JPH0528905B2 - - Google Patents
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- JPH0528905B2 JPH0528905B2 JP61152633A JP15263386A JPH0528905B2 JP H0528905 B2 JPH0528905 B2 JP H0528905B2 JP 61152633 A JP61152633 A JP 61152633A JP 15263386 A JP15263386 A JP 15263386A JP H0528905 B2 JPH0528905 B2 JP H0528905B2
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- claw
- substrate
- gripping mechanism
- bonding
- screw rod
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Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ダイボンデイングやワイヤボンデイ
ングを施すためにリードフレームやプリント基板
などの基板をボンデイング位置に正確に位置決め
して置く、基板搬送方法に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a substrate transport method for accurately positioning and placing a substrate such as a lead frame or a printed circuit board at a bonding position in order to perform die bonding or wire bonding. It is something.
従来、基板を待機位置からボンデイング位置に
正確に位置決めして置く搬送方法として、待機位
置の基板を対の上下ローラで挟み、ローラを所定
回転回数だけ回転させてボンデイング位置に置く
ことが行われている。
Conventionally, as a transport method for accurately positioning and placing a substrate from a standby position to a bonding position, the substrate at the standby position is sandwiched between a pair of upper and lower rollers, and the rollers are rotated a predetermined number of rotations before being placed at the bonding position. There is.
しかしながら、この方法では待機位置でのリー
ドフレームの位置決めが正確に行われにくく、ま
たローラのすべりが生じ易いこと、ローラの直径
の精度が得にくいこと、等により、精度の高い位
置決めが行えず、問題点となつていた。
However, with this method, it is difficult to accurately position the lead frame at the standby position, the rollers tend to slip, and it is difficult to obtain accurate roller diameters, so highly accurate positioning cannot be performed. This had become a problem.
本発明は、上述の従来の問題点を解決しようと
するもので、ボンデイング位置への位置決めを簡
単且つ正確に行うことができる方法を提供するこ
とを目的とするものである。 The present invention is intended to solve the above-mentioned conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a method that allows easy and accurate positioning to a bonding position.
本発明は、上述の問題点を解決するための手段
として、ボンデイングを施される基板をガイドレ
ールに沿つてボンデイング位置まで搬送する基板
搬送方法において、前記基板を把持、開放する把
持機構を設けたナツトをネジ杆に装着して該ネジ
杆の正逆回転により前記把持機構を往復せしめ、
前記基板の前端縁を検出し、該検出位置から前記
ネジ杆が所定の回転回数だけ回転したときに該ネ
ジ杆を停止し、把持機構を開放して前記基板を所
定のボンデイング位置に置くことを特徴とする基
板搬送方法を提供しようとするものである。
As a means for solving the above-mentioned problems, the present invention provides a substrate transport method for transporting a board to be bonded along a guide rail to a bonding position, in which a gripping mechanism for gripping and releasing the board is provided. attaching a nut to a screw rod and reciprocating the gripping mechanism by rotating the screw rod in forward and reverse directions;
Detecting the front edge of the substrate, stopping the screw rod when the screw rod has rotated a predetermined number of rotations from the detected position, and releasing the gripping mechanism to place the substrate at a predetermined bonding position. The present invention is intended to provide a characteristic substrate transport method.
本発明は、上述の構成を具備することにより、
把持機構により運ばれる基板の前端縁を検出し、
該検出位置から把持機構の移動をネジ杆の回転回
数をカウントしつつ行い、検出位置からボンデイ
ング位置への搬送に要する所定の回転回数に達し
た時点でネジ杆を停止させれば、基板はボンデイ
ング位置に正確に搬送される。従つて、待機位置
での位置決めを要することなく、正確な位置決め
がなされる。
By having the above-described configuration, the present invention has the following features:
detecting the front edge of the board carried by the gripping mechanism;
The gripping mechanism is moved from the detection position while counting the number of rotations of the screw rod, and when the screw rod is stopped when the predetermined number of rotations required for transportation from the detection position to the bonding position is reached, the substrate is bonded. accurately transported to the location. Therefore, accurate positioning can be performed without requiring positioning at a standby position.
また、基板は把持機構により確実に把持され、
ネジ杆の回転回数に対応した正確な移動量が得ら
れる。 In addition, the board is securely gripped by the gripping mechanism,
Accurate travel distance corresponding to the number of rotations of the screw rod can be obtained.
本発明を、リードフレームをダイボンデイング
位置に置く搬送方法に適用した実施例につき、図
面を用いて説明する。
An embodiment in which the present invention is applied to a transportation method for placing a lead frame at a die bonding position will be described with reference to the drawings.
第1図は、往復動可能の把持機構2でリードフ
レーム1を把持し、1対のガイドレール3,3上
を走行させてリードフレーム1の先端が位置Aに
至るボンデイング位置まで送入し、ダイボンダ
(図示せず)によりダイボンデイングを施された
リードフレーム1を再び把持機構2で杷持してリ
ードフレーム1の尾端が位置Bに至るボンデイン
グ位置から送出するリードフレーム搬送装置であ
る。ボンデイング位置におけるリードフレーム1
の前端縁が位置Aから後端縁が位置Bに至るまで
のピツチ送りも把持機構2で把持して行うように
なつている。 In FIG. 1, a reciprocating gripping mechanism 2 grips a lead frame 1, runs on a pair of guide rails 3, 3, and feeds the lead frame 1 to a bonding position where its tip reaches position A. This is a lead frame conveying device which holds a lead frame 1 which has been die bonded by a die bonder (not shown) again with a gripping mechanism 2 and sends it out from a bonding position where the tail end of the lead frame 1 reaches position B. Lead frame 1 in bonding position
Pitch feeding from the front end edge of position A to the rear end edge of position B is also carried out by gripping mechanism 2.
把持機構2は送入用爪4と送出用爪5を備え、
その基部はネジ杆6に装着したナツト7に連結さ
れている。通常ネジ杆6とナツト7はボールネジ
が用いられる。 The gripping mechanism 2 includes a feeding claw 4 and a feeding claw 5,
Its base is connected to a nut 7 attached to a threaded rod 6. Usually, ball screws are used for the screw rod 6 and the nut 7.
ネジ杆6は、軸受部材8に支承され、正逆回転
可能のモータ9を駆動源として備えてある。 The threaded rod 6 is supported by a bearing member 8 and is provided with a motor 9 capable of forward and reverse rotation as a driving source.
送入用爪4と送出用爪5は、把持機構2がリー
ドフレーム1の待機位置に向けて最後退したとき
に、送入用爪4が待機しているリードフレーム1
をつかみ得、送出用爪5が後端縁が位置Bにある
リードフレーム1をつかみ得るように、即ち、送
入用爪4から送出用爪5にリードフレーム1の搬
送をリレーできるように、その間隔や移動ストロ
ークが設定されている。 The feed-in claw 4 and the feed-out claw 5 are arranged to hold the lead frame 1 where the feed claw 4 is waiting when the gripping mechanism 2 is retracted the most towards the standby position of the lead frame 1.
so that the feed-out claw 5 can grasp the lead frame 1 whose rear edge is at position B, that is, so that conveyance of the lead frame 1 from the feed-in claw 4 to the feed-out claw 5 can be relayed. The interval and movement stroke are set.
リードフレーム1の、送入用爪4に把持されて
の走行路の任意の部所に臨んで、即ち、リードフ
レーム1が、その前端縁が範囲Cの誤差をもつて
待機位置に供給されるときに範囲D内の走行路の
任意の部位に臨んで、リードフレーム1の前端縁
を検出する検出部10が設けられている。検出部
10は前端縁を検出した後、所定回転回数でモー
タ9の回転を停止するように、モータ制御部11
に連絡されている。所定回転回数は、検出部10
の検出位置Eと位置Aの距離をネジ杆6のリード
で除すれば求められる。 The lead frame 1 is gripped by the feeding claw 4 and facing any part of the running path, that is, the lead frame 1 is fed to the standby position with the front edge having an error of range C. A detection unit 10 is provided which sometimes faces any part of the running path within the range D and detects the front edge of the lead frame 1. After detecting the front edge, the detection unit 10 controls the motor control unit 11 to stop the rotation of the motor 9 after a predetermined number of rotations.
has been contacted. The predetermined number of rotations is determined by the detection unit 10.
It can be found by dividing the distance between the detected position E and the position A by the lead of the threaded rod 6.
リードフレーム1が、最後退している送入用爪
4により把持可能の待機位置にあることを検知す
る検知部12が範囲Cの、待機位置にリードフレ
ーム1を供給する供給機構(図示せず)によるリ
ードフレーム1走行路に臨んで設けられている。
検知部12はモータ制御部11とともに制御機構
を構成する開閉制御部(図示せず)を介して送入
用爪4の開閉駆動部に連絡されている。送出用爪
5の開閉駆動部も該開閉制御部により制御される
ようにしてある。 A detection unit 12 that detects that the lead frame 1 is in a standby position where it can be gripped by the feeding claw 4 that is retracted the most is connected to a supply mechanism (not shown) that supplies the lead frame 1 to the standby position in range C. ) is provided facing the lead frame 1 running path.
The detection section 12 is connected to the opening/closing drive section of the feeding claw 4 via an opening/closing control section (not shown) which constitutes a control mechanism together with the motor control section 11 . The opening/closing drive section of the delivery claw 5 is also controlled by the opening/closing control section.
送入用爪4と送出用爪5について第2図を用い
て説明する。各爪は、把持機構2のアームに固定
された上爪13と、アームに揺動可能に設けた下
爪14とからなり、下爪14の揺動駆動部、即ち
爪の開閉駆動部15が備えられている。 The feeding claw 4 and the feeding claw 5 will be explained using FIG. 2. Each claw consists of an upper claw 13 fixed to the arm of the gripping mechanism 2 and a lower claw 14 swingably provided on the arm. It is equipped.
開閉駆動部15は、把持機構2のアームに固定
したソレノイド16と、ソレノイド16に備えた
上下方向の貫通穴に摺動可能に設けたピン17か
らなり、ピン17はソレノイド16上端から突出
する端部に下爪14との当接部で且つ脱け防止部
の頭部18を備え、ソレノイド16下端から突出
する端部にソレノイド16のオンオフによりソレ
ノイド16と接離する円板19を備えている。 The opening/closing drive unit 15 includes a solenoid 16 fixed to the arm of the gripping mechanism 2, and a pin 17 slidably provided in a vertical through hole provided in the solenoid 16. The pin 17 has an end protruding from the upper end of the solenoid 16. The lower claw 14 is in contact with the lower claw 14 and is provided with a head 18 that is a detachment prevention part, and the end that projects from the lower end of the solenoid 16 is provided with a disc 19 that comes into contact with and separates from the solenoid 16 when the solenoid 16 is turned on and off. .
上述のように形成した把持機構2は、ガイドレ
ール3,3の一方側にのみ臨んで設けられ、リー
ドフレーム1の、搬送方法に平行の一側縁を把持
してリードフレーム1を搬送するようにしてあ
り、把持機構2が設けられた方のガイドレール3
は送入用爪4、送出用爪5の走行を阻止しないよ
うに備えられている。 The gripping mechanism 2 formed as described above is provided facing only one side of the guide rails 3, 3, and is configured to grip one side edge of the lead frame 1 parallel to the transport method and transport the lead frame 1. and the guide rail 3 on which the gripping mechanism 2 is provided
are provided so as not to obstruct the movement of the feeding claw 4 and the feeding claw 5.
なお、このリードフレーム搬送装置は備付スペ
ースの都合でストロークを2段階に分けたタイプ
としてある。 Note that this lead frame conveying device is of a type in which the stroke is divided into two stages due to space limitations.
次に動作について第3図a,bを用いて、工程
〜〓〓を説明する。 Next, the operations will be explained using FIGS. 3a and 3b.
この例では、リードフレーム(以下フレームと
略)1を待機位置へ供給する機構として、マガジ
ン20から1枚ずつフレームを押出すプツシヤ2
1が用いられている。プツシヤ21及びマガジン
昇降機構の駆動部(図示せず)も前記制御機構に
連絡されている。 In this example, a pusher 2 that pushes out frames one by one from a magazine 20 serves as a mechanism for feeding lead frames (hereinafter referred to as frames) 1 to a standby position.
1 is used. The pusher 21 and the drive section (not shown) of the magazine lifting/lowering mechanism are also connected to the control mechanism.
…スタート状態、把持機構2は最後退位置。
送入用爪(以下爪と略)4、送出用爪(以下
爪と略)5ともに開。 ...In the starting state, the gripping mechanism 2 is in the most retracted position.
Both the feed claw (hereinafter abbreviated as claw) 4 and the feed claw (hereinafter abbreviated as claw) 5 are opened.
…プツシヤ21によりフレーム1を押出す。 ...The frame 1 is pushed out by the pusher 21.
…検知部12でフレーム1の供給を検知し、
爪4を閉としてフレーム1を把持させる。こ
の時爪4はフレーム1の先端部分を把持して
いる。 ...The detection unit 12 detects the supply of frame 1,
The frame 1 is gripped with the claws 4 closed. At this time, the claw 4 grips the tip of the frame 1.
…把持機構2を低速で前進させ、フレーム1
の前端縁を検出部10で検出する。検出位置
からネジ杆6の搬送の向き(正とする)の回
転回数のカウント開始。 ...The gripping mechanism 2 is advanced at low speed, and the frame 1 is
The detection unit 10 detects the front edge of the image. Start counting the number of rotations of the threaded rod 6 in the transport direction (positive) from the detection position.
…把持機構2を高速で前進させる。ネジ杆6
が所定の回転回数の約半分の、あるいは回転
回数に達したらネジ杆6の正回転を停止して
把持機構2を停止させる。従つて、回転回数
のカウントも中止。リードフレーム1は中間
の定位置。 ...The gripping mechanism 2 is advanced at high speed. screw rod 6
When the number of rotations reaches approximately half of the predetermined number of rotations or reaches the number of rotations, the forward rotation of the screw rod 6 is stopped and the gripping mechanism 2 is stopped. Therefore, counting of the number of rotations is also stopped. Lead frame 1 is in a fixed position in the middle.
…爪4を開としてフレーム1を一旦開放。 ...Open claw 4 and release frame 1 once.
…ネジ杆6を逆回転させて把持機構2を適宜
距離だけ戻す。 ...The screw rod 6 is rotated in the opposite direction to return the gripping mechanism 2 by an appropriate distance.
…爪4を閉とする。爪4はフレーム1の中間
部分をつかむ。 ...Claw 4 is closed. The claw 4 grips the middle part of the frame 1.
…ネジ杆6を正回転させて把持機構2を高速
で前進させる。ネジ杆6の回転回数カウント
再開。からのカウントと、今回のカウン
トとの総計が所定の回転回数となつたところ
でネジ杆6の正回転を停止させ、把持機構2
を停止させる。このとき、フレーム1はその
先端が位置Aにあり、フレーム1の複数のボ
ンデイング部位22−1,…22−nのうち
先端のボンデイング部位22−1がボンデイ
ング位置に決められている。検知部12はオ
フとなり、マガジン20は次のフレーム1を
押出位置とするために1段下降。 ...The screw rod 6 is rotated in the forward direction to move the gripping mechanism 2 forward at high speed. Restart counting the number of rotations of screw rod 6. When the total of the count from and the current count reaches a predetermined number of rotations, the forward rotation of the screw rod 6 is stopped, and the gripping mechanism 2
to stop. At this time, the leading end of the frame 1 is at position A, and the leading end bonding part 22-1 of the plurality of bonding parts 22-1, . . . 22-n of the frame 1 is determined to be the bonding position. The detection unit 12 is turned off, and the magazine 20 is lowered by one stage to set the next frame 1 at the ejection position.
…爪4を開。プツシヤ21により次のフレー
ムを待機位置に押出しておく。 ...Open claw 4. The pusher 21 pushes the next frame to the standby position.
…ボンデイング開始、把持機構2はボンデイ
ング部位の1ピツチ分後退する。部位22−
1のボンデイング終了。 ...Bonding starts, and the gripping mechanism 2 retreats by one pitch of the bonding site. Part 22-
1 bonding completed.
…爪4を閉。 ...Close claw 4.
…把持機構2を、1ピツチ分、即ち、次のボ
ンデイング部位22−2がボンデイング位置
となるまで前進させる。 ...The gripping mechanism 2 is advanced by one pitch, that is, until the next bonding part 22-2 is at the bonding position.
…ボンデイング部位22−(n−1)まで爪
4の送りによるボンデイング終了。 ...The bonding is completed by feeding the claw 4 to the bonding part 22-(n-1).
…爪5を閉。 ...Close claw 5.
…爪5によりフレーム1を1ピツチ送る。ボ
ンデイング部位22−nがボンデイング位
置。 ...The frame 1 is advanced by one pitch using the claw 5. The bonding part 22-n is the bonding position.
…爪5を開としてボンデイング部位22−n
にボンデイング。これにてフレーム1へのボ
ンデイング完了。 ...Open the claw 5 and bond the part 22-n.
Bonding to. This completes bonding to frame 1.
〜…爪5は開のまま、〜を行う。(
はと、はと、はと、はと対
応、に対応する分は略)爪4により次の
フレームが中間の定位置まで運ばれる。 ~...Keep the claws 5 open and do ~. (
The next frame is carried by the claw 4 to an intermediate fixed position.
…爪4,5を閉として、
〓〓…を行う。次のフレーム1は中間の定位置
から所定位置に爪4により運ばれる。ボンデ
イング完了のフレーム1はボンデイング部位
22−nがボンデイング位置にある位置から
送出位置まで爪5により運ばれる。その後爪
5を開いて爪5により送出されたフレーム1
は適宜搬送機構で次工程に移送される。 …With claws 4 and 5 closed, perform 〓〓…. The next frame 1 is carried by the pawl 4 from an intermediate fixed position to a fixed position. The frame 1 with completed bonding is carried by the claws 5 from the position where the bonding part 22-n is at the bonding position to the delivery position. After that, the claw 5 is opened and the frame 1 is sent out by the claw 5.
is transported to the next process by a transport mechanism as appropriate.
以下からの動作の繰返し、
以上の実施例では、検出部10の設置位置はボ
ンデイング位置に基板の最初のボンデイング部が
位置決めされている状態において、その基板の最
終端より、基板の供給側に離れたものが記載され
ているが、搬送時間の短縮や送りねじの累積誤差
等による位置決め精度の低下を防止するために基
板の検出位置はボンデイング位置に近づける方が
よい。すなわち、送りねじの移送距離を短くして
搬送時間の短縮を図ることができるものである。 Repeating the following operations: In the above embodiment, the detection unit 10 is installed in a state where the first bonding part of the board is positioned at the bonding position, and is away from the final end of the board toward the supply side of the board. However, in order to shorten the transportation time and prevent deterioration of positioning accuracy due to cumulative errors of the feed screw, etc., it is better to place the detection position of the substrate close to the bonding position. That is, it is possible to shorten the transport time by shortening the transport distance of the feed screw.
また、ストロークを2段階に分けたタイプで説
明したが、ネジ杆6の長さを長くして杷持機構2
が第3図aにおいてリードフレーム1をでの位
置からでの位置まで1度に移動させることがで
きるストロークとしたり、プツシヤ21がリード
フレーム1をの位置からの位置まで押出すこ
とができる構成とすれば1ストロークで供給でき
る。 In addition, although the explanation has been made using a type in which the stroke is divided into two stages, the length of the screw rod 6 may be increased to increase the length of the holding mechanism 2.
In FIG. 3A, the stroke can be such that the lead frame 1 can be moved from the position to the position at one time, or the pusher 21 can be configured to push the lead frame 1 from the position to the position. If you do this, it can be supplied in one stroke.
〔発明の効果〕
本発明は、基板の前端縁を検出し、該検出位置
から搬送距離をカウントするようにしたから極め
て正確且つ簡単に基板をボンデイング位置へ正確
な位置決めをして置くことができ実用上顕著な効
果を奏することができる。[Effects of the Invention] Since the present invention detects the front edge of the substrate and counts the conveyance distance from the detected position, it is possible to accurately and easily position the substrate at the bonding position. A remarkable effect can be achieved in practical use.
図面は本発明の実施例を示し、第1図は正面
図、第2図は一部の斜面図、第3図a,bは動作
説明図である。
1…リードフレーム、2…把持機構、3…ガイ
ドレール、4…送入用爪、5…送出用爪、6…ネ
ジ杆、7…ナツト、8…軸受部材、9…モータ、
10…検出部、11…モータ制御部、12…検知
部、13…上爪、14…下爪、15…開閉駆動
部、16…ソレノイド、17…ピン、18…頭
部、19…円板、20…マガジン、21…プツシ
ヤ。
The drawings show an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a front view, FIG. 2 is a partial perspective view, and FIGS. 3a and 3b are operation explanatory views. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Lead frame, 2... Gripping mechanism, 3... Guide rail, 4... Feeding claw, 5... Feeding claw, 6... Screw rod, 7... Nut, 8... Bearing member, 9... Motor,
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Detection part, 11... Motor control part, 12... Detection part, 13... Upper claw, 14... Lower claw, 15... Opening/closing drive part, 16... Solenoid, 17... Pin, 18... Head, 19... Disc, 20...Magazine, 21...Putsia.
Claims (1)
に沿つてボンデイング位置まで搬送する基板搬送
方法において、 前記基板を把持、開放する把持機構を設けたナ
ツトをネジ杆に装着して該ネジ杆の正逆回転によ
り前記把持機構を往復せしめ、 前記基板の前端縁を検出し、 該検出位置から前記ネジ杆が所定の回転回数だ
け回転したときに該ネジ杆を停止し、把持機構を
開放して前記基板を所定のボンデイング位置に置
く ことを特徴とする基板搬送方法。[Scope of Claims] 1. A substrate conveyance method in which a substrate to be bonded is conveyed along a guide rail to a bonding position, the nut having a gripping mechanism for gripping and releasing the substrate being attached to a threaded rod. The gripping mechanism is reciprocated by forward and reverse rotation of the screw rod, the front edge of the substrate is detected, and when the screw rod has rotated a predetermined number of rotations from the detection position, the screw rod is stopped and the gripping mechanism is activated. A method for transporting a substrate, comprising opening the substrate and placing the substrate at a predetermined bonding position.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61152633A JPS639946A (en) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | Method for carrying substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61152633A JPS639946A (en) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | Method for carrying substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS639946A JPS639946A (en) | 1988-01-16 |
JPH0528905B2 true JPH0528905B2 (en) | 1993-04-27 |
Family
ID=15544655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61152633A Granted JPS639946A (en) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | Method for carrying substrate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS639946A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002368376A (en) * | 2001-06-12 | 2002-12-20 | Matsushita Electric Works Ltd | Method of positioning connected board |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59163224A (en) * | 1983-03-07 | 1984-09-14 | Toshiba Corp | Lead frame conveyor |
JPS6067308A (en) * | 1983-09-16 | 1985-04-17 | Shinkawa Ltd | Lead frame transfer device |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP61152633A patent/JPS639946A/en active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS639946A (en) | 1988-01-16 |
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