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JPH0527145A - Optical fiber connector - Google Patents

Optical fiber connector

Info

Publication number
JPH0527145A
JPH0527145A JP20217391A JP20217391A JPH0527145A JP H0527145 A JPH0527145 A JP H0527145A JP 20217391 A JP20217391 A JP 20217391A JP 20217391 A JP20217391 A JP 20217391A JP H0527145 A JPH0527145 A JP H0527145A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
laser
face
main body
protective member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20217391A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideo Sagehashi
秀夫 提橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Topcon Corp
Original Assignee
Topcon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Topcon Corp filed Critical Topcon Corp
Priority to JP20217391A priority Critical patent/JPH0527145A/en
Publication of JPH0527145A publication Critical patent/JPH0527145A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

PURPOSE:To easily clean the tip of an optical fiber, to surely position the optical fiber and to make the tip of the optical fiber hardly stained. CONSTITUTION:A protective member 42 is provided corresponding to the end face 40 of an optical fiber cord 6 in an optical fiber connector 8 for connecting the optical fiber cord 6 which guides a laser beam L to a main body 10. The protective member 42 is attachably/detachably mounted and the end face 40 of the optical fiber cord 6 is positioned in the protective member 42. This end face 40 is provided with a positioning means (a supporting member 30, the lower end 8b of a main body 8a and a member 38) for positioning the optical fiber at the specified position of a laser device 10.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、レーザ装置に対して
レーザ光を導くための光ファイバーを接続する光ファイ
バーコネクタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber connector for connecting an optical fiber for guiding laser light to a laser device.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ装置、たとえばレーザ治療装置
は、レーザ装置に光ファイバーを接続し、レーザ装置の
レーザ光を光ファイバーを介して患部に照射して患部を
治療する。
2. Description of the Related Art A laser device, for example, a laser treatment device, connects an optical fiber to the laser device and irradiates the affected part with the laser light of the laser device through the optical fiber to treat the affected part.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】この種のレーザ装置に
おいては、光ファイバーの先端が何ら被覆あるいは保護
されていないレーザ装置では、光ファイバー先端が汚れ
易い。汚れた状態で光ファイバーを用いて高レベルのレ
ーザ照射を行った場合、この汚れ物が光を吸引して発熱
し、光ファイバーの先端を溶かしてしまう。
In the laser device of this type, the tip of the optical fiber is easily soiled in the laser device in which the tip of the optical fiber is not covered or protected at all. When high-level laser irradiation is performed using an optical fiber in a dirty state, the dirty object attracts light to generate heat and melts the tip of the optical fiber.

【0004】また、従来の別のレーザ装置では、光ファ
イバーの先端側に被覆管が固定されている。光ファイバ
ーの先端はこの被覆管の中に引込んでいる。このため、
光ファイバーをレーザ装置に取付けるときに、光ファイ
バーの先端が外から見えず光ファイバーをレーザ装置に
対して位置決めする精度が得にくい。また、光ファイバ
ー先端が汚れたときにクリーニングしたい場合に、クリ
ーニングがしずらい。
In another conventional laser device, a coating tube is fixed to the tip side of the optical fiber. The tip of the optical fiber is retracted into this cladding tube. For this reason,
When the optical fiber is attached to the laser device, the tip of the optical fiber cannot be seen from the outside, and it is difficult to obtain the accuracy of positioning the optical fiber with respect to the laser device. Also, if you want to clean the tip of the optical fiber when it gets dirty, it is difficult to clean.

【0005】この発明は光ファイバーの先端をクリーニ
ングしやすく、光ファイバーの位置決めが確実にでき、
しかも光ファイバーの先端の汚れがつきにくい光ファイ
バーコネクタを提供することを目的とする。
According to the present invention, the tip of the optical fiber can be easily cleaned, the positioning of the optical fiber can be surely performed,
Moreover, it is an object to provide an optical fiber connector in which the tip of the optical fiber does not easily get dirty.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明は、レーザ光L
を導光するための光ファイバー(実施例では光ファイバ
ーコネクタ6)をレーザ装置(実施例では本体10)に
接続するための光ファイバーコネクタ8において、光フ
ァイバーの端面40に対応して保護部材42を設け、こ
の保護部材42は着脱自在に取付けられ、この保護部材
42の中に光ファイバーの端面40が位置され、この端
面40は、レーザ装置(実施例では本体10)の所定位
置に位置決めする位置決め手段(実施例では支持部材3
0、本体8aの下端8bおよび部材38)により位置決
めされる構成としたことを特徴とする光ファイバーコネ
クタである。
The present invention is a laser beam L
In the optical fiber connector 8 for connecting the optical fiber (optical fiber connector 6 in the embodiment) for guiding the light to the laser device (main body 10 in the embodiment), the protection member 42 is provided corresponding to the end face 40 of the optical fiber. The protective member 42 is removably attached, and the end face 40 of the optical fiber is positioned in the protective member 42. The end face 40 is positioned by a positioning means (embodiment 10) of the laser device (main body 10 in the embodiment). Then support member 3
0, the lower end 8b of the main body 8a, and the member 38) for positioning.

【0007】[0007]

【実施例】図1と図2は、形成外科手術用のレーザ装置
を示している。
1 and 2 show a laser device for plastic surgery.

【0008】本体10の中には、レーザ発光手段12が
内蔵されている。このレーザ発光手段12はルビーレー
ザである。レーザ発光手段12はレーザ共振器14とミ
ラー3、4を有している。レーザ発光手段12のレーザ
共振器14の中にはルビーロッド18およびフラッシュ
ランプ20を有する。
A laser emitting means 12 is built in the main body 10. The laser emitting means 12 is a ruby laser. The laser emitting means 12 has a laser resonator 14 and mirrors 3 and 4. The laser resonator 14 of the laser emitting means 12 has a ruby rod 18 and a flash lamp 20.

【0009】本体10の中には治療部位Hを照準するた
めのHe−Neレーザ1を有している。
The main body 10 has a He-Ne laser 1 for aiming at the treatment site H.

【0010】He−Neレーザ1の照準光は、ミラー
2,3,4及び集光レンズ5、導光部4の光ファイバー
コード6、ハンドピース21のレンズ7を介して治療部
位Hを照準する。
The aiming light of the He-Ne laser 1 is aimed at the treatment site H via the mirrors 2, 3, 4 and the condenser lens 5, the optical fiber cord 6 of the light guide section 4, and the lens 7 of the handpiece 21.

【0011】同様に、レーザ発光手段12のレーザ光L
は、ミラー4で反射して集光レンズ5、光ファイバーコ
ード6、レンズ7を介して治療部位Hに集光させる。
Similarly, the laser light L of the laser emitting means 12
Is reflected by the mirror 4 and focused on the treatment site H via the condenser lens 5, the optical fiber cord 6 and the lens 7.

【0012】図2の導光部4は光ファイバーコード6と
光ファイバーコネクタ部8を有している。光ファイバー
コード6の一端はハンドピース21側に接続されてい
る。光ファイバーコード6の他端は光ファイバーコネク
タ部8に接続されている。
The light guide section 4 of FIG. 2 has an optical fiber cord 6 and an optical fiber connector section 8. One end of the optical fiber cord 6 is connected to the handpiece 21 side. The other end of the optical fiber cord 6 is connected to the optical fiber connector section 8.

【0013】図3は光ファイバーコネクタ部8とその周
辺を示している。光ファイバーコネクタ部8は光ファイ
バーコード6の一端を支持部材30に対して位置決めし
て固定するためのものである。
FIG. 3 shows the optical fiber connector section 8 and its periphery. The optical fiber connector portion 8 is for positioning and fixing one end of the optical fiber cord 6 with respect to the support member 30.

【0014】支持部材30は本体10に対して固定され
ている。支持部材30には2本のピン36が固定されて
いる。光ファイバーコネクタ部8の操作部分32には2
つの溝34が形成されている。ピン36を溝34にそれ
ぞれかみあわせて操作部分32を回すことにより、光フ
ァイバーコネクタ部8を支持部材30に対して着脱自在
に固定することができる。
The support member 30 is fixed to the main body 10. Two pins 36 are fixed to the support member 30. 2 is provided in the operation portion 32 of the optical fiber connector portion 8.
One groove 34 is formed. The optical fiber connector portion 8 can be detachably fixed to the support member 30 by engaging the pins 36 with the grooves 34 and turning the operation portion 32.

【0015】光ファイバーコード6の部分6aには被覆
部材77が配置されている。被覆部材77はフェルール
ともいい、本体8aに対してねじ40aにより固定され
ている。 被覆部材77の下端面40bは、光ファイバ
ーコード6の端面40および支持部材30の下面と同一
面にある。
A covering member 77 is arranged on the portion 6a of the optical fiber cord 6. The covering member 77 is also called a ferrule and is fixed to the main body 8a with a screw 40a. The lower end surface 40b of the covering member 77 is flush with the end surface 40 of the optical fiber cord 6 and the lower surface of the support member 30.

【0016】本体8aの下側には保護部材42がねじ7
8により本体8aに対して固定されている。保護部材4
2はチューブ状のもので、被覆部材77の下端面40b
よりもさらに下に突出している。
A protective member 42 is provided on the lower side of the main body 8a with a screw 7.
It is fixed to the main body 8a by 8. Protective member 4
Reference numeral 2 is a tubular shape, and the lower end surface 40b of the covering member 77
Projects further down than.

【0017】光ファイバーコネクタ部8の本体8aを支
持部材30の中に挿入すると、本体8aの下端8bは突
き当て用の部材38の上面に突き当たる。この突き当て
作用により光ファイバーコード6の端面40の光軸方向
に関する位置決めが行える。この位置決めを正しくする
ことにより、レーザ光Lの集光が端面40で正確に行わ
れる。つまり、支持部材30、本体8aの下端8bおよ
び部材38は、端面40をレーザ装置の本体10の所定
位置に位置決め手段を構成する。
When the main body 8a of the optical fiber connector portion 8 is inserted into the support member 30, the lower end 8b of the main body 8a abuts the upper surface of the abutting member 38. By this abutting action, the end face 40 of the optical fiber cord 6 can be positioned in the optical axis direction. The laser beam L is accurately focused on the end surface 40 by making this positioning correct. That is, the support member 30, the lower end 8b of the main body 8a, and the member 38 constitute a positioning means with the end face 40 at a predetermined position of the main body 10 of the laser apparatus.

【0018】集光レンズ5はレンズセルともいう部材3
8により支持されている。集光レンズ5は被覆部材40
の下に位置している。さらに集光レンズ5の下の位置に
はミラー4が配置されている。レーザ発光手段12から
のレーザ光Lは、ミラー4により反射され集光レンズ5
により光ファイバーコード6の下端6bの端面40で集
光される。
The condenser lens 5 is a member 3 also called a lens cell.
Supported by 8. The condenser lens 5 is a covering member 40.
It is located below. Further, a mirror 4 is arranged below the condenser lens 5. The laser light L from the laser emitting means 12 is reflected by the mirror 4 and the condenser lens 5
Thus, the light is focused on the end face 40 of the lower end 6b of the optical fiber cord 6.

【0019】図4は、すでに図2で概略示したレーザ発
光手段12のレーザ共振器14を示している。
FIG. 4 shows the laser resonator 14 of the laser emitting means 12 already outlined in FIG.

【0020】レーザ共振器14は、サポートブロック8
0、共振器用ミラー調整装置55,55およびベース5
5aを備えている。
The laser resonator 14 includes a support block 8
0, mirror adjusting devices 55 and 55 for resonator and base 5
5a.

【0021】共振器用ミラー調整装置55,55は左右
対称形状となっている。共振器用ミラー調整装置55,
55は、それぞれ2つの調整用把持部50を有してい
る。
The resonator mirror adjusting devices 55, 55 have a bilaterally symmetrical shape. Resonator mirror adjusting device 55,
Each 55 has two adjusting grips 50.

【0022】これら把持部50は図5で示すように配置
されている。2つの把持部50は、サポート46,48
に設けられている。これら2つの把持部50を適宜操作
することによりレーザ共振器用ミラー16、16のレー
ザ光軸に対する位置を正しく調整することができる。す
なわち図5の2つの把持部50を操作することにより、
レーザ光軸に対して上下、左右方向レーザに共振器用ミ
ラー16、16を動かすことができる。
These grips 50 are arranged as shown in FIG. The two grips 50 include supports 46 and 48.
It is provided in. By appropriately operating these two grips 50, the positions of the laser resonator mirrors 16 and 16 with respect to the laser optical axis can be correctly adjusted. That is, by operating the two grips 50 of FIG.
The resonator mirrors 16 and 16 can be moved vertically and horizontally with respect to the laser optical axis.

【0023】1つの把持部50を代表して説明する。把
持部50は、図4に示すようにローレット部62を有し
ている。このローレット部62は平目ローレットであ
り、マイクロメータヘッド45の外周に対して設定され
ている。マイクロメータヘッド54はサポート46に対
して回転できるようになっている。
The single grip portion 50 will be described as a representative. The grip portion 50 has a knurled portion 62 as shown in FIG. The knurl portion 62 is a flat knurl and is set on the outer circumference of the micrometer head 45. The micrometer head 54 is rotatable with respect to the support 46.

【0024】マイクロメータヘッド54には目盛54a
が形成されている。
The micrometer head 54 has a scale 54a.
Are formed.

【0025】軸70には取り付け部材56がボルト74
により固定されている。この取り付け部材56には弾性
部材60がねじ58により固定されている。弾性部材6
0は凸部60aを有している。
A mounting member 56 is attached to the shaft 70 by a bolt 74.
It is fixed by. An elastic member 60 is fixed to the mounting member 56 with a screw 58. Elastic member 6
0 has a convex portion 60a.

【0026】図6に示すようにこの凸部60aはローレ
ット部62の溝62aに嵌り込むようになっている。ロ
ーレット部62の溝62aのピッチによるマイクロメー
タヘッドの調整移動量は、レーザ共振器用ミラー16、
16の調整に必要な最小移動量よりも小さく設定されて
いる。
As shown in FIG. 6, the convex portion 60a is adapted to fit into the groove 62a of the knurled portion 62. The amount of adjustment movement of the micrometer head depending on the pitch of the grooves 62a of the knurled portion 62 depends on the mirror 16 for the laser resonator,
It is set to be smaller than the minimum movement amount required for 16 adjustments.

【0027】図7に示すように軸70に対して取り付け
部材56が取り付けられている。
As shown in FIG. 7, a mounting member 56 is mounted on the shaft 70.

【0028】図8は、図4で示したレーザ発光手段12
のサポートブロック80および集光用の楕円ミラー86
を示している。
FIG. 8 shows the laser emitting means 12 shown in FIG.
Support block 80 and elliptical mirror 86 for collecting light
Is shown.

【0029】サポートブロック80は、中空部分80a
を有している。この中空部分80aには、図9に示すよ
うに楕円ミラー86,120が嵌込まれている。図8に
は楕円ミラー86のみが示されている。
The support block 80 has a hollow portion 80a.
have. Elliptical mirrors 86 and 120 are fitted in the hollow portion 80a as shown in FIG. Only the elliptical mirror 86 is shown in FIG.

【0030】図9や図11で示すように、楕円ミラー8
6と120の内面にはミラー面128と130がそれぞ
れ形成されている。凹面のミラー面128、130を合
せると断面が楕円形のミラー面が形成される。この凹面
のミラー面128,130の間には、すでに示したルビ
ーロッド18およびフラッシュランプ20が平行に一定
間隔をおいて配置されている。
As shown in FIGS. 9 and 11, the elliptical mirror 8
Mirror surfaces 128 and 130 are formed on the inner surfaces of 6 and 120, respectively. When the concave mirror surfaces 128 and 130 are combined, a mirror surface having an elliptical cross section is formed. Between the concave mirror surfaces 128 and 130, the ruby rod 18 and the flash lamp 20 already shown are arranged in parallel at regular intervals.

【0031】図8に示すように、ルビーロッド18の端
部にはそれぞれ端子122,123により接続されてい
る。またフラッシュランプ20は端子92,100に接
続されている。端子92,100はそれぞれ絶縁サポー
ト90,102により支持されている。
As shown in FIG. 8, terminals 122 and 123 are connected to the ends of the ruby rod 18, respectively. The flash lamp 20 is connected to terminals 92 and 100. The terminals 92 and 100 are supported by insulating supports 90 and 102, respectively.

【0032】サポートブロック80の下部には冷却水導
入パイプ82および冷却水排出パイプ84が固定されて
いる。
A cooling water introduction pipe 82 and a cooling water discharge pipe 84 are fixed to the lower portion of the support block 80.

【0033】冷却水導入パイプ82は、通路110を通
り矢印で示すように、楕円ミラー86,120の間の空
間を経て通路112を介して冷却水排出パイプ84に通
じている。これらの通路のところでは適宜シール材によ
りシールが施されている。
The cooling water introduction pipe 82 passes through the passage 110 and passes through the space between the elliptical mirrors 86 and 120 to reach the cooling water discharge pipe 84 via the passage 112. At these passages, a sealing material is appropriately provided for sealing.

【0034】図9と図10に示すように楕円ミラー8
6,120は、ねじ132によりそれぞれサポートブロ
ック80に対して固定されている。ねじ132をはずせ
ば、図11に示すように楕円ミラー86,120は、矢
印で示すようにサポートブロック80の一方と他方から
水平方向または横方向に嵌込むことができ、あるいはは
ずすことができる。
As shown in FIGS. 9 and 10, the elliptical mirror 8 is used.
The screws 6 and 120 are fixed to the support block 80 by screws 132. With the screws 132 removed, the elliptical mirrors 86, 120 can be horizontally or laterally fitted or removed from one and the other of the support blocks 80, as shown by the arrows, as shown in FIG.

【0035】[0035]

【発明の効果】この発明によれば、保護部材が光ファイ
バーに対して着脱自在に取付けられており、保護部材を
はずせば光ファイバーの先端を容易にクリーニングでき
る。
According to the present invention, the protective member is detachably attached to the optical fiber, and the tip of the optical fiber can be easily cleaned by removing the protective member.

【0036】また光ファイバーの端面が保護部材の中に
位置されているので光ファイバーの端面に汚れがつきに
くい。
Further, since the end face of the optical fiber is located inside the protective member, the end face of the optical fiber is less likely to get dirty.

【0037】さらに光ファイバーの端面をレーザ装置の
所定位置に正しく位置決めができる。このためレーザ光
を光ファイバーの端面に正確に集光できるので、光ファ
イバーの端面を焼損するおそれがない。
Further, the end face of the optical fiber can be correctly positioned at a predetermined position of the laser device. Therefore, the laser light can be accurately focused on the end surface of the optical fiber, and there is no risk of burning the end surface of the optical fiber.

【0038】したがって高い信頼性で治療や加工が行え
る。
Therefore, treatment and processing can be performed with high reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の光ファイバーコネクタを備えたレー
ザ治療装置の外観を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing an external appearance of a laser treatment apparatus including an optical fiber connector of the present invention.

【図2】この発明の上記レーザ治療装置の構成を概略示
す図。
FIG. 2 is a diagram schematically showing a configuration of the laser treatment apparatus of the present invention.

【図3】この発明の光ファイバーコネクタを示す断面
図。
FIG. 3 is a sectional view showing an optical fiber connector of the present invention.

【図4】この発明の図2のレーザ治療装置におけるレー
ザ発光手段を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a laser emitting means in the laser treatment apparatus of FIG. 2 of the present invention.

【図5】この発明の上記レーザ発光手段の側面図。FIG. 5 is a side view of the laser emitting means of the present invention.

【図6】この発明の上記レーザ発光手段の共振器用ミラ
ー調整装置の一部を示す側面図。
FIG. 6 is a side view showing a part of a resonator mirror adjusting device of the laser emitting means of the present invention.

【図7】この発明の図4のA−A線における断面図。7 is a sectional view taken along line AA of FIG. 4 of the present invention.

【図8】この発明の図2のレーザ発光手段のサポートブ
ロックを示す断面図。
8 is a sectional view showing a support block of the laser emitting means of FIG. 2 of the present invention.

【図9】この発明の上記サポートブロックおよび集光用
の楕円ミラーを示す断面図。
FIG. 9 is a sectional view showing the support block of the present invention and an elliptical mirror for condensing light.

【図10】この発明の上記サポートブロックおよび集光
用の楕円ミラーを示す側面図。
FIG. 10 is a side view showing the support block of the present invention and an elliptical mirror for condensing light.

【図11】この発明の上記サポートブロックから集光用
の楕円ミラーを取り外した状態を示す側面図。
FIG. 11 is a side view showing a state in which an elliptical mirror for collecting light is removed from the support block of the present invention.

【符号の説明】 6 光ファイバーコード 8 光ファイバーコネクタ 10 本体 12 レーザ発光手段 14 レーザ共振器 16 共振器用ミラー 18 ルビーロッド 20 フラッシュランプ 42 保護部材 50 調整用把持部 55 共振器用ミラー調整装置 80 サポートブロック 82 冷却水導入パイプ 84 冷却水排出パイプ 86 楕円ミラー 110 通路 112 通路 120 楕円ミラー ◆[Explanation of Codes] 6 Optical Fiber Code 8 Optical Fiber Connector 10 Main Body 12 Laser Emitting Means 14 Laser Resonator 16 Resonator Mirror 18 Ruby Rod 20 Flash Lamp 42 Protective Member 50 Adjustment Grip 55 Resonator Mirror Adjuster 80 Support Block 82 Cooling Water introduction pipe 84 Cooling water discharge pipe 86 Elliptical mirror 110 Passage 112 Passage 120 Elliptical mirror ◆

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 レーザ光Lを導光するための光ファイバ
ー(6)をレーザ装置(10)に接続するための光ファ
イバーコネクタ(8)において、光ファイバー(6)の
端面(40)に対応して保護部材(42)を設け、この
保護部材(42)は着脱自在に取付けられ、この保護部
材(42)の中に光ファイバー(6)の端面(40)が
位置され、この端面(40)は、レーザ装置(10)の
所定位置に位置決めする位置決め手段(8b、30、3
8)により位置決めされる構成としたことを特徴とする
光ファイバーコネクタ。
Claim: What is claimed is: 1. An optical fiber connector (8) for connecting an optical fiber (6) for guiding a laser beam L to a laser device (10), an end face (40) of the optical fiber (6). A protective member (42) is provided in correspondence with the protective member (42), the protective member (42) is detachably attached, and the end face (40) of the optical fiber (6) is located in the protective member (42). Reference numeral (40) is a positioning means (8b, 30, 3) for positioning the laser device (10) at a predetermined position.
An optical fiber connector characterized by being positioned by 8).
JP20217391A 1991-07-18 1991-07-18 Optical fiber connector Pending JPH0527145A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20217391A JPH0527145A (en) 1991-07-18 1991-07-18 Optical fiber connector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20217391A JPH0527145A (en) 1991-07-18 1991-07-18 Optical fiber connector

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0527145A true JPH0527145A (en) 1993-02-05

Family

ID=16453179

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20217391A Pending JPH0527145A (en) 1991-07-18 1991-07-18 Optical fiber connector

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0527145A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6329242B1 (en) 1996-07-23 2001-12-11 United Microelectronics Corp. Method of fabricating a semiconductor memory device having a tree-type capacitor
JP2003241030A (en) * 2002-02-15 2003-08-27 Mitsubishi Electric Corp Fiber transfer optical system and solid-state laser beam machining device using the system

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