JPH05272658A - Solenoid valve - Google Patents
Solenoid valveInfo
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- JPH05272658A JPH05272658A JP10159092A JP10159092A JPH05272658A JP H05272658 A JPH05272658 A JP H05272658A JP 10159092 A JP10159092 A JP 10159092A JP 10159092 A JP10159092 A JP 10159092A JP H05272658 A JPH05272658 A JP H05272658A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、半導体製造プ
ロセス等に用いられる電磁弁に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solenoid valve used in, for example, a semiconductor manufacturing process.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の斯種制御弁としては、実開昭59−
77676 号公報に示された電磁弁が知られている。この電
磁弁によればプランジャーの変位置が比較的自由に設計
でき、20ＳＬＭ程度以上の大流量まで制御可能であり、
また、他の種の制御弁に比べ安価であるという利点があ
る。しかしながら、この構成の制御弁によると、流体と
して特にガスを用いた場合、当該流体がプランジャーと
プランジャーパイプ内周面との間の僅かな空隙を介して
プランジャーの収容部分に入り込み、残留する。このた
め、流体（ガス）を切り換えた場合には、残留する流体
と新らたな流体とが混ざり合ってしまう問題点がある。
かかる問題点は、特に、いくつかのガスを同一の半導体
に対し切換えて与える半導体製造プロセスでは重大であ
る。従って、流体が入り込む部分の内表面積を小さく
し、かつ、滞留の生じにくい構造が望まれており、流体
がガスの場合、ガスパージ等で簡単に除去できることが
望ましい。2. Description of the Related Art As a conventional control valve of this type, there is an actual open valve 59-
The solenoid valve disclosed in Japanese Patent No. 77676 is known. With this solenoid valve, the displacement of the plunger can be designed relatively freely, and it is possible to control a large flow rate of 20 SLM or more.
It also has the advantage of being less expensive than other types of control valves. However, according to the control valve of this configuration, particularly when gas is used as the fluid, the fluid enters the accommodation portion of the plunger through the slight gap between the plunger and the inner peripheral surface of the plunger pipe, and remains there. To do. Therefore, when the fluid (gas) is switched, there is a problem that the residual fluid and the new fluid are mixed with each other.
Such a problem is particularly serious in a semiconductor manufacturing process in which several gases are switched and given to the same semiconductor. Therefore, there is a demand for a structure in which the inner surface area of the portion where the fluid enters is small and retention is unlikely to occur, and when the fluid is gas, it is desirable that it can be easily removed by gas purging or the like.
【０００３】上記に対し、実開平２−76859 号公報に示
されるようにダイヤフラムを用いてガスの残留部を無く
した構成の圧電素子による制御弁も知られている。この
構造の制御弁においては、ダイヤフラムが流体（ガス）
による内圧を受けるが、この内圧による力Ｆは、ダイヤ
フラムの有効面積をＳcm2 、内圧をＶkg／cm2 としたと
き、 Ｆ＝Ｓ・Ｖ で表わされ、例えば、Ｖ＝２kg／cm2 ，Ｓ＝４cm2 であ
るとき、Ｆ＝８kgであり、圧電素子の力が通常で10kg以
上であることから、制御が十分可能なものである。On the other hand, as disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 2-76859, there is also known a control valve using a piezoelectric element having a structure in which a residual gas portion is eliminated by using a diaphragm. In the control valve of this structure, the diaphragm is a fluid (gas).
When the effective area of the diaphragm is Scm 2 and the internal pressure is Vkg / cm 2 , the force F due to this internal pressure is expressed by F = S · V, for example, V = 2kg / cm 2 , When S = 4 cm 2 , F = 8 kg, and the force of the piezoelectric element is usually 10 kg or more, so that control is sufficiently possible.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例の圧電素子による制御弁は、圧電素子が有する問題
点を引き継いでいる。即ち、圧電素子のストロークは一
般的に、ＤＣ 150Ｖで数ミクロンと小さく、大流量制御
には向かない。また、制御電圧が高く、特別のＤＣ昇圧
回路が必要であり、また、安全性の観点からも優れてい
るとは言い難い。更に、圧電素子は薄い(0.2mm程度）セ
ラミックス板を多数枚積層して作成するもので構造的に
脆く、また、高価でもある。However, the above-mentioned conventional control valve using a piezoelectric element inherits the problems of the piezoelectric element. That is, the stroke of the piezoelectric element is generally as small as a few microns at DC 150V and is not suitable for large flow rate control. Further, the control voltage is high, a special DC booster circuit is required, and it is hard to say that it is excellent from the viewpoint of safety. Furthermore, the piezoelectric element is formed by laminating a large number of thin ceramic plates (about 0.2 mm), which is structurally fragile and expensive.
【０００５】上記の圧電素子による制御弁の問題点のう
ち、変位ストローク量が小さい点を補った制御弁として
特開昭63−199978号公報に示された制御弁が知られてい
る。この制御弁はストローク拡大構造を有する駆動力伝
達部材により、ストロークの拡大を図っている。しか
し、この構造の制御弁では、圧電素子の強い力によって
駆動伝達部材の舌片が比較的簡単に変形するものと考え
られ実用に向きにくい。また、圧電素子の変位量が数ミ
クロンと小さいことから、上記拡大構造によるストロー
ク拡大分が、機械的なガタやねじ部等の遊びによって吸
収されることがあり十分な効果を奏しにくいものであ
る。A control valve disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-199978 is known as a control valve which compensates for the problem of a small displacement stroke among the above-mentioned problems of the control valve using a piezoelectric element. This control valve has a stroke enlarged by a driving force transmission member having a stroke enlarged structure. However, in the control valve having this structure, it is considered that the tongue piece of the drive transmission member is deformed relatively easily by the strong force of the piezoelectric element, which is not suitable for practical use. Further, since the displacement amount of the piezoelectric element is as small as several microns, the stroke expansion amount due to the above-described expansion structure may be absorbed by the play of the mechanical backlash or the screw portion, and it is difficult to achieve a sufficient effect. ..
【０００６】そこで本発明では、ストロークは大きいが
力が十分得られないソレノイドタイプの弁駆動手段を有
する電磁弁でありながら、的確な弁制御の可能な電磁弁
を提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a solenoid valve having a solenoid stroke having a large stroke but not sufficiently exerting a force, but capable of precise valve control.
【０００７】また、流体（特にガス）が滞留しにくい構
造の電磁弁を提供することを目的とし、更に、溶接部や
樹脂等のような、流体の化学的作用により変質する部分
をなくすることの可能な電磁弁を提供することを目的と
する。Another object of the present invention is to provide an electromagnetic valve having a structure in which a fluid (especially gas) is less likely to stay, and further, to eliminate a portion such as a welded portion or a resin which is deteriorated by a chemical action of the fluid. It is intended to provide a solenoid valve capable of
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明に係る電磁弁は、
磁束を発生するソレノイドと、中空部を有し弁口側が開
口部となっている磁性体からなるダイアフラム体と、こ
のダイアフラム体の前記中空部に内蔵され、磁性体から
なり、前記ソレノイドにより発生される磁束を受けて移
動し前記弁口の開閉に係わる移動体とを備え、前記ソレ
ノイドが発生した磁束の磁路に前記ダイアフラム体と前
記移動体が配置されていることを特徴とする。The solenoid valve according to the present invention comprises:
A solenoid that generates a magnetic flux, a diaphragm body that is made of a magnetic material that has a hollow portion and has an opening on the valve opening side, and a diaphragm that is built in the hollow portion of the diaphragm body that is made of a magnetic material and that is generated by the solenoid. A moving body that receives the magnetic flux and moves to open and close the valve opening, and the diaphragm body and the moving body are arranged in the magnetic path of the magnetic flux generated by the solenoid.
【０００９】[0009]
【作用】本発明に係る電磁弁は以上の通りに構成される
ので、ソレノイドにより発生された磁束は、ダイアフラ
ム体、移動体が磁性体であり、磁路に配されていること
から、これらの中を通って当該ソレノイドに戻るルート
に延びることになり、磁力で弁体自体を移動させ得る構
造となる。このため、移動体は、駆動に強力な力を要す
るダイイアフラムの変位を生じさせることなく、自らを
通る磁束による磁力で単独に駆動され、的確に弁口の開
閉に係わる。Since the solenoid valve according to the present invention is constructed as described above, the magnetic flux generated by the solenoid has a diaphragm body and a moving body which are magnetic bodies and are arranged in the magnetic path. It extends through the route that returns to the solenoid through the inside, and has a structure in which the valve body itself can be moved by magnetic force. For this reason, the moving body is independently driven by the magnetic force of the magnetic flux passing through itself without causing displacement of the die diaphragm, which requires a strong force for driving, and is properly involved in opening and closing the valve port.
【００１０】また、ダイアフラム体は、溶接部や樹脂等
のような、流体の化学的作用により変質する部分を用い
ることなく、流体の流れる側とプランジャー側との間を
シールできるように働く。Further, the diaphragm body works so as to seal between the fluid flowing side and the plunger side without using a portion such as a welded portion or a resin which is deteriorated by the chemical action of the fluid.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明に係る電磁
弁を説明する。図１に本発明の一実施例に係る電磁弁を
示す。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A solenoid valve according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a solenoid valve according to an embodiment of the present invention.
【００１２】電磁弁のベース１は、直方体状であって両
端部にフィティング部２、３を備えており、フィティン
グ部２、３の外周部には、ネジ２Ａ、３Ａが形成されて
いる。ベース１の上面には、図２に斜視図が示されてい
るダイアフラム体４が載置され、ネジにより固定されて
いる。つまり、ダイアフラム体４の基部４１は平面形状
が正方形であって、四隅にネジが挿入される穴４２が穿
設されており、ベース１の上面の対応する位置に形成さ
れたネジ穴に上記穴４２が位置合わせされ、ネジ止めさ
れる。The base 1 of the solenoid valve has a rectangular parallelepiped shape and is provided with fitting portions 2 and 3 at both ends, and screws 2A and 3A are formed on the outer peripheral portions of the fitting portions 2 and 3. .. A diaphragm body 4 whose perspective view is shown in FIG. 2 is placed on the upper surface of the base 1, and is fixed by screws. That is, the base portion 41 of the diaphragm body 4 has a square planar shape, and holes 42 into which screws are inserted are formed at four corners, and the screw holes formed at the corresponding positions on the upper surface of the base 1 have the above holes. 42 is aligned and screwed.
【００１３】ダイアフラム体４の基部４１の中央部分か
らは、円筒状に筒部４３が立設されている。この円筒部
４３の上部にはネジ４４が形成されている。筒部４３の
内部は、図１から明らかなように中空に形成され、上面
の蓋はダイアフラム４５となる。このダイアフラム４５
の部分は薄肉に形成される。ダイアフラム体４は、磁性
体により構成される。From the central portion of the base portion 41 of the diaphragm body 4, a cylindrical portion 43 is erected in a cylindrical shape. A screw 44 is formed on the upper portion of the cylindrical portion 43. The inside of the cylindrical portion 43 is formed hollow as is clear from FIG. 1, and the lid on the upper surface serves as the diaphragm 45. This diaphragm 45
Is thinly formed. The diaphragm body 4 is made of a magnetic material.
【００１４】ダイアフラム体４が設けられたベース１の
上面中央部からは、下方に流体の流出口５が形成されて
おり、この流出口５はベース１の中央部で折れ曲げられ
てフィティング部３へ向かう。また、ダイアフラム体４
が設けられたベース１の上面の上記ダイアフラム体４の
近傍部からは、下方に流体の流入口６が形成されてお
り、この流入口６はベース１の略中央部で折れ曲げられ
てフィティング部２へ向かう。ダイアフラム体４とベー
ス１との間にはシール７及びＯリング８が介装されダイ
アフラム体４とベース１とにより形成される中空部が外
部と遮断される。ダイアフラム体４により形成される中
空部（弁室）には、弁体９が入っている。A fluid outlet 5 is formed downward from the center of the upper surface of the base 1 on which the diaphragm body 4 is provided. The outlet 5 is bent at the center of the base 1 to form a fitting portion. Head to 3. Also, the diaphragm body 4
A fluid inlet 6 is formed downward from the vicinity of the diaphragm body 4 on the upper surface of the base 1 on which the fitting 1 is provided. Head to Part 2. A seal 7 and an O-ring 8 are interposed between the diaphragm body 4 and the base 1, and the hollow portion formed by the diaphragm body 4 and the base 1 is shielded from the outside. A valve body 9 is contained in a hollow portion (valve chamber) formed by the diaphragm body 4.
【００１５】弁体９は、図３に斜視図が示されるように
略円柱状の上部９１の下に上部９１より小型の円柱状の
弁頭部９２が設けられている。上部９１の上面の中央点
から１２０度ごとの３カ所の位置には穴９３が穿設さ
れ、コイルバネ９４が入れられている。コイルバネ９４
は弁体９を流出口５の入口部である弁口５１側へ付勢す
る。上部９１の上面の中央点から１２０度ごとの位置で
あって、上記３カ所の穴９３と重ならない位置の周縁部
には、流体の滞留防止のための切欠溝９５が設けられて
いる。弁頭９２の先端部は弁口５１を囲むように壁部が
形成され、壁面がベース１の上面に当接するか離間する
かでオリフィスの調整がなされる。As shown in the perspective view of FIG. 3, the valve body 9 has a cylindrical valve head 92 smaller than the upper portion 91 under the substantially cylindrical upper portion 91. Holes 93 are formed at three positions at 120 degrees from the center point of the upper surface of the upper portion 91, and a coil spring 94 is inserted therein. Coil spring 94
Urges the valve element 9 toward the valve opening 51, which is the inlet of the outlet 5. Notch grooves 95 for preventing fluid retention are provided in the peripheral portion of the upper surface of the upper portion 91 at positions every 120 degrees from the center point and not overlapping with the three holes 93. A wall portion is formed at the tip end portion of the valve head 92 so as to surround the valve opening 51, and the orifice is adjusted depending on whether the wall surface is in contact with or away from the upper surface of the base 1.
【００１６】１０はケースであって、コップを逆さにし
た形状を有し、下端部の内側にはネジ２１が形成され、
ダイアフラム体４のネジ４４に螺合する。ケース１０の
天井部中央にはネジ穴２２が形成され、棒状のコア２３
（鉄心）の頭部の周縁に形成されたネジ２４と螺合す
る。ケース１０内には、コイル２５が巻回されたコイル
ボビン１１が内蔵されている。コイルボビン１１の中空
部にはコア２３が挿入されている。Reference numeral 10 denotes a case, which has an inverted cup shape and has a screw 21 formed inside the lower end thereof.
It is screwed into the screw 44 of the diaphragm body 4. A screw hole 22 is formed in the center of the ceiling of the case 10, and a rod-shaped core 23 is formed.
It is screwed with a screw 24 formed on the periphery of the head of the (iron core). A coil bobbin 11 around which a coil 25 is wound is built in the case 10. A core 23 is inserted in the hollow portion of the coil bobbin 11.
【００１７】ケース１０から上方へ突出したコア２３の
ネジ２４には固定ナット１２が螺合され、いわゆるダブ
ルナットによりコア２３を固定する。固定ナット１２の
斜視図が図４に示されている。コア２３の頭部の端面か
らは六角穴２６が穿設されこの六角穴２６に治具を入れ
て旋回することにより、コア２３の下端面とダイアフラ
ム４５の上面とのギャップｇ１を調整可能となってい
る。The fixing nut 12 is screwed into the screw 24 of the core 23 protruding upward from the case 10 and the core 23 is fixed by a so-called double nut. A perspective view of the fixing nut 12 is shown in FIG. A hexagonal hole 26 is bored from the end surface of the head of the core 23. By inserting a jig into the hexagonal hole 26 and turning, the gap g1 between the lower end surface of the core 23 and the upper surface of the diaphragm 45 can be adjusted. ing.
【００１８】上記の構成において、ケース１０、コア２
３も磁性体から成り、コイル２５によるソレノイドによ
り生じる磁束はコア２３からケース１０の天井部で折れ
曲り、ケース１０の周縁部を通りダイアフラム体４の円
筒部４３へ至り、更に、弁体９側へ折れ曲り、ここから
コア２３へと戻る。かかるループ状の磁路にダイアフラ
ム体４及び弁体９が配される。In the above structure, the case 10 and the core 2
3 is also made of a magnetic material, and the magnetic flux generated by the solenoid of the coil 25 is bent from the core 23 at the ceiling portion of the case 10, passes through the peripheral portion of the case 10 and reaches the cylindrical portion 43 of the diaphragm body 4, and further the valve body 9 side. It bends to and returns to the core 23 from here. The diaphragm body 4 and the valve body 9 are arranged in such a loop-shaped magnetic path.
【００１９】以上の通りに構成された電磁弁において
は、ギャップｇ１がコア２３のネジ込み量により適宜に
調整され、更に、必要に応じてコア２３のねじ込み量を
増加させてダイアフラム体４のダイアフラム４５を下方
に変位させて、ギャップｇ２を調整することも可能であ
る。また、バネ９４の強さも適宜に選択される。かくし
て、ギャップｇ１、ｇ２の調整と、バネ９４の強さの選
択とにより、弁体９の駆動力が設定され得る。In the solenoid valve constructed as described above, the gap g1 is appropriately adjusted by the screwing amount of the core 23, and further, the screwing amount of the core 23 is increased as necessary, and the diaphragm of the diaphragm body 4 is increased. It is also possible to displace 45 downward and adjust the gap g2. Also, the strength of the spring 94 is appropriately selected. Thus, the driving force of the valve body 9 can be set by adjusting the gaps g1 and g2 and selecting the strength of the spring 94.
【００２０】この電磁弁は、バネ９４により弁体９が弁
口５１側に押し付けられているので、ノーマリークロー
ズの制御弁として機能する。電流がコイル２５に流され
ると、弁体９がコア２３側に引き付けられ、バネ９４に
抗して電流に応じた電界の力で弁の開度がコントロール
される。流体は、流入口６から弁体９が設けられている
弁室に至り、弁口５１を介して流出口５へと流れる。This solenoid valve functions as a normally closed control valve because the valve body 9 is pressed against the valve port 51 side by the spring 94. When an electric current is applied to the coil 25, the valve element 9 is attracted to the core 23 side, and the valve opening is controlled by the force of the electric field corresponding to the electric current against the spring 94. The fluid reaches the valve chamber in which the valve body 9 is provided from the inflow port 6, and flows to the outflow port 5 via the valve port 51.
【００２１】以上の構成により、流体がプランジャー側
へ侵入しここで滞留することがなく、特に半導体の製造
工程では好適である。そして、流体が流れる流路の部分
に溶接部がなく、耐食性にも優れる。また、弁体９の周
縁部に切欠溝９５が形成されているため、ここにおいて
も流体の滞留を防止することができる。また、ダイアフ
ラム４５自体が弁体９を押圧する構成ではないから、ダ
イアフラム４５の変位がオリフィスの調整に影響するこ
とがない。従って、流体の内圧が高くダイアフラム４５
に圧力がかかる場合でも適切な流量制御を保証する。更
に、ダイアフラム４５が変位しにくい場合（例えば、ダ
イアフラム４５の径が小さい場合等）であっても、弁体
９が磁界により移動することにより広範囲な流量の制御
が可能である。With the above structure, the fluid does not enter the plunger side and stays there, which is particularly preferable in the semiconductor manufacturing process. Further, there is no welded portion in the portion of the flow path through which the fluid flows, and the corrosion resistance is excellent. Further, since the notch groove 95 is formed in the peripheral edge portion of the valve body 9, the retention of the fluid can be prevented also here. Further, since the diaphragm 45 itself does not press the valve body 9, the displacement of the diaphragm 45 does not affect the adjustment of the orifice. Therefore, the internal pressure of the fluid is high and the diaphragm 45
Ensures proper flow control even when pressure is applied to. Further, even when the diaphragm 45 is not easily displaced (for example, when the diameter of the diaphragm 45 is small), the valve body 9 is moved by the magnetic field, so that a wide range of flow rate can be controlled.
【００２２】また、コア２３の頭部に形成されているネ
ジ２４により図１のギャップｇ１を調整して、磁界の強
度を同じ電流に対して変えることができ弁体９のストロ
ークの調整を行うことができる。更に、コア２３を下方
に移動さるとダイアフラム４５が押圧されてギャップｇ
２も小さくなり、さらに、磁界を強めることが可能であ
る。また、バネ９４が３カ所に設けられ弁体９を平らに
押すので弁頭９２の下端面が適切にベース１の上面に接
し、シール効果が高い。このため、弁体の一部（上記シ
ールの部分）に合成樹脂を用いることなく、より耐食性
の優れた金属のみで弁体を構成できる。もちろん、弁頭
９２の下端面と、これに対向するベースの上面とは鏡面
仕上げされる。Further, by adjusting the gap g1 in FIG. 1 by the screw 24 formed on the head of the core 23, the strength of the magnetic field can be changed for the same current, and the stroke of the valve body 9 can be adjusted. be able to. Further, when the core 23 is moved downward, the diaphragm 45 is pressed and the gap g
2 is also reduced, and it is possible to further strengthen the magnetic field. Further, since the springs 94 are provided at three places and push the valve body 9 evenly, the lower end surface of the valve head 92 appropriately contacts the upper surface of the base 1, and the sealing effect is high. For this reason, the valve body can be made of only a metal having more excellent corrosion resistance without using a synthetic resin for a part of the valve body (the seal portion). Of course, the lower end surface of the valve head 92 and the upper surface of the base facing it are mirror-finished.
【００２３】図５に、小流量の流体制御を行うための要
部構成を示す。ここでは、弁体９Ａを円盤状として、下
端面の中央部に小さな穴５４を形成する。円盤状の本体
部とその下部に形成された筒状の根部から構成される弁
座体５２が穴５４の直下に配される。ベース１Ａの流出
口５に至る部分は、弁座体５２の根部が圧入される穴５
６が形成されている。弁座体５２の上面中央部はテーパ
状の穴となっている。剛球５３は弁体９Ａの穴５４に圧
入される。その他の構成は図１の電磁弁に等しい。この
構成によれば、剛球５３が弁体９Ａと共に上下し弁座体
５２の上面中央部のテーパ状の穴との間でオリフィスが
調整される。テーパ状の穴は、その径が流出口５の径よ
り小さく、小流量の制御がなされることになる。FIG. 5 shows the construction of the main parts for controlling a small flow rate of fluid. Here, the valve body 9A is disc-shaped, and a small hole 54 is formed in the central portion of the lower end surface. A valve seat body 52, which is composed of a disc-shaped main body and a cylindrical root formed in the lower part of the main body, is arranged immediately below the hole 54. A hole 5 into which the root portion of the valve seat body 52 is press-fitted is a portion reaching the outlet 5 of the base 1A.
6 is formed. The central portion of the upper surface of the valve seat body 52 is a tapered hole. The hard sphere 53 is pressed into the hole 54 of the valve body 9A. Other configurations are the same as those of the solenoid valve of FIG. According to this configuration, the rigid ball 53 moves up and down together with the valve body 9A, and the orifice is adjusted between the rigid ball 53 and the tapered hole at the center of the upper surface of the valve seat body 52. Since the diameter of the tapered hole is smaller than the diameter of the outlet 5, a small flow rate is controlled.
【００２４】図６には、他の構成例が示されている。同
図において、図１と同一の構成要素には、同一の符号を
付し重複する説明を省略する。この実施例では、弁体９
Ｂのバネ９４が介装される穴９３から下方に細孔６１が
連通し、流体の滞留を防止する構造となっている。ま
た、ダイアフラム体４Ａの中空部の天井付近の側壁から
は横方向に穴６２が形成され、この穴６２はダイアフラ
ム体４Ａの筒部４３の中央で折れ曲って下端面へ抜けて
いる。６３は、シール用のＯリングである。ダイアフラ
ム体４Ａの下端面の穴６２の開口部には、流体の流入口
の開口部が対向している。このため、流体は流入口６か
ら穴６２を通って弁室の天井部付近から弁口５１へ向か
って流れ、弁室内における流体の滞留が少なくなる。FIG. 6 shows another structural example. In the figure, the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted. In this embodiment, the valve body 9
The pores 61 communicate downward from the holes 93 in which the B springs 94 are interposed, and have a structure for preventing fluid retention. Further, a hole 62 is formed in the lateral direction from the side wall near the ceiling of the hollow portion of the diaphragm body 4A, and the hole 62 is bent at the center of the cylindrical portion 43 of the diaphragm body 4A and extends to the lower end surface. 63 is an O-ring for sealing. The opening of the fluid inlet is opposed to the opening of the hole 62 on the lower end surface of the diaphragm body 4A. Therefore, the fluid flows from the inflow port 6 through the hole 62 toward the valve port 51 from the vicinity of the ceiling portion of the valve chamber, and the retention of the fluid in the valve chamber is reduced.
【００２５】なお、上記実施例は、弁体自体が弁口を開
閉する。しかし、他の実施例では、移動体が、磁力によ
り移動し、弁室の別部材である弁体に移動を生じさせ弁
口の開閉が行われる。即ち、間接的に弁口の開閉を行
う。この場合の実施例では、磁力により第一に移動する
移動体の移動方向と、弁体の移動方向は必ずしも一致し
ない。即ち、弁室内には、移動体、弁体が少なくとも入
れられ、必要に応じて弁体に移動体の力を伝達する部材
（機構）も入れられる。従って、かかる実施例により、
ノーマリーオープンタイプの電磁弁が提供される。In the above embodiment, the valve body itself opens and closes the valve opening. However, in another embodiment, the moving body is moved by the magnetic force to cause the valve body, which is a separate member of the valve chamber, to move, thereby opening and closing the valve port. That is, the valve opening is opened and closed indirectly. In the embodiment in this case, the moving direction of the moving body that first moves due to the magnetic force does not necessarily match the moving direction of the valve body. That is, at least a moving body and a valve body are placed in the valve chamber, and a member (mechanism) for transmitting the force of the moving body to the valve body is also placed as necessary. Therefore, according to such an embodiment,
A normally open type solenoid valve is provided.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ソ
レノイドにより生じた磁束がダイアフラム体を通ってダ
イアフラム体の中空部の移動体に作用するので、移動体
が磁界により移動しオリフィスの調整がなされる。そし
て、ダイアフラム体により流体のプランジャー側への侵
入が阻止され滞留することがなく、特に半導体の製造工
程では好適である。また、ダイアフラム体が移動体を押
圧する構成ではなく、磁力により移動体を移動させる構
成となるためダイアフラムの変位がオリフィスの調整に
影響することがなく、流体の圧力を考慮せず流量調整を
的確になし得る効果がある。As described above, according to the present invention, since the magnetic flux generated by the solenoid acts on the moving body in the hollow portion of the diaphragm body through the diaphragm body, the moving body is moved by the magnetic field to adjust the orifice. Is done. The diaphragm body prevents the fluid from entering the plunger side and does not stay, which is particularly suitable in the semiconductor manufacturing process. Further, since the diaphragm body does not press the moving body but moves the moving body by magnetic force, the displacement of the diaphragm does not affect the adjustment of the orifice, and the flow rate is adjusted accurately without considering the fluid pressure. There is an effect that can be achieved.
【図１】本発明の一実施例の断面図。FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例の要部斜視図。FIG. 2 is a perspective view of an essential part of an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施例の要部断面図。FIG. 3 is a sectional view of an essential part of an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の一実施例の要部断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of an essential part of an embodiment of the present invention.
【図５】本発明の他の実施例の要部断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view of the essential parts of another embodiment of the present invention.
【図６】本発明の他の実施例の断面図。FIG. 6 is a sectional view of another embodiment of the present invention.
１ ベース ２，３ フィ
ティング部 ４ ダイアフラム体 ５ 流出口 ６ 流入口 ７ シール ８ Ｏリング ９ 弁体 10 ケース 11 コイルボ
ビン 23 コア 25 コイル 51 弁口 94 コイルバ
ネ 95 切欠溝1 Base 2, 3 Fitting part 4 Diaphragm body 5 Outlet port 6 Inlet port 7 Seal 8 O-ring 9 Valve body 10 Case 11 Coil bobbin 23 Core 25 Coil 51 Valve port 94 Coil spring 95 Notch groove
Claims (5)
るダイアフラム体と、 このダイアフラム体の前記中空部に内蔵され、磁性体か
らなり、前記ソレノイドにより発生される磁束を受けて
移動し前記弁口の開閉に係わる移動体とを備え、 前記ソレノイドが発生した磁束の磁路に前記ダイアフラ
ム体と前記移動体が配置されていることを特徴とする電
磁弁。1. A solenoid for generating magnetic flux, a diaphragm body made of a magnetic body having a hollow portion and an opening on the valve opening side, and a magnetic body built in the hollow portion of the diaphragm body and made of a magnetic body. A moving body that receives a magnetic flux generated by the solenoid and moves to open and close the valve opening, and the diaphragm body and the moving body are arranged in a magnetic path of the magnetic flux generated by the solenoid. And solenoid valve.
り、蓋部がダイアフラムとなっている磁性体からなるダ
イアフラム体と、 このダイアフラム体の前記中空部に内蔵され、磁性体か
らなり、前記ソレノイドにより発生される磁束を受けて
移動し前記弁口の開閉に係わる移動体とを備え、 前記ソレノイドが発生した磁束の磁路に前記ダイアフラ
ム体と前記移動体が配置されていることを特徴とする電
磁弁。2. A solenoid for generating a magnetic flux, a cylindrical body having a hollow portion with a lid, a valve body side serving as an opening, and a lid body serving as a diaphragm. A moving body that is built in a hollow portion, is made of a magnetic material, moves by receiving the magnetic flux generated by the solenoid, and is involved in opening and closing the valve opening; and the diaphragm body in the magnetic path of the magnetic flux generated by the solenoid. An electromagnetic valve, wherein the moving body is arranged.
れ、このコアの先端と移動体との間のギャップの調整機
構が備えられていることを特徴とする請求項１または請
求項２記載の電磁弁。3. The solenoid according to claim 1, wherein a core is inserted into the hollow portion of the solenoid, and a mechanism for adjusting a gap between the tip of the core and the moving body is provided. solenoid valve.
されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のい
ずれか１項に記載の電磁弁。4. The solenoid valve according to claim 1, wherein the moving body is biased toward the valve opening side by a spring.
た弁体であることを特徴とする請求項１乃至請求項４の
いずれか１項に記載の電磁弁。5. The solenoid valve according to claim 1, wherein the moving body is a valve body having a portion for opening and closing the valve opening.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4101590A JP2655967B2 (en) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | solenoid valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4101590A JP2655967B2 (en) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | solenoid valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05272658A true JPH05272658A (en) | 1993-10-19 |
| JP2655967B2 JP2655967B2 (en) | 1997-09-24 |
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ID=14304604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4101590A Expired - Fee Related JP2655967B2 (en) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | solenoid valve |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655967B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119435758A (en) * | 2025-01-13 | 2025-02-14 | 嘉创科技(珠海)有限公司 | Diaphragm valve |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60151476A (en) * | 1984-01-14 | 1985-08-09 | Takashi Hosokawa | Solenoid valve |
| JPS61175102A (en) * | 1985-01-25 | 1986-08-06 | ドレツサー・インダストリーズ・インコーポレーテツド | Wet type brake assembly and driving axle cooling lubricatingdevice |
-
1992
- 1992-03-27 JP JP4101590A patent/JP2655967B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60151476A (en) * | 1984-01-14 | 1985-08-09 | Takashi Hosokawa | Solenoid valve |
| JPS61175102A (en) * | 1985-01-25 | 1986-08-06 | ドレツサー・インダストリーズ・インコーポレーテツド | Wet type brake assembly and driving axle cooling lubricatingdevice |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119435758A (en) * | 2025-01-13 | 2025-02-14 | 嘉创科技(珠海)有限公司 | Diaphragm valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2655967B2 (en) | 1997-09-24 |
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