[go: up one dir, main page]

JPH05261919A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

Info

Publication number
JPH05261919A
JPH05261919A JP6410092A JP6410092A JPH05261919A JP H05261919 A JPH05261919 A JP H05261919A JP 6410092 A JP6410092 A JP 6410092A JP 6410092 A JP6410092 A JP 6410092A JP H05261919 A JPH05261919 A JP H05261919A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric element
ink
thickness
nozzle
pressure chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6410092A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michitoku Kuami
道徳 朽網
Noboru Takada
高田  昇
Katsunori Yamagishi
勝則 山岸
Yoshiaki Sakamoto
義明 坂本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP6410092A priority Critical patent/JPH05261919A/en
Publication of JPH05261919A publication Critical patent/JPH05261919A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インクジェットヘッドの構造に関し、粒子化
効率を高く出来る、即ち粒子化電圧の低下を目的とす
る。 【構成】 ノズルと、ノズルに対応する圧力室と、ノズ
ルに共通なインクタンクと、これらを連通するインク通
路とを有し、圧力室に厚さが5〜50μmの範囲にある振
動板を介して厚さが1〜50μmの範囲内にある圧電素子
を接続し、圧電素子の駆動に依って対応するノズルから
インク滴を噴出して記録媒体上にインクドットを形成し
記録を行うもので、又、圧電素子と振動板との厚さの比
は0.8 〜1.2 の範囲内にあるように形成する。
(57) [Summary] [Object] With regard to the structure of an inkjet head, the aim is to increase the particle formation efficiency, that is, to reduce the particle formation voltage. [Structure] A nozzle, a pressure chamber corresponding to the nozzle, an ink tank common to the nozzle, and an ink passage communicating with each other are provided, and a pressure plate having a thickness of 5 to 50 μm is used as a vibration plate. A piezoelectric element having a thickness within the range of 1 to 50 μm is connected, and ink droplets are ejected from corresponding nozzles by driving the piezoelectric element to form ink dots on a recording medium for recording. Further, the piezoelectric element and the vibration plate are formed so that the thickness ratio thereof is in the range of 0.8 to 1.2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
の構造に関する。インクジェットプリンタは、記録媒体
に非接触なヘッドからインクの微小粒子を直接記録媒体
に吹き付けて記録を行うものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of an ink jet head. Ink jet printers perform recording by directly ejecting fine particles of ink onto a recording medium from a head that is not in contact with the recording medium.

【0002】その結果、記録媒体に対する制限が少な
い、カラー化が容易、高速記録、低騒音と言う特徴を有
している。
As a result, there are few restrictions on the recording medium, easy colorization, high-speed recording, and low noise.

【0003】[0003]

【従来の技術】図3の側面図に示す如く、インクジェッ
トプリンタは、記録媒体1を巻き掛けるドラム2と、ド
ラム2に対して平行移動するキャリッジ3と、キャリッ
ジ3に搭載されてドラム2に対向したインクジェットヘ
ッド4と、インクジェットヘッド4にインクを供給する
インクタンク5及び供給ホース6等から構成される。
2. Description of the Related Art As shown in the side view of FIG. 3, an ink jet printer includes a drum 2 around which a recording medium 1 is wound, a carriage 3 that moves in parallel with the drum 2, and a carriage 3 mounted on the carriage 3 and facing the drum 2. The inkjet head 4 described above, an ink tank 5 that supplies ink to the inkjet head 4, a supply hose 6, and the like.

【0004】インクジェットヘッド4は、図4の斜視図
に示す如くインク通路の形成方法としてステンレス、ガ
ラス等の基板にエッチングで溝を彫る方法を用いてい
る。そして、これらエッチングで形成された流路板をス
テンレス等で形成される振動板と重ね合わせ、拡散接合
等の手法に依って相互を接合している。
As shown in the perspective view of FIG. 4, the ink jet head 4 uses a method of forming a groove on a substrate such as stainless steel or glass by etching as a method of forming an ink passage. Then, the flow path plate formed by these etchings is overlapped with the vibration plate formed of stainless steel or the like, and they are bonded to each other by a method such as diffusion bonding.

【0005】接合後、ノズル7が開口した面7aをラッ
プ加工してその平面性を確保する。圧力室8には、圧力
を発生する駆動部として、両面の振動板13上の圧力室8
に対応する部分に圧電素子9を接着剤で接着している。
After the joining, the surface 7a where the nozzle 7 is opened is lapped to secure its flatness. The pressure chamber 8 is provided on both sides of the vibrating plate 13 as a driving unit for generating pressure.
The piezoelectric element 9 is adhered to the portion corresponding to the above with an adhesive.

【0006】圧電素子9からの電圧印加の為の信号線
は、半田付け、或いは電極の圧着等の手段で接続してい
る。共通インク室10とインクタンク5とは供給ホース6
に依って連通されている。
The signal line for voltage application from the piezoelectric element 9 is connected by means such as soldering or pressure bonding of electrodes. The common ink chamber 10 and the ink tank 5 have a supply hose 6
Is communicated by.

【0007】圧電素子9に電圧が印加されると、圧電素
子9は幅方向に収縮し、その結果、振動板13が圧力室8
の内部に撓む。この撓みに依って圧力室8の内部に圧力
が発生し、ノズル7からインク粒子が噴射する。
When a voltage is applied to the piezoelectric element 9, the piezoelectric element 9 contracts in the width direction, and as a result, the vibrating plate 13 moves in the pressure chamber 8.
Flex inside. Due to this bending, pressure is generated inside the pressure chamber 8, and ink particles are ejected from the nozzle 7.

【0008】インク粒子の速度としては、通常3〜10m
/sが必要である。
The speed of ink particles is usually 3 to 10 m.
/ S is required.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】インク粒子を噴出する
速度を上記の如くするには、従来80〜120Vと非常に高い
印加電圧を必要としていた。
In order to control the speed of ejecting ink particles as described above, a very high applied voltage of 80 to 120 V has conventionally been required.

【0010】このような電圧を実現するには、電源及び
駆動回路が複雑で高コストになると言う問題点があっ
た。本発明は、粒子化効率を高く出来る、即ち粒子化電
圧の低下を目的とするものである。
In order to realize such a voltage, there is a problem that the power supply and the driving circuit are complicated and the cost becomes high. The present invention aims to increase the particle formation efficiency, that is, to reduce the particle formation voltage.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明に於いては、図1
の部分拡大側面図に示す如く、少なくとも1つ以上のノ
ズル7と、ノズル7に対応する圧力室8と、これらのノ
ズル7に共通なインクタンクと、これらを連通するイン
ク通路とを有し、圧力室8に厚さが5〜50μmの範囲内
にある振動板13を介して厚さが1〜50μmの範囲内にあ
る圧電素子9を接続し、圧電素子9の駆動に依って対応
するノズル7からインク滴を噴出して記録媒体上にイン
クドットを形成し記録を行うものであって、又、圧電素
子9と振動板13との厚さの比は0.8 〜1.2 の範囲内にあ
るようにしたものである。
In the present invention, FIG.
As shown in the partially enlarged side view of FIG. 1, it has at least one or more nozzles 7, pressure chambers 8 corresponding to the nozzles 7, ink tanks common to these nozzles 7, and ink passages communicating these. A piezoelectric element 9 having a thickness in the range of 1 to 50 μm is connected to the pressure chamber 8 via a vibration plate 13 having a thickness in the range of 5 to 50 μm, and a corresponding nozzle is driven according to the driving of the piezoelectric element 9. The ink droplets are ejected from 7 to form ink dots on the recording medium for recording, and the thickness ratio between the piezoelectric element 9 and the vibrating plate 13 is in the range of 0.8 to 1.2. It is the one.

【0012】[0012]

【作用】圧電素子の厚みと振動板の厚みの関係を特定す
ることで粒子化に必要な電圧を低下したものである。
The function is to reduce the voltage required for particle formation by specifying the relationship between the thickness of the piezoelectric element and the thickness of the diaphragm.

【0013】粒子化モデルに基づいた解析を進めた結
果、圧電素子の厚さには粒子化効率を最大にする最適厚
さが存在することが判った。又、この厚さは、接合され
る振動板の厚さに依存することも判った。
As a result of proceeding with the analysis based on the graining model, it was found that the piezoelectric element has an optimum thickness for maximizing graining efficiency. It was also found that this thickness depends on the thickness of the diaphragm to be joined.

【0014】図2は、振動板の厚さをパラメータに圧電
素子の厚さと噴射するインク粒子の速度の関係を解析的
手段に依って求めたものである。振動板は薄くする程、
粒子化速度は増加した。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the thickness of the piezoelectric element and the velocity of the ejected ink particles obtained by analytical means using the thickness of the vibration plate as a parameter. The thinner the diaphragm,
The rate of granulation increased.

【0015】圧電素子の厚さは、厚過ぎると変位に大き
な力が必要となること、また圧電素子に加わる電界が低
下することから粒子化速度は低下する。逆に圧電素子の
厚さが薄くなり過ぎると、発生する力が小さくなる為
に、粒子化速度は低下する。
If the thickness of the piezoelectric element is too thick, a large force is required for displacement, and the electric field applied to the piezoelectric element decreases, so that the particle formation rate decreases. On the other hand, if the piezoelectric element is too thin, the force generated will be small and the particle formation rate will be low.

【0016】振動板の厚さが50μmの場合に圧電素子の
最適な厚さは、略50μmであった。振動板の厚さは、薄
い方が効率が上がるが、振動板を薄くすると、それに伴
って圧電素子の厚さも薄くした方がより効率が上がる。
When the thickness of the diaphragm is 50 μm, the optimum thickness of the piezoelectric element is about 50 μm. The thinner the diaphragm is, the more efficient it is. However, if the diaphragm is thin, the thinner the piezoelectric element is, the more efficient it is.

【0017】本発明は、このような調査に基づいて圧電
素子及び振動板の厚さを特定したものである。圧電素子
の厚さとしては1〜50μm、又、圧電素子と振動板の厚
みの組合わせを0.8 〜1.2 とすることで粒子化電圧を低
く抑えられる。
The present invention specifies the thicknesses of the piezoelectric element and the diaphragm based on such an investigation. The thickness of the piezoelectric element is 1 to 50 μm, and the combination of the thickness of the piezoelectric element and the thickness of the diaphragm is 0.8 to 1.2, so that the particle formation voltage can be suppressed low.

【0018】圧電素子の面積を大きくしても電圧は低く
出来るが、圧電素子を大きくするとインクジェットヘッ
ド自体が大きくなると言う欠点がある。本発明のように
圧電素子及び振動板の厚さを特定することで、圧電素子
の面積を小さく抑え、且つ粒子化電圧を低く出来る。
Although the voltage can be lowered even if the area of the piezoelectric element is increased, there is a drawback that the ink jet head itself becomes large when the piezoelectric element is increased. By specifying the thicknesses of the piezoelectric element and the vibration plate as in the present invention, the area of the piezoelectric element can be suppressed small and the particle formation voltage can be lowered.

【0019】[0019]

【実施例】本発明に於いては、図1の部分拡大側面図に
示す如く、少なくとも1つ以上のノズル7と、ノズル7
に対応する圧力室8と、これらのノズル7に共通なイン
クタンクと、これらを連通するインク通路とを有し、圧
力室8に厚さが5〜50μmの範囲内にあるステンレス又
はシリコン又はガラスで形成された振動板13を介して厚
さが1〜50μmの範囲内にある圧電素子9を接続し、圧
電素子9の駆動に依って対応するノズル7からインク滴
を噴出して記録媒体上にインクドットを形成し記録を行
うものであって、圧電素子9と振動板13との厚さの比は
0.8 〜1.2 の範囲内にあり、圧電素子9の圧電定数d31
が1.0 ×10-10 m/V 〜6.0 ×10-10 m/V の範囲内にある
ようにしたものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the present invention, as shown in a partially enlarged side view of FIG. 1, at least one nozzle 7 and nozzles 7 are provided.
Corresponding to the pressure chamber 8, an ink tank common to these nozzles 7, and an ink passage communicating with each other, and the pressure chamber 8 has a thickness within a range of 5 to 50 μm of stainless steel, silicon, or glass. The piezoelectric element 9 having a thickness within the range of 1 to 50 μm is connected through the vibration plate 13 formed in 1., and ink droplets are ejected from the corresponding nozzle 7 according to the driving of the piezoelectric element 9 so that the piezoelectric element 9 is formed on the recording medium. Ink dots are formed on the surface for recording, and the thickness ratio between the piezoelectric element 9 and the diaphragm 13 is
Within the range of 0.8 to 1.2, the piezoelectric constant d31 of the piezoelectric element 9 is
Is in the range of 1.0 × 10 -10 m / V to 6.0 × 10 -10 m / V.

【0020】即ち、図1の部分拡大側面図に示す如く、
1枚のSUSの基板14にエッチングでインク流路を形成
したもので、ノズル7の出口の大きさは、幅(W)50μ
m、高さ(H)30μm、とし、圧電素子9としては、厚
みTp=50μm、振動板13はSUSの板で厚みをt=50
μmとした。
That is, as shown in the partially enlarged side view of FIG.
An ink flow path is formed on one SUS substrate 14 by etching, and the size of the outlet of the nozzle 7 is 50 μW (W).
m, height (H) 30 μm, the piezoelectric element 9 has a thickness Tp = 50 μm, and the vibrating plate 13 is a SUS plate having a thickness t = 50.
μm.

【0021】圧電素子9の材料は、N−10(トーキン
製)であり、SUSはSUS304を用いた。圧電素子
9の大きさは、幅w=1mm、長さL=5mmである。
The material of the piezoelectric element 9 was N-10 (manufactured by Tokin), and SUS304 was SUS304. The piezoelectric element 9 has a width w = 1 mm and a length L = 5 mm.

【0022】振動板13と流路の接合は、拡散接合に依っ
て行い、圧電素子9と振動板13との接合は、通常のエポ
キシ系の接着剤を使用した。この試作インクジェットヘ
ッドの圧電素子9に電圧を印加し、ノズル7から噴射す
るインク粒子の速度を測定した結果、電圧40Vで粒子速
度9m/sが得られた。
The vibrating plate 13 and the flow path are joined by diffusion joining, and the piezoelectric element 9 and the vibrating plate 13 are joined by using a normal epoxy adhesive. As a result of applying a voltage to the piezoelectric element 9 of this prototype inkjet head and measuring the speed of the ink particles ejected from the nozzle 7, a particle speed of 9 m / s was obtained at a voltage of 40V.

【0023】比較の為に、従来技術の振動板厚さt=10
0 μm、圧電素子の厚さTp=100μmで同様の実験を
行った結果、粒子速度9m/sを得る為には電圧として
80Vが必要であった。
For comparison, the prior art diaphragm thickness t = 10.
As a result of performing the same experiment with 0 μm and the thickness Tp of the piezoelectric element = 100 μm, in order to obtain the particle velocity of 9 m / s, the voltage was changed to
80V was needed.

【0024】更に、第2の実施例として、振動板13の厚
さをt=30μm、圧電素子9の厚さをTp=50μmとし
て同様の実験を行った結果、電圧40Vで粒子速度16m/
sが得られ、第1の実施例に比して更に高い効率が得ら
れた。
Further, as a second embodiment, the same experiment was conducted with the thickness of the vibrating plate 13 being t = 30 μm and the thickness of the piezoelectric element 9 being Tp = 50 μm. As a result, a particle velocity of 16 m /
s was obtained, and higher efficiency was obtained as compared with the first example.

【0025】第3の実施例として、振動板13の厚さをt
=5μm、圧電素子9の厚さをTp=5μmとして同様
の実験を行った結果、電圧20Vで粒子速度20m/sが得
られた。
As a third embodiment, the thickness of the diaphragm 13 is t
= 5 μm, and the thickness of the piezoelectric element 9 was Tp = 5 μm, the same experiment was performed, and as a result, a particle velocity of 20 m / s was obtained at a voltage of 20V.

【0026】第4の実施例として、シリコンの基板にエ
ッチングで流路を形成し、その上にt=30μmの厚さの
シリコンの振動板13を接合し、更にその上に厚さTp=
50μmの圧電素子9を接着したインクジェットヘッドを
試作し、粒子化実験を行った結果、電圧40Vで粒子速度
14m/sが得られた。
As a fourth embodiment, a flow path is formed on a silicon substrate by etching, a silicon vibration plate 13 having a thickness of t = 30 μm is bonded thereon, and a thickness Tp =
An inkjet head with a piezoelectric element 9 of 50 μm adhered was prototyped, and a particle experiment was conducted.
14 m / s was obtained.

【0027】圧電素子9の駆動電圧としては、40V以下
が望ましく、圧電素子9の厚さは、Tp=1〜50μmが
これを満足する条件であって、振動板13の厚さはt=5
〜50μmが必要である。
The drive voltage of the piezoelectric element 9 is preferably 40 V or less, the thickness of the piezoelectric element 9 is Tp = 1 to 50 μm, which satisfies this condition, and the thickness of the diaphragm 13 is t = 5.
~ 50 μm is required.

【0028】t=5μm以下の振動板13では、インクを
注入する際に圧力に耐えられずに破壊する現象が見られ
実用的ではない。使用する圧電素子9としては、通常の
ジルコンチタン酸鉛PZTをはじめ、PNNT、PLZ
T等があり、これらの圧電定数d3は、1.0 ×10-10 m/
V 〜6.0×10-10 m/V の範囲内にある。
The vibrating plate 13 of t = 5 μm or less is not practical because it may break without being able to withstand pressure when injecting ink. As the piezoelectric element 9 to be used, usual lead zirconate titanate PZT, PNNT, PLZ
T, etc., and their piezoelectric constant d3 is 1.0 × 10 −10 m /
Within the range of V to 6.0 × 10 -10 m / V.

【0029】圧電素子9は、例えば厚さ100 μmと50μ
mの振動板に対しては最適な厚みが異なる。即ち、粒子
化電圧を最小に出来る、又は一定電圧の場合粒子化速度
が最大となると言う点で圧電素子9に最適な厚みが存在
する為、本発明の対象となる各条件では、圧電素子9と
振動板13との厚さの比は0.8 〜1.2 の範囲内にあること
が最も電圧を低く出来ることが判った。
The piezoelectric element 9 has a thickness of 100 μm and 50 μm, for example.
The optimum thickness is different for the diaphragm of m. That is, the piezoelectric element 9 has an optimum thickness in that the particle formation voltage can be minimized or the particle formation rate becomes maximum when the voltage is constant. It was found that the voltage can be minimized when the thickness ratio between the diaphragm 13 and the diaphragm 13 is in the range of 0.8 to 1.2.

【0030】本発明が適用出来る振動板13の材料として
は、SUSの他にシリコン、ガラス、セラミックス等が
考えられ、これらの材料の選択に依って本発明の効果が
大幅に低下するものではない。
As the material of the diaphragm 13 to which the present invention can be applied, silicon, glass, ceramics and the like are conceivable in addition to SUS, and the effect of the present invention is not significantly reduced by the selection of these materials. ..

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明に依って、インクの粒子化の効率
を高くすることが出来、記録に必要な駆動電圧を低く抑
えることが出来る等、産業上に多大の効果を奏する。
Industrial Applicability According to the present invention, the efficiency of ink particle formation can be increased, and the driving voltage required for recording can be suppressed to a low level.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明のインクジェットヘッドの部分拡大側
面図、
FIG. 1 is a partially enlarged side view of an inkjet head of the present invention,

【図2】 圧電素子の厚さと粒子速度の関係を示す図、FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the thickness of a piezoelectric element and particle velocity,

【図3】 インクジェットプリンタの側面図、FIG. 3 is a side view of the inkjet printer,

【図4】 インクジェットヘッドの斜視図、FIG. 4 is a perspective view of an inkjet head,

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 記録媒体、 7 ノズル、 8 圧力室、 9 圧電素子、 13 振動板、 14 基板、 1 recording medium, 7 nozzles, 8 pressure chambers, 9 piezoelectric elements, 13 diaphragms, 14 substrates,

フロントページの続き (72)発明者 坂本 義明 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内Continued Front Page (72) Inventor Yoshiaki Sakamoto 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Fujitsu Limited

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも1つ以上のノズル(7) と、 該ノズル(7) に対応する圧力室(8) と、 これらのノズル(7) に共通なインクタンクと、 これらを連通するインク通路とを有し、 前記圧力室(8) に厚さが5〜50μmの範囲内にある振動
板(13)を介して厚さが1〜50μmの範囲内にある圧電素
子(9) を接続し、 前記圧電素子(9) の駆動に依って対応するノズル(7) か
らインク滴を噴出して記録媒体上にインクドットを形成
し記録を行うことを特徴とするドロップオンデマンド型
のインクジェットヘッド。
1. At least one nozzle (7), a pressure chamber (8) corresponding to the nozzle (7), an ink tank common to these nozzles (7), and an ink passage communicating with these. And a piezoelectric element (9) having a thickness of 1 to 50 μm is connected to the pressure chamber (8) through a vibration plate (13) having a thickness of 5 to 50 μm. A drop-on-demand type ink jet head characterized in that an ink droplet is ejected from a corresponding nozzle (7) by driving the piezoelectric element (9) to form an ink dot on a recording medium for recording.
【請求項2】 少なくとも1つ以上のノズル(7) と、 該ノズル(7) に対応する圧力室(8) と、 これらのノズル(7) に共通なインクタンクと、 これらを連通するインク通路とを有し、 前記圧力室(8) に振動板(13)を介して圧電素子(9) を接
続し、 前記圧電素子(9) の駆動に依って対応するノズル(7) か
らインク滴を噴出して記録媒体上にインクドットを形成
し記録を行うインクジェットヘッドに於いて、 前記圧電素子(9) と前記振動板(13)との厚さの比は0.8
〜1.2 の範囲内にあることを特徴とするドロップオンデ
マンド型のインクジェットヘッド。
2. At least one nozzle (7), a pressure chamber (8) corresponding to the nozzle (7), an ink tank common to these nozzles (7), and an ink passage communicating these. A piezoelectric element (9) is connected to the pressure chamber (8) through a vibration plate (13), and ink droplets are ejected from the corresponding nozzle (7) by driving the piezoelectric element (9). In an ink jet head that ejects to form ink dots on a recording medium for recording, the thickness ratio between the piezoelectric element (9) and the vibration plate (13) is 0.8.
A drop-on-demand type inkjet head characterized by being in the range of up to 1.2.
JP6410092A 1992-03-19 1992-03-19 Ink jet head Pending JPH05261919A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6410092A JPH05261919A (en) 1992-03-19 1992-03-19 Ink jet head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6410092A JPH05261919A (en) 1992-03-19 1992-03-19 Ink jet head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05261919A true JPH05261919A (en) 1993-10-12

Family

ID=13248324

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6410092A Pending JPH05261919A (en) 1992-03-19 1992-03-19 Ink jet head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05261919A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6471342B1 (en) 1998-09-04 2002-10-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ink-jet head
US6502929B1 (en) 1993-12-24 2003-01-07 Seiko Epson Corporation Laminated ink jet recording head having a plurality of actuator units

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6502929B1 (en) 1993-12-24 2003-01-07 Seiko Epson Corporation Laminated ink jet recording head having a plurality of actuator units
US6893117B2 (en) 1993-12-24 2005-05-17 Seiko Epson Corporation Laminated ink jet recording head
US6902262B2 (en) 1993-12-24 2005-06-07 Seiko Epson Corporation Laminated ink jet recording head
US6471342B1 (en) 1998-09-04 2002-10-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ink-jet head

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4251912B2 (en) Image forming apparatus
JP2715001B2 (en) High density inkjet printer head with two U-shaped channel drives
JP2003159800A (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2009160841A (en) Liquid ejecting head manufacturing method, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2008114555A (en) Manufacturing method of liquid jet head unit
EP1306216B1 (en) Piezoelectric vibrator unit
JP2004066496A (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2002046281A (en) Ink jet recording head, method of manufacturing the same, and ink jet recording apparatus
JPH05261919A (en) Ink jet head
JP3384958B2 (en) Ink jet recording apparatus and manufacturing method thereof
JP2011005774A (en) Piezoelectric actuator, method for manufacturing the same, head cartridge, liquid droplet discharging device, and micro pump
JP2003276196A (en) Ink jet recording head, and ink jet printer mounted with it
JP4138420B2 (en) Droplet ejection head, inkjet recording apparatus, image forming apparatus, and apparatus for ejecting droplets
JP7122051B1 (en) How to drive the print head
JP2011014794A (en) Piezoelectric actuator, droplet discharge head, and image formation device
JP4307808B2 (en) Droplet discharge head and inkjet recording apparatus
JP2004306396A (en) Liquid droplet ejection head and its manufacturing process, ink cartridge and ink jet recorder
JPH04263952A (en) Ink jet recording head
JP2007045017A (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JPH0976513A (en) Ink jet device
JP4056052B2 (en) Droplet discharge head and inkjet recording apparatus
JPH0939230A (en) Ink jet recorder
JPH07304171A (en) Ink jet device
JP2000326508A (en) Ink jet head and manufacture thereof
JPH08300647A (en) Inkjet head

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20010313