JPH05152062A - ヒータ破損監視装置 - Google Patents
ヒータ破損監視装置Info
- Publication number
- JPH05152062A JPH05152062A JP3310393A JP31039391A JPH05152062A JP H05152062 A JPH05152062 A JP H05152062A JP 3310393 A JP3310393 A JP 3310393A JP 31039391 A JP31039391 A JP 31039391A JP H05152062 A JPH05152062 A JP H05152062A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- pipe
- heating element
- gas
- monitoring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明は、管の内部に発熱体を有するヒータ
に関し、ピンホール等の破損が生じたことを自動的に検
知する。 【構成】 管がピンポール等の破損を生じた際に、管内
を循環する気体の流量変動を自動的に検知するマスフロ
ーコントローラ３を備えた。
に関し、ピンホール等の破損が生じたことを自動的に検
知する。 【構成】 管がピンポール等の破損を生じた際に、管内
を循環する気体の流量変動を自動的に検知するマスフロ
ーコントローラ３を備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、いわゆる投込みヒータ
等に最適なヒータ破損監視装置に関する。
等に最適なヒータ破損監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】容器内に満たされた例えばエッチング液
等の薬液に浸漬されて該薬液を暖める、いわゆる投込み
ヒータが従来より用いられている。図２は投げ込みヒー
タが容器内に配置された状態を模式的に表した図であ
る。容器５内に、例えば図示しないシリコンウェハに形
成された窒化膜をエッチングする際に用いるエッチング
液６が満たされており、このエッチング液６にほぼＬ字
型の投込みヒータ７が浸漬されている。
等の薬液に浸漬されて該薬液を暖める、いわゆる投込み
ヒータが従来より用いられている。図２は投げ込みヒー
タが容器内に配置された状態を模式的に表した図であ
る。容器５内に、例えば図示しないシリコンウェハに形
成された窒化膜をエッチングする際に用いるエッチング
液６が満たされており、このエッチング液６にほぼＬ字
型の投込みヒータ７が浸漬されている。
【０００３】ここで、この投げ込みヒータ７を構成する
ニクロム線等の発熱体４がエッチング液６に接触すると
その発熱体がエッチング液６に浸され、このエッチング
液６に溶け込んだ発熱体の成分がエッチング液６に浸さ
れたシリコンウェハ等に重大な悪影響を及ぼす場合があ
るため、この投げ込みヒータ７は、通常石英管１中に発
熱体４を配置した構造を有している。
ニクロム線等の発熱体４がエッチング液６に接触すると
その発熱体がエッチング液６に浸され、このエッチング
液６に溶け込んだ発熱体の成分がエッチング液６に浸さ
れたシリコンウェハ等に重大な悪影響を及ぼす場合があ
るため、この投げ込みヒータ７は、通常石英管１中に発
熱体４を配置した構造を有している。
【０００４】しかし、石英管１も、例えば発熱体４によ
る熱の集中やその他の原因により破損されることがある
が、一般にこのような投込みヒータには、石英管の破損
検知機能を有していない。
る熱の集中やその他の原因により破損されることがある
が、一般にこのような投込みヒータには、石英管の破損
検知機能を有していない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の投込ヒータに
は、上記のように石英管の破損例えばピンポール等の検
知機能は有しておらず、破損は通常目視で検査されてい
るが、発見しにくく検査漏れが生じる場合もあり、石英
管が破損し発熱体とエッチング液が接触し、重金属等に
より装置およびウェハを汚染する問題があった。
は、上記のように石英管の破損例えばピンポール等の検
知機能は有しておらず、破損は通常目視で検査されてい
るが、発見しにくく検査漏れが生じる場合もあり、石英
管が破損し発熱体とエッチング液が接触し、重金属等に
より装置およびウェハを汚染する問題があった。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑み、ヒータの発熱
体を被う管が破損した場合に、これを自動的に検知する
ヒータ破損監視装置を提供することを目的とする。
体を被う管が破損した場合に、これを自動的に検知する
ヒータ破損監視装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のヒータ破損監視装置は、発熱体と該発熱体を
被う管を有するヒータと、各一端が該管と連結される給
気管および排気管と、該給気管の他端と連結された前記
管内に気体を循環させる気体供給装置と、前記排気管の
他端と連結された該気体の流量変動を測定するモニタリ
ング装置とを備えたことを特徴とする。
の本発明のヒータ破損監視装置は、発熱体と該発熱体を
被う管を有するヒータと、各一端が該管と連結される給
気管および排気管と、該給気管の他端と連結された前記
管内に気体を循環させる気体供給装置と、前記排気管の
他端と連結された該気体の流量変動を測定するモニタリ
ング装置とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明のヒータ破損監視装置は、管の内部に気
体を循環させるため気体供給装置を備えているため、上
記管に例えばピンポール等の破損が生じるとそこから上
記気体が洩れる。また本発明のヒータ破損監視装置は気
体の流量変動を検知するモニタリング装置を備えている
ため、上記管に破損が生じ気体が洩れた場合の気体の流
量変動が検知され、これにより上記管の破損が作業者に
認識される。
体を循環させるため気体供給装置を備えているため、上
記管に例えばピンポール等の破損が生じるとそこから上
記気体が洩れる。また本発明のヒータ破損監視装置は気
体の流量変動を検知するモニタリング装置を備えている
ため、上記管に破損が生じ気体が洩れた場合の気体の流
量変動が検知され、これにより上記管の破損が作業者に
認識される。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例について説明する。図１
は本発明のヒータ破損監視装置の構成を示す略図であ
る。この実施例においては、石英管１の内部にニクロム
線等の発熱体を有しており、ヒータ７の両端に栓１０が
あり、栓１０には不活性ガス２が通過するための給気管
８と排気管９の各一端が挿入されており、給気管８と排
気管９の他端は気体供給装置兼モニタリング装置のマス
フローコントローラ３に接続され、これにより石英管１
内を不活性ガス２が循環している。
は本発明のヒータ破損監視装置の構成を示す略図であ
る。この実施例においては、石英管１の内部にニクロム
線等の発熱体を有しており、ヒータ７の両端に栓１０が
あり、栓１０には不活性ガス２が通過するための給気管
８と排気管９の各一端が挿入されており、給気管８と排
気管９の他端は気体供給装置兼モニタリング装置のマス
フローコントローラ３に接続され、これにより石英管１
内を不活性ガス２が循環している。
【００１０】ここで石英管１に生じたピンポール等の破
損によって、石英管１内の不活性ガス２が石英管１外に
漏れ出て、これにより石英管１内を流れる不活性ガス２
の流量変動が起こった場合、マスフローコントローラ３
はこの流量変動を検知し、警報を発し作業者に知らせ
る。尚、警報は例えば指針の揺れの度合い等のみにより
作業者に知らせるものであってもよいが、ブザー音やＬ
ＥＤの点滅等またはこれらの組み合わせによりさらに積
極的に知らせるものが好ましい。
損によって、石英管１内の不活性ガス２が石英管１外に
漏れ出て、これにより石英管１内を流れる不活性ガス２
の流量変動が起こった場合、マスフローコントローラ３
はこの流量変動を検知し、警報を発し作業者に知らせ
る。尚、警報は例えば指針の揺れの度合い等のみにより
作業者に知らせるものであってもよいが、ブザー音やＬ
ＥＤの点滅等またはこれらの組み合わせによりさらに積
極的に知らせるものが好ましい。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のヒータ破
損監視装置は、マスフローコントローラ等の気体供給装
置およびモニタリング装置を備えているため、管の破損
を早期に検知する事ができ、発熱体からの重金属等の汚
染を早期発見できる。また、これにより汚染が他の装置
に及ぶことを防ぐことが可能となる。
損監視装置は、マスフローコントローラ等の気体供給装
置およびモニタリング装置を備えているため、管の破損
を早期に検知する事ができ、発熱体からの重金属等の汚
染を早期発見できる。また、これにより汚染が他の装置
に及ぶことを防ぐことが可能となる。
【図１】本発明のヒータの構成を示す略図である。
【図２】従来のヒータがエッチング液に浸されている際
の略図である。
の略図である。
１ 石英管 ２ 不活性ガス ３ マスフローコントローラ ４ ニクロム線
等の発熱体 ６ エッチング液 ７ ヒータ
等の発熱体 ６ エッチング液 ７ ヒータ
Claims (1)
- 【請求項１】 発熱体と該発熱体を被う管とを有するヒ
ータと、 各一端が該管と連結された給気管および排気管と、 該給気管の他端と連結された前記ヒータの管内に気体を
循環させる気体供給装置と、 前記排気管の他端と連結された前記管内を循環する前記
気体の流量変動を測定するモニタリング装置とを備えた
ことを特徴とするヒータ破損監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3310393A JPH05152062A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | ヒータ破損監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3310393A JPH05152062A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | ヒータ破損監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05152062A true JPH05152062A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18004724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3310393A Withdrawn JPH05152062A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | ヒータ破損監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05152062A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003521906A (ja) * | 2000-02-10 | 2003-07-22 | ウェフラ ベヘール ベー．フェー． | ベーキング装置と食品のベーキング方法 |
| KR102332306B1 (ko) * | 2020-08-03 | 2021-12-01 | 씨에스이(주) | 히터 및 히터 파손 검사장치 |
-
1991
- 1991-11-26 JP JP3310393A patent/JPH05152062A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003521906A (ja) * | 2000-02-10 | 2003-07-22 | ウェフラ ベヘール ベー．フェー． | ベーキング装置と食品のベーキング方法 |
| KR102332306B1 (ko) * | 2020-08-03 | 2021-12-01 | 씨에스이(주) | 히터 및 히터 파손 검사장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |