JPH05251039A - 二次イオン質量分析計 - Google Patents
二次イオン質量分析計Info
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
- H01J49/142—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers using a solid target which is not previously vapourised
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速ビーム線を試料に照射することによって
生じる正負両電荷の混在した二次イオンより、正負のイ
オンを分離して同時に検出し分析することのできる二次
イオン質量分析計を提供する。 【構成】 高速原子ビームあるいは高速イオンビーム
（９）を試料（３）に照射し、該試料（３）から放出す
る二次イオン（１０）を四重極型質量分離器（４）によ
って分離し、同定する二次イオン質量分析計において、
前記四重極型質量分離器（１４）の後段に設置されるイ
オン検出部は、互いに平行に配された４本の金属製円柱
電極群（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）と、該金属
製円柱電極群を取り囲む静電シールド（１２）と、２個
の二次電子増倍管あるいは２個のファラデーカップ
（５）から構成されることを特徴とする。
生じる正負両電荷の混在した二次イオンより、正負のイ
オンを分離して同時に検出し分析することのできる二次
イオン質量分析計を提供する。 【構成】 高速原子ビームあるいは高速イオンビーム
（９）を試料（３）に照射し、該試料（３）から放出す
る二次イオン（１０）を四重極型質量分離器（４）によ
って分離し、同定する二次イオン質量分析計において、
前記四重極型質量分離器（１４）の後段に設置されるイ
オン検出部は、互いに平行に配された４本の金属製円柱
電極群（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ）と、該金属
製円柱電極群を取り囲む静電シールド（１２）と、２個
の二次電子増倍管あるいは２個のファラデーカップ
（５）から構成されることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、二次イオン質量分析計
に係り、特に高速原子ビームあるいは高速イオンビーム
からなる一次ビームを試料に照射し、該試料から放出さ
れる正電荷および負電荷双方の二次イオンを、同時に分
離検出して分析を進めることのできる二次イオン質量分
析計に関する。
に係り、特に高速原子ビームあるいは高速イオンビーム
からなる一次ビームを試料に照射し、該試料から放出さ
れる正電荷および負電荷双方の二次イオンを、同時に分
離検出して分析を進めることのできる二次イオン質量分
析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の二次イオン質量分析計の説
明図である。図中、符号１は高速原子ビームあるいはイ
オンビームを放出する高速ビーム源、符号２は分析管、
符号３は試料、符号４は四重極型質量分離器、符号５は
二次電子増倍管、符号６は増幅器、符号７はレコーダ、
符号８は真空ポンプ、符号９は高速原子ビームあるいは
イオンビーム、符号１０は高速原子ビームあるいはイオ
ンビームが試料に照射されることによって生じる二次イ
オンである。
明図である。図中、符号１は高速原子ビームあるいはイ
オンビームを放出する高速ビーム源、符号２は分析管、
符号３は試料、符号４は四重極型質量分離器、符号５は
二次電子増倍管、符号６は増幅器、符号７はレコーダ、
符号８は真空ポンプ、符号９は高速原子ビームあるいは
イオンビーム、符号１０は高速原子ビームあるいはイオ
ンビームが試料に照射されることによって生じる二次イ
オンである。
【０００３】この従来の二次イオン質量分析計の動作は
次の通りである。まず真空ポンプ８によって、分析管２
内及び四重極型質量分離器４内を十分に排気する。ビー
ム源１から高速原子ビームあるいはイオンビーム９を放
出させ、試料３を照射する。高速ビーム９により照射さ
れ衝撃された試料３から二次イオン１０が放出され、こ
れが四重極型質量分離器４により弁別され、特定の質量
の二次イオンのみが選択されて二次電子増倍管５に入
る。二次電子増倍管５で二次イオン１０は電子に変換さ
れ、増幅器６を経て出力されレコーダ７に記録される。
次の通りである。まず真空ポンプ８によって、分析管２
内及び四重極型質量分離器４内を十分に排気する。ビー
ム源１から高速原子ビームあるいはイオンビーム９を放
出させ、試料３を照射する。高速ビーム９により照射さ
れ衝撃された試料３から二次イオン１０が放出され、こ
れが四重極型質量分離器４により弁別され、特定の質量
の二次イオンのみが選択されて二次電子増倍管５に入
る。二次電子増倍管５で二次イオン１０は電子に変換さ
れ、増幅器６を経て出力されレコーダ７に記録される。
【０００４】二次イオン質量分析計は、高速ビーム線９
を試料３の固体表面に照射することにより、そこから生
成する二次イオン１０を質量分析する分析法である。こ
の分析法は、オージェ電子分光法、Ｘ線電子分光法等の
他の表面分析法に比べて極めて感度が良く、水素や同位
体の分析ができる等の特徴がある。特に、数１００ｅＶ
〜数ｋｅＶのエネルギを有する高速原子ビーム線は、電
気的に中性のため絶縁物に照射しても帯電の影響が無
く、空間電荷の影響が無いため粒子の軌道の広がりが無
い等の特徴を有し質量分析に好適である。
を試料３の固体表面に照射することにより、そこから生
成する二次イオン１０を質量分析する分析法である。こ
の分析法は、オージェ電子分光法、Ｘ線電子分光法等の
他の表面分析法に比べて極めて感度が良く、水素や同位
体の分析ができる等の特徴がある。特に、数１００ｅＶ
〜数ｋｅＶのエネルギを有する高速原子ビーム線は、電
気的に中性のため絶縁物に照射しても帯電の影響が無
く、空間電荷の影響が無いため粒子の軌道の広がりが無
い等の特徴を有し質量分析に好適である。
【０００５】しかしながら、従来の二次イオン質量分析
計においては、試料から正電荷の二次イオンと負電荷の
二次イオンが混在して飛来するにもかかわらず、正電荷
および負電荷双方の二次イオンを分離する機能を備えて
いないために、正電荷二次イオンを検出するときには負
電荷二次イオンが、負電荷二次イオンを検出するときに
は正電荷二次イオンの検出ができなかった。従って一つ
の試料に対して、異なる極性の電荷の二次イオンマスス
ペクトルを得ようとすれば、分析を二度行う必要があ
り、操作が煩雑となる上に、迅速性、信頼性を欠くこと
になった。
計においては、試料から正電荷の二次イオンと負電荷の
二次イオンが混在して飛来するにもかかわらず、正電荷
および負電荷双方の二次イオンを分離する機能を備えて
いないために、正電荷二次イオンを検出するときには負
電荷二次イオンが、負電荷二次イオンを検出するときに
は正電荷二次イオンの検出ができなかった。従って一つ
の試料に対して、異なる極性の電荷の二次イオンマスス
ペクトルを得ようとすれば、分析を二度行う必要があ
り、操作が煩雑となる上に、迅速性、信頼性を欠くこと
になった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】係る従来技術の問題点
に鑑み、本発明の目的は、試料から分離して飛来する正
電荷および負電荷双方の二次イオンを同時に分離して検
出する機能を有する二次イオン質量分析計を提供するこ
とにある。
に鑑み、本発明の目的は、試料から分離して飛来する正
電荷および負電荷双方の二次イオンを同時に分離して検
出する機能を有する二次イオン質量分析計を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明の二次イオン質量分析計は、高速一次ビー
ムを試料に照射し、該試料から放出される二次イオンを
質量分離手段によって分析する二次イオン質量分析計に
おいて、該質量分離手段の後段にはイオン検出部の電荷
分離手段が設けられ、該イオン検出部の電荷分離手段に
よって、正電荷及び負電荷の二次イオンがそれぞれ別方
向に分離されることを特徴とする。
ため、本発明の二次イオン質量分析計は、高速一次ビー
ムを試料に照射し、該試料から放出される二次イオンを
質量分離手段によって分析する二次イオン質量分析計に
おいて、該質量分離手段の後段にはイオン検出部の電荷
分離手段が設けられ、該イオン検出部の電荷分離手段に
よって、正電荷及び負電荷の二次イオンがそれぞれ別方
向に分離されることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の二次イオン質量分析計は、試料から発
生する正電荷二次イオンと負電荷二次イオンが混在した
二次イオンを検出する際に、正電荷および負電荷双方の
二次イオンを分離するイオン検出部の電荷分離手段を通
す。イオン検出部の電荷分離手段は、正電位、負電位の
与えられた金属製円柱電極によって形成される電界によ
り、正電荷二次イオンと負電荷二次イオンを分離して双
方の二次イオンを同時に検出して、質量分析を行うもの
で、迅速な分析効率を得ることができる。それ故、従来
の二次イオン質量分析計とは構造、動作が大きく異な
る。
生する正電荷二次イオンと負電荷二次イオンが混在した
二次イオンを検出する際に、正電荷および負電荷双方の
二次イオンを分離するイオン検出部の電荷分離手段を通
す。イオン検出部の電荷分離手段は、正電位、負電位の
与えられた金属製円柱電極によって形成される電界によ
り、正電荷二次イオンと負電荷二次イオンを分離して双
方の二次イオンを同時に検出して、質量分析を行うもの
で、迅速な分析効率を得ることができる。それ故、従来
の二次イオン質量分析計とは構造、動作が大きく異な
る。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の第１の実施例の二次イオン質
量分析計の説明図である。高速原子ビーム源あるいはイ
オンビーム源１は、高速原子ビームあるいはイオンビー
ム９を発生し、これを試料３に照射する。
量分析計の説明図である。高速原子ビーム源あるいはイ
オンビーム源１は、高速原子ビームあるいはイオンビー
ム９を発生し、これを試料３に照射する。
【００１０】試料３が照射されて発生する二次イオン１
０は、四重極型質量分離器４により弁別され、イオン検
出部の電荷分離手段１３により正負のイオンが分離さ
れ、二次電子増倍管あるいはファラデーカップ５に入
り、そこで電子に変換され、増幅器６により増幅され、
レコーダ７に質量スペクトルとして記録される。
０は、四重極型質量分離器４により弁別され、イオン検
出部の電荷分離手段１３により正負のイオンが分離さ
れ、二次電子増倍管あるいはファラデーカップ５に入
り、そこで電子に変換され、増幅器６により増幅され、
レコーダ７に質量スペクトルとして記録される。
【００１１】イオン検出部の電荷分離手段１３は、互い
に平行に配された４本の金属製円柱電極群１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄと、該金属製円柱電極群を取り囲む
静電シールド壁面１２とから構成される。前記４本の金
属製円柱電極で構成される電極群１１ａ，１１ｂ，１１
ｃ，１１ｄの横断面は、各電極が矩形の頂点に位置する
ように配置され、かつ相隣る２本の金属製円柱電極が張
る４面の平面の内、前記四重極型質量分離器４に対向す
る静電シールド壁面１２に二次イオン入射孔１４を有
し、かつ該二次イオン入射孔に直交する２面（１１ａと
１１ｄ及び１１ｂと１１ｃ）は対向する静電シールド壁
面に二次イオン出射孔を備える。かつ２個の該二次イオ
ン出射孔１５のそれぞれに対向して設置された２個の二
次電子増倍管あるいは２個のファラデーカップが備えら
れ、電荷分離手段１３によって分離された二次イオンを
検出する。前記４本の金属製円柱電極の内、対角線上の
２本に正電位、他の対角線上の２本に負電位を与えられ
ることによって静電シールド壁面１２内に電界が形成さ
れ、正負の両イオンを別方向に分離する。
に平行に配された４本の金属製円柱電極群１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄと、該金属製円柱電極群を取り囲む
静電シールド壁面１２とから構成される。前記４本の金
属製円柱電極で構成される電極群１１ａ，１１ｂ，１１
ｃ，１１ｄの横断面は、各電極が矩形の頂点に位置する
ように配置され、かつ相隣る２本の金属製円柱電極が張
る４面の平面の内、前記四重極型質量分離器４に対向す
る静電シールド壁面１２に二次イオン入射孔１４を有
し、かつ該二次イオン入射孔に直交する２面（１１ａと
１１ｄ及び１１ｂと１１ｃ）は対向する静電シールド壁
面に二次イオン出射孔を備える。かつ２個の該二次イオ
ン出射孔１５のそれぞれに対向して設置された２個の二
次電子増倍管あるいは２個のファラデーカップが備えら
れ、電荷分離手段１３によって分離された二次イオンを
検出する。前記４本の金属製円柱電極の内、対角線上の
２本に正電位、他の対角線上の２本に負電位を与えられ
ることによって静電シールド壁面１２内に電界が形成さ
れ、正負の両イオンを別方向に分離する。
【００１２】即ち、四重極型質量分離器４により弁別さ
れた正負の電荷の混在した二次イオン１０は、二次イオ
ン入射孔１４より静電シールド１２内に入る。静電シー
ルド１２内には、４本の金属製円柱電極１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄが紙面に対して垂直方向に設置され
ている。４本の金属製円柱電極１１ａ，１１ｂ，１１
ｃ，１１ｄにおいて、対角線上の２本１１ａ，１１ｃに
負電位が、１１ｂ，１１ｄに正電位が与えられるよう電
源が接続される。
れた正負の電荷の混在した二次イオン１０は、二次イオ
ン入射孔１４より静電シールド１２内に入る。静電シー
ルド１２内には、４本の金属製円柱電極１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄが紙面に対して垂直方向に設置され
ている。４本の金属製円柱電極１１ａ，１１ｂ，１１
ｃ，１１ｄにおいて、対角線上の２本１１ａ，１１ｃに
負電位が、１１ｂ，１１ｄに正電位が与えられるよう電
源が接続される。
【００１３】金属製円柱電極１１ａ，１１ｂによって形
成されるイオン入射面に飛来した正電荷二次イオンは、
４本の金属製円柱電極によって形成される電界によって
図の上方へ誘導され、負電荷二次イオンは、図の下方へ
誘導される。分離された正電荷二次イオンは、金属製円
柱電極１１ａ，１１ｂによって形成される二次イオン出
射面より静電シールド１２の二次イオン出射孔より外に
出て、二次電子増倍管あるいはファラデーカップ５に入
る。同様に負電荷二次イオンは、４本の金属製円柱電極
によって形成される電界によって、金属製円柱電極１１
ｃ，１１ｄによって形成される二次イオン出射面を通
り、二次イオン出射孔１５より静電シールド１２の外に
出て、二次電子増倍管あるいはファラデーカップ５に入
る。
成されるイオン入射面に飛来した正電荷二次イオンは、
４本の金属製円柱電極によって形成される電界によって
図の上方へ誘導され、負電荷二次イオンは、図の下方へ
誘導される。分離された正電荷二次イオンは、金属製円
柱電極１１ａ，１１ｂによって形成される二次イオン出
射面より静電シールド１２の二次イオン出射孔より外に
出て、二次電子増倍管あるいはファラデーカップ５に入
る。同様に負電荷二次イオンは、４本の金属製円柱電極
によって形成される電界によって、金属製円柱電極１１
ｃ，１１ｄによって形成される二次イオン出射面を通
り、二次イオン出射孔１５より静電シールド１２の外に
出て、二次電子増倍管あるいはファラデーカップ５に入
る。
【００１４】２個の二次電子増倍管あるいはファラデー
カップ５に入った正電荷、負電荷の二次イオンは、それ
ぞれ電子に変換され、電流として出力された信号は増幅
器６により増幅される。増幅器６の出力はレコーダ７に
接続され、分離された正電荷、負電荷の二次イオンの量
が質量スペクトルとしてレコーダ７にそれぞれ記録され
る。
カップ５に入った正電荷、負電荷の二次イオンは、それ
ぞれ電子に変換され、電流として出力された信号は増幅
器６により増幅される。増幅器６の出力はレコーダ７に
接続され、分離された正電荷、負電荷の二次イオンの量
が質量スペクトルとしてレコーダ７にそれぞれ記録され
る。
【００１５】計算機シミュレーションの結果によれば、
金属製円柱電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの間隔
を各々数cm程度として、金属製円柱電極に±５０Ｖを印
加して電界を形成した場合、１０〜３５ｅＶの二次イオ
ンが良好に正負両方向に分離され、それぞれの二次電子
増倍管あるいはファラデーチューブ５に入ることが確認
された。
金属製円柱電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの間隔
を各々数cm程度として、金属製円柱電極に±５０Ｖを印
加して電界を形成した場合、１０〜３５ｅＶの二次イオ
ンが良好に正負両方向に分離され、それぞれの二次電子
増倍管あるいはファラデーチューブ５に入ることが確認
された。
【００１６】図２は本発明の第２の実施例の二次イオン
質量分析計の説明図である。イオン検出部は、互いに平
行に配された２本の金属製円柱電極１１ｅ，１１ｆと、
該金属製円柱電極を取り囲む静電シールド壁面１２と、
２組の二次電子増倍管あるいは２組のファラデーカップ
５から構成される。前記２本の金属製円柱電極１１ｅ，
１１ｆで構成される電極の横断面は、２本の金属製円柱
電極が張る平面（１１ｅ，１１ｆ）に対向し且つ、前記
四重極型質量分離器４に対向する静電シールド壁面１２
に二次イオン入射孔１４を有し、かつ前記壁面を側面に
持つ三角柱を構成するように交差する２面の平面に、そ
れぞれ対向する静電シールド壁面１２に二次イオン出射
孔１５を有する。２個の該二次イオン出射孔１５のそれ
ぞれは２個の二次電子増倍管あるいは２個のファラデー
カップ５に対向して設置される。前記２本の金属製円柱
電極の内、いずれかの電極に正電位、他の電極に負電位
を与えられることを特徴とする。
質量分析計の説明図である。イオン検出部は、互いに平
行に配された２本の金属製円柱電極１１ｅ，１１ｆと、
該金属製円柱電極を取り囲む静電シールド壁面１２と、
２組の二次電子増倍管あるいは２組のファラデーカップ
５から構成される。前記２本の金属製円柱電極１１ｅ，
１１ｆで構成される電極の横断面は、２本の金属製円柱
電極が張る平面（１１ｅ，１１ｆ）に対向し且つ、前記
四重極型質量分離器４に対向する静電シールド壁面１２
に二次イオン入射孔１４を有し、かつ前記壁面を側面に
持つ三角柱を構成するように交差する２面の平面に、そ
れぞれ対向する静電シールド壁面１２に二次イオン出射
孔１５を有する。２個の該二次イオン出射孔１５のそれ
ぞれは２個の二次電子増倍管あるいは２個のファラデー
カップ５に対向して設置される。前記２本の金属製円柱
電極の内、いずれかの電極に正電位、他の電極に負電位
を与えられることを特徴とする。
【００１７】図１に示す実施例と同じプロセスにより正
負の電荷の混在した二次イオンが四重極型質量分離器４
により弁別される。弁別された二次イオンは二次イオン
入射孔１４より静電シールド１２の内部に入る。静電シ
ールド１２内には、２本の金属製円柱電極１１ｅ，１１
ｆが紙面に対して垂直方向に設置されている。平行に配
置された２本の金属製円柱電極１１ｅには負の、１１ｆ
には正の互いに異なる極性の電位が与えられるよう電源
が接続されている。この金属製円柱電極１１ｅ，１１ｆ
と静電シールド壁面１２の作る電界によって、金属製円
柱電極１１ｅ，１１ｆの作る面に入射した二次イオン
は、正電荷は図の上方へ、負電荷は図の下方へ誘導さ
れ、正電荷および負電荷双方の二次イオンは別方向に分
離される。分離されたそれぞれの二次イオンは別々に二
次電子増倍管あるいはファラデーカップ５に入り、そこ
で電子に変換され、電流として出力された信号は増幅器
６にて増幅され、レコーダ７に質量スペクトルとして記
録される。
負の電荷の混在した二次イオンが四重極型質量分離器４
により弁別される。弁別された二次イオンは二次イオン
入射孔１４より静電シールド１２の内部に入る。静電シ
ールド１２内には、２本の金属製円柱電極１１ｅ，１１
ｆが紙面に対して垂直方向に設置されている。平行に配
置された２本の金属製円柱電極１１ｅには負の、１１ｆ
には正の互いに異なる極性の電位が与えられるよう電源
が接続されている。この金属製円柱電極１１ｅ，１１ｆ
と静電シールド壁面１２の作る電界によって、金属製円
柱電極１１ｅ，１１ｆの作る面に入射した二次イオン
は、正電荷は図の上方へ、負電荷は図の下方へ誘導さ
れ、正電荷および負電荷双方の二次イオンは別方向に分
離される。分離されたそれぞれの二次イオンは別々に二
次電子増倍管あるいはファラデーカップ５に入り、そこ
で電子に変換され、電流として出力された信号は増幅器
６にて増幅され、レコーダ７に質量スペクトルとして記
録される。
【００１８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明の二次
イオン質量分析計によれば、混在して飛来する正電荷お
よび負電荷双方の二次イオンを別方向に分離し、同時に
検出、分析することができる。従って一度に正電荷およ
び負電荷双方の二次イオンマススペクトルが得られる。
よって、従来技術に比べ質量スペクトルの分析が迅速に
なり、得られるデータの信頼性も高いものとなる。
イオン質量分析計によれば、混在して飛来する正電荷お
よび負電荷双方の二次イオンを別方向に分離し、同時に
検出、分析することができる。従って一度に正電荷およ
び負電荷双方の二次イオンマススペクトルが得られる。
よって、従来技術に比べ質量スペクトルの分析が迅速に
なり、得られるデータの信頼性も高いものとなる。
【図１】本発明の第１の実施例の二次イオン質量分析計
の説明図。
の説明図。
【図２】本発明の第２の実施例の二次イオン質量分析計
の説明図。
の説明図。
【図３】従来の二次イオン質量分析計の説明図。
１ 高速原子ビーム源あるいはイオンビーム源 ２ 分析管 ３ 試料 ４ 四重極型質量分離器 ５ 二次電子増倍管 ６ 増幅器 ７ レコーダ ８ 高真空排気装置 ９ 高速原子ビームあるいはイオンビーム １０ 二次イオン １１ 金属製円柱電極 １２ 静電シールド １３，１６ イオン検出部の電荷分離手段 １４ 二次イオン入射孔 １５ 二次イオン出射孔
Claims (3)
- 【請求項１】 高速原子ビームあるいは高速イオンビー
ムからなる一次ビームを試料に照射し、該試料から放出
する二次イオンを四重極型質量分離器によって分離し、
同定する二次イオン質量分析計において、前記四重極型
質量分離器の後段には、イオン検出部が設置され、該イ
オン検出部は、互いに平行に配された４本の金属製円柱
電極群と、該金属製円柱電極群を取り囲む静電シールド
壁面と、２組の二次電子増倍管あるいは２組のファラデ
ーカップとから構成され、前記４本の金属製円柱電極で
構成される電極群の横断面は、各電極が矩形の頂点に位
置するように配置され、かつ相隣る２本の金属製円柱電
極が張る４面の平面の内、前記四重極型質量分離器に対
向する静電シールド壁面にイオン入射孔を有し、かつ該
イオン入射孔に直交する２面に対向する静電シールド壁
面にはイオン出射孔を有し、かつ２個の該イオン出射孔
のそれぞれに対向して設置された２個の二次電子増倍管
あるいは２個のファラデーカップから成り、前記４本の
金属製円柱電極の内、対角線上の２本に正電位、他の対
角線上の２本に負電位が与えられることを特徴とする二
次イオン質量分析計。 - 【請求項２】 前記イオン検出部は、互いに平行に配さ
れた２本の金属製円柱電極と、該金属製円柱電極を取り
囲む静電シールド壁面と、２組の二次電子増倍管あるい
は２組のファラデーカップから構成され、２本の金属製
円柱電極が張る平面に対向し且つ、前記四重極型質量分
離器に対向する静電シールド壁面にイオン入射孔を有
し、かつ前記壁面を側面に持つ三角柱を構成するように
交差する他の２面の平面に、それぞれ対向する静電シー
ルド壁面にイオン出射孔を有し、且つ２個の該イオン出
射孔のそれぞれには対向して設置された２個の二次電子
増倍管あるいは２個のファラデーカップから成り、前記
２本の金属製円柱電極の内、いずれかの電極に正電位、
他の電極に負電位が与えられることを特徴とする請求項
１記載の二次イオン質量分析計。 - 【請求項３】 高速一次ビームを試料に照射し、該試料
から放出される二次イオンを質量分離手段によって分析
する二次イオン質量分析計において、該質量分離手段の
後段にはイオン検出部の電荷分離手段が設けられ、該イ
オン検出部の電荷分離手段によって、正電荷及び負電荷
の二次イオンがそれぞれ別方向に分離されることを特徴
とする二次イオン質量分析計。
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|---|---|---|---|
| JP4081410A JPH05251039A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | 二次イオン質量分析計 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4081410A JPH05251039A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | 二次イオン質量分析計 |
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- 1993-03-04 DE DE69307557T patent/DE69307557T2/de not_active Expired - Fee Related
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