され
ることにより、フェースダウン方式で実装する際に極め
て効果的である。
【0013】上記いずれの場合も、リードをほぼコ字状
もしくは円弧状に屈曲成形することができるが、かかる
屈曲形状は、成形性が比較的に容易で且つ優れた作用効
果を発揮することができる。
もしくは円弧状に屈曲成形することができるが、かかる
屈曲形状は、成形性が比較的に容易で且つ優れた作用効
果を発揮することができる。
【0014】さらに、各リードの他端部を上記ベースフ
ィルムを残存させた位置で切断することにより、切断後
のリードの取扱に利便性を確保することができると共
に、リードと実装基板との適正な接続を保証する等の利
点がある。また半導体チップと上記各リードとの間に絶
縁材を介在させることにより、絶縁性及び強度等を得る
ことができる。
ィルムを残存させた位置で切断することにより、切断後
のリードの取扱に利便性を確保することができると共
に、リードと実装基板との適正な接続を保証する等の利
点がある。また半導体チップと上記各リードとの間に絶
縁材を介在させることにより、絶縁性及び強度等を得る
ことができる。
【0015】
【実施例】以下、図1及び図2に基づき本発明による半
導体装置のリード構造の第一実施例を説明する。図1は
TABパッケージ1の実装例を示しているが、半導体チ
ップ2はバンプ3を介してインナーリード4とボンディ
ング接続されている。基板5には所定の電気回路を構成
する電極(図示せず)が形成されている。インナーリー
ド4は半導体チップ2の上側から下側に向かって外周に
沿って引き回したように屈曲成形されているが、この例
では図示のようにほぼコ字状に形成されている。また、
上記半導体チップ2のバンプ3は半導体チップ2の上面
側に位置し(所謂、フェースアップ方式)、一端部4a
がかかるバンプ3と接続するインナーリード4は、その
他端部4bが上記電極と接続され、かくしてTABパッ
ケージ1が基板5に実装される。このようにインナーリ
ード4のバンプ3側の端部4aと基板5側の端部4bと
は基板5から高さ方向に離隔している。なお、上記半導
体チップ2は図示したようにその一部が絶縁用の樹脂6
によって覆われているが、この樹脂6はインナーリード
4をコ字状に成形する前に予め設けることができる。
導体装置のリード構造の第一実施例を説明する。図1は
TABパッケージ1の実装例を示しているが、半導体チ
ップ2はバンプ3を介してインナーリード4とボンディ
ング接続されている。基板5には所定の電気回路を構成
する電極(図示せず)が形成されている。インナーリー
ド4は半導体チップ2の上側から下側に向かって外周に
沿って引き回したように屈曲成形されているが、この例
では図示のようにほぼコ字状に形成されている。また、
上記半導体チップ2のバンプ3は半導体チップ2の上面
側に位置し(所謂、フェースアップ方式)、一端部4a
がかかるバンプ3と接続するインナーリード4は、その
他端部4bが上記電極と接続され、かくしてTABパッ
ケージ1が基板5に実装される。このようにインナーリ
ード4のバンプ3側の端部4aと基板5側の端部4bと
は基板5から高さ方向に離隔している。なお、上記半導
体チップ2は図示したようにその一部が絶縁用の樹脂6
によって覆われているが、この樹脂6はインナーリード
4をコ字状に成形する前に予め設けることができる。
【0016】ここで図2は本実施例で用いるTABパッ
ケージ1の構成例を示しており、図においてポリイミド
等で成るベースフィルム7上に上記インナーリード4と
アウタリード8とがパターン成形されていて、インナー
リード4は上記のように半導体チップ2とボンディング
接続されている。上記インナーリード4とアウタリード
8間には上記ベースフィルム7で成るサポートリング7
aが設けられ、このサポートリング7aの内側のパーテ
ィングライン9(図2、一点鎖線参照)又はサポートリ
ング7a内のパーティングライン10(図2、点線参
照)に沿って上記インナーリード4を打ち抜き加工した
ものが使用される。かくしてかかるインナーリード4に
よって図1に示したようにTABパッケージ1の実装を
行うことができる。なお、以上の説明から明らかなよう
に、本実施例におけるインナーリード4はTAB方式に
おける通常のインナーリードよりも十分に長く形成さ
れ、このインナーリード4が通常のアウターリードの機
能を有することになる。
ケージ1の構成例を示しており、図においてポリイミド
等で成るベースフィルム7上に上記インナーリード4と
アウタリード8とがパターン成形されていて、インナー
リード4は上記のように半導体チップ2とボンディング
接続されている。上記インナーリード4とアウタリード
8間には上記ベースフィルム7で成るサポートリング7
aが設けられ、このサポートリング7aの内側のパーテ
ィングライン9(図2、一点鎖線参照)又はサポートリ
ング7a内のパーティングライン10(図2、点線参
照)に沿って上記インナーリード4を打ち抜き加工した
ものが使用される。かくしてかかるインナーリード4に
よって図1に示したようにTABパッケージ1の実装を
行うことができる。なお、以上の説明から明らかなよう
に、本実施例におけるインナーリード4はTAB方式に
おける通常のインナーリードよりも十分に長く形成さ
れ、このインナーリード4が通常のアウターリードの機
能を有することになる。
【0017】本発明による半導体装置のリード構造は上
記のように構成されており、次にその作用を説明する。
図1に示されるようにインナーリード4はコ字状に屈曲
成形され、これによりインナーリード4のバンプ3側の
端部4aと実装用の基板5側の端部4bとはこの基板5
の高さ方向に距離Hだけ離隔している。このようにイン
ナーリード4はその端部4a及び端部4b間で有効な高
さ方向部分を有しているため、半導体チップ2及び基板
5に対するインナーリード4の接続部分である上記端部
4a及び4bに熱応力が生じたとしても、上記の高さ方
向部分でかかる熱応力を吸収し、且つそれが伝達するの
を防止することができる。即ち、半導体チップ2の両側
のインナーリード4相互間で引張もしくは圧縮作用を及
ぼし合うことはなく、これによりインナーリード4の特
に端部4a及び端部4bにおける裂損等を確実に防止す
ることができる。
記のように構成されており、次にその作用を説明する。
図1に示されるようにインナーリード4はコ字状に屈曲
成形され、これによりインナーリード4のバンプ3側の
端部4aと実装用の基板5側の端部4bとはこの基板5
の高さ方向に距離Hだけ離隔している。このようにイン
ナーリード4はその端部4a及び端部4b間で有効な高
さ方向部分を有しているため、半導体チップ2及び基板
5に対するインナーリード4の接続部分である上記端部
4a及び4bに熱応力が生じたとしても、上記の高さ方
向部分でかかる熱応力を吸収し、且つそれが伝達するの
を防止することができる。即ち、半導体チップ2の両側
のインナーリード4相互間で引張もしくは圧縮作用を及
ぼし合うことはなく、これによりインナーリード4の特
に端部4a及び端部4bにおける裂損等を確実に防止す
ることができる。
【0018】上記の場合において、インナーリード4を
パーティングライン10に沿って打ち抜いた場合、それ
ぞれ打ち抜かれた各インナーリード4の端部はサポート
リング7aの一部によって相互に連結される。そして図
1において点線により示されるようにかかるサポートリ
ング7aの部分はコ字状のインナーリード4の内側に配
置される。このようにサポートリング7aを形成するポ
リイミド材料を残すようにインナーリード4の打ち抜き
加工を行うことにより、打ち抜き加工後に多数のインナ
ーリード4の整列状態が乱れないようにすることができ
る。これによりインナーリード4に対する屈曲成形加工
を容易且つ確実にすることができ、また一まとまりにな
った複数のインナーリード4はその取扱に非常に便利で
ある。
パーティングライン10に沿って打ち抜いた場合、それ
ぞれ打ち抜かれた各インナーリード4の端部はサポート
リング7aの一部によって相互に連結される。そして図
1において点線により示されるようにかかるサポートリ
ング7aの部分はコ字状のインナーリード4の内側に配
置される。このようにサポートリング7aを形成するポ
リイミド材料を残すようにインナーリード4の打ち抜き
加工を行うことにより、打ち抜き加工後に多数のインナ
ーリード4の整列状態が乱れないようにすることができ
る。これによりインナーリード4に対する屈曲成形加工
を容易且つ確実にすることができ、また一まとまりにな
った複数のインナーリード4はその取扱に非常に便利で
ある。
【0019】図3及び図4は本発明による半導体装置の
リード構造の第二実施例を示す。この第二実施例ではイ
ンナーリード4は上記第一実施例の場合と同様にほぼコ
字状に屈曲成形されているが、図示したようにインナー
リード4は半導体チップ2の下側に配置され且つ半導体
チップ2のバンプ3が半導体チップ2の下面側に位置す
るように(所謂、フェースダウン方式)実装されてい
る。また、インナーリード4を屈曲成形する場合、図4
に示したように適宜の治具11を使用してインナーリー
ド4をコ字状に成形することができる。
リード構造の第二実施例を示す。この第二実施例ではイ
ンナーリード4は上記第一実施例の場合と同様にほぼコ
字状に屈曲成形されているが、図示したようにインナー
リード4は半導体チップ2の下側に配置され且つ半導体
チップ2のバンプ3が半導体チップ2の下面側に位置す
るように(所謂、フェースダウン方式)実装されてい
る。また、インナーリード4を屈曲成形する場合、図4
に示したように適宜の治具11を使用してインナーリー
ド4をコ字状に成形することができる。
【0020】第二実施例においても、インナーリード4
のバンプ3側の端部4aと基板5側の端部4bとは基板
5の高さ方向に距離Hだけ離隔しているため、第一実施
例の場合と同様にインナーリード4の裂損等を有効に防
止することができる。そしてこの第二実施例によれば、
特にインナーリード4をほぼ半導体チップ2の下側領域
内に配置しているため半導体装置の実装スペースを減少
させることができる等の利点がある。なお、TABパッ
ケージ1を基板5に実装後、ポッティング等の方法によ
り全体が樹脂12によって封止されてもよい。
のバンプ3側の端部4aと基板5側の端部4bとは基板
5の高さ方向に距離Hだけ離隔しているため、第一実施
例の場合と同様にインナーリード4の裂損等を有効に防
止することができる。そしてこの第二実施例によれば、
特にインナーリード4をほぼ半導体チップ2の下側領域
内に配置しているため半導体装置の実装スペースを減少
させることができる等の利点がある。なお、TABパッ
ケージ1を基板5に実装後、ポッティング等の方法によ
り全体が樹脂12によって封止されてもよい。
【0021】図5及び図6は本発明による半導体装置の
リード構造の第三実施例を示す。この実施例はインナー
リード4を円弧状もしくはこれに近い曲線状に成形した
もので、図5の場合は上記第一実施例に対応しまた、図
6の場合は上記第二実施例に対応する。その他の基本的
構成はこれら第一実施例又は第二実施例と同様であるた
めその詳細な説明はここでは省略する。そしてこの第三
実施例においても前記各実施例と同様の効果を得ること
ができる。
リード構造の第三実施例を示す。この実施例はインナー
リード4を円弧状もしくはこれに近い曲線状に成形した
もので、図5の場合は上記第一実施例に対応しまた、図
6の場合は上記第二実施例に対応する。その他の基本的
構成はこれら第一実施例又は第二実施例と同様であるた
めその詳細な説明はここでは省略する。そしてこの第三
実施例においても前記各実施例と同様の効果を得ること
ができる。
【0022】図7及び図8は本発明による半導体装置の
リード構造の第四実施例を示す。この実施例はインナー
リード4を半導体チップ2の下側で、且つインナーリー
ド4が外側に向かって凹状になるように屈曲成形したも
のである。この場合、インナーリード4の屈曲形状はコ
字状(図7)又は円弧状(図8)等に成形することがで
きるが、インナーリード4はバンプ3から内方に延在し
ている必要があるためそのようなインナーリード4を得
るために比較的大型の半導体チップ2が適している。
リード構造の第四実施例を示す。この実施例はインナー
リード4を半導体チップ2の下側で、且つインナーリー
ド4が外側に向かって凹状になるように屈曲成形したも
のである。この場合、インナーリード4の屈曲形状はコ
字状(図7)又は円弧状(図8)等に成形することがで
きるが、インナーリード4はバンプ3から内方に延在し
ている必要があるためそのようなインナーリード4を得
るために比較的大型の半導体チップ2が適している。
【0023】なお、インナーリード4は上記各実施例の
他に例えばく字状又は適宜の曲線状に屈曲成形すること
ができ、図示した実施例にのみ限定されるものではない
が、いずれの場合も前記各実施例と同様の作用効果が得
られる。
他に例えばく字状又は適宜の曲線状に屈曲成形すること
ができ、図示した実施例にのみ限定されるものではない
が、いずれの場合も前記各実施例と同様の作用効果が得
られる。
【0024】
【発明の効果】上述したように本発明の半導体装置のリ
ード構造によれば、半導体基板等に実装する場合におい
て、基板実装後のリード接続部分に生じる熱応力を有効
に緩和することにより、リードの裂損等を確実に防止す
ることができる等保護効果に優れている。
ード構造によれば、半導体基板等に実装する場合におい
て、基板実装後のリード接続部分に生じる熱応力を有効
に緩和することにより、リードの裂損等を確実に防止す
ることができる等保護効果に優れている。
【図1】本発明の半導体装置のリード構造の第一実施例
による半導体装置の実装状態を示す縦断面図である。
による半導体装置の実装状態を示す縦断面図である。
【図2】本発明の上記半導体装置に使用するTABパッ
ケージの構成例を示す平面図である。
ケージの構成例を示す平面図である。
【図3】本発明の半導体装置のリード構造の第二実施例
による半導体装置の実装状態を示す縦断面図である。
による半導体装置の実装状態を示す縦断面図である。
【図4】上記第二実施例に係るリード構造の形成工程を
説明する縦断面図である。
説明する縦断面図である。
【図5】本発明の半導体装置のリード構造の第三実施例
による半導体装置の実装状態を示す縦断面図である。
による半導体装置の実装状態を示す縦断面図である。
【図6】図5に示した本発明の第三実施例の変形例を示
す図である。
す図である。
【図7】本発明の半導体装置のリード構造の第四実施例
による半導体装置の実装状態を示す縦断面図である。
による半導体装置の実装状態を示す縦断面図である。
【図8】図7に示した本発明の第四実施例の変形例を示
す図である。
す図である。
【図9】従来の半導体装置のリード構造による実装状態
を示す縦断面図である。
を示す縦断面図である。
1 TABパッケージ 2 半導体チップ 3 バンプ 4 インナーリード 4a 一端部 4b 他端部 5 基板 6 樹脂 7 ベースフィルム
Claims (6)
- 【請求項1】 ベースフィルム上にパターン成形された
多数のリードの一端部に半導体チップを接続して成る半
導体装置において、所定長さに切断されて実装基板に接
続される上記各リードの他端部と上記半導体チップに接
続された上記各リードの一端部との間が屈曲成形されて
いると共に、それら各リードの一端部と他端部とが高さ
方向に離隔されていることを特徴とする半導体装置のリ
ード構造。 - 【請求項2】 上記各リードが上記半導体チップの上側
から下側へ向かってその半導体チップの外周に沿って屈
曲成形され、上記半導体装置が上記実装基板にフェース
アップ方式で実装されることを特徴とする請求項1に記
載の半導体装置のリード構造。 - 【請求項3】 上記各リードが上記半導体チップの下側
で屈曲成形され、上記半導体装置が上記実装基板にフェ
ースダウン方式で実装されることを特徴とする請求項1
に記載の半導体装置のリード構造。 - 【請求項4】 上記リードがほぼコ字状もしくは円弧状
に屈曲成形されていることを特徴とする請求項1,2又
は3に記載の半導体装置のリード構造。 - 【請求項5】 上記各リードの他端部が上記ベースフィ
ルムを残存させた位置で切断されていることを特徴とす
る請求項1に記載の半導体装置のリード構造。 - 【請求項6】 上記半導体チップと上記各リードとの間
に絶縁材を介在させたことを特徴とする請求項1に記載
の半導体装置のリード構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12002392A JPH05291361A (ja) | 1992-04-14 | 1992-04-14 | 半導体装置のリード構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12002392A JPH05291361A (ja) | 1992-04-14 | 1992-04-14 | 半導体装置のリード構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05291361A true JPH05291361A (ja) | 1993-11-05 |
Family
ID=14776001
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12002392A Withdrawn JPH05291361A (ja) | 1992-04-14 | 1992-04-14 | 半導体装置のリード構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05291361A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6358772B2 (en) | 1997-05-02 | 2002-03-19 | Nec Corporation | Semiconductor package having semiconductor element mounting structure of semiconductor package mounted on circuit board and method of assembling semiconductor package |
US6593648B2 (en) | 2000-08-31 | 2003-07-15 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device and method of making the same, circuit board and electronic equipment |
WO2009066192A2 (en) * | 2007-11-19 | 2009-05-28 | Nxp B.V. | Wafer level package device with an smd form factor |
US7594644B2 (en) | 2002-08-30 | 2009-09-29 | Nec Corporation | Semiconductor device and method for manufacturing the same, circuit board, electronic apparatus, and semiconductor device manufacturing apparatus |
-
1992
- 1992-04-14 JP JP12002392A patent/JPH05291361A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
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WO2009066192A3 (en) * | 2007-11-19 | 2009-07-16 | Nxp Bv | Wafer level package device with an smd form factor |
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