JPH05254130A - インクジェットプリンタヘッドの製作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インクを加圧する圧力発生手段の駆動部をア
レイ状に連設して連続方向と直交する上下方向に分極し
たインクジェットプリンタヘッドにおいて、製品が高性
能となる製作方法を実現する。 【構成】 駆動部６や圧力室等を形成する空隙が各部に
位置する圧力発生手段２を圧電性セラミックの射出成形
か押出成形で形成し、この圧電性セラミック２と誘電率
が同等の充填材１１や分極治具で空隙を充填して疑似平
板１２を形成し、この疑似平板１２の上下面に分極電極
１３，１４を設けて圧力発生手段２を上下方向に分極す
るようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、オンデマンド方式のイ
ンクジェットプリンタヘッドの製作方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】現在、静粛で高密度印刷が可能なプリン
タとして、オリフィスからインク滴を吐出させて印刷用
紙に定着させるインクジェットプリンタなどが実用化さ
れている。

【０００３】例えば、オンデマンド方式のインクジェッ
トプリンタヘッドでは、アレイ状に連設された駆動部が
予め連続方向と直交する上下方向に分極された圧力発生
手段を設け、この圧力発生手段の駆動部をオリフィスと
インク供給路とが連通した圧力室に対向配置した構造な
どとなっている。そして、このようなインクジェットプ
リンタヘッドでは、印刷画像に対応した駆動電力で圧力
発生手段の駆動部を選択的に変形させ、この変形する圧
力発生手段の駆動部で圧力室内のインクを加圧してオリ
フィスから吐出させるようになっている。

【０００４】そして、現在では上述のようなインクジェ
ットプリンタヘッドの圧力発生手段として、圧電性セラ
ミックを使用することが提案されている。この圧電性セ
ラミックは、耐蝕性や強度が良好であるので、圧力室な
どを形成する構造材としても利用可能であり、その生産
性向上と高密度化とが要望されている。このようなイン
クジェットプリンタヘッドとしては、短冊状や円筒状に
形成した圧電性セラミックを圧力室毎に設けたものが実
用化されており、また、板状の圧電性セラミックを二次
加工したりグリーンシートに加工を行なうなどして圧力
発生手段を形成することが提案されている。

【０００５】例えば、特開昭55-17575号公報に開示され
たインクジェットプリンタヘッドでは、各々の表面に選
択エッチング形成された凹溝が対向するように二枚の平
板状の圧電性セラミックを接合することで、連通した凹
溝からなる空隙を圧力室として圧電性セラミックが構造
材と圧力発生手段とを兼用するようになっている。同様
に、特開昭62-56150号公報や特開昭63-129173号公報及
び特開平2-150355号公報に開示されたインクジェットプ
リンタヘッドでは、片面や両面にダイシング等の切削加
工で凹溝が形成された平板状の圧電性セラミックに平板
状のカバープレートを接合する構造となっており、やは
り凹溝内の空隙を圧力室として圧電性セラミックが構造
材と圧力発生手段とを兼用するようになっている。

【０００６】また、特開平2-92644号公報に開示された
インクジェットプリンタヘッドでは、平板状の圧電性セ
ラミックをフォトリソグラフィーによるエッチングで櫛
歯状に成形し、その分割された先端部を圧力発生手段と
して利用するようになっている。さらに、特開昭63-173
64号公報に開示されたインクジェットプリンタヘッドで
は、ダイシング等の切削加工で櫛歯状に成形した二枚の
平板状の圧電性セラミックをスペーサを介して接合し、
その分割された先端部間にスペーサで形成された空隙を
圧力室として圧電性セラミックが構造材と圧力発生手段
とを兼用するようになっている。また、特開昭63-25275
0号公報に開示されたインクジェットプリンタヘッドで
は、ダイヤモンドカッタによる切削加工やレーザ加工で
櫛歯状に成形した二枚の平板状の圧電性セラミックを接
合して二枚の平板状のカバープレートで被い、圧電性セ
ラミックの分割された先端部間とカバープレートとで形
成された空隙を圧力室として圧電性セラミックが構造材
と圧力発生手段とを兼用するようになっている。

【０００７】さらに、特開昭63-149459号公報に開示さ
れたインクジェットプリンタヘッドでは、プレス加工や
レーザ加工で所定形状の貫通溝を形成するなどした複数
のグリーンシートを順次積層し、これを焼成した圧電性
セラミック内の空隙を圧力室やオリフィスとして圧電性
セラミックが構造材と圧力発生手段とを兼用するように
なっている。

【０００８】そして、特開昭62-101453号公報に開示さ
れたインクジェットプリンタヘッドでは、予めフォトエ
ッチングした感光性樹脂で空孔パターンを形成してお
き、プレス加工等で所定形状の貫通溝を形成するなどし
た複数のグリーンシートを空孔パターンを介して積層
し、これを加圧後に焼成した圧電性セラミック内の感光
性樹脂の空孔パターンを脱バインダで除去し、この空隙
を圧力室などとして圧電性セラミックが構造材と圧力発
生手段とを兼用するようになっている。

【０００９】ここで、特開昭55-17575号公報や特開平2-
92644号公報には、圧電性セラミックを選択エッチング
で成形することが開示されているが、実際には圧電性セ
ラミックは湿式の化学的なエッチングが困難で、イオン
ミリング法などが実施されているが、これは加工速度が
極めて低いために装置の生産性を阻害することになる。

【００１０】また、特開昭62-56150号公報、特開昭63-1
29173号公報、特開平2-150355号公報、特開昭63-17364
号公報には、圧電性セラミックをダイシング等の切削加
工で成形することが開示されているが、セラミックは硬
度が極めて高いので、この切削加工は低速で装置の生産
性が阻害され、工具寿命も低下することになるので好ま
しくない。

【００１１】そして、特開昭63-252750号公報には、圧
電性セラミックをレーザ加工で成形することが開示され
ているが、レーザ加工の精度を向上させるためにはレー
ザ光の強度を低減する必要があり、やはり加工速度が低
下して装置の生産性が阻害されることになる。

【００１２】さらに、特開昭63-149459号公報には、プ
レス加工やレーザ加工で成形したグリーンシートを焼成
して所定形状の圧電性セラミックを得ることが開示され
ているが、レーザ加工は精度を向上させるためにレーザ
光の強度を低減する必要があって生産性を阻害すること
になり、プレス加工では三次元形状の成形が困難である
と共に加工部にクラックなどが生じやすいので好ましく
ない。

【００１３】そして、特開昭62-101453号公報には、プ
レス加工等で成形したグリーンシートを感光性樹脂の空
孔パターンを介して積層し、その焼成後に空孔パターン
を除去することで所定形状の圧電性セラミックを得るこ
とが開示されているが、これでは製作工程が増加して作
業も煩雑であるため、装置の生産性が著しく低下するこ
とになって好ましくない。

【００１４】そこで、このような課題を解決するインク
ジェットプリンタヘッドの製作方法として本出願人が提
案した特願平3-161172号では、アレイ状に駆動部が連続
する圧力発生手段を圧電性セラミックの型成形の一つで
ある射出成形で形成することで、圧電性セラミック製の
圧力発生手段を均質に量産してインクジェットプリンタ
ヘッドの生産性を向上させるようになっている。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】本出願人が提案した特
願平3-161172号のインクジェットプリンタヘッドの製作
方法では、アレイ状に駆動部が連続する圧力発生手段を
圧電性セラミックの射出成形で均質に量産できるように
なっている。

【００１６】しかし、これでは駆動部や圧力室等を形成
する空隙が各部に形成された圧力発生手段や、駆動部や
圧力室等を形成する凹凸が上下面に形成された圧力発生
手段を分極する必要がある。このため、上記出願には圧
力発生手段の上下面の所定位置に金属膜で分極電極を形
成して電力を通電することが開示されているが、これで
は分極用の印加電力が空隙や凹凸の形状に従って通電さ
れることになるので、圧力発生手段を正確に上下方向で
分極することが困難で動作特性が低下している。

【００１７】本発明は、高性能なインクジェットプリン
タヘッドの製作方法を得るものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
アレイ状に連設された駆動部が予め連続方向と直交する
上下方向に分極された圧力発生手段を設け、この圧力発
生手段の駆動部をオリフィスとインク供給路とが連通し
た圧力室に対向配置し、前記インク供給路から供給され
て前記圧力室内に保持されたインクを前記圧力発生手段
の駆動部の変形で加圧して前記オリフィスから吐出させ
るようにしたインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記駆動部や前記圧力室等を形成する空隙が各部に位置
する形状に前記圧力発生手段を圧電性セラミックの型成
形で形成し、この圧電性セラミックと誘電率が同等の充
填材で前記圧力発生手段の空隙を充填して疑似平板を形
成し、この疑似平板の上下面に一対の分極電極を設け、
これらの分極電極間に電力を通電して前記疑似平板を上
下方向に分極し、この分極の完了後に前記充填材を除去
して前記圧力発生手段を形成するようにした。

【００１９】請求項２記載の発明は、アレイ状に連設さ
れた駆動部が予め連続方向と直交する上下方向に分極さ
れた圧力発生手段を設け、この圧力発生手段の駆動部を
オリフィスとインク供給路とが連通した圧力室に対向配
置し、前記インク供給路から供給されて前記圧力室内に
保持されたインクを前記圧力発生手段の駆動部の変形で
加圧して前記オリフィスから吐出させるようにしたイン
クジェットプリンタヘッドにおいて、前記駆動部や前記
圧力室等を形成する凹凸が上下面の少なくとも一方に位
置する形状に前記圧力発生手段を圧電性セラミックの型
成形で形成し、この圧電性セラミックと誘電率が同等で
上下面の一方に前記圧力発生手段の凹凸を補完する凹凸
が形成された分極治具を設け、この導電性部材を凹凸同
士の嵌合で前記圧力発生手段に接合して疑似平板を形成
し、この疑似平板の上下面に一対の分極電極を設け、こ
れらの分極電極間に電力を通電して前記疑似平板を上下
方向に分極し、この分極の完了後に前記分極治具を除去
して前記圧力発生手段を形成するようにした。

【００２０】

【作用】疑似平板内の圧力発生手段は平板状の圧電性セ
ラミックと同様に分極されるので、この圧力発生手段は
正確に上下方向に分極されて駆動部の動作特性が良好で
あり、高性能なインクジェットプリンタヘッドの製作方
法を得ることができる。

【００２１】

【実施例】請求項１記載の発明の第一の実施例を図１及
び図２に基づいて説明する。まず、本実施例で例示する
インクジェットプリンタヘッド１では、図２に例示する
ように、圧力発生手段として圧電性セラミックの型成形
である射出成形で製作された本体プレート２は後述する
方法で上下方向に分極されており、この本体プレート２
の上面に形成された凹凸の空隙をカバープレート３で密
閉することで圧力室４が形成されている。ここで、前記
本体プレート２の凹凸の凸部は前記カバープレート３が
接合される支持壁５と前記圧力室４内に位置する駆動部
６とで形成されており、この駆動部６の端面と前記本体
プレート２の下面全域との各々に個別電極７と共通電極
８とが形成されている。そして、このインクジェットプ
リンタヘッド１では、前記圧力室４に連通する位置にオ
リフィス９が形成されたオリフィスプレート１０を、一
体に接合された前記プレート２，３の前面に装着した構
造となっている。

【００２２】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１では、印刷画像に対応した駆動電
力が電極７，８間に選択的に通電されて本体プレート２
の所定の駆動部６が上下方向に伸縮すると、その駆動部
６上に位置する圧力室４内のインク(図示せず)が加圧さ
れてオリフィス９から吐出されるので、この吐出された
インク滴が相対的に副走査移動する印刷用紙(図示せず)
上に付着して画像形成が行なわれる。

【００２３】ここで、このインクジェットプリンタヘッ
ド１の本体プレート２の分極方法を図１に基づいて以下
に詳述する。まず、同図(ａ)に例示するように、本体プ
レート２をＰＺＴ(Ｌead Ｚirco Ｔitanate)で形成す
る場合、ＴiＯ₂とＰbＯとＺrＯ₂及び特性改善剤からな
るセラミック原料を混合して乾燥させ、これを仮焼して
から有機バインダと混練する。そして、これを粉砕して
形成した成形材料である粉体を、射出成形機で所定形状
の金型内に注入して櫛歯状の成形品(グリーン成形体)を
形成する。そこで、この成形品内の有機成分を脱脂炉で
揮発させ、これを焼成(本焼結)することで本体プレート
２を成形する。

【００２４】そこで、上述のようにして型成形の一つで
ある射出成形で櫛歯状に形成された本体プレート２は、
所望により研磨等の仕上加工が施され、同図(ｂ)に例示
するように、支持壁５間の空隙に充填材である圧電性セ
ラミックの粉体１１が充填されることで疑似平板１２に
成形される。そこで、同図(ｃ)に例示するように、この
疑似平板１２の上下面に一対の分極電極である導電板１
３，１４を押圧保持して80〜120(℃)のシリコンオイル
内に投入し、このような状態で導電板１３，１４間に２
〜５(kＶ／mm)の電界を通電する。すると、この本体プ
レート２と粉体１１とからなる疑似平板１２は平板の圧
電性セラミックと同様に副走査方向である上下方向に分
極されるので、この分極完了後にシリコンオイルから取
出して導電板１３，１４と粉体１１とを本体プレート２
から除去することになる。なお、上述のような本体プレ
ート２は、ＰＺＴの二成分系に複合ペロブスカイト酸化
物を加えた三成分系でも実施可能である。

【００２５】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド１では、予め射出成形で上面に支持壁
５や駆動部６等の凹凸が形成された本体プレート２の空
隙を誘電率が同一の粉体１１で充填することで、この粉
体１１と本体プレート２とからなる疑似平板１２は平板
状の圧電性セラミックと同様に分極されるので、この本
体プレート２は正確に上下方向に分極されて駆動部６の
動作特性が良好である。

【００２６】ここで、このインクジェットプリンタヘッ
ド１では、圧電性セラミックからなる本体プレート２を
射出成形で形成したので、これは均質な量産を簡易に実
現することができ、その生産性や形状精度が極めて良好
である。例えば、圧力室４やオリフィス９を形成するプ
レート３，１０をアルミナ等のセラミックの射出成形で
製作することで、さらにインクジェットプリンタヘッド
１の生産性や形状精度及び耐蝕性を向上させることが可
能である。また、本実施例のインクジェットプリンタヘ
ッド１では、各プレート２，３，１０等は断面形状が均
一となっているので、これは射出成形の他に押出成形で
も製作可能である。

【００２７】なお、本実施例のインクジェットプリンタ
ヘッド１の製作方法では、本体プレート２を疑似平板１
２に成形する充填材として圧電性セラミックの粉体１１
を例示したが、本発明は上記形式に限定されるものでは
なく、このような充填材は誘電率が圧電性セラミックと
同等であれば良いので、金属粉末を拡散したゲル状の導
電性樹脂などの利用も実施可能である。また、本実施例
のインクジェットプリンタヘッド１の製作方法では、疑
似平板１２の上下面に設けられる一対の分極電極として
導電板１３，１４を例示したが、本発明は上記形式に限
定されるものでもなく、例えば、疑似平板１２の上下面
に金属膜で分極電極を設けることなども実施可能であ
る。

【００２８】さらに、本発明で云う上下方向とは、本体
プレート２の駆動部６の連続方向と直交する方向を意味
しており、インクジェットプリンタヘッド１をプリンタ
装置に装着する際の上下方向を限定するものではない。
また、本発明で云う型成形とは、射出成形と押出成形と
の何れか一方を意味しており、プレス加工等を内包する
ものではない。

【００２９】つぎに、請求項１記載の発明の第二の実施
例を図３及び図４に基づいて説明する。まず、このイン
クジェットプリンタヘッド１５では、図４に例示するよ
うに、圧電性セラミックからなる圧力発生手段である本
体プレート１６は、凹凸の凸部である末端部１７で一つ
に連通した複数の凸部である駆動部１８が基部１９の上
面にアレイ状に突設された構造となっており、副走査方
向である上下方向に分極されて前記駆動部１８の上半部
の両側面の各々に電極２０，２１が形成されている。そ
して、このインクジェットプリンタヘッド１５では、上
述のような形状の本体プレート１６の駆動部１８間の空
隙を平板状のカバープレート２２で密閉して圧力室２３
を形成し、これらの圧力室２３に連通する位置にオリフ
ィス２４が形成されたオリフィスプレート２５を前面に
装着した構造となっている。

【００３０】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１５では、本体プレート１６の駆動
部１８の分極方向と電極２０，２１の対向方向とが直交
しているので、この駆動部１８は左右方向にシェアモー
ド変形を生じることになる。そこで、印刷画像に対応し
た駆動電力が電極２０，２１間に選択的に通電されて本
体プレート１６の所定の一対の駆動部１８が逆方向に湾
曲すると、これらの駆動部１８間に位置する圧力室２３
内のインクが加圧されてオリフィス２４から吐出される
ので、この吐出されたインク滴が相対的に副走査移動す
る印刷用紙上に付着して画像形成が行なわれる。

【００３１】ここで、図３に例示するように、本実施例
のインクジェットプリンタヘッド１５も第一の実施例と
して例示したインクジェットプリンタヘッド１と同様
に、同図(ａ)，(ｂ)に例示するように、予め射出成形で
上面に凹凸が形成された本体プレート１６の空隙を圧電
性セラミックの粉体２６で充填して疑似平板２７を形成
し、同図(ｃ)に例示するように、この疑似平板２７の上
下面を一対の分極電極である導電板２８，２９で挾持し
て分極を行なうので、本体プレート１６が正確に上下方
向に分極されて駆動部１８の動作特性が良好である。

【００３２】なお、本実施例のインクジェットプリンタ
ヘッド１５では、圧電性セラミックからなる本体プレー
ト１６の駆動部１８は末端部１７で一体に連通して断面
形状が均一ではないので、これは押出成形では製作不能
で射出成形で製作されている。

【００３３】つぎに、請求項１記載の発明の第三の実施
例を図５及び図６に基づいて説明する。まず、このイン
クジェットプリンタヘッド３０では、図６に例示するよ
うに、上下方向に分極された圧電性セラミックからなる
圧力発生手段である本体プレート３１は、その上面に形
成された凹凸の凸部である複数の駆動部３２が角管状に
形成されて内部の空隙が圧力室３３となっており、この
ような圧力室３３を形成する駆動部３２の端面両側部と
本体プレート３１の底面全域とに個別電極３４と共通電
極３５とが形成されている。そして、このインクジェッ
トプリンタヘッド３０では、上述のような形状の本体プ
レート３１の前面に、圧力室３３に連通するオリフィス
３６が形成されたオリフィスプレート３７を前面に装着
した構造となっている。

【００３４】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド３０では、印刷画像に対応した駆動
電力が電極３４，３５間に選択的に通電されて本体プレ
ート３１の所定の一対の駆動部３２の両側壁が上下方向
に伸縮すると、この駆動部３２内に位置する圧力室３３
内のインクが加圧されてオリフィス３６から吐出される
ので、この吐出されたインク滴が相対的に副走査移動す
る印刷用紙上に付着して画像形成が行なわれる。

【００３５】ここで、図５に例示するように、本実施例
のインクジェットプリンタヘッド３０も第一・第二の実
施例として例示したインクジェットプリンタヘッド１，
１５と同様に、同図(ａ)，(ｂ)に例示するように、予め
射出成形で本体プレート３１の上面や内部に形成された
空隙を圧電性セラミックの粉体３８で充填して疑似平板
３９を形成し、同図(ｃ)に例示するように、この疑似平
板３９の上下面を一対の分極電極である導電板４０，４
１で挾持して分極を行なうので、本体プレート３１が正
確に上下方向に分極されて駆動部３２の動作特性が良好
である。

【００３６】さらに、請求項２記載の発明の第一の実施
例を図７に基づいて説明する。まず、本実施例のインク
ジェットプリンタヘッド(図示せず)は、請求項１記載の
発明の第一の実施例として例示したインクジェットプリ
ンタヘッド１と同様な構造となっており、その圧力発生
手段である本体プレート４２の分極方法が異なってい
る。なお、この本体プレート４２も圧電性セラミックの
射出成形で製作されており、同図(ａ)に例示するよう
に、凹凸の凸部である支持壁４３と駆動部４４とが上面
に連設されている。

【００３７】そこで、この本体プレート４２の分極方法
を以下に説明する。まず、予め本体プレート４２の上面
の凹凸を補完する凹凸４５が下面に形成された分極治具
４６を圧電性セラミックの射出成形等で予め製作してお
く。そこで、上述のようにして櫛歯状に成形された本体
プレート４２は、所望により研磨等の仕上加工が施さ
れ、同図(ｂ)に例示するように、その上面に分極治具４
６が接合されることで疑似平板４７に成形される。そこ
で、同図(ｃ)に例示するように、この疑似平板４７の上
下面に一対の分極電極である導電板４８，４９を押圧保
持して80〜120(℃)のシリコンオイル内に投入し、この
ような状態で導電板４８，４９間に２〜５(kＶ／mm)の
電界を印加する。すると、この本体プレート４２と分極
治具４６とからなる疑似平板４７は平板の圧電性セラミ
ックと同様に副走査方向である上下方向に分極されるの
で、この分極完了後にシリコンオイルから取出して導電
板４８，４９と分極治具４６とを本体プレート４２から
取外すことになる。

【００３８】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッドでは、予め射出成形で上面に支持壁４
３や駆動部４４等の凹凸が形成された本体プレート４２
の空隙を誘電率が同一の分極治具４６で充填されるの
で、この分極治具４６と本体プレート４２とからなる疑
似平板４７は平板状の圧電性セラミックと同様に分極さ
れることになり、この本体プレート４２は正確に上下方
向に分極されて駆動部４４の動作特性が良好である。

【００３９】ここで、このインクジェットプリンタヘッ
ドでは、圧電性セラミックからなる本体プレート４２を
射出成形で形成したので、これは均質な量産を簡易に実
現することができ、その生産性や形状精度が極めて良好
である。

【００４０】なお、本実施例のインクジェットプリンタ
ヘッドの製作方法では、本体プレート４２と分極治具４
６とを接合した疑似平板４７を一対の導電板４８，４９
間で押圧保持することを例示したが、本発明は上記形式
に限定されるものではなく、例えば、分極治具４６と導
電板４８とを予め一体化しておくことなども実施可能で
ある。また、本実施例のインクジェットプリンタヘッド
の製作方法では、分極治具４６を圧電性セラミックで製
作することを例示したが、本発明は上記形式に限定され
るものでもなく、このような分極治具４６は誘電率が圧
電性セラミックと同等であれば良いので、金属粉末を拡
散した導電性樹脂などの利用も実施可能であり、このよ
うな分極治具４６を弾力性を有する材料で製作して本体
プレート４２との密着性を向上させることも実施可能で
ある。

【００４１】さらに、請求項２記載の発明の第二の実施
例を図８に基づいて説明する。まず、本実施例のインク
ジェットプリンタヘッド(図示せず)は、請求項１記載の
発明の第二の実施例として例示したインクジェットプリ
ンタヘッド１５と同様な構造となっており、その圧力発
生手段である本体プレート５０の分極方法が異なってい
る。なお、この本体プレート５０も圧電性セラミックの
射出成形で製作されており、同図(ａ)に例示するよう
に、基部５１上の凹凸の凸部である末端部５２と駆動部
５３とを補完する凹凸５４が下面に形成された分極治具
５５が圧電性セラミックで形成されている。そこで、同
図(ｂ)に例示するように、本体プレート５０の上面に分
極治具５５が接合されることで疑似平板５６が成形さ
れ、同図(ｃ)に例示するように、この疑似平板５６の上
下面に一対の分極電極である導電板５７，５８で押圧保
持して分極を行なう。

【００４２】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッドでは、予め射出成形で上面に末端部５
２や駆動部５３等の凹凸が形成された本体プレート５０
の空隙を誘電率が同一の分極治具５５で充填すること
で、この分極治具５５と本体プレート５０とからなる疑
似平板５６は平板状の圧電性セラミックと同様に分極さ
れるので、この本体プレート５０は正確に上下方向に分
極されて駆動部５３の動作特性が良好である。

【００４３】ここで、このインクジェットプリンタヘッ
ドでは、圧電性セラミックからなる本体プレート５０を
射出成形で形成したので、これは均質な量産を簡易に実
現することができ、その生産性や形状精度が極めて良好
である。

【００４４】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、アレイ状に連設
された駆動部が予め連続方向と直交する上下方向に分極
された圧力発生手段を設け、この圧力発生手段の駆動部
をオリフィスとインク供給路とが連通した圧力室に対向
配置し、前記インク供給路から供給されて前記圧力室内
に保持されたインクを前記圧力発生手段の駆動部の変形
で加圧して前記オリフィスから吐出させるようにしたイ
ンクジェットプリンタヘッドにおいて、前記駆動部や前
記圧力室等を形成する空隙が各部に位置する形状に前記
圧力発生手段を圧電性セラミックの射出成形か押出成形
で形成し、この圧電性セラミックと誘電率が同等の充填
材で前記圧力発生手段の空隙を充填して疑似平板を形成
し、この疑似平板の上下面に一対の分極電極を設け、こ
れらの分極電極間に電力を通電して前記疑似平板を上下
方向に分極し、この分極の完了後に前記充填材を除去し
て前記圧力発生手段を形成するようにしたことにより、
疑似平板内の圧力発生手段は平板状の圧電性セラミック
と同様に分極されるので、この圧力発生手段は正確に上
下方向に分極されて駆動部の動作特性が良好であり、高
性能なインクジェットプリンタヘッドの製作方法を得る
ことができる等の効果を有するものである。

【００４５】請求項２記載の発明は、アレイ状に連設さ
れた駆動部が予め連続方向と直交する上下方向に分極さ
れた圧力発生手段を設け、この圧力発生手段の駆動部を
オリフィスとインク供給路とが連通した圧力室に対向配
置し、前記インク供給路から供給されて前記圧力室内に
保持されたインクを前記圧力発生手段の駆動部の変形で
加圧して前記オリフィスから吐出させるようにしたイン
クジェットプリンタヘッドにおいて、前記駆動部や前記
圧力室等を形成する凹凸が上下面の少なくとも一方に位
置する形状に前記圧力発生手段を圧電性セラミックの射
出成形か押出成形で形成し、この圧電性セラミックと誘
電率が同等で上下面の一方に前記圧力発生手段の凹凸を
補完する凹凸が形成された分極治具を設け、この導電性
部材を凹凸同士の嵌合で前記圧力発生手段に接合して疑
似平板を形成し、この疑似平板の上下面に一対の分極電
極を設け、これらの分極電極間に電力を通電して前記疑
似平板を上下方向に分極し、この分極の完了後に前記分
極治具を除去して前記圧力発生手段を形成するようにし
たことにより、疑似平板内の圧力発生手段は平板状の圧
電性セラミックと同様に分極されるので、この圧力発生
手段は正確に上下方向に分極されて駆動部の動作特性が
良好であり、高性能なインクジェットプリンタヘッドの
製作方法を得ることができる等の効果を有するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１記載の発明の第一の実施例を示す製作
工程図である。

【図２】インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視
図である。

【図３】第二の実施例を示す製作工程図である。

【図４】インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視
図である。

【図５】第三の実施例を示す製作工程図である。

【図６】インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視
図である。

【図７】請求項２記載の発明の第一の実施例を示す製作
工程図である。

【図８】第二の実施例を示す製作工程図である。

【符号の説明】

１，１５，３０ インクジ
ェットプリンタヘッド ２，１６，３１，４２，５０
圧力発生手段 ４，２３，３３
圧力室 ６，１８，３２，４４，５３
駆動部 ９，２４，３６
オリフィス １１，２６，３８
充填材 １２，２７，３９，４７，５６
疑似平板 １３，１４，２８，２９，４０，４１，４８，４９，５
７，５８ 分極電極 ４５，５４
凹凸 ４６，５５
分極治具

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アレイ状に連設された駆動部が予め連続
   方向と直交する上下方向に分極された圧力発生手段を設
   け、この圧力発生手段の駆動部をオリフィスとインク供
   給路とが連通した圧力室に対向配置し、前記インク供給
   路から供給されて前記圧力室内に保持されたインクを前
   記圧力発生手段の駆動部の変形で加圧して前記オリフィ
   スから吐出させるインクジェットプリンタヘッドにおい
   て、前記駆動部や前記圧力室等を形成する空隙が各部に
   位置する形状に前記圧力発生手段を圧電性セラミックの
   型成形で形成し、この圧電性セラミックと誘電率が同等
   の充填材で前記圧力発生手段の空隙を充填して疑似平板
   を形成し、この疑似平板の上下面に一対の分極電極を設
   け、これらの分極電極間に電力を通電して前記疑似平板
   を上下方向に分極し、この分極の完了後に前記充填材を
   除去して前記圧力発生手段を形成することを特徴とする
   インクジェットプリンタヘッドの製作方法。
2. 【請求項２】 アレイ状に連設された駆動部が予め連続
   方向と直交する上下方向に分極された圧力発生手段を設
   け、この圧力発生手段の駆動部をオリフィスとインク供
   給路とが連通した圧力室に対向配置し、前記インク供給
   路から供給されて前記圧力室内に保持されたインクを前
   記圧力発生手段の駆動部の変形で加圧して前記オリフィ
   スから吐出させるインクジェットプリンタヘッドにおい
   て、前記駆動部や前記圧力室等を形成する凹凸が上下面
   の少なくとも一方に位置する形状に前記圧力発生手段を
   圧電性セラミックの型成形で形成し、この圧電性セラミ
   ックと誘電率が同等で上下面の一方に前記圧力発生手段
   の凹凸を補完する凹凸が形成された分極治具を設け、こ
   の導電性部材を凹凸同士の嵌合で前記圧力発生手段に接
   合して疑似平板を形成し、この疑似平板の上下面に一対
   の分極電極を設け、これらの分極電極間に電力を通電し
   て前記疑似平板を上下方向に分極し、この分極の完了後
   に前記分極治具を除去して前記圧力発生手段を形成する
   ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製作
   方法。