JPH05211783A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH05211783A JPH05211783A JP4013823A JP1382392A JPH05211783A JP H05211783 A JPH05211783 A JP H05211783A JP 4013823 A JP4013823 A JP 4013823A JP 1382392 A JP1382392 A JP 1382392A JP H05211783 A JPH05211783 A JP H05211783A
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- JP
- Japan
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- rotor
- contact
- vibrator
- ultrasonic motor
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 棒状超音波モータにおけるロータが振動子と
の接触平面のうねりに追従させて、モータ特性の向上を
図るとともに、鳴きの発生を防止することを目的とす
る。 【構成】 棒状超音波モータにおけるロータが、ロータ
本環２と接触バネ部２ａとからなり、接触バネ部２ａが
接触突起部２ｄ、フランジ部２ｃ、基部２ｂからなる構
成において、これら接触バネ部を構成する部材の肉厚
を、振動子との接触ぶから離れるに従って厚くし、接触
バネ部の固有振動モードの全てのモードの固有振動数
が、駆動周波数の２倍より大きくする。
の接触平面のうねりに追従させて、モータ特性の向上を
図るとともに、鳴きの発生を防止することを目的とす
る。 【構成】 棒状超音波モータにおけるロータが、ロータ
本環２と接触バネ部２ａとからなり、接触バネ部２ａが
接触突起部２ｄ、フランジ部２ｃ、基部２ｂからなる構
成において、これら接触バネ部を構成する部材の肉厚
を、振動子との接触ぶから離れるに従って厚くし、接触
バネ部の固有振動モードの全てのモードの固有振動数
が、駆動周波数の２倍より大きくする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、棒状弾性体に設けられ
た電気−機械エネルギー変換素子に電気エネルギーを供
給することにより、棒状振動子としての弾性体を振動さ
せ振動子の表面粒子に円または楕円運動を生じさせ、振
動子に押圧した移動体を摩擦駆動させる超音波モータ、
特にカメラ等の光学機器、プリンタ等の事務機器に好適
な超音波モータに関するものである。
た電気−機械エネルギー変換素子に電気エネルギーを供
給することにより、棒状振動子としての弾性体を振動さ
せ振動子の表面粒子に円または楕円運動を生じさせ、振
動子に押圧した移動体を摩擦駆動させる超音波モータ、
特にカメラ等の光学機器、プリンタ等の事務機器に好適
な超音波モータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】棒状超音波モータは、棒形状の振動子の
一端面を駆動面とし、振動子構造体間に狭持固定する圧
電素子（ＰＺＴ）に、所定の位相差を有する交流電圧を
印加することにより、軸を含む複数の平面内に形成した
屈曲振動の合成で、該駆動面に円又は楕円運動を生じさ
せ、この駆動面に加圧接触している移動体（ロータ）を
摩擦駆動することを基本的構成としている。
一端面を駆動面とし、振動子構造体間に狭持固定する圧
電素子（ＰＺＴ）に、所定の位相差を有する交流電圧を
印加することにより、軸を含む複数の平面内に形成した
屈曲振動の合成で、該駆動面に円又は楕円運動を生じさ
せ、この駆動面に加圧接触している移動体（ロータ）を
摩擦駆動することを基本的構成としている。
【０００３】振動子の駆動面に生じる円又は楕円運動の
大きさは、高々数μｍ程度であるため、振動子の駆動面
に対してロータを全周にわたり接触させるには、振動子
の駆動面及び該駆動面に当接するロータの接触面の面精
度を、上記運動の大きさ以上に仕上げなければならな
い。
大きさは、高々数μｍ程度であるため、振動子の駆動面
に対してロータを全周にわたり接触させるには、振動子
の駆動面及び該駆動面に当接するロータの接触面の面精
度を、上記運動の大きさ以上に仕上げなければならな
い。
【０００４】しかし、現実には加工コストとの兼ね合い
から、ここまで高精度にはできず、ロータ側における接
触部にバネ性を付与し、全周にわたり接触を保持できる
ようにしている。
から、ここまで高精度にはできず、ロータ側における接
触部にバネ性を付与し、全周にわたり接触を保持できる
ようにしている。
【０００５】図２はバネ性を有するロータの断面（片半
部分のみ図示）を示している。２はロータ本環で、その
下部から板厚を薄くしてバネ性を付与したロータ接触バ
ネ部２ａを一体的に形成し、ロータ接触バネ部２ａの最
下端面を振動子の駆動面（不図示）と当接する接触面と
している。なお、図２において、ロータのバネ部２ａに
示してる寸法は、ロータを含めてモータが非常に小型で
あることを示すと共に、本発明の実施例との比較のため
に示している。
部分のみ図示）を示している。２はロータ本環で、その
下部から板厚を薄くしてバネ性を付与したロータ接触バ
ネ部２ａを一体的に形成し、ロータ接触バネ部２ａの最
下端面を振動子の駆動面（不図示）と当接する接触面と
している。なお、図２において、ロータのバネ部２ａに
示してる寸法は、ロータを含めてモータが非常に小型で
あることを示すと共に、本発明の実施例との比較のため
に示している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ロータのバ
ネ特性は矛かすぎるとモータ回転数、トルクともに出
ず、剛すぎると前述の接触平面のうねりに追従できず、
モータ出力がでない。
ネ特性は矛かすぎるとモータ回転数、トルクともに出
ず、剛すぎると前述の接触平面のうねりに追従できず、
モータ出力がでない。
【０００７】したがって、一般に実験的にバネ剛きを計
り、結果的にモータ特性が優れたものを選択する手法に
より決定していた。
り、結果的にモータ特性が優れたものを選択する手法に
より決定していた。
【０００８】しかし、このような手法によりバネ形状を
決定してもモータ特性にバラツキが生じたり、駆動中に
鳴きを発生することがあった。
決定してもモータ特性にバラツキが生じたり、駆動中に
鳴きを発生することがあった。
【０００９】本発明は、上記した問題点を解決すること
を目的とする。
を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の目的を達成する
手段は、特許請求の範囲に記載した通りであり、その技
術的背景を、図３に示す鳴きの発生の原因により説明す
る。図３は図２に示すロータを用いて駆動したときの、
ロータと振動子の接触の様子を非接触光学変位計で測定
した結果を示し、太い実線で示す波形は振動子の駆動面
における振動波形、細い実線で示す波形はロータの接触
部の振動波形である。
手段は、特許請求の範囲に記載した通りであり、その技
術的背景を、図３に示す鳴きの発生の原因により説明す
る。図３は図２に示すロータを用いて駆動したときの、
ロータと振動子の接触の様子を非接触光学変位計で測定
した結果を示し、太い実線で示す波形は振動子の駆動面
における振動波形、細い実線で示す波形はロータの接触
部の振動波形である。
【００１１】ロータ接触部の振動波形より、ロータは駆
動の２倍の周波成分を多く含み、周方向速度の最大とな
る振動子振動波形の頂傍では接触していない。
動の２倍の周波成分を多く含み、周方向速度の最大とな
る振動子振動波形の頂傍では接触していない。
【００１２】したがって、振動子振動振幅の頂傍付近に
接触している場合と比べ、モータ回転数は落ちる。ま
た、接触が滑らかに行なわれないため、鳴きを起こす原
因にもなる。
接触している場合と比べ、モータ回転数は落ちる。ま
た、接触が滑らかに行なわれないため、鳴きを起こす原
因にもなる。
【００１３】このロータの接触バネの振動数を調べる
と、図４に示すように、接触バネ部２ａの２次曲げモー
ドの固有振動数が、振動子駆動周波数（３６〜４２ＫＨ
ｚ）の２倍付近に存在することが分った。
と、図４に示すように、接触バネ部２ａの２次曲げモー
ドの固有振動数が、振動子駆動周波数（３６〜４２ＫＨ
ｚ）の２倍付近に存在することが分った。
【００１４】一方、振動子の変位分布は正弦波状であ
り、これに押圧された接触バネ２ａの受ける加振力は概
ね図５に示したような半波整流波形状となる。
り、これに押圧された接触バネ２ａの受ける加振力は概
ね図５に示したような半波整流波形状となる。
【００１５】このとき、加振力成分として駆動の２倍の
成分も多く含み、この周波数に接触バネの固有振動（特
に２次の曲げ振動）があれば、これが振幅拡大し、前述
のロータ接触部振動波形のように滑かな接触を妨げる。
成分も多く含み、この周波数に接触バネの固有振動（特
に２次の曲げ振動）があれば、これが振幅拡大し、前述
のロータ接触部振動波形のように滑かな接触を妨げる。
【００１６】なお、駆動周波数の３倍以上の成分につい
ても同様の理屈が成立するが、加振力の周波数数成分と
して、２倍の成分に比べ小さいこと、接触バネの３次曲
げ以上の振動モードの静剛性は２次曲げに比べ相当高く
なることにより、駆動周波数の３倍以上の成分が接触バ
ネの固有振動を大きく励起する可能性は小さい。
ても同様の理屈が成立するが、加振力の周波数数成分と
して、２倍の成分に比べ小さいこと、接触バネの３次曲
げ以上の振動モードの静剛性は２次曲げに比べ相当高く
なることにより、駆動周波数の３倍以上の成分が接触バ
ネの固有振動を大きく励起する可能性は小さい。
【００１７】以上より、ロータ接触部の固有振動の振動
数を、駆動周波数の２倍の周波数から離せば良いといえ
る。但し、駆動周波数の２倍の周波数より低くした場
合、加振力に追従できず、よって高い方向へ離す必要が
ある。
数を、駆動周波数の２倍の周波数から離せば良いといえ
る。但し、駆動周波数の２倍の周波数より低くした場
合、加振力に追従できず、よって高い方向へ離す必要が
ある。
【００１８】
【実施例】図１は本発明による超音波モータの第１実施
例を示すロータの断面図である。本実施例のロータは、
図２に示す従来のロータと同様に、ロータ本環２と接触
バネ部２ａから構成されており、接触バネ部２ａは、ロ
ータ本環２の外周部から軸方向下方に延出される基部２
ｂと、該基部２ｂの下端から内側に延びて片持支持の状
態となって大きなバネ性を付与されるフランジ部２ｃ
と、該フランジ部２ｃの内端部から軸方向下方に突出す
る接触突起部２ｂとから構成されている。
例を示すロータの断面図である。本実施例のロータは、
図２に示す従来のロータと同様に、ロータ本環２と接触
バネ部２ａから構成されており、接触バネ部２ａは、ロ
ータ本環２の外周部から軸方向下方に延出される基部２
ｂと、該基部２ｂの下端から内側に延びて片持支持の状
態となって大きなバネ性を付与されるフランジ部２ｃ
と、該フランジ部２ｃの内端部から軸方向下方に突出す
る接触突起部２ｂとから構成されている。
【００１９】基部２ｂの肉厚をｔ1 、フランジ部２ｃの
肉厚をｔ2 、接触突起部２ｄの肉厚をｔ3 とすると、本
実施例では、ｔ1 ＞ｔ2 ＝ｔ1 の関係としており、具体
的にはｔ1 ＝０．５ｍｍ，ｔ2 ＝ｔ1 ＝０．２ｍｍとし
ている。
肉厚をｔ2 、接触突起部２ｄの肉厚をｔ3 とすると、本
実施例では、ｔ1 ＞ｔ2 ＝ｔ1 の関係としており、具体
的にはｔ1 ＝０．５ｍｍ，ｔ2 ＝ｔ1 ＝０．２ｍｍとし
ている。
【００２０】すなわち、振動子との接触部から遠ざかる
程、接触バネ部の肉厚を増して剛性を高めている。
程、接触バネ部の肉厚を増して剛性を高めている。
【００２１】なお、ｄ1 ＝５．５ｍｍ，ｄ2 ＝４．２ｍ
ｍ，Ｌ1 ＝１．０ｍｍ，Ｌ2 ＝０．２ｍｍとし、図２に
示す従来例のロータにおける接触バネ部２ａの２次曲げ
の固有振動モードの振動数が８０ＫＨｚにあったもの
が、本実施例では１２０ＫＨｚまで高まり、駆動周波数
の２．５倍以上となった。
ｍ，Ｌ1 ＝１．０ｍｍ，Ｌ2 ＝０．２ｍｍとし、図２に
示す従来例のロータにおける接触バネ部２ａの２次曲げ
の固有振動モードの振動数が８０ＫＨｚにあったもの
が、本実施例では１２０ＫＨｚまで高まり、駆動周波数
の２．５倍以上となった。
【００２２】また、０，１，３次の固有振動数が従来８
０ＫＨｚ〜１０５ＫＨｚにあったものが、１２０〜１４
０ＫＨｚに向上した。
０ＫＨｚ〜１０５ＫＨｚにあったものが、１２０〜１４
０ＫＨｚに向上した。
【００２３】本実施例のロータを用いて駆動したときの
接触部振動波形を図６に示す。
接触部振動波形を図６に示す。
【００２４】図３に示す従来の場合との比較より明らか
なように、振動子の振動の頂部付近でも接触するように
なり、モータ特性はモータ回転数、トルクともに改善さ
れた。
なように、振動子の振動の頂部付近でも接触するように
なり、モータ特性はモータ回転数、トルクともに改善さ
れた。
【００２５】なお、本実施例では、接触突起部２ｄの先
端部を面取り加工して丸みを付け、この面取り部はアル
ミ製ロータの耐摩耗処理であるアルマイトのモータ駆動
中における欠けを防止するようにしている。
端部を面取り加工して丸みを付け、この面取り部はアル
ミ製ロータの耐摩耗処理であるアルマイトのモータ駆動
中における欠けを防止するようにしている。
【００２６】図７は本発明による超音波モータの第２実
施例を示すロータの断面図である。本実施例のロータ
は、ロータ本環２から一体的に延出される接触バネ部２
ａを全体的に内側に向けて傾斜させた円錐台形状とする
と共に、その肉厚を先端に行く程薄くし、接触バネ部２
ａの固有振動数を高くしている。
施例を示すロータの断面図である。本実施例のロータ
は、ロータ本環２から一体的に延出される接触バネ部２
ａを全体的に内側に向けて傾斜させた円錐台形状とする
と共に、その肉厚を先端に行く程薄くし、接触バネ部２
ａの固有振動数を高くしている。
【００２７】なお、ｄ1 ＝５．５ｍｍ，ｄ2 ＝４．２ｍ
ｍ，ｔ1 ＝０．３ｍｍ，ｔ3 ＝０．２ｍｍ，ｔ1 ＝０．
７５ｍｍとし、接触バネ部２ａの固有振動モードの振動
数は１５０ＫＨｚになり、また、０，１，３次の固有振
動数も全て１５０ＫＨｚ以上となった。接触の様子も図
６に示したと同様のものが得られ、モータ出力も向上し
た。
ｍ，ｔ1 ＝０．３ｍｍ，ｔ3 ＝０．２ｍｍ，ｔ1 ＝０．
７５ｍｍとし、接触バネ部２ａの固有振動モードの振動
数は１５０ＫＨｚになり、また、０，１，３次の固有振
動数も全て１５０ＫＨｚ以上となった。接触の様子も図
６に示したと同様のものが得られ、モータ出力も向上し
た。
【００２８】図８は本発明による超音波モータの第３実
施例を示す概略図である。
施例を示す概略図である。
【００２９】本実施例は、振動子１の駆動面側に接触バ
ネ部１ａを形成したもので、ロータ３がこの接触バネ部
１ａの上面に接触する。ロータ３の接触部には、接着、
塗布又はコーティングされた耐摩耗用の樹脂層４が設け
られている。
ネ部１ａを形成したもので、ロータ３がこの接触バネ部
１ａの上面に接触する。ロータ３の接触部には、接着、
塗布又はコーティングされた耐摩耗用の樹脂層４が設け
られている。
【００３０】振動子１の接触バネ部１ａは、駆動面に行
くに従って肉厚を薄くした逆円錐台形状に形成されてお
り、図７に示す第２実施例と同様の理屈による。
くに従って肉厚を薄くした逆円錐台形状に形成されてお
り、図７に示す第２実施例と同様の理屈による。
【００３１】すなわち、本実施例のように振動子１側に
接触バネ部を設けたタイプでも、振動子接触バネは図５
に示すような加振力分布を受けるため、接触バネ部１ａ
の固有振動数を高めることによる効果は、上記の各実施
例と同様である。
接触バネ部を設けたタイプでも、振動子接触バネは図５
に示すような加振力分布を受けるため、接触バネ部１ａ
の固有振動数を高めることによる効果は、上記の各実施
例と同様である。
【００３２】図９は、本発明による超音波モータの第４
実施例を示すロータの断面図である。
実施例を示すロータの断面図である。
【００３３】本実施例は、ロータの接触バネ部２ａを、
基部２ｂ、フランジ部２ｃ、接触突起部２ｄから構成し
た点は第１実施例と同様であるが、これらの肉厚ｔ1 ，
ｔ2，ｔ3 は、ｔ1 ＞ｔ3 ＞ｔ2 の関係にある。そし
て、フランジ部２ｃと接触突起部２ｄの連結部の内側を
面取り加工により傾斜面５とし、接触バネ先端部の質量
を減らしている。
基部２ｂ、フランジ部２ｃ、接触突起部２ｄから構成し
た点は第１実施例と同様であるが、これらの肉厚ｔ1 ，
ｔ2，ｔ3 は、ｔ1 ＞ｔ3 ＞ｔ2 の関係にある。そし
て、フランジ部２ｃと接触突起部２ｄの連結部の内側を
面取り加工により傾斜面５とし、接触バネ先端部の質量
を減らしている。
【００３４】これにより、接触バネ部の固有振動数を高
めている。
めている。
【００３５】なお、ｔ1 ＝０．４５ｍｍ，ｔ2 ＝０．２
ｍｍ，ｔ3 ＝０．３ｍｍ，Ｌ1 ＝１．０ｍｍ，Ｌ2 ＝
０．３５ｍｍ，Ｌ2 ＝０．２ｍｍ，ｄ1 ＝５．５ｍｍ，
ｄ2 ＝４．１５ｍｍとしている。
ｍｍ，ｔ3 ＝０．３ｍｍ，Ｌ1 ＝１．０ｍｍ，Ｌ2 ＝
０．３５ｍｍ，Ｌ2 ＝０．２ｍｍ，ｄ1 ＝５．５ｍｍ，
ｄ2 ＝４．１５ｍｍとしている。
【００３６】図１０は本発明による超音波モータを駆動
源とする装置の概略図である。
源とする装置の概略図である。
【００３７】ａ1 ，ａ2 は駆動用圧電素子、Ｓはセンサ
用圧電素子、ｂ1 ，ｂ2 は振動子構造体で、振動子構造
体ｂ1 とｂ2 との間に圧電素子ａ1 ，ａ2 ，Ｓおよび電
極板を介装した状態でボルトＣにより振動子構造体ｂ
1 ，ｂ2 を締結し、圧電素子を挟持固定した振動子が形
成される。
用圧電素子、ｂ1 ，ｂ2 は振動子構造体で、振動子構造
体ｂ1 とｂ2 との間に圧電素子ａ1 ，ａ2 ，Ｓおよび電
極板を介装した状態でボルトＣにより振動子構造体ｂ
1 ，ｂ2 を締結し、圧電素子を挟持固定した振動子が形
成される。
【００３８】ｒはロータで、バネケースｄを介して加圧
バネｅにより振動子の駆動面に加圧接触する。ｆは外周
部に歯車部が形成された回転出力部材で、ベアリングｇ
に軸支されており、バネケースｄと摩擦接触している。
したがって、ロータｒと一体的に回転する。ｈは固定部
材で、ボルトＣの先端部に固定され、ゴムシートｉを介
装した状態でビスにより取り付部材ｊに固定される。
バネｅにより振動子の駆動面に加圧接触する。ｆは外周
部に歯車部が形成された回転出力部材で、ベアリングｇ
に軸支されており、バネケースｄと摩擦接触している。
したがって、ロータｒと一体的に回転する。ｈは固定部
材で、ボルトＣの先端部に固定され、ゴムシートｉを介
装した状態でビスにより取り付部材ｊに固定される。
【００３９】このように構成した超音波モータを駆動源
とする装置は、大歯車部５４ａと小歯車部５４ｂを一体
的に有する歯車５４における該大歯車５４ａに、回転出
力部材ｆの歯車部が噛合し、超音波モータの出力が取り
出される。
とする装置は、大歯車部５４ａと小歯車部５４ｂを一体
的に有する歯車５４における該大歯車５４ａに、回転出
力部材ｆの歯車部が噛合し、超音波モータの出力が取り
出される。
【００４０】歯車５４の小歯車部５４ｂは、被駆動体、
例えばカメラのレンズ鏡筒５５の外周部に形成された歯
車部５５ａと噛合し、超音波モータにより回転駆動され
る。一方、歯車５４には、エンコーダスリット板５６が
同軸的に取り付けられ、フォトカップラ５７により回転
検出が行われる。
例えばカメラのレンズ鏡筒５５の外周部に形成された歯
車部５５ａと噛合し、超音波モータにより回転駆動され
る。一方、歯車５４には、エンコーダスリット板５６が
同軸的に取り付けられ、フォトカップラ５７により回転
検出が行われる。
【００４１】
【発明の効果】以上説明してきたように本発明によれ
ば、棒状超音波モータにおいて、接触バネ部の動特性
は、良好な接触状態を保つため重要であるが、その一条
件として、駆動周波数の２倍以上に接触バネの全固有振
動数をすることで、良好な接触状態が保たれ、モータ性
能は向上する。
ば、棒状超音波モータにおいて、接触バネ部の動特性
は、良好な接触状態を保つため重要であるが、その一条
件として、駆動周波数の２倍以上に接触バネの全固有振
動数をすることで、良好な接触状態が保たれ、モータ性
能は向上する。
【図１】本発明による超音波モータの第１実施例を示す
ロータの断面図。
ロータの断面図。
【図２】従来の超音波モータのロータの断面図。
【図３】図２のロータを用いた時の、ロータ及び振動子
の接触部の振動波形。
の接触部の振動波形。
【図４】ロータの接触バネ部の２次曲げ振動モードを示
す図。
す図。
【図５】加振力を示す波形図。
【図６】第１実施例のロータ及び振動子の接触部の振動
波形。
波形。
【図７】第２実施例を示すロータの断面図
【図８】第３実施例を示す超音波モータの概略断面図。
【図９】第４実施例を示すロータの断面図。
【図１０】本発明による超音波モータを駆動源とする装
置の概略図。
置の概略図。
１…振動子 １ａ…接触バネ部 ２…ロータ本環 ２ａ…接触バネ部 ２ｂ…基部 ２ｃ…フランジ部 ２ｄ…接触突起部 ３…ロータ ４…耐摩耗樹脂層
Claims (2)
- 【請求項１】 棒状振動体に設けられた電気−機械エネ
ルギー変換素子に電気信号を印加することによって、前
記振動体の軸を含む異なる複数の平面内に、屈曲振動を
励起させ、かつ各々の振動に時間的に所定の位相差を持
たせることにより、前記振動体の表面に回転運動を生じ
させ、前記振動体に圧接係合した移動体を摩擦駆動する
超音波モータであって、該移動体では該振動体が接触バ
ネを有するものに於て、該接触バネの固有振動モードの
全てのモードの固有振動数が、駆動周波数の２倍より大
きい事を特徴とする超音波モータ。 - 【請求項２】 請求項１に記載した棒状超音波モータを
含む装置に於て、振動子に押圧されて摩擦駆動される部
材から駆動力を得る出力部材を有することを特徴とする
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4013823A JPH05211783A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4013823A JPH05211783A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05211783A true JPH05211783A (ja) | 1993-08-20 |
Family
ID=11843998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4013823A Pending JPH05211783A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05211783A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100523109B1 (ko) * | 2001-01-22 | 2005-10-20 | 캐논 가부시끼가이샤 | 진동파구동장치 |
| JP2014087151A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ及び光学機器 |
| JP2018186656A (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-22 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ |
-
1992
- 1992-01-29 JP JP4013823A patent/JPH05211783A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100523109B1 (ko) * | 2001-01-22 | 2005-10-20 | 캐논 가부시끼가이샤 | 진동파구동장치 |
| JP2014087151A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ及び光学機器 |
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| US11165370B2 (en) | 2017-04-26 | 2021-11-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration actuator |
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