JPH05150005A - Lsi tester with timing edge flexibility - Google Patents
Lsi tester with timing edge flexibilityInfo
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- JPH05150005A JPH05150005A JP3314806A JP31480691A JPH05150005A JP H05150005 A JPH05150005 A JP H05150005A JP 3314806 A JP3314806 A JP 3314806A JP 31480691 A JP31480691 A JP 31480691A JP H05150005 A JPH05150005 A JP H05150005A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、LSIテスタの構成に
関し、特に試験適用デバイスの適用範囲拡大を考慮した
高速デバイス試験用LSIテスタに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of an LSI tester, and more particularly to a high speed device test LSI tester in consideration of expanding an applicable range of a test application device.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のLSIテスタはASIC(Applica
tion Specific Integrated Circuit)検査器の様な用途
を限定した高速なものがある。例えば、ヒューレット・
パッカード社のHP82000、テラダイン社のJ95
3シリーズ等である。これらのLSIテスタは必要最低
限の波形発生機能を有し、高速試験を行うことができ
る。2. Description of the Related Art A conventional LSI tester is an ASIC (Applica
There is a high-speed limited specific application such as an inspection specific integrated circuit. For example, Hewlett
HP82000 from Packard, J95 from Teradyne
3 series etc. These LSI testers have the minimum required waveform generation function and can perform high-speed tests.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述のLSI
テスタはCAD(Computer Aided Design) データやシミ
ュレータ等により自動生成された比較的単純なパターン
の組み合わせの実行を行うことを主な目的としている。
従って、CADデータ等以外のパターンの組み合わせを
試験しようとした場合、タイミングを発生するフォーマ
ットクロック用のエッジが不足してしまい、パターンの
組み合わせの書換えを必要としていた。例えば、図3
(A)に示すように、1試験サイクル毎に3エッジ(図
3(A)中の(b)エッジ信号1から(d)エッジ信号
3)で同一試験サイクル入出力を行っている場合、被試
験デバイスの出力を検出するストローブエッジで1エッ
ジ(図3(A)中の(d)エッジ信号3)を使用すると
ドライバのON/OFF及び出力波形等には2エッジ
(図3(A)中の(b)エッジ信号1、(c)エッジ信
号2)までしか使用できない。ここで、ドライバのON
/OFFに1エッジ(図3(B)中の(b)エッジ信号
1)、データの有効範囲を保証するために2エッジ(図
3(B)中の(c)エッジ信号2、(d)エッジ信号
3)使用しようとすると図3(B)に示すように、前記
ストローブエッジを次の試験サイクルで発生させなけれ
ばならない。つまり、パターンの組み合わせを図3
(B)に示すように書き換えなければならず、もし、こ
のような試験サイクルが全試験パターン内に多くある場
合、パターンの組み合わせの書換えは容易ではない。従
って本発明の目的は、CAD等で自動生成したパターン
を実行するだけでなく、自動生成以外の複雑なパターン
や波形を伴う試験パターンを用いることのできるLSI
テスタの実現にある。However, the above-mentioned LSI
The main purpose of the tester is to execute a relatively simple pattern combination automatically generated by CAD (Computer Aided Design) data or a simulator.
Therefore, when an attempt is made to test a combination of patterns other than CAD data or the like, the edges for the format clocks that generate timing become insufficient, and it is necessary to rewrite the combination of patterns. For example, in FIG.
As shown in (A), when the same test cycle input / output is performed with three edges ((b) edge signal 1 to (d) edge signal 3 in FIG. 3 (A)) every test cycle, If one edge ((d) edge signal 3 in FIG. 3 (A)) is used as the strobe edge for detecting the output of the test device, the driver ON / OFF and the output waveform will have two edges (in FIG. 3 (A)). Only (b) edge signal 1 and (c) edge signal 2) can be used. Here, turn on the driver
/ OFF has one edge ((b) edge signal 1 in FIG. 3 (B)), and two edges ((c) edge signal 2 and (d) in FIG. 3 (B) to guarantee the effective range of data. Edge signal 3) If it is desired to use it, the strobe edge must be generated in the next test cycle, as shown in FIG. That is, the combination of patterns is shown in FIG.
It must be rewritten as shown in (B), and if there are many such test cycles in the entire test pattern, rewriting the combination of patterns is not easy. Therefore, an object of the present invention is not only to execute a pattern automatically generated by CAD or the like, but also to use a test pattern involving a complicated pattern or waveform other than automatic generation.
In the realization of the tester.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、各チャネル毎にタイミングエッ
ジ発生器を持つパーピン構造のLSIテスタにおいて、
前記タイミングエッジ発生器のエッジ出力により波形を
発生させる波形発生手段と、前記タイミングエッジ発生
器のエッジ出力により入力の比較処理を行う入力比較手
段と、隣接する前記チャネル間で、各エッジ出力を前記
入力比較手段と前記波形発生手段に供給し合う切り換え
手段と、前記入力比較手段と前記波形発生手段にデータ
を供給する記憶手段とを備えたことを特徴とするもので
ある。In order to achieve such an object, according to the present invention, in an LSI tester of a per pin structure having a timing edge generator for each channel,
Waveform generating means for generating a waveform by the edge output of the timing edge generator, input comparing means for performing input comparison processing by the edge output of the timing edge generator, and each edge output between the adjacent channels The present invention is characterized by comprising switching means for supplying the input comparing means and the waveform generating means to each other, and storage means for supplying data to the input comparing means and the waveform generating means.
【0005】[0005]
【作用】チャネル間で、各エッジ出力を入力比較手段と
波形発生手段に供給することで、供給された1つのチャ
ネルの使用可能エッジが増加する。このエッジにより複
雑なパターンや波形の発生等が可能となる。By supplying each edge output to the input comparing means and the waveform generating means between channels, the number of usable edges of one supplied channel is increased. This edge enables generation of a complicated pattern or waveform.
【0006】[0006]
【実施例】以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明に係るLSIテスタの一実施例における隣
接する2つのチャネルの部分を示す要部構成ブロック図
である。図1において1から8は遅延発生器、9、10
はパターンメモリ、11、14は波形フォーマッタ、1
2、15はドライバON/OFF用フォーマッタ、1
3、16はコンパレータロジック、17、19はドライ
バ、18、20はコンパレータ部、21、22は入出力
ピン、23から26はスイッチである。100はレート
発生器(図示せず)からの基準試験レート信号、101
はパターンアドレス発生器(図示せず)からのパターン
アドレス信号、102、103はフェイルメモリへの出
力である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram of a main part configuration showing portions of two adjacent channels in an embodiment of an LSI tester according to the present invention. In FIG. 1, 1 to 8 are delay generators, 9, 10
Is a pattern memory, 11 and 14 are waveform formatters, 1
2 and 15 are driver ON / OFF formatters, 1
Reference numerals 3 and 16 are comparator logics, 17 and 19 are drivers, 18 and 20 are comparator sections, 21 and 22 are input / output pins, and 23 to 26 are switches. 100 is a reference test rate signal from a rate generator (not shown), 101
Is a pattern address signal from a pattern address generator (not shown), and 102 and 103 are outputs to the fail memory.
【0007】また、50及び52はそれぞれ波形フォー
マッタ11及び14と、ドライバON/OFF用フォー
マッタ12及び15と、ドライバ17及び19から成る
波形発生手段、51及び53はコンパレータロジック1
3及び16とコンパレータ部18及び20から成る入力
比較手段、54はスイッチ23、24、25、26、2
7から成る切り換え手段である。ここで、遅延発生器1
から4、記憶手段であるパターンメモリ9、波形発生手
段50及び入力比較手段51が1つのチャネルを構成す
る。Reference numerals 50 and 52 are waveform formatters 11 and 14, respectively, driver ON / OFF formatters 12 and 15, and waveform generating means comprising drivers 17 and 19, and 51 and 53 are comparator logic 1.
Input comparing means composed of 3 and 16 and comparators 18 and 20, 54 is switches 23, 24, 25, 26, 2
7 is a switching means. Here, the delay generator 1
To 4, the pattern memory 9 as the storage means, the waveform generation means 50, and the input comparison means 51 constitute one channel.
【0008】遅延発生器1から8はレート発生器からの
基準試験レート信号100をプログラムによって設定さ
れた値だけ遅延させ、波形発生等に必要なエッジを発生
させる。遅延発生器1、2及び5、6の出力エッジは波
形発生用エッジとしてそれぞれ波形フォーマッタ11及
び14に供給される。遅延発生器3の出力エッジはスイ
ッチ24を介してドライバON/OFF用フォーマッタ
12に、遅延発生器7の出力エッジはドライバON/O
FF用フォーマッタ15にそれぞれドライバ17、19
のON/OFF用エッジとして供給される。遅延発生器
4及び8の出力エッジはデータのストローブ用エッジと
してそれぞれコンパレータロジック13及び16に供給
される。また、遅延発生器3の出力エッジはスイッチ2
3を介して波形フォーマッタ11に、遅延発生器5及び
6の出力エッジはそれぞれスイッチ26及び27を介し
てドライバON/OFF用フォーマッタ12に、遅延発
生器8の出力エッジはスイッチ25を介してコンパレー
タロジック13に接続されている。The delay generators 1 to 8 delay the reference test rate signal 100 from the rate generator by the value set by the program to generate the edges required for waveform generation and the like. The output edges of the delay generators 1, 2 and 5, 6 are supplied to the waveform formatters 11 and 14, respectively, as waveform generating edges. The output edge of the delay generator 3 is sent to the driver ON / OFF formatter 12 via the switch 24, and the output edge of the delay generator 7 is sent to the driver ON / O.
The FF formatter 15 includes drivers 17 and 19 respectively.
It is supplied as an ON / OFF edge. The output edges of the delay generators 4 and 8 are supplied to the comparator logics 13 and 16, respectively, as data strobe edges. The output edge of the delay generator 3 is the switch 2
3 to the waveform formatter 11, the output edges of the delay generators 5 and 6 to the driver ON / OFF formatter 12 via the switches 26 and 27, respectively, and the output edge of the delay generator 8 to the comparator via the switch 25. It is connected to the logic 13.
【0009】パターンメモリ9及び10はパターンアド
レス発生器からのパターンアドレス信号101によって
指定された発生波形等のデータであるパターンデータを
波形フォーマッタ11及び14、ドライバON/OFF
用フォーマッタ12及び15、コンパレータロジック1
3及び16にそれぞれ供給する。The pattern memories 9 and 10 store pattern data, which is data such as generated waveforms designated by the pattern address signal 101 from the pattern address generator, in the waveform formatters 11 and 14, and driver ON / OFF.
Formatters 12 and 15, comparator logic 1
3 and 16 respectively.
【0010】波形フォーマッタ11及び14の波形出力
はドライバ17及び19に入力され、ドライバON/O
FF用フォーマッタ12及び15の制御によりドライバ
17及び19から入出力ピン21及び22にそれぞれ出
力される。入出力ピン21及び22からの入力データは
コンパレータロジック13及び16の制御によりコンパ
レータ部18、20に取り込まれ期待値との比較処理を
行った後、もし、異常があればフェイルメモリへ出力1
02、103が出力される。The waveform outputs of the waveform formatters 11 and 14 are input to the drivers 17 and 19, and the driver ON / O
Under the control of the FF formatters 12 and 15, the signals are output from the drivers 17 and 19 to the input / output pins 21 and 22, respectively. The input data from the input / output pins 21 and 22 is taken into the comparator units 18 and 20 by the control of the comparator logics 13 and 16 and compared with the expected value, and if there is an abnormality, it is output to the fail memory.
02 and 103 are output.
【0011】図1に示すLSIテスタの動作を以下に説
明する。このLSIテスタは4つのタイミングエッジが
あり、通常は図2(A)及び(B)に示す表のASIC
モードで動作している。ASICモードではスイッチ2
4がON、スイッチ23、25、26、27がOFFの
状態である。この結果、3エッジがドライバの波形発生
用、1エッジがデータのストローブ用として使用されて
いる。ASICモードでは入出力ピン21及び22それ
ぞれ独立に高速少エッジ数で動作する。ここで、試験サ
イクル毎に出力(NRZ)、出力(P、N)、入力及び
入出力のいずれかを選択する。ここで、図2(A)及び
(B)に示す表においてNRZは"Non Return Zero"、
RZは"Return Zero"、Pは"Positive Pulse"、Nは"Ne
gative Pulse"、STBは"Strobe"、DREは"Driver E
nable" である。RZ及びDREの語尾の”L”及び”
T”は"Leading"及び"Trailing" を示す。例えば、RZ
が"Positive Pulse"である場合RZLのエッジ信号でハ
イレベル、RZTのエッジ信号でローレベルになること
を示す。また、添字”#1”及び”#2”は入出力ピン
21及び22で用いることのできるエッジ信号を示して
いる。The operation of the LSI tester shown in FIG. 1 will be described below. This LSI tester has four timing edges and is usually an ASIC in the table shown in FIGS. 2 (A) and 2 (B).
Operating in mode. Switch 2 in ASIC mode
4 is on and switches 23, 25, 26 and 27 are off. As a result, three edges are used for waveform generation of the driver and one edge is used for data strobe. In the ASIC mode, the input / output pins 21 and 22 operate independently with a high speed and a small number of edges. Here, output (NRZ), output (P, N), input, or input / output is selected for each test cycle. Here, in the tables shown in FIGS. 2A and 2B, NRZ is “Non Return Zero”,
RZ is "Return Zero", P is "Positive Pulse", N is "Ne"
gative Pulse ", STB" Strobe ", DRE" Driver E "
nable ". RZ and DRE endings with" L "and"
"T" indicates "Leading" and "Trailing". For example, RZ
Is "Positive Pulse", it means that the edge signal of RZL becomes high level and the edge signal of RZT becomes low level. The subscripts “# 1” and “# 2” indicate edge signals that can be used by the input / output pins 21 and 22.
【0012】図2(A)及び(B)に示す表から分かる
ように、ASICモードでは入出力試験サイクルを選択
した場合4エッジ、入力と出力試験サイクルを分けた場
合、1若しくは2エッジしか使用できない。このため、
例えば2エッジをタイミングエッジとして、その間のあ
る継続時間波形論理が変化しない事を確認するウインド
ウストローブはストローブ用エッジが1エッジであるた
め行うことはできない。また、3エッジがドライバの波
形発生用であるため同一試験サイクル内でDRE信号に
対してRZ信号を発生させることはできない。As can be seen from the tables shown in FIGS. 2A and 2B, in the ASIC mode, 4 edges are used when the input / output test cycle is selected, and only 1 or 2 edges are used when the input and output test cycles are divided. Can not. For this reason,
For example, a window strobe for confirming that the waveform logic of a certain duration does not change while using two edges as timing edges cannot be performed because the strobe edge is one edge. Further, since the 3 edges are for waveform generation of the driver, the RZ signal cannot be generated for the DRE signal in the same test cycle.
【0013】ここで、スイッチ24がOFF、スイッチ
23、25、26、27がONにして汎用モードとす
る。汎用モードではASICモードと比較して低速多エ
ッジ数で動作する。即ち、遅延発生器3の出力エッジは
スイッチ23を介して波形フォーマッタ11に、遅延発
生器5の出力エッジはスイッチ26を介してドライバO
N/OFF用フォーマッタ12に、遅延発生器6の出力
エッジはスイッチ27を介してドライバON/OFF用
フォーマッタ12に、遅延発生器8の出力エッジはスイ
ッチ25を介してコンパレータロジック13にそれぞれ
供給される。この結果、5エッジがドライバの波形発生
用、2エッジがデータのストローブ用として使用するこ
とができる。但し、入出力ピン21及び22のうち入出
力ピン22は入出力ピン22のエッジ信号を入出力ピン
21用に供給してしまうので使用はできない。Here, the switch 24 is turned off and the switches 23, 25, 26 and 27 are turned on to set the general mode. The general-purpose mode operates at a low speed and a large number of edges, as compared with the ASIC mode. That is, the output edge of the delay generator 3 is sent to the waveform formatter 11 via the switch 23, and the output edge of the delay generator 5 is sent to the driver O via the switch 26.
The output edge of the delay generator 6 is supplied to the driver ON / OFF formatter 12 via the switch 27, and the output edge of the delay generator 8 is supplied to the comparator logic 13 via the switch 25. It As a result, 5 edges can be used for driver waveform generation, and 2 edges can be used for data strobe. However, since the input / output pin 22 of the input / output pins 21 and 22 supplies the edge signal of the input / output pin 22 for the input / output pin 21, it cannot be used.
【0014】汎用モードでは、図2(A)及び(B)の
表に示すように7つのエッジの使用が可能となる。ここ
で、ストローブ用エッジが2エッジとなるためウインド
ウストローブが可能となり、ドライバの波形発生用が5
エッジであることから同一試験サイクル内でDRE信号
に対してRZ信号を発生させることも可能となる。ま
た、7つのエッジは個々に選択できるため自動生成以外
の複雑なパターンや波形を伴う試験パターンに対応可能
となる。In the general mode, seven edges can be used as shown in the tables of FIGS. 2A and 2B. Here, since the strobe edges are 2 edges, the window strobe is enabled, and the driver waveform generation is 5
Since it is an edge, it is possible to generate the RZ signal for the DRE signal in the same test cycle. Further, since the seven edges can be individually selected, it is possible to deal with complicated patterns other than automatic generation and test patterns with waveforms.
【0015】なお、上述の汎用モード及びASICモー
ドは混在することが可能である。従って、自動生成によ
るパターンで試験可能なチャネルはASICモードで、
複雑なパターンによる試験が必要なチャネルに対しては
汎用モードを用いることにより、チャネルの不必要な減
少や低速化を避け、効率よく試験を行うことが可能であ
る。また、図1に示した実施例では隣接する2つのチャ
ネル間でエッジ信号を融通し合ったがこれに限るわけで
はない。The above-mentioned general mode and ASIC mode can be mixed. Therefore, the channel that can be tested with the pattern generated automatically is ASIC mode,
By using the general-purpose mode for a channel that requires a test using a complicated pattern, it is possible to perform an efficient test while avoiding an unnecessary decrease in the channel and a decrease in speed. Further, in the embodiment shown in FIG. 1, the edge signals are exchanged between the two adjacent channels, but the invention is not limited to this.
【0016】[0016]
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。すなわち、隣接
チャネルのエッジ信号を用いることで、CAD等で自動
生成した比較的単純なパターンを実行するだけでなく、
自動生成以外の複雑なパターンや波形を伴う試験パター
ンを修正することなく用いることができる。また、対象
デバイスは常に高速多ピンとは限らないので生産の都合
などでLSIテスタを容易に転用することができ、高価
な資産の有効活用が可能となる。As is clear from the above description,
The present invention has the following effects. That is, by using the edge signal of the adjacent channel, not only is a relatively simple pattern automatically generated by CAD or the like executed,
Test patterns with complicated patterns or waveforms other than automatically generated can be used without modification. In addition, since the target device is not always a high-speed multi-pin, the LSI tester can be easily diverted due to production reasons, and the expensive assets can be effectively used.
【図1】本発明に係るLSIテスタの一実施例における
隣接する2つのチャネルの部分を示す要部構成ブロック
図である。FIG. 1 is a block diagram of a main part configuration showing portions of two adjacent channels in an embodiment of an LSI tester according to the present invention.
【図2】図1の隣接する2つのチャネルの部分のエッジ
信号の配分例を示す表である。FIG. 2 is a table showing an example of distribution of edge signals of two adjacent channels in FIG.
【図3】従来のLSIテスタの動作例を示すタイミング
図である。FIG. 3 is a timing chart showing an operation example of a conventional LSI tester.
1,2,3,4,5,6,7,8 遅延発生器 9,10 パターンメモリ 11,14 波形フォーマッタ 12,15 ドライバON/OFF用フォーマッタ 13,16 コンパレータロジック 17,19 ドライバ 18,20 コンパレータ部 21,22 入出力ピン 23,24,25,26,27 スイッチ 50,52 波形発生手段 51,53 入力比較手段 54 切り換え手段 100 基準試験レート信号 101 パターンアドレス信号 102,103 出力 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 Delay generator 9, 10 Pattern memory 11, 14 Waveform formatter 12, 15 Driver ON / OFF formatter 13, 16 Comparator logic 17, 19 Driver 18, 20 Comparator Parts 21, 22 Input / output pins 23, 24, 25, 26, 27 Switches 50, 52 Waveform generating means 51, 53 Input comparing means 54 Switching means 100 Reference test rate signal 101 Pattern address signal 102, 103 Output
Claims (1)
持つパーピン構造のLSIテスタにおいて、 前記タイミングエッジ発生器のエッジ出力により波形を
発生させる波形発生手段と、 前記タイミングエッジ発生器のエッジ出力により入力の
比較処理を行う入力比較手段と、 隣接する前記チャネル間で、各エッジ出力を前記入力比
較手段と前記波形発生手段に供給し合う切り換え手段
と、 前記入力比較手段と前記波形発生手段にデータを供給す
る記憶手段とを備えたことを特徴とするLSIテスタ。1. A per-pin structure LSI tester having a timing edge generator for each channel, wherein waveform generating means for generating a waveform by an edge output of the timing edge generator, and input by an edge output of the timing edge generator Input comparing means for performing the comparison processing of 1., switching means for supplying each edge output between the adjacent channels to the input comparing means and the waveform generating means, and data for the input comparing means and the waveform generating means. An LSI tester comprising a storage means for supplying.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3314806A JPH05150005A (en) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | Lsi tester with timing edge flexibility |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3314806A JPH05150005A (en) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | Lsi tester with timing edge flexibility |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05150005A true JPH05150005A (en) | 1993-06-18 |
Family
ID=18057828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3314806A Pending JPH05150005A (en) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | Lsi tester with timing edge flexibility |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05150005A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6486691B2 (en) | 1999-04-02 | 2002-11-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Tester for a semiconductor IC circuit having multiple pins |
-
1991
- 1991-11-28 JP JP3314806A patent/JPH05150005A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6486691B2 (en) | 1999-04-02 | 2002-11-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Tester for a semiconductor IC circuit having multiple pins |
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