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JPH0517840Y2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0517840Y2
JPH0517840Y2 JP10426085U JP10426085U JPH0517840Y2 JP H0517840 Y2 JPH0517840 Y2 JP H0517840Y2 JP 10426085 U JP10426085 U JP 10426085U JP 10426085 U JP10426085 U JP 10426085U JP H0517840 Y2 JPH0517840 Y2 JP H0517840Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
target
ion beam
voltage
cyclotron
deflector
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP10426085U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6212300U (en
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP10426085U priority Critical patent/JPH0517840Y2/ja
Publication of JPS6212300U publication Critical patent/JPS6212300U/ja
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Publication of JPH0517840Y2 publication Critical patent/JPH0517840Y2/ja
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はサイクロトロンにおけるイオンビーム
をビーム取出し通路を経てターゲツトボツクス入
口のターゲツトフオイルを通過させ、ターゲツト
ボツクス内のターゲツトに照射するデフレクター
装置に係り、特に取り出されたイオンビームをタ
ーゲツトボツクス入口のターゲツトフオイル上を
垂直、或いは水平方向に走査させ、当該ターゲツ
トフオイルの全面に亘つて均一に通過したイオン
ビームをターゲツトにくまなく照射できるサイク
ロトロンにおけるデフレクター装置に関する。
[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a deflector device for irradiating an ion beam in a cyclotron to a target inside the target box by passing it through a target oil at the entrance of the target box through a beam extraction passage. In particular, in a cyclotron, the extracted ion beam is scanned vertically or horizontally over the target oil at the entrance of the target box, and the ion beam that has uniformly passed over the entire surface of the target oil can be irradiated all over the target. It relates to a deflector device.

〔従来の技術〕 従来装置は第3図示のようにサイクロトロン1
よりイオンビーム2をデフレクター3に直流電圧
Eを印加することによりビーム取出し通路4に取
出し、このイオンビーム2を当該ビーム取出し通
路4に設けた集束装置5により集束し、同じくビ
ーム取出し通路に設けた垂直、水平方向修正装置
6によりイオンビーム2を垂直、水平方向に曲げ
て定方向に修正し、この集束、方向修正されたイ
オンビーム2をターゲツトボツクス入口のターゲ
ツトフオイル7の定位置に当て、当該ターゲツト
フオイル7を通過したイオンビーム2をターゲツ
トボツクス8内のターゲツト9の定位置に照射す
るようにしていた。
[Prior art] The conventional device is a cyclotron 1 as shown in Figure 3.
The ion beam 2 is taken out into the beam extraction passage 4 by applying a DC voltage E to the deflector 3, and this ion beam 2 is focused by a focusing device 5 provided in the beam extraction passage 4, which is also provided in the beam extraction passage. The ion beam 2 is bent vertically and horizontally by the vertical and horizontal direction correction device 6 to correct it in a fixed direction, and the focused and direction-corrected ion beam 2 is applied to a fixed position on the target oil 7 at the entrance of the target box. The ion beam 2 that has passed through the target oil 7 is irradiated onto a target 9 in a target box 8 at a fixed position.

〔考案が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention attempts to solve]

しかしながら上記従来装置にあつては、サイク
ロトロン1より取出されたイオンビーム2がター
ゲツトフオイル7の定位置を通過するため、ター
ゲツトフオイル7のビーム通過部分が過熱して焼
損し易く、ターゲツトフオイル7の寿命が短いと
いう問題点がある。
However, in the conventional apparatus described above, since the ion beam 2 taken out from the cyclotron 1 passes through a fixed position of the target oil 7, the part of the target oil 7 through which the beam passes is likely to overheat and burn out. 7 has a short lifespan.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本考案装置は上記の問題点を解決するため、第
1図示のようにサイクロトロン1におけるイオン
ビーム2を偏向させてビーム取出し通路4に送
り、ターゲツトボツクス入口のターゲツトフオイ
ル7を通過させ、ターゲツトボツクス8内のター
ゲツト9に照射するサイクロトロンにおけるデフ
レクター3の装置において、そのデフレクター3
には直流電圧に重畳して交流電圧E3を印加する
構成としたものである。
In order to solve the above-mentioned problems, the device of the present invention deflects the ion beam 2 in the cyclotron 1 and sends it to the beam extraction passage 4, as shown in the first figure, and passes through the target oil 7 at the entrance of the target box. In a device for a deflector 3 in a cyclotron that irradiates a target 9 in a
The structure is such that an alternating current voltage E3 is applied superimposed on the direct current voltage.

〔作用〕[Effect]

デフレクター3には直流電圧に重畳して交流電
圧を印加するので、サイクロトロン1より取出さ
れたイオンビーム2は、水平方向に偏向され、タ
ーゲツトフオイル7上を水平方向に走査されるた
め、ビーム電流空間分布が見掛上、均一化され、
イオンビーム2はターゲツトフオイル7の全面に
亘つて均一に通過することになり、このターゲツ
トフオイル7の全面に亘つて均一に通過したイオ
ンビーム2はターゲツト9にくまなく照射される
ことになる。
Since an AC voltage is applied to the deflector 3 superimposed on the DC voltage, the ion beam 2 taken out from the cyclotron 1 is deflected in the horizontal direction and scanned over the target oil 7 in the horizontal direction, so that the beam current The spatial distribution is apparently uniform,
The ion beam 2 will pass uniformly over the entire surface of the target oil 7, and the ion beam 2 that has passed uniformly over the entire surface of the target oil 7 will completely irradiate the target 9. .

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本考案装置の一実施例の回路とデフレ
クターを示す簡略説明図、第2図イ,ロ,ハはそ
れぞれその電圧のグラフである。
FIG. 1 is a simplified explanatory diagram showing the circuit and deflector of one embodiment of the device of the present invention, and FIG. 2 A, B, and C are voltage graphs thereof, respectively.

まず、その構成を説明する。 First, its configuration will be explained.

第1図において1はサイクロトロン、2はその
イオンビーム、3はデフレクターで、このサイク
ロトロン1の出口に連結したイオンビーム2の取
出し通路4は第3図と同じであるので第1図では
省略する。デフレクター3はサイクロトロン1に
より加速されたイオンビーム2を取り出すための
ものである。デフレクター3はビーム2の通路に
沿つて湾曲する負に帯電した帯電体3aとそれに
対向するアース電位のセプタム3bとよりなる。
In FIG. 1, 1 is a cyclotron, 2 is its ion beam, and 3 is a deflector. The extraction passage 4 for the ion beam 2 connected to the outlet of the cyclotron 1 is the same as in FIG. 3, so it is omitted in FIG. The deflector 3 is for taking out the ion beam 2 accelerated by the cyclotron 1. The deflector 3 is composed of a negatively charged charged body 3a that curves along the path of the beam 2 and a septum 3b at a ground potential facing the charged body 3a.

高周波の第1の発振器OSC1の出力は低周波の
第2の発振器OSC2による変調器Mod、演算増幅
器VCAを介してトランスTの一次側に入力し、
このトランスTの高圧の二次側はコツククロフト
ワルトン整流回路C−Wに入力し、その負側の出
力端子は上記帯電体3aに接続する。上記整流回
路C−Wの出力側には分圧器Divを接続し、その
出力端子はバツフアBUF1を介し、ローパスフイ
ルタLPF1を介してその直流分を測定する電圧計
V1に入力し、またバンドパスフイルタBPF及び
整流器RECTを介してその交流分を測定する電圧
計V2に入力する。
The output of the high-frequency first oscillator OSC1 is input to the primary side of the transformer T via a modulator Mod using a low-frequency second oscillator OSC2 and an operational amplifier VCA.
The high-voltage secondary side of the transformer T is input to a Cockcroft-Walton rectifier circuit C-W, the negative output terminal of which is connected to the charged body 3a. A voltage divider Div is connected to the output side of the rectifier circuit C-W, and its output terminal is connected to a voltmeter that measures the DC component through a buffer BUF1 and a low-pass filter LPF1 .
The AC component is input to V1 and also passed through a bandpass filter BPF and a rectifier RECT to a voltmeter V2 which measures the AC component.

上記ローパフイルタLPF1の出力は誤差増幅器
ERAに入力して制御電圧Vrefと比較し、その出
力を上記演算増幅器VCAにフイードバツクする。
なお、整流回路C−Wの一端のシヤントSHは第
2のバツフアBUF2、第2のローパスフイルタ
LPF2を介して出力電流を測定する電流計Aに接
続する。
The output of the above low pass filter LPF 1 is an error amplifier
It is input to the ERA and compared with the control voltage Vref, and its output is fed back to the operational amplifier VCA.
Note that the shunt SH at one end of the rectifier circuit C-W is connected to the second buffer BUF 2 and the second low-pass filter.
Connect to ammeter A which measures the output current via LPF 2 .

次にこの装置の動作を説明する。 Next, the operation of this device will be explained.

第2図イ示の第1の発振器OSC1の周波数20k
Hz出力正弦電圧E1は変調器Modで第2の発振器
OSC2の第2図ロ示の周波数50Hzの電圧E2で振幅
変調され、演算増幅器VCAで増幅され、トラン
スTで昇圧したのちコツククロフトワルトン整流
回路C−Wで倍圧整流され、直流電圧に第2の発
振器の低周波の交流電圧が重畳された負の、第2
図ハ示の出力電圧E3となつてデフレクター3の
帯電体3aに印加される。したがつてイオンビー
ム2は、デフレクター3の帯電体3aとセプタム
3b間を通過する際、水平方向に偏向され、ビー
ム取出し通路4を経てターゲツトフオイル7上を
水平方向に走査される。そのためビーム電流空間
分布が見掛上、均一化され、イオンビーム2はタ
ーゲツトフオイル7の全面に亘つて均一に通過す
ることになり、このターゲツトフオイル7の全面
に亘つて均一に通過したイオンビーム2はターゲ
ツト9にくまなく照射されることになる。
The frequency of the first oscillator OSC 1 shown in Fig. 2A is 20k.
Hz output sinusoidal voltage E 1 is the second oscillator with modulator Mod
It is amplitude modulated with the voltage E 2 with a frequency of 50 Hz shown in Figure 2 B of OSC 2 , is amplified by the operational amplifier VCA, is boosted by the transformer T, is double-rectified by the Kotsuku Croft-Walton rectifier circuit CW, and becomes a DC voltage. A negative second oscillator superimposed with a low frequency AC voltage of the second oscillator.
The output voltage E3 shown in FIG. 3 is applied to the charged body 3a of the deflector 3. Therefore, when the ion beam 2 passes between the charged body 3a and the septum 3b of the deflector 3, it is deflected in the horizontal direction, passes through the beam extraction passage 4, and scans the target oil 7 in the horizontal direction. Therefore, the spatial distribution of the beam current is apparently made uniform, and the ion beam 2 passes uniformly over the entire surface of the target oil 7. The beam 2 will be irradiated all over the target 9.

一方上記出力電圧E3は分圧器Divからバツフア
BUF1を取り出され重畳電圧の交流分をローパス
フイルタLPF1にて平均化し、電圧計V1にてその
平均の直流電圧を指示すると共にその直流電圧は
誤差増幅器ERAで制御電圧Vrefと比較し、その
誤差信号は演算増幅器VCAにフイードバツクさ
れる。したがつて出力電圧E3の直流分は制御電
圧Vrefにより一定値に自動制御されると共に制
御電圧Vrefを変えることにより出力電圧E3の直
流分の電圧が変わり、イオンビーム2の平均の位
置を調節することができる。
On the other hand, the above output voltage E 3 is buffered from the voltage divider Div.
BUF 1 is taken out and the AC component of the superimposed voltage is averaged by low pass filter LPF 1 , the average DC voltage is indicated by voltmeter V 1 , and the DC voltage is compared with control voltage Vref by error amplifier ERA. The error signal is fed back to the operational amplifier VCA. Therefore, the DC component of the output voltage E 3 is automatically controlled to a constant value by the control voltage Vref, and by changing the control voltage Vref, the DC component of the output voltage E 3 changes, and the average position of the ion beam 2 is changed. Can be adjusted.

重畳した出力電圧E3の交流分はバツフアBUF1
のあとに50HzのバンドパスフイルタBPF、整流
器RECTを経て電圧計V2に流れ、その交流分の
実効値を指示する。これによりイオンビーム2の
偏向量を測定することができる。第2の発振器
OSC2の出力レベルを変えれば、上記出力交流成
分の大きさが変わりビームの偏向量(ビームの振
れ幅)を加減することができる。
The alternating current portion of the superimposed output voltage E 3 is a buffer BUF 1
After that, it flows through the 50Hz band pass filter BPF and the rectifier RECT to the voltmeter V2 , which indicates the effective value of the AC component. Thereby, the amount of deflection of the ion beam 2 can be measured. second oscillator
By changing the output level of OSC 2 , the magnitude of the output AC component changes and the amount of beam deflection (beam amplitude) can be adjusted.

出力電流はシヤトンSHから第2のバツフア
BUF2、第2のローパスフイルタLPF2を経て電
流計Aに流れ、それを振らせるので平均電流を測
定することができる。
The output current is from the shutter SH to the second buffer
The current flows through BUF 2 and the second low-pass filter LPF 2 to ammeter A, which causes it to swing, so that the average current can be measured.

第1図点線で示すように変調器Modをバイパ
スさせて第2の発振器OSC2と変調器Modの機能
を止め、またローパスフイルタLPF1をバイパス
させてその機能を停止させると直流のみの安定化
電源に戻り、デフレクター3を従来のものと同様
に動作させることができるものである。イオンビ
ーム2は垂直方向にも適宜の手段で走査するよう
にするとなおターゲツト9をくまなく照射できる
ので好ましい。
As shown by the dotted line in Figure 1, by bypassing the modulator Mod to stop the functions of the second oscillator OSC 2 and the modulator Mod, and by bypassing the low-pass filter LPF 1 to stop its functions, only DC can be stabilized. It is possible to return to the power source and operate the deflector 3 in the same manner as the conventional one. It is preferable that the ion beam 2 be scanned in the vertical direction as well by an appropriate means, since the target 9 can be irradiated all over.

〔考案の効果〕[Effect of idea]

上述のように本考案によれば、デフレクター3
には直流電圧に重畳して交流電圧を印加している
のでサイクロトロン1より取出されたイオンビー
ム2をターゲツトフオイル7上に水平方向に走査
でき、ターゲツトフオイル7の全面に亘つて均一
に通過させることができるから、ターゲツトフオ
イル7が過熱して焼損するおそれが極めて少なく
なり、ターゲツトフオイル7の寿命を延長するこ
とができる。
As described above, according to the present invention, the deflector 3
Since an alternating current voltage is applied superimposed on a direct current voltage, the ion beam 2 taken out from the cyclotron 1 can be scanned horizontally over the target oil 7, so that it passes uniformly over the entire surface of the target oil 7. Therefore, the risk of the target oil 7 overheating and burning out is extremely reduced, and the life of the target oil 7 can be extended.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本考案装置の一実施例の回路とデフレ
クターを示す簡略説明図、第2図イ,ロ,ハはそ
れぞれの電圧のグラフ、第3図は従来装置の一例
の概要を示す簡略平面図である。 1……サイクロトロン、2……イオンビーム、
3……デフレクター、4……ビーム取出し通路、
7……ターゲツトフオイル、8……ターゲツトボ
ツクス、9……ターゲツト、E3……交流電圧。
FIG. 1 is a simplified explanatory diagram showing the circuit and deflector of one embodiment of the device of the present invention, FIG. 2A, FIG. 2B, and FIG. 2C are graphs of the respective voltages, and FIG. 3 is a simplified plan view showing the outline of an example of a conventional device. 1... Cyclotron, 2... Ion beam,
3: Deflector, 4: Beam extraction passage,
7...target oil, 8...target box, 9...target, E3 ...AC voltage.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] サイクロトロンにおけるイオンビームを偏向さ
せてビーム取出し通路に送り、ターゲツトボツク
ス入口のターゲツトフオイルを通過させ、ターゲ
ツトボツクス内のターゲツトに照射するサイクロ
トロンにおけるデフレクター装置において、その
デフレクターには直流電圧に重畳して交流電圧を
印加してなるサイクロトロンにおけるデフレクタ
ー装置。
The deflector device in the cyclotron deflects the ion beam in the cyclotron, sends it to the beam extraction passage, passes through the target oil at the entrance of the target box, and irradiates the target in the target box. A deflector device in a cyclotron that applies voltage.
JP10426085U 1985-07-08 1985-07-08 Expired - Lifetime JPH0517840Y2 (en)

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