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JPH052137A - Minute object grasping device, inspecting and sampling device and minute object grasping method - Google Patents

Minute object grasping device, inspecting and sampling device and minute object grasping method

Info

Publication number
JPH052137A
JPH052137A JP3151983A JP15198391A JPH052137A JP H052137 A JPH052137 A JP H052137A JP 3151983 A JP3151983 A JP 3151983A JP 15198391 A JP15198391 A JP 15198391A JP H052137 A JPH052137 A JP H052137A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light source
optical system
minute object
minute
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3151983A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Jiyunko Kashima
淳子 賀嶋
Kaoru Naito
薫 内藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP3151983A priority Critical patent/JPH052137A/en
Publication of JPH052137A publication Critical patent/JPH052137A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide a grasping device which eliminates a minute object other than a target to be grapsed. CONSTITUTION:A laser light source 1, a collimator lens 2, a mechanical shutter 11, a relay lens 3, dichroic mirrors 4 and 11, an objective lens 5, a laser light source 6, a collimator lens 7, a mechanical shutter 12, relay lenses 8 and 10, a ring-shaped filter 9 are provided. Then, a luminous flux for eliminating is formed around a condensing position by the laser light source 6, the relay lenses 8 and 10, and the ring-shaped filter 9.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、微小物体の捕捉、検
査、および採取装置並びに微小物体捕捉方法に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for capturing, inspecting, and collecting micro objects and a method for capturing micro objects.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のこの種の装置は、図3に示す様な
構成になっていた。本装置は、光源31と、コリメ−タ
−レンズ32と、リレーレンズ33と、ダイクロイック
ミラ−34と、対物レンズ35と、撮像装置37と、リ
レーレンズ37と、試料36とを有する。
2. Description of the Related Art A conventional device of this type has a structure as shown in FIG. This device has a light source 31, a collimator lens 32, a relay lens 33, a dichroic mirror 34, an objective lens 35, an image pickup device 37, a relay lens 37, and a sample 36.

【0003】図3に於て、光源31は、微小物体捕捉ビ
ーム用の光源であり、一般にレーザー光が使用される。
この光源より出た光は、コリメ−タ−レンズ32を経
て、リレーレンズ33とダイクロイックミラー34を経
て、更に、対物レンズ35により試料36中の微小物体
に照射される。一方、試料36は、図示しない公知の方
法により別光源で、照明されており、それにより対物レ
ンズ35と、リレーレンズ37を経て36の像が撮像装
置38に結像される。勿論撮像装置の代りに通常の肉眼
による観察装置の場合もあり得る。
In FIG. 3, a light source 31 is a light source for a microscopic object capturing beam, and a laser beam is generally used.
The light emitted from this light source passes through the collimator lens 32, the relay lens 33 and the dichroic mirror 34, and is further irradiated onto the minute object in the sample 36 by the objective lens 35. On the other hand, the sample 36 is illuminated by another light source by a known method (not shown), so that the image of 36 is formed on the imaging device 38 via the objective lens 35 and the relay lens 37. Of course, instead of the image pickup device, a normal visual observation device may be used.

【0004】さて、この様に捕捉ビームにより照射され
た時に、微小物体は、光の反射・屈折に伴う光子の運動
量変化によって、図4に示す様に力を受ける。図中41
は、対象微小物体を示し、照射光は、円錐型の光束をな
し、A,Bは、光束中のビームを示し、ビームAにより
FA、ビームBによりFBという力が微小物体に屈折によ
る力として働く。この力と浮力(水中浮遊の場合)、重
力の3つの力がつり合うと光束中に微小物体が捕捉され
る。
Now, when the trapped beam is irradiated in this manner, the minute object receives a force as shown in FIG. 4 due to the change in the momentum of the photon accompanying the reflection / refraction of light. 41 in the figure
Indicates a target minute object, the irradiation light forms a cone-shaped light beam, A and B indicate beams in the light beam, and the force A by the beam A and the force FB by the beam B are reflected by the minute object. work. When this force, the buoyancy (in the case of floating in water), and the three forces of gravity are balanced, a minute object is captured in the light flux.

【0005】また、図5には微小物体の中心が、光軸上
にない時の様子を示している。微小物体51が、光軸上
にないと、FA,FB’は軸対称とはならず、その合力
は、光軸方向にひきこまれる形になる。このことは1度
捕捉した微小物体から照射光の光軸をずらしていくと、
小物体がそれに追従する形となり微小物体の移動が可能
となる。
Further, FIG. 5 shows a state in which the center of the minute object is not on the optical axis. If the minute object 51 is not on the optical axis, FA and FB 'will not be axially symmetric, and the resultant force will be drawn in the optical axis direction. This means that when the optical axis of the irradiation light is shifted from the minute object captured once,
A small object follows it, and a minute object can move.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置を用いて、多種の微小物体が混ざった懸濁液から
所定の微小物体を取りだそうとする時、微小物体を捕捉
して分離のために移動させていくと、移動路にある不必
要な微小物体まで、先に示した図5の様な形で一緒に取
りこんでしまうと問題が生ずる。
However, when such a device is used to take out a predetermined minute object from a suspension in which various minute objects are mixed, the minute object is captured and separated. Therefore, if the unnecessary minute objects on the moving path are taken in together in the form as shown in FIG. 5 as described above, a problem will occur.

【0007】本発明の目的は、捕捉対象以外の微小物体
を排除できる捕捉装置を提供することである。
An object of the present invention is to provide a trapping device capable of excluding minute objects other than the target to be trapped.

【0008】[0008]

【課題を解決する為の手段】上記問題の解決のために、
本発明では微小物体捕捉用光の近傍に微小物体排除用光
を設けることで微小物体の分離・移動を可能にした。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems,
In the present invention, the minute object eliminating light is provided in the vicinity of the minute object capturing light so that the minute objects can be separated and moved.

【0009】すなわち、第1の光源と、上記第1の光源
からの光を集光して、光軸上の集光点の近傍にトラップ
を形成する第1の光学系と、第2の光源と、上記第2の
光源からの光により、光軸から見て、上記第1の光学系
の集光位置の外側に、光束を形成する第2の光学系とを
有することとしたものである。
That is, a first light source, a first optical system for condensing light from the first light source to form a trap in the vicinity of a condensing point on the optical axis, and a second light source. And a second optical system that forms a light beam outside the converging position of the first optical system when viewed from the optical axis by the light from the second light source. .

【0010】[0010]

【作用】第1の光学系は、上記第1の光源からの光を集
光して、光軸上の集光点の近傍にトラップを形成する。
第2の光学系は、上記第2の光源からの光により、光軸
から見て、上記第1の光学系の集光位置の外側に、光束
を形成する。そして、上記光束は、捕捉対象でない微小
物体を捕捉しない様に、排除する。
The first optical system collects the light from the first light source and forms a trap in the vicinity of the converging point on the optical axis.
The second optical system forms a light beam by the light from the second light source outside the converging position of the first optical system when viewed from the optical axis. Then, the light flux is excluded so as not to capture a minute object that is not a capture target.

【0011】[0011]

【実施例】図1は本発明の実施例であって特に、微小物
体捕捉に関与する部分である。観察は、図示されていな
い公知の方法、例えば、図3に示す観察用の光学系を、
第3の光学系として有することによって行う。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, in particular, a portion involved in capturing a minute object. For the observation, a known method (not shown), for example, an optical system for observation shown in FIG.
This is performed by having the third optical system.

【0012】本捕捉装置は、第1の光源であるレ−ザ−
光源1と、コリメ−タ−レンズ2と、機械的シャッタ−
11と、リレーレンズ3と、ダイクロイックミラ−4、
14と、対物レンズ5と、第2の光源であるレ−ザ−光
源6と、コリメ−タ−レンズ7と、機械的シャッタ−1
2と、リレーレンズ8、10と、リング状のフィルター
9とを有する。
This capture device is a laser which is a first light source.
Light source 1, collimator lens 2, mechanical shutter
11, a relay lens 3, a dichroic mirror-4,
14, an objective lens 5, a laser light source 6 as a second light source, a collimator lens 7, and a mechanical shutter-1.
2, relay lenses 8 and 10, and a ring-shaped filter 9.

【0013】コリメ−タ−レンズ2と、機械的シャッタ
−11と、リレーレンズ3と、ダイクロイックミラ−
4、14と、対物レンズ5とは、第1の光学系を構成す
る。第2の光源であるレ−ザ−光源6と、コリメ−タ−
レンズ7と、機械的シャッタ−12と、リレーレンズ
8、10と、リング状のフィルター9と、ダイクロイッ
クミラ−14と、対物レンズ5とは、第2の光学系を構
成する。実線が捕捉用光束、破線が排除用光束である。
A collimator lens 2, a mechanical shutter 11, a relay lens 3, and a dichroic mirror.
The objective lenses 5 and 4 and 14 constitute a first optical system. Laser light source 6 which is the second light source, and collimator
The lens 7, the mechanical shutter 12, the relay lenses 8 and 10, the ring-shaped filter 9, the dichroic mirror 14, and the objective lens 5 form a second optical system. The solid line is the trapping light beam, and the broken line is the excluding light beam.

【0014】1は、捕捉用光源であり、30mWの半導
体レ−ザ−を用いている。これより出たビームは、コリ
メ−タ−レンズ2、リレーレンズ3、ダイクロイックミ
ラー4を経て、対物レンズ5により試料13に集光され
る。一方、排除光用光源(100mWの半導体レ−ザ)
6から出たビームは、コリメ−タ−レンズ7、リレーレ
ンズ8,10、リング状のフィルター9、ダイクロイッ
クミラー14を経て、対物レンズ5の焦点に集光され
る。このビームは、対物レンズ5を透過後、断面がリン
グ状になる平行光となる。
Reference numeral 1 denotes a light source for capturing, which uses a semiconductor laser of 30 mW. The beam emitted from this is passed through a collimator lens 2, a relay lens 3, and a dichroic mirror 4, and then focused on a sample 13 by an objective lens 5. On the other hand, a light source for excluded light (100 mW semiconductor laser)
The beam emitted from 6 passes through the collimator lens 7, the relay lenses 8 and 10, the ring-shaped filter 9, and the dichroic mirror 14, and is focused on the focus of the objective lens 5. After passing through the objective lens 5, this beam becomes parallel light having a ring-shaped cross section.

【0015】本発明では図4のように、微小物体41に
作用する力が、図中の角θにより、その方向が変化する
ことを利用している。図6、7により、本発明に係わる
排除用光束の作用について述べる。
In the present invention, as shown in FIG. 4, the force acting on the minute object 41 changes its direction depending on the angle θ in the figure. The operation of the excluding light flux according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0016】図6に平行光の場合の力の作用を示した。
平行光束AB中の微小物体にかかる力FA,FBの合力
は、光の進行方向に向き、微小物体を光の進行方向に押
す形となる。ここには図示しないが、界面での光の反射
による力も同じ方向を向くため、微小物体は、すばやく
加速されて光束に沿って流れる。一方、図7には、微小
物体の一部が光束ABにかかった所を示している。この
時、FBは、光束の中心に向かう方向の成分と光の進行
方向の成分の和になっており、微小物体は光束にひきこ
まれ乍ら、光の進行方向に流れる。
FIG. 6 shows the action of force in the case of parallel light.
The resultant force of the forces FA and FB applied to the minute object in the parallel light flux AB is directed in the traveling direction of the light and pushes the minute object in the traveling direction of the light. Although not shown here, the force due to the reflection of light at the interface also faces the same direction, so that the minute object is quickly accelerated and flows along the light flux. On the other hand, FIG. 7 shows a portion where a part of a minute object impinges on the light flux AB. At this time, FB is the sum of the component in the direction toward the center of the light beam and the component in the traveling direction of the light, and the minute object is drawn into the light beam and flows in the traveling direction of the light.

【0017】この点を利用し、分離に利用した状態を示
すものが図2である。図中、Ftは捕捉用の光束を示
し、対物レンズ5により集光され、微小物体24を捕捉
している。さらに排除光として、対物レンズ透過後にリ
ング状のほぼ平行光となる光Feを設ける。この様にす
ると、例えば、微小物体25が接近したとしても、この
微小物体は、一度は光束Fe中にひきこまれるが、光の
進行方向に流れ、微小物体25’となるため微小物体2
4とは分離されることになる。
FIG. 2 shows a state in which this point is utilized and the separation is utilized. In the figure, Ft represents a light flux for capturing, which is condensed by the objective lens 5 and captures the minute object 24. Further, as the excluded light, a light Fe which becomes a ring-shaped substantially parallel light after passing through the objective lens is provided. By doing so, for example, even if the minute object 25 approaches, the minute object is once caught in the light beam Fe, but flows in the traveling direction of the light and becomes the minute object 25 ', so that the minute object 2
It will be separated from 4.

【0018】このことを用いて実際の操作を次の様に行
う。実際の捕捉に際しては、図1において、まず捕捉す
べき微小物体を図示しないステージの移動により視野の
中央にもってきて、機械的シャッター11を開けること
によりまず微小物体を捕捉し、しかる後に、排除用光用
のビームをオン・オフする機械的シャッター12を開け
る。
Using this fact, the actual operation is performed as follows. In actual capturing, in FIG. 1, first, a micro object to be captured is moved to the center of the visual field by moving a stage (not shown), the mechanical shutter 11 is opened to capture the micro object, and then the micro object is removed. The mechanical shutter 12 for turning on / off the beam for use light is opened.

【0019】実際に、この様にした後で、再びステージ
を移して、微小物体を相対的に試料ホルダー中で移動さ
せたところ、排除ビームに入った微小物体は全て下方に
流れ、微小物体の混合は生じなかった。
Actually, after doing so, when the stage was moved again and the minute object was moved relatively in the sample holder, all the minute objects that entered the exclusion beam flow downward, and No mixing occurred.

【0020】なおレーザーの発振モードとしては、捕捉
用にはTEM00、排除用にはTEM01モードが有効であ
り、また、より広い範囲で排除性をもたせるには、排除
用のレーザー強度を少くとも捕捉用レーザーの3倍以上
にすることが好ましい。
As the laser oscillation mode, the TEM00 mode is effective for capturing and the TEM01 mode is effective for excluding, and in order to obtain extinction in a wider range, the laser intensity for exclusion is at least captured. It is preferable to make it 3 times or more of the laser for use.

【0021】以上の様に、排除光束を設けることによ
り、目的染色体等の微小物体の捕捉・移動が不要微小物
体の混入なしに行え、自動化へ容易に移行できるという
効果がある。
As described above, by providing the excluded light flux, it is possible to capture and move a minute object such as a target chromosome without mixing unnecessary minute objects, and it is possible to easily shift to automation.

【0022】上記の実施例では、排除光は、集光位置を
リング状に囲む様にしたが、これに限られるものではな
く、囲む形は、特にとわない。楕円、歪んだ形、多角形
でも本発明の効果を有する。
In the above-mentioned embodiment, the excluded light is arranged so that the condensing position is enclosed in a ring shape, but the present invention is not limited to this, and the enclosing shape is not particularly limited. An ellipse, a distorted shape, or a polygon also has the effect of the present invention.

【0023】また、本発明に係わる捕捉装置を微小物体
の採取装置に設けることにより、ピペット等の手段を採
取手段として有することにより、従来、困難であった微
小物体を選別して、採取することが容易になる。
Further, by providing the capturing device according to the present invention in a micro object sampling device, and having means such as a pipette as the sampling means, it is possible to sort and collect micro objects which have been difficult in the past. Will be easier.

【0024】また、本発明に係わる捕捉装置を微小物体
の観察を行なう顕微鏡に設けることにより、従来、困難
であった微小物体を選別して、観察することが容易にな
る。
Further, by providing the capturing apparatus according to the present invention in a microscope for observing a minute object, it becomes easy to select and observe a minute object which has been difficult in the past.

【0025】また、本発明に係わる捕捉装置を微小物体
の検査を行なう検査装置に設けることにより、従来、困
難であった微小物体を選別して、検査することが容易に
なる。
Further, by providing the capturing device according to the present invention in an inspection device for inspecting a minute object, it becomes easy to select and inspect a minute object which has been difficult in the past.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上の様に本発明によれば、捕捉対象以
外の微小物体を排除できる捕捉装置を提供することがで
きるという効果がある。
As described above, according to the present invention, there is an effect that it is possible to provide a capturing device capable of excluding minute objects other than the capturing target.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る捕捉装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a capture device according to the present invention.

【図2】本発明に係る一実施例の捕捉装置による微小物
体排除の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of minute object elimination by the capturing device according to the embodiment of the present invention.

【図3】従来技術に係る捕捉装置を有する観察装置のブ
ロック図である。
FIG. 3 is a block diagram of an observation device having a capture device according to the prior art.

【図4】従来技術に係る微小物体の光による捕捉の説明
図である。
FIG. 4 is an explanatory view of capturing a minute object by light according to a conventional technique.

【図5】従来技術に係る微小物体の光による捕捉の説明
図である。
FIG. 5 is an explanatory view of capturing a minute object by light according to a conventional technique.

【図6】本発明に係る微小物体の排除の仕方の説明図で
ある。
FIG. 6 is an explanatory diagram of a method of excluding minute objects according to the present invention.

【図7】本発明に係る微小物体の排除の仕方の説明図で
ある。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a method of excluding a minute object according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…レーザー光源、2…コリメ−タ−レンズ、3…リレ
ーレンズ、4…ダイクロイックミラー、5…対物レン
ズ、6…レーザー光源、7…コリメ−タ−レンズ、8…
リレーレンズ、9…フィルター、10…リレ−レンズ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser light source, 2 ... Collimator lens, 3 ... Relay lens, 4 ... Dichroic mirror, 5 ... Objective lens, 6 ... Laser light source, 7 ... Collimator lens, 8 ...
Relay lens, 9 ... filter, 10 ... relay lens.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】第1の光源と、上記第1の光源からの光を
集光して、光軸上の集光点の近傍にトラップを形成する
第1の光学系と、第2の光源と、上記第2の光源からの
光により、光軸から見て、上記第1の光学系の集光位置
の外側に、光束を形成する第2の光学系とを有すること
を特徴とする微小物体捕捉装置。
1. A first light source, a first optical system for condensing light from the first light source to form a trap in the vicinity of a condensing point on the optical axis, and a second light source. And a second optical system that forms a light flux outside the converging position of the first optical system when viewed from the optical axis by the light from the second light source. Object capture device.
【請求項2】第1の光源と、上記第1の光源からの光を
集光して、トラップを形成する第1の光学系と、第2の
光源と、上記第2の光源からの光により、上記第1の光
学系の集光位置を囲むように、光束を形成する第2の光
学系とを有することを特徴とする微小物体捕捉装置。
2. A first light source, a first optical system that collects light from the first light source to form a trap, a second light source, and light from the second light source. Thus, the minute object capturing apparatus is characterized in that it has a second optical system that forms a light flux so as to surround the condensing position of the first optical system.
【請求項3】第1の光源と、上記第1の光源からの捕捉
用光束を集光して、トラップを形成する第1の光学系
と、第2の光源と、上記第2の光源からの排除用光束に
より、上記第1の光学系の集光位置を囲むように、光束
を形成する第2の光学系とを有し、上記排除用光束は、
光軸に垂直な面での断面形状がリング状をなしているこ
とを特徴とする微小物体捕捉装置。
3. A first light source, a first optical system for condensing a trapping light flux from the first light source to form a trap, a second light source, and a second light source. And a second optical system for forming a light flux so as to surround the condensing position of the first optical system by the second light flux for exclusion.
A micro object capturing device characterized by having a ring-shaped cross-section in a plane perpendicular to the optical axis.
【請求項4】第1の光源と、上記第1の光源からの光を
集光して、光軸上の集光点の近傍にトラップを形成する
第1の光学系と、第2の光源と、上記第2の光源からの
光により、光軸から見て、上記第1の光学系の集光位置
の外側に、光束を形成する第2の光学系と、トラップに
捕捉された微小物体を観察する第3の光学系とを有する
ことを特徴とする検査装置。
4. A first light source, a first optical system for condensing light from the first light source to form a trap near a condensing point on the optical axis, and a second light source. And a second optical system that forms a light beam outside the converging position of the first optical system when viewed from the optical axis by the light from the second light source, and a minute object trapped in the trap. And a third optical system for observing.
【請求項5】請求項1、2または3記載の捕捉装置と、
上記捕捉装置によって捕捉された微小物体を採取する手
段とを有することを特徴とする採取装置。
5. A capture device according to claim 1, 2 or 3,
And a means for collecting the minute object captured by the capturing device.
【請求項6】第1の光源からの光を微小物体近傍に集光
すること、上記光により物体に働く力を利用して、光軸
上の集光点の近傍に上記微小物体を捕捉するトラップを
形成すること、第2の光源からの光により、光軸から見
て、上記第1の光学系の集光位置の外側に、光束を形成
することよりなることを特徴とする微小物体捕捉方法。
6. The light from the first light source is condensed in the vicinity of a minute object, and the force exerted on the object by the light is used to capture the minute object in the vicinity of a condensing point on the optical axis. Forming a trap, and forming a light beam outside the converging position of the first optical system when viewed from the optical axis by the light from the second light source, and capturing a minute object. Method.
JP3151983A 1991-06-24 1991-06-24 Minute object grasping device, inspecting and sampling device and minute object grasping method Pending JPH052137A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3151983A JPH052137A (en) 1991-06-24 1991-06-24 Minute object grasping device, inspecting and sampling device and minute object grasping method

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JP3151983A JPH052137A (en) 1991-06-24 1991-06-24 Minute object grasping device, inspecting and sampling device and minute object grasping method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH052137A true JPH052137A (en) 1993-01-08

Family

ID=15530501

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3151983A Pending JPH052137A (en) 1991-06-24 1991-06-24 Minute object grasping device, inspecting and sampling device and minute object grasping method

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JP (1) JPH052137A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06331902A (en) * 1993-05-26 1994-12-02 Olympus Optical Co Ltd Fine adjusting device for microscopic observation
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