JPH05190648A - ウエハ収納治具の搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】半導体製造工程で、ウエハ収納治具６を複数の
製造装置の間で走行して搬送する、ウエハ搬送ロボット
において、走行装置９の上に、三ないし六個のウエハ収
納治具が田の字型等の配置に並ぶように置き台を設置
し、ロボットハンド８を手首より奥へ突出させたハンド
とし、二ないし三種類のウエハ収納治具６の姿勢の持ち
替えを、走行装置９の上で行う。 【効果】三ないし六個のウエハ収納治具を走行装置の上
に乗せる事が出来て搬送効率が高く、かつ、二ないし三
種類の姿勢のウエハ収納治具について搬送する事が出
来、かつ、スルーザウオールの製造装置にも搬送でき、
自動化ラインに自由に最新の高性能製造装置を導入する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多数の半導体ウエハを
収納したウエハ収納治具を、複数の半導体製造装置の間
で走行して搬送するのに好適なウエハ収納治具の搬送方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の製造において製品の歩留り
の向上のためクリーン化が必要である。このため作業者
より発生する塵埃が問題とされ、製造装置の自動化、並
びに、半導体ウエハ搬送の無人化が行われている。

【０００３】生産ラインには複数の製造装置が配置さ
れ、半導体ウエハは各製造装置に、順次、または選択的
に搬送されて製造される。製造装置への半導体ウエハの
供給は、２５枚の半導体ウエハをカセットと称するウエ
ハ収納治具に整列収納して、ウエハ収納治具を製造装置
に搬送する事により行われるのが一般的である。装置内
でウエハを一枚ずつ処理する場合もあるが、２５〜１０
０枚を一度に処理するバッチ処理もある。この場合には
製造装置に２〜４個のウエハ収納治具を同時に搬送する
方が、装置の搬送を待つ時間が減り効率がよい。

【０００４】このウエハ収納治具を搬送するためのウエ
ハ搬送ロボットは、複数の製造装置相互の間を走行する
走行装置と、走行装置に搭載した三次元移動が可能なア
ーム部と、アーム部の先端に備えられウエハ収納治具の
向きを所定の方向に向ける手首部と、ウエハ収納治具を
把持するハンドを具備してなり、ある製造装置からウエ
ハ収納治具をハンドで把持して取り出し、別の製造装置
へ走行してウエハ収納治具を供給する。ウエハ搬送ロボ
ットが走行する時の振動により、ウエハ収納治具内のウ
エハに損傷を与えるのを防止するため、走行時は、ウエ
ハ収納治具をウエハ搬送ロボットの走行装置の上に設け
た防震機能を持たせたウエハ収納治具置き台の上に置い
て、ハンドを開いて、ハンドと手首部をウエハ収納治具
から離す。

【０００５】ウエハ収納治具一個あたりの走行時間を減
らすために、ウエハ搬送ロボットの走行装置の上に複数
のウエハ収納治具を乗せるのが好ましく、２〜６個を乗
せるのが一般に行われている。Ｒｏｂｏｔ Ｎｏ．５５
（１９８７−１） ９０〜９４ページには、Ｎｉｋｏｎ
・ＦＭＳ自動搬送システムが、ウエハ収納治具六個を乗
せられるウエハ収納治具置き台を備えている様子が述べ
られている。また、省力と自動化 １９９１年２月号の
表表紙には、無軌道無人搬送車が、ウエハ収納治具四個
を乗せられるウエハ収納治具置き台を備えている様子が
記載されている。

【０００６】なお、ウエハ収納治具は、開口面を持つ箱
状の構成であり、その外面角部にはウエハ搬送ロボット
がハンドで把持するための鍔部が形成され、その内部に
は多数の収納溝が形成されていて、各収納溝にウエハが
引き抜き自在に挿入されている。そして、ウエハが収納
されたウエハ収納治具の姿勢は、開口面を横に向け、か
つ、ウエハが水平で表面が上となるような状態で製造装
置に装填される場合、開口面の向きが、製造装置のウエ
ハ収納治具搬送側（搬送ロボットの搬送車が存在する
側）より見て、奥，手前，左、または右となる四種類の
姿勢がある。以後、これらのウエハ収納治具の姿勢を、
各々、ウエハ水平出口奥，ウエハ水平出口手前，ウエハ
水平出口左、または、ウエハ水平出口右、と呼ぶことに
する。また、ウエハ収納治具が、その開口面を上に向け
ウエハが垂直となる様な状態で、製造装置に装填される
場合、ウエハ収納治具の姿勢は、ウエハの表面が、製造
装置のウエハ収納治具搬送側（搬送ロボットの搬送車が
存在する側）より見て、奥，手前，左、または右となる
四種類の姿勢がある。以後、これらのウエハ収納治具の
姿勢を、各々、ウエハ垂直表奥，ウエハ垂直表手前，ウ
エハ垂直表左、または、ウエハ垂直表右と呼ぶことにす
る。

【０００７】製造装置に装填されたウエハ収納治具の姿
勢の種類は、治具に収納されたウエハが水平の場合と垂
直の場合とで、合計八種類の姿勢があり、個々の製造装
置によつて、まちまちであるが、そのうち、ウエハ水平
出口奥の場合と、ウエハ垂直表手前の場合との二種類が
多い。ロボットによるウエハ収納治具の搬送を行うため
にウエハ収納治具の姿勢を統一する傾向になっている
が、同じウエハ搬送ロボットが搬送するべき生産ライン
の装置を一種類の姿勢に統一するのは困難であり、少な
くとも前記の二種類の姿勢は必要である。

【０００８】近年、半導体素子の構造が微細化するにつ
れ、半導体製造装置を設置するクリーンルームのクリー
ン度も、より高度のものが必要となり、設置コストが増
え、製造装置の床面積をより小さくすることが必要にな
っている。また、製造装置の機能もより高度のものが必
要となり、その体積が増大している。そのため、製造装
置に装填したウエハ収納治具の周辺に近接して装置の制
御装置等を配置して空間を有効利用し、ウエハ収納治具
の供給取り出しの経路はウエハ収納治具の手前側のみに
限定される様になっている。また、さらに製造装置が大
型になると、図１１に示す様に、製造装置本体１はクリ
ーンルーム２に隣接したメンテナンスエリア３内に設置
し、ウエハを取り扱う高度のクリーン度を要する部分４
のみを隔離して隣接したクリーンルームに接続し、クリ
ーンルームとメンテナンスルームの境界の壁５に開けた
孔を通して、ウエハ収納治具６の供給取り出しを行う、
いわゆる、スルーザウオール方式の製造装置が開発され
ている。この場合、ウエハ収納治具の上方にロボットの
手首７が入るスペースが無いものがある。この場合には
ロボットの手首はウエハ収納治具の手前にとどめ、ハン
ド８を手首より奥へ突出させて、ウエハ収納治具を把持
する必要がある。このように、ウエハ収納治具の上方に
ロボット手首が入るスペースがなく、手首の位置がウエ
ハ収納治具の手前側に限定される場合、ロボット手首を
回転させる事によって、ウエハ収納治具の姿勢を、変え
ることが出来なくなるので、製造装置に装填するウエハ
収納治具の姿勢を変える際には、ハンドから見たウエハ
収納治具の姿勢を変えるため、ウエハ収納治具を持ち替
える必要がある。

【０００９】防震のため及び走行効率向上のため、ウエ
ハ収納治具を走行装置上に乗せるので、この時、ウエハ
収納治具の持ち替えを行う事により、持ち替えのための
ロボットの動作を省略でき、搬送効率が向上する。

【００１０】実開平１−１５５６４０号公報には、走行
装置上に前述の二種類のウエハ収納治具の姿勢の持ち替
えを行う、姿勢変換機構を備えた搬送ロボットについて
のべてある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】前述の公報ではウエハ
収納治具の上方にロボット手首が入るスペースが無い場
合について考慮されていない。また、ウエハ搬送ロボッ
トの走行装置の上に複数のウエハ収納治具を乗せる場合
についても考慮されていない。また、Ｎｉｋｏｎ・ＦＭ
Ｓ自動搬送システムでは、ウエハ収納治具の姿勢が二種
類ある場合について考慮されていない。また、無軌道無
人搬送車では、スルーザウオール方式の製造装置でウエ
ハ収納治具の上方にロボットの手首が入るスペースが無
い場合について考慮されていない。

【００１２】そのため、走行装置上に乗せるウエハ収納
治具の数を二個以下にする必要があり、走行の搬送効率
が低下する。もしくは、走行装置以外の場所でウエハ収
納治具の持ち替えを行う必要があり、ロボットの搬送効
率が低下する。もしくは、同じウエハ搬送ロボットが搬
送するべき生産ラインの装置を、一種類のウエハ収納治
具の姿勢に統一する必要があり、または、スルーザウオ
ールの製造装置に搬送できない等、自動化ラインに自由
に最新の高性能製造装置を導入することが出来ない可能
性が高い。

【００１３】本発明の目的は、三ないし六個のウエハ収
納治具をウエハ搬送ロボットの走行装置の上に乗せる事
が出来て搬送効率が高く、かつ、多くの製造装置で採用
されている前述の二種類の姿勢、もしくはこれにロボッ
ト搬送に適した別の一種類の姿勢を加えた計三種類の姿
勢のウエハ収納治具について、走行装置の上で持ち替え
して搬送する事が出来るように、かつ、スルーザウオー
ルの製造装置にも搬送できるようにして、自動化ライン
に最新の高性能製造装置を導入することができるように
することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、ウエハ搬送ロボットの走行装置の上
に、ウエハ収納治具が田の字型等の配置に並ぶように置
き台を設置し、ロボットハンドを手首より奥へ突出させ
たハンドとし、ウエハ水平出口奥とウエハ垂直表手前の
二種類、もしくはこれにウエハ水平出口手前を加えた三
種類の姿勢の持ち替えを、ウエハ搬送ロボットの走行装
置の上で行うようにした。

【００１５】

【作用】三ないし六個のウエハ収納治具をウエハ搬送ロ
ボットの走行装置の上に乗せる事が出来て搬送効率が高
く、かつ、二種類ないし三種類の姿勢のウエハ収納治具
について搬送する事が出来、かつ、スルーザウオールの
製造装置にも搬送でき、自動化ラインに自由に最新の高
性能製造装置を導入することができる。

【００１６】

【実施例】図１ないし図１０に本発明のウエハ収納治具
の搬送方法の一実施例を示す。

【００１７】図１ないし図４に本発明に用いるウエハ搬
送ロボットの構成を示す。

【００１８】図１に示すように製造装置相互の間を走行
するようになした走行装置９の上に、六軸ロボット１０
及びウエハ収納治具６の防震機能をもたせた置き台１
１，２９，３０，３１を乗せる（２９，３１は図４に示
す）。

【００１９】図２にリンク図を示す様に六軸ロボット１
０は、搬送車の上面１４に固定されロボットコラム１３
を鉛直軸で回転させる、第一軸１７、ロボットコラム１
３に固定されアーム１５を水平軸で回転させる、第二軸
１８、アーム１５に固定されアーム１６を水平軸で回転
させる、第三軸１９、アーム１６に固定され互いに略直
角方向に連結されてハンド８の方向を自由に変える機能
を持ち、手首７を構成する、第四軸２０、第五軸２１、
第六軸２２、より成る。

【００２０】図１に戻り、六軸ロボット１０の手首７の
先端にハンド開閉機構１２とハンド８を取り付ける。ハ
ンド８にウエハ収納治具の姿勢がウエハ垂直表手前の場
合の鍔部を把持する為のクランプ爪２６と、ウエハ収納
治具の姿勢がウエハ水平出口奥の場合の鍔部を把持する
為のクランプ爪２７と、ウエハ収納治具の姿勢がウエハ
水平出口手前の場合の鍔部を把持する為のクランプ爪２
８とを付ける。

【００２１】この時、製造装置に装填された状態のウエ
ハ収納治具を把持したとき、手首７の先の第六軸２２
は、略鉛直方向を向く様にする。また、ハンド８の上部
は空間にし、ロボットの手首７はその横に配置する。

【００２２】図３に示すようにウエハ収納治具は、ウエ
ハが垂直になる様に置いた場合の上部２３と、ウエハが
水平になる様に置いた場合の上部２４とに、鍔部を設
け、それぞれの鍔部に対応したハンドのクランプ爪で、
ウエハ水平出口奥の場合と、ウエハ水平出口手前の場合
と、ウエハ垂直表手前の場合の、三つの姿勢のウエハ収
納治具を掴める様にする。

【００２３】置き台１１，２９，３０，３１は、ウエハ
収納治具６の中のウエハが水平の状態から、開口面側が
上になる方向に５ないし３５度傾け、ウエハの表面がウ
エハ収納治具６の溝に触れないように、かつ、ウエハが
振動で外へこぼれないようにする。また、図４に示すよ
うに、四個のウエハ収納治具のウエハの出口が略同じ方
向を向くように、置き台１１，２９，３０，３１を田の
字型の配置に並べ、ウエハの出口の方向に直列に並ぶ二
個の置き台１１，２９の隣接面と、ウエハの出口の方向
に直列に並ぶ二個の置き台３０，３１の隣接面とを一致
させ、ロボットコラム１３を二個の置き台の隣接面２５
上に配置する。

【００２４】図５に手首７から見たウエハ収納治具６の
姿勢がウエハ垂直表手前となるように、ウエハ搬送ロボ
ットの走行装置９上のウエハ収納治具６を把持した状態
の一例を示す。手首７の位置をウエハ収納治具のウエハ
表側でかつウエハ出口側の方向に置き、手首７の先の第
六軸２２を図のように水平から、ウエハ収納治具内のウ
エハが水平から傾いている分だけ回転させた状態にし、
ハンド８に設けたクランプ爪２６で鍔２３を把持する。

【００２５】図６及び図７に手首７から見たウエハ収納
治具６の姿勢がウエハ水平出口奥となるように、ウエハ
搬送ロボットの走行装置９上のウエハ収納治具６を把持
した状態の一例を示す。手首７の位置をウエハ収納治具
のウエハ出口側の反対方向でかつウエハ表側に置き、手
首７の先の第六軸２２を図のように垂直から、ウエハ収
納治具内のウエハが水平から傾いている分だけ、ウエハ
収納治具を持ち上げる方向に回転させた状態にし、ハン
ド８に設けたクランプ爪２７で鍔２４を把持する。図６
はウエハの出口の方向に直列に並ぶ二個の置き台１１，
２９の内ウエハの出口と反対側の置き台１１に乗せたウ
エハ収納治具を把持した場合を示す。図７はウエハの出
口の方向に直列に並ぶ二個の置き台１１，２９の内ウエ
ハの出口の側の置き台２９に乗せたウエハ収納治具を把
持した場合を示す。この場合、隣接する置き台１１にウ
エハ収納治具を乗せた状態では、そのウエハ収納治具と
ハンド開閉機構１２が干渉するため、置き台２９上のウ
エハ収納治具６を把持出来ないので、隣接する置き台１
１は空でなければならない。

【００２６】図８に手首７から見たウエハ収納治具６の
姿勢がウエハ水平出口手前となるように、ウエハ搬送ロ
ボットの走行装置９上のウエハ収納治具６を把持した状
態の一例を示す。手首７の位置をウエハ収納治具のウエ
ハ出口側の方向でかつウエハ表側に置き、手首７の先の
第六軸２２を図のように垂直から、ウエハ収納治具内の
ウエハが水平から傾いている分だけ、ウエハ収納治具を
下げる方向に回転させた状態にし、ハンド８に設けたク
ランプ爪２８で鍔２４を把持する。

【００２７】つぎに、ウエハ収納治具の姿勢がウエハ垂
直表手前であるウエハ収納治具の倉庫（以後、これをス
トッカと呼ぶことにする、入出庫口のウエハ収納治具の
装填場所が二箇所）から、ウエハ水平出口奥の製造装置
（ウエハ収納治具の装填場所が四箇所）へ、ウエハ収納
治具を搬送する場合について、本発明の搬送方法を述べ
る。

【００２８】まず、ストッカの前に搬送車を走行させ
る。次に六軸ロボットを動作させて、ハンドをストッカ
のウエハ収納治具の第一の装填場所のウエハ収納治具６
の鍔部２３を把持できる位置へ移動させる。次にハンド
を閉じてウエハ収納治具を把持して持ち上げ、走行装置
上の置き台１１，２９，３０，３１の内の一ヵ所に載せ
る。このときのロボットの姿勢はストッカのウエハ収納
治具の姿勢がウエハ垂直表手前であるので図５に示す姿
勢とする。次にハンドを開き、六軸ロボットを、ストッ
カのウエハ収納治具の第二の装填場所のウエハ収納治具
６の鍔部２３を把持できる位置へ移動させる。次にハン
ドを閉じてウエハ収納治具を把持して持ち上げ、走行装
置上の置き台１１，２９，３０，３１の内の次の一ヵ所
に載せる。このときのロボットの姿勢はストッカのウエ
ハ収納治具の姿勢がウエハ垂直表手前であるので図５に
示す姿勢と類似の姿勢とする。この間に、ストッカの内
部の搬送装置がストッカの棚から、ストッカのウエハ収
納治具の第一の装填場所へ、新しいウエハ収納治具を搬
送する。これを繰り返して四個のウエハ収納治具を走行
装置へ乗せる。ウエハ収納治具を置き台上へ置く順番は
任意で良い。次に、ハンドを開き、六軸ロボットを走行
装置の走行に適した姿勢にする。

【００２９】次に走行装置を走行させ、製造装置の前に
止める。次に六軸ロボットを動作させて、ハンドを走行
装置上の置き台１１上のウエハ収納治具の鍔２４を把持
できる位置へ移動させる。このときのロボットの姿勢は
製造装置のウエハ収納治具の姿勢がウエハ水平出口奥で
あるので図６に示す姿勢とする。次にハンドを閉じてウ
エハ収納治具を把持して持ち上げ、製造装置のウエハ収
納治具の装填場所の内の一ヵ所に載せる。次にハンドを
開き、六軸ロボットを動作させて、ハンドを走行装置上
の置き台２９上のウエハ収納治具の鍔２４を把持できる
位置へ移動させる。このときのロボットの姿勢は製造装
置のウエハ収納治具の姿勢がウエハ水平出口奥であるの
で図７に示す姿勢とする。次にハンドを閉じてウエハ収
納治具を把持して持ち上げ、製造装置のウエハ収納治具
の装填場所の内の次の一ヵ所に載せる。これを繰り返し
て四個のウエハ収納治具を製造装置へ乗せる。ウエハ収
納治具の姿勢がウエハ水平出口奥であるので、隣接する
置き台上のウエハ収納治具とハンド開閉機構１２が干渉
しないように、ウエハ収納治具を置き台よりおろす順番
は、ウエハ出口と反対側の置き台１１または３０を先に
する。次に、ハンドを開き、六軸ロボットを走行装置の
走行に適した姿勢にして次の搬送要求があるまで待機す
る。

【００３０】つぎに、ストッカから未処理のウエハ収納
治具を乗せて、ウエハ水平出口奥の製造装置Ａ（ウエハ
収納治具の装填場所が二箇所）へ走行し、ここで処理Ａ
を完了したウエハ収納治具と未処理のウエハ収納治具を
交換し、次にウエハ水平出口手前の製造装置Ｂ（ウエハ
収納治具の装填場所が二箇所）へ走行し、処理Ａを完了
したウエハ収納治具を製造装置Ｂへ装填する場合に付い
て、本発明の搬送方法を述べる。

【００３１】まず、ストッカの前に搬送車を走行させ
る。次に六軸ロボットを動作させて、ハンドをストッカ
のウエハ収納治具の第一の装填場所のウエハ収納治具６
の鍔部２３を把持できる位置へ移動させる。次にハンド
を閉じてウエハ収納治具を把持して持ち上げ、走行装置
上の置き台２９に載せる。このときのロボットの姿勢は
ストッカのウエハ収納治具の姿勢がウエハ垂直表手前で
あるので図５に示す姿勢に類似の姿勢とする。次にハン
ドを開き、六軸ロボットを、ストッカのウエハ収納治具
の第二の装填場所のウエハ収納治具６の鍔部２３を把持
できる位置へ移動させる。次にハンドを閉じてウエハ収
納治具を把持して持ち上げ、走行装置上の置き台１１に
載せる。このときのロボットの姿勢はストッカのウエハ
収納治具の姿勢がウエハ垂直表手前であるので図５に示
す姿勢とする。次に、ハンドを開き、六軸ロボットを走
行装置の走行に適した姿勢にする。

【００３２】次に走行装置を走行させ、製造装置Ａの前
に止める。次に六軸ロボットを動作させて、ハンドを製
造装置Ａのウエハ収納治具の第一の装填場所のウエハ収
納治具６の鍔部２４を把持できる位置へ移動させる。次
にハンドを閉じてウエハ収納治具を把持して持ち上げ、
走行装置上の置き台３１に載せる。このときのロボット
の姿勢は製造装置Ａのウエハ収納治具の姿勢がウエハ水
平出口奥であるので図７に示す姿勢に類似の姿勢とす
る。次にハンドを開き、六軸ロボットを、製造装置Ａの
ウエハ収納治具の第二の装填場所のウエハ収納治具６の
鍔部２４を把持できる位置へ移動させる。次にハンドを
閉じてウエハ収納治具を把持して持ち上げ、走行装置上
の置き台３０に載せる。このときのロボットの姿勢は製
造装置Ａのウエハ収納治具の姿勢がウエハ水平出口奥で
あるので図６に示す姿勢と類似の姿勢とする。このと
き、走行装置上の置き台１１，２９，３０，３１は四個
のウエハ収納治具を乗せた状態になる。ウエハ収納治具
の姿勢がウエハ水平出口奥であるので、隣接する置き台
上のウエハ収納治具とハンド開閉機構１２が干渉しない
ように、ウエハ収納治具を置き台へ乗せる順番は、ウエ
ハ出口の側の置き台２９または３１を先にする。次にハ
ンドを開き、六軸ロボットを動作させて、走行装置上の
置き台１１の上のウエハ収納治具の鍔２４を把持できる
位置へ移動させる。このときのロボットの姿勢は製造装
置Ａのウエハ収納治具の姿勢がウエハ水平出口奥である
ので図６に示す姿勢とする。次にハンドを閉じてウエハ
収納治具を把持して持ち上げ、製造装置Ａのウエハ収納
治具の第一の装填場所に載せる。次にハンドを開き、六
軸ロボットを動作させて、ハンドを走行装置上の置き台
２９の上のウエハ収納治具の鍔２４を把持できる位置へ
移動させる。このときのロボットの姿勢は製造装置Ａの
ウエハ収納治具の姿勢がウエハ水平出口奥であるので図
７に示す姿勢とする。次にハンドを閉じてウエハ収納治
具を把持して持ち上げ、製造装置Ａのウエハ収納治具の
第二の装填場所に載せる。次に、ハンドを開き、六軸ロ
ボットを走行装置の走行に適した姿勢にする。

【００３３】次に走行装置を走行させ、製造装置Ｂの前
に止める。次に六軸ロボットを動作させて、ハンドを走
行装置上の置き台３０の上のウエハ収納治具の鍔２４を
把持できる位置へ移動させる。このときのロボットの姿
勢は製造装置Ｂのウエハ収納治具の姿勢がウエハ水平出
口手前であるので図８に示す姿勢と類似の姿勢とする。
次にハンドを閉じてウエハ収納治具を把持して持ち上
げ、製造装置Ｂのウエハ収納治具の第一の装填場所に載
せる。次にハンドを開き、六軸ロボットを動作させて、
ハンドを走行装置上の置き台３１の上のウエハ収納治具
の鍔２４を把持できる位置へ移動させる。このときのロ
ボットの姿勢は製造装置Ｂのウエハ収納治具の姿勢がウ
エハ水平出口手前であるので図８に示す姿勢と類似の姿
勢とする。次にハンドを閉じてウエハ収納治具を把持し
て持ち上げ、製造装置Ｂのウエハ収納治具の第二の装填
場所に載せる。次に、ハンドを開き、六軸ロボットを走
行装置の走行に適した姿勢にして次の搬送要求があるま
で待機する。

【００３４】上記搬送方法では走行時には二個のウエハ
収納治具を走行装置に乗せるのみであるが、製造装置Ａ
の前でウエハ収納治具を交換するときに四カ所の置き場
を必要とする。

【００３５】上記実施例では、搬送車の上にウエハ収納
治具を四個載せるようにしたが、本発明はこれに限定さ
れるものでは無く、必要な搬送能力とロボットの大きさ
に応じて三個ないし六個を図９の様に並べてもよい。

【００３６】また、上記搬送方法では搬送車上のウエハ
収納治具の配置を直角平行に合わせたが、図１０に示す
ように角度をずらしても良い。この場合、ロボットの大
きさを少し小さくできる。

【００３７】

【発明の効果】本発明では、三ないし六個のウエハ収納
治具をウエハ搬送ロボットの走行装置の上に乗せる事が
出来て搬送効率が高く、かつ、二ないし三種類の姿勢の
ウエハ収納治具について搬送する事が出来、かつ、スル
ーザウオールの製造装置にも搬送でき、自動化ラインに
自由に最新の高性能製造装置を導入することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例で使用するウエハ搬送ロボッ
トの側面図である。

【図２】本発明の一実施例で使用するロボットのリンク
図である。

【図３】本発明の一実施例で使用するウエハ搬送ロボッ
トの正面図である。

【図４】本発明の一実施例で使用するウエハ搬送ロボッ
トの平面図である。

【図５】本発明の一実施例のウエハ収納治具の把持状態
を示す説明図である。

【図６】本発明の一実施例のウエハ収納治具の把持状態
を示す説明図である。

【図７】本発明の一実施例のウエハ収納治具の把持状態
を示す説明図である。

【図８】本発明の一実施例のウエハ収納治具の把持状態
を示す説明図である。

【図９】本発明の別の一実施例であるウエハ搬送ロボッ
トの平面図である。

【図１０】本発明の別の一実施例であるウエハ搬送ロボ
ットの平面図である。

【図１１】製造装置の一例を示す側面断面図である。

【符号の説明】

６…ウエハ収納治具、７…ロボット手首、８…ロボット
ハンド、９…走行装置、１０…六軸ロボット、１１，２
９，３０，３１…置き台。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】走行装置、前記走行装置上に載せられ、六
   軸をもつロボット、前記ロボットの手首に取り付けら
   れ、ウエハ収納治具を把持するハンド、及び前記走行装
   置上に設けられた、三ないし六個のウエハ収納治具を置
   く置き台からなるウエハ収納治具搬送ロボットを使用す
   るウエハ収納治具の搬送方法において、前記ハンドが製
   造装置に装填された状態の前記ウエハ収納治具を把持し
   たとき、前記手首の先端の第六軸は、略鉛直方向を向く
   様にし、前記手首は、前記ウエハ収納治具の手前の端に
   立てた鉛直面よりも手前側にある様になし、前記手首か
   ら見た前記ウエハ収納治具の姿勢が二種類もしくは三種
   類の異なる姿勢で、前記置き台に載せた任意の前記ウエ
   ハ収納治具を把持できるように、前記置き台とロボット
   を配置し、走行装置の上で前記ウエハ収納治具の持ち替
   えを行うことを特徴とするウエハ収納治具の搬送方法。
2. 【請求項２】請求項１において、前記ウエハ収納治具の
   姿勢が、その内部に収納したウエハが水平で、表が上
   で、前記ウエハの出入口が奥側にある場合の姿勢と、そ
   の内部に収納した前記ウエハが垂直で、表が手前側で、
   前記ウエハの出入り口が上側にある場合の姿勢、の二種
   類もしくは、これにその内部に収納したウエハが水平
   で、表が上で、前記ウエハの出入口が手前側にある場合
   の姿勢を加えた三種類であって、前記置き台上のウエハ
   収納治具の姿勢が、その内部に収納したウエハが水平か
   ら５度〜３５度傾けた状態で、表が上で、前記ロボット
   のコラムから見た前記ウエハの出入口が略右または略左
   側にある場合の姿勢であって、前記置き台の配置が、二
   個の前記ウエハ収納治具の前記ウエハの出口が略同じ方
   向を向くように、かつ、前記ウエハの出口の方向に直列
   に並ぶように、隣接して二個の置き台を配置し、これを
   三組、前記二個の置き台の隣接面どうしが略一致するよ
   うに並列に並べた配置から、任意の三個ないし六個の前
   記置き台を取りだした配置であって、前記ロボットのコ
   ラムを前記隣接面上に配置したことを特徴とするウエハ
   収納治具の搬送方法。