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JPH05144263A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

Info

Publication number
JPH05144263A
JPH05144263A JP3304955A JP30495591A JPH05144263A JP H05144263 A JPH05144263 A JP H05144263A JP 3304955 A JP3304955 A JP 3304955A JP 30495591 A JP30495591 A JP 30495591A JP H05144263 A JPH05144263 A JP H05144263A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sense amplifier
block
word line
bit line
memory device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP3304955A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirohiko Mochizuki
裕彦 望月
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP3304955A priority Critical patent/JPH05144263A/ja
Priority to US07/978,837 priority patent/US5329492A/en
Publication of JPH05144263A publication Critical patent/JPH05144263A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/02Disposition of storage elements, e.g. in the form of a matrix array
    • G11C5/025Geometric lay-out considerations of storage- and peripheral-blocks in a semiconductor storage device
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
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    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
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    • G11C11/4091Sense or sense/refresh amplifiers, or associated sense circuitry, e.g. for coupled bit-line precharging, equalising or isolating
    • GPHYSICS
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    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
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    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
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    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
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    • GPHYSICS
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Databases & Information Systems (AREA)
  • Dram (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、センスアンプ動作時の瞬時電流を抑
え、且つアクセスタイムの短い半導体記憶装置を提供す
ることを目的とする。 【構成】複数のワード線及び複数のビット線と、該ビッ
ト線に接続されるセンスアンプと、該ワード線と該ビッ
ト線の交点に接続された複数のメモリセルとを含む複数
のブロックを有し、各該ブロックごとに一本の該ワード
線が選択されるような半導体記憶装置において、前記各
ブロックで、前記センスアンプから選択ワード線までの
距離が互いに異なるように前記ワード線を選択する手段
と、該選択ワード線が該センスアンプに近いブロックか
ら該センスアンプを順次活性化する手段とを有すること
を特徴とする半導体記憶装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置に係わ
り、特にセンスアンプ動作時の瞬時電流を抑えた半導体
記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、メモリ容量が増大するとともにビ
ット線の充放電電流が非常に大きくなり、センスアンプ
動作時の瞬時電流の増大を生じ、その結果電源の電位降
下や接地電位の浮き上がりを招き、入力信号の論理レベ
ルの誤判定を生じ、誤動作を生じるということが問題と
なってきている。
【0003】そこで、メモリセルアレイを複数のブロッ
クに分割し、各ブロックのセンスアンプやアクティブプ
ルアップ回路の動作タイミングを一定の順序でそれぞれ
ずらして、センスアンプ動作時やアクティブプルアップ
動作時の瞬時電流を削減するという方法がある。
【0004】この方法を用いた半導体記憶装置について
は、例えば、特開昭62−114193号公報に記載さ
れている。以下、この半導体記憶装置について図7及至
図11を参照して説明する。
【0005】図7は、この従来例を示す概略ブロック図
である。図において、メモリセルアレイ(半導体記憶装
置)全体を4つのブロックMA1〜MA4に分割する。
なお、これら4つのブロックは、メモリ容量は4分の1
に減少するが、その他の構成は従来装置と同一のものを
備えている。
【0006】図7に示す4つのブロックに対してそれぞ
れφR1,φR2,φR3,φR4のアクティブプルア
ップ動作開始信号を供給する。これらアクティブプルア
ップ動作開始信号φR1〜φR4がそれぞれ、各メモリ
セルブロックMA1〜MA4内で、クロックφRとして
各アクティブプルアップ回路に入力される。したがっ
て、メモリセルブロックMA1〜MA4に含まれる各ア
クティブプルアップ回路は、クロックφR1〜φR4に
応答して、アクティブプルアップ動作を開始する。
【0007】図8は従来例のダイナミック型RAMにお
けるセンス系の周辺を示す回路図である。図9は図8に
おける各接点の動作波形図であり、図8と図9の同記号
は同じものを示している。また、図9の反転信号のRA
Sはロウアドレスストローブ信号である。
【0008】図8と図9において、1対のビット線B
L,XBLは、それぞれトランジスタQ00,Q01を
介してデータバスI/O,XI/Oに接続される。これ
らトランジスタQ00,Q01のオン・オフは、コラム
デコーダの出力によって制御される。各ビット線には、
1トランジスタ・1キャパシタ型のメモリセルMCが交
互に接続される。メモリセルMCには、ワード線WLが
接続され、このワード線WLの選択によってメモリセル
MCとビット線BL,XBLとの間の接続・遮断が制御
される。また、ビット線BL,XBLには、それぞれ1
個ずつのダミーメモリセルDMCが接続される。これら
ダミーメモリセルDMCには、ダミーワード線WLDM
が接続され、このダミーワード線WLDMの選択によっ
てダミーメモリセルDMCとビット線BL,XBLとの
間の接続・遮断が制御される。また、ビット線BL,X
BLには、それぞれトランジスタQPR0,QPR1を
介してプリチャージ電源VPRが接続される。これらト
ランジスタQPR0,QPR1のオン・オフは、プリチ
ャージクロックφPRによって制御される。
【0009】さらに、ビット線BL,XBLには、セン
スアンプSAとアクティブプルアップ回路APとが接続
される。センスアンプSAは、ビット線の電位を検知す
るためのもので、センスアンプ駆動信号φSによってそ
の動作が制御される。アクティブプルアップ回路AP
は、ビット線BLをプルアップするために機能するトラ
ンジスタQAP0,QR0及びキャパシタCR0と、ビ
ット線XBLをプルアップするために機能するトランジ
スタQAP1,QR1及びキャパシタCR1とを含む。
トランジスタQAP0はビット線BLをプルアップする
ためのトランジスタであり、ビット線BLと電源VCC
との間に介挿される。キャパシタCR0は、トランジス
タQAP0のゲート電位を昇圧するためのキャパシタで
あり、その一端はトランジスタQAP0のゲートに接続
され、その他端にはアクティブプルアップクロックφR
を受ける。トランジスタQR0はキャパシタCR0をビ
ット線BLのプリチャージ電圧で予め充電しておくため
のもので、ビット線BLとキャパシタCR0の前記一層
との間に介挿される。なお、ビット線XBLをプルアッ
プするための回路要素であるトランジスタQR1,QA
P1及びキャパシタCR1も、ビット線BLをプルアッ
プするための回路要素であるトランジスタQR0,QA
P0及びキャパシタCR0と対称の構成となっている。
なお、トランジスタQR0,QR1の各ゲートには、ク
ロックφPが与えられる。
【0010】図10は図7に示されるアクティブプルア
ップ回路駆動系20の構成を示すブロック図である。図
において、アクティブプルアップ回路駆動系20は、図
8の回路で用いられるクロックφR1と同じクロックを
発生するφR発生回路30を備える。このφR発生回路
30の出力は、クロックφR1としてメモリセルブロッ
クMA1に与えられるとともに、遅延回路D11に与え
られて所定時間遅延される。この遅延回路D11の出力
は、クロックφR2としてメモリセルブロックMA2に
与えられるとともに、遅延回路D12に与えられる。こ
の遅延回路D12は、上述の遅延回路D11と同じ遅延
時間を有しており、その出力はクロックφR3としてメ
モリセルブロックMA3に与えられるとともに、遅延回
路D13に与えられる。この遅延回路D13の遅延時間
は上記遅延回路D11,D12と同じ遅延時間を有して
おり、その出力はクロックφR4としてメモリセルブロ
ックMA4に与えられる。このように、クロックφR1
〜クロックφR4は図11に示すように、φR1,φR
2,φR3,φR4の順番で時間差を持って発生する信
号である。このような時間差を持って発生するクロック
によって各メモリセルブロックMA1〜MA4のプルア
ップ動作を制御すると、各メモリセルブロックにおける
アクティブプルアップ動作が時間差をもって開始される
ので、アクティブプルアップ動作時における瞬時電流
は、従来例のようにすべてのアクティブプルアップ回路
が同時に動作する場合に比べ、著しく減少する。したが
って、システムの電源に対する負担を軽減でき、容量の
小さい電源を用いることができる。
【0011】これと同様な手法において、図12のよう
なセンスアンプ回路が用いられている場合に、センスア
ンプ活性化信号φLEを各ブロックでずらし、瞬時電流
を低減化させる方法もある。
【0012】この場合のブロックごとの動作波形は図6
(b)のようになり、やはり、瞬時電流を軽減すること
ができる。なお、図6(b)におけるφLE11〜φL
E14は、各ブロック内において、図12のφLEとし
て働くクロックで、図7,図10のφR1〜φR4にそ
れぞれ対応するものである。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の通
り、4つのブロックのセンスアンプの動作をそれぞれず
らして、センスアンプ動作時の瞬時電流を削減している
が、最初に動作するブロックの動作時間は、次のように
して決まる。
【0014】すなわち、ビット線には寄生抵抗があるの
でワード線が選択され、セルの情報がビット線に現れ、
さらにセンスアンプに到達するには一定の時間がかか
る。この時間は、センスアンプから一番遠いワード線が
選択された場合に一番長い。従って、最初に動作するブ
ロックの動作タイミング(図10のφR1が活性化され
るタイミング)は、センスアンプから一番遠いワード線
が選択された場合にも、センスアンプにセルの情報が十
分到達してから動作が開始されるようなタイミングに設
計しなければならない。φR2〜φR4は、φR1より
さらに遅れて活性化されるので余分な動作時間が必要で
ある。
【0015】従来例では、瞬時電流を減少させるため他
のブロックを、φR1が活性化されるタイミングからさ
らに遅らせて動作させる。このため、最後に動作するブ
ロックはセンスアンプ動作がかなり遅れ、アクセスタイ
ムの遅延という問題があった。
【0016】従って、従来、センスアンプ動作時の瞬時
電流の抑制と、アクセスタイムの短縮との両立が難しか
った。本発明は、センスアンプ動作時の瞬時電流を抑
え、且つアクセスタイムの短い半導体記憶装置を提供す
ることを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記の問題点は、以下に
示す半導体記憶装置により解決される。すなわち、複数
のワード線及び複数のビット線と、ビット線に接続され
るセンスアンプと、ワード線とビット線の交点に接続さ
れた複数のメモリセルとを含む複数のブロックを有し、
各ブロックごとに一本のワード線が選択されるような半
導体記憶装置において、各ブロックで、センスアンプか
ら選択ワード線までの距離が互いに異なるようにワード
線を選択する手段と、選択ワード線がセンスアンプに近
いブロックからセンスアンプを順次活性化する手段とを
有することを特徴とする半導体記憶装置である。
【0018】
【作用】本発明では、図1のように、例えばプリデコー
ド信号XC3が選択された場合、小ブロック130,2
40,310,420が接続され、その中でセンスアン
プに近いブロック、つまり、240,130,420,
310がある大ブロック200,100,400,30
0の順序でワード線が選択されるように構成している。
【0019】すなわち、ワード線の選択位置をブロック
ごとにずらし、センスアンプに近いワード線が選ばれた
ブロックほど、早くセンスアンプの動作を開始するもの
である。したがって、従来例のようにアクセスタイムを
犠牲にすることなく、各ブロックのセンスアンプの動作
時間をずらすことができ、かくしてセンスアンプ動作時
の瞬時電流を減少させることができる。
【0020】
【実施例】以下、本発明を図示の一実施例により具体的
に説明する。本発明の一実施例は図1及至図5と図6
(a)に示し、図3に図2の各接点の動作波形、図6
(a)に図1の動作波形を示している。
【0021】図1は、本発明の原理図となるブロック構
成図であり、実際のレイアウトに対応したものである。
図1において、メモリセルアレイ全体を4つの大ブロッ
ク100、200、300、400に分割して、各大ブ
ロックごとにそれぞれ小ブロック110〜140、21
0〜240、310〜340、410〜440を設けて
いる。
【0022】また、XA1〜XA4,XB1〜XB4,
XC1〜XC4はプリデコード信号であり、図ではXA
1〜XA4とXB1〜XB4は大ブロック100のみに
接続されているようにみえるが、実際には大ブロック2
00,300,400にも共通接続されている。さら
に、111,112,121,122,131,13
2,141,142は遅延回路D1の一部となるNAN
Dゲート、113,123,133は遅延回路D1の一
部となるインバータ、1〜13は111〜142の出
力、311,312,321,322,331,33
2,341,342は遅延回路D3の一部となるNAN
Dゲート、313,323,333は遅延回路D3の一
部となるインバータ、a〜mは311〜341の出力で
ある。
【0023】これら4つの大ブロックに対してそれぞれ
φLE1,φLE2,φLE3,φLE4のセンスアン
プ活性信号を供給する。これらセンスアンプ活性信号φ
LE1〜φLE4がそれぞれ、各大ブロック100、2
00、300、400内で、クロックφLE1〜φLE
4として各センスアンプ・コラムデコーダに入力され
る。したがって、大ブロック100、200、300、
400に含まれる各センスアンプ・コラムデコーダは、
クロックφLE1〜φLE4に応答して、センスアンプ
活性化を開始する。
【0024】図2は図1における各大ブロック内のセン
スアンプ1つ分の回路を示しており、図3は図2の各接
点の動作波形を示したものである。図中、ビット線B
L,XBLがビット線分割用トランジスタQ5〜Q12
によって、分割されている。また、Q1,Q2,Q5〜
Q16はnチャネルMOS・FET、Q3,Q4,Q1
7はpチャネルMOS・FETである。
【0025】次に、図2を図3の動作波形に従って説明
する。まず、ビット線はリセット状態にある。次いで、
ビット線ショートクロックφBRSをロウレベルにして
プリチャージ回路PCを非活性にするとともに、ビット
線分割用トランジスタQ9,Q10のゲートに供給され
るφBLT3をロウレベルとする。したがって、センス
アンプから遠い側のビット線は切り離される。次に、ワ
ード線WLを立ち上げ、セルの情報をビット線に伝達さ
せる。後に、センスアンプ活性信号φXLE,φLEを
入力し、センスアンプにてビット線BL,XBLの情報
を増幅する。
【0026】図4(a)は、図1のワードデコーダにお
ける1つのワードデコーダ回路を示している。図中、R
DRはワードデコーダのリセット信号、WDはワード線
WLを駆動させる信号である。また、プリデコード信号
XA1〜XA4,XB1〜XB4はメモリセルの選択、
プリデコード信号XC1〜XC4は図1の各小ブロック
の選択をそれぞれしている。
【0027】図4(b)は、図4(a)において、ワー
ドデコーダに入力されるプリデコード信号を発生するプ
リデコーダを示している。図4(c)は、図4(b)に
おいて、プリデコーダに入力されるアドレス信号の波形
を示している。
【0028】次に、プリデコード信号XC3が選択され
た場合の大ブロック100の動作を例にとり図1と図5
を用いて説明する。図5は、大ブロック100に属する
論理及びタイミング回路内の各接点の動作を示してい
る。
【0029】図1を参照して選択動作を説明する。ま
ず、XC1〜XC4の中から小ブロック130、24
0、310、420に接続されたXC3のみが立ち上が
る。この時、図5には図示していないが、XA1〜XA
4及びXB1〜XB4の中からもそれぞれ一本が立ち上
がる。これら合計三本のプリデコード信号によって、上
記各小ブロックで一本ずつワード線が選択される。
【0030】φWSはワード線が立ち上がる時期と同時
期に立ち上がる信号で、φWSが立ち上がると、XC3
とφWSが入力されたNANDゲート131の出力9が
Hレベルから立ち下がる。この時111,121,14
1の出力1,5,13はHレベルのまま変化しない。
【0031】出力9が立ち下がると132の出力10が
立ち上がり、抵抗を介した11も所定の遅延時間の後に
立ち上がる。この遅延はワード線が立ち上がり、セルの
情報がビット線に現れてから、ビット線上をこの情報が
伝搬するのに必要な時間を確保している。
【0032】11が立ち上がると順に133の出力12
が立ち下がり、142の出力φLE1が立ち上がる。よ
って、9−10−11−12−φLEに至る遅延回路が
形成される。φLE1はセンスアンプドライブ用トラン
ジスタのゲートに接続されており、φLE1が立ち上が
るとセンスアンプの動作が開始される。
【0033】同様にして、大ブロック300の場合を例
にとると、XC3が311に接続されているためXC3
が立ち上がり、続いてφWSが立ち上がると311の出
力aが立ち下がる。一方、321,331,341の出
力e,i,mはHレベルのまま保持される。この時、a
−b−c−d−f−g−h−j−k−l−φLE3に至
る遅延回路が形成される。大ブロック300ではセンス
アンプから遠い部分のワード線が選択されているため、
セルの情報がビット線を伝搬しセンスアンプに到達する
までに時間がかかる。上記の遅延回路は大ブロック10
0の場合と比較してCRの遅延回路の段数が二段多く形
成されるため、センスアンプが動作するまでに充分な時
間を確保することができる。
【0034】以上、プリデコード信号XC3が立ち上が
る場合の大ブロック100,大ブロック300の動作を
例にとり図1の回路動作の説明を行ったが、大ブロック
200,大ブロック400においてもそれぞれ、大ブロ
ック100,大ブロック300の遅延時間とは違った遅
延時間でセンスアンプが動作する。
【0035】次に、プリデコード信号XC1〜XC4が
それぞれ立ち上がった時、φLE1〜φLE4が活性化
される順序及び、選択されるメモリセルを含む小ブロッ
クを表したものを表1に示す。
【0036】
【表1】 したがって、かかる遅延回路を用いればブロック分割さ
れたメモリセルアレイにおいて、各々のブロックで選択
されるワード線のセンスアンプからの距離を異なるよう
に構成し、図6(a)に示すように、センスアンプ活性
信号φLE1〜φLE4が、φLE1,φLE2,φL
E3,φLE4で時間差を持って発生する信号であるた
め、センスアンプに近いワード線が選択されたブロッ
ク、すなわち、プリデコード信号XC3が選択された場
合は、大ブロック200−大ブロック100−大ブロッ
ク400−大ブロック300という順序でセンスアンプ
動作が行われる。
【0037】上述の如く、本実施例では、センスアンプ
にデータが到達したブロックからセンスアンプを動作さ
せ、各ブロックでのセンスアンプの動作時間をずらすこ
とができるので、アクセスタイムに影響を与えることな
く、センスアンプ動作時の瞬時電流を抑えることができ
る。
【0038】なお、以上説明した本発明の一実施例で
は、メモリセルアレイ全体を4つのブロックに分割する
場合を示したが、分割数は複数であればよい。また、本
発明の一実施例ではビット線群を複数に分割し、選択さ
れるメモリセルよりもセンスアンプから遠い側のビット
線は、センスアンプ動作時も非活性状態を保持するよう
にしているが、活性状態であってもよい。但し、実施例
のようにビット線を分割した方が、動作電流が抑えられ
る。
【0039】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、同
時に動作する複数のメモリセルブロックを有する半導体
記憶装置において、ビット線群を複数のブロックに分割
し、選択ワード線のセンスアンプからの距離を各ブロッ
クで異なるように配置し、センスアンプに近いメモリセ
ルの情報が速くセンスアンプに伝達することを利用し
て、センスアンプの活性化時間に差をつけ、瞬時電流を
低減することができ、半導体集積回路の高性能化・高密
度化に寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理説明図である。
【図2】一実施例のセンスアンプ1つ分の回路図であ
る。
【図3】一実施例の図2における各接点の動作波形図で
ある。
【図4】(a)一実施例のワードデコーダ1つ分の回路
図である。 (b)一実施例のワードデコーダに入力されるプリデコ
ーダ信号を発生させるプリデコーダを示す図である。 (c)一実施例のプリデコーダに入力されるアドレス信
号の波形図である。
【図5】本発明の大ブロック100に属する論理及び遅
延回路D1内の各接点の動作を示す図である。
【図6】(a)本発明のブロックごとの動作波形図であ
る。 (b)従来例をセンスアンプ動作に用いたときのブロッ
クごとの動作波形図である。
【図7】従来例を示す概略ブロック図である。
【図8】従来例のアクティブプルアップ回路1つ分の回
路図である。
【図9】従来例の図8における各接点の動作波形図であ
る。
【図10】従来例のアクティブプルアップ回路駆動系2
0の構成を示すブロック図である。
【図11】従来例を説明する動作波形図である。
【図12】従来例のアクティブプルアップ動作をセンス
アンプ動作に用いたときのセンスアンプ回路を示す回路
図である。
【符号の説明】
φLE1〜φLE4 センスアンプ活性信号 XC1〜XC4 プリデコード信号 D1,D3 遅延回路 BL1,XBL1 大ブロック100において選択さ
れたビット線対 BL2,XBL2 大ブロック200において選択さ
れたビット線対 BL3,XBL3 大ブロック300において選択さ
れたビット線対 BL4,XBL4 大ブロック400において選択さ
れたビット線対 BL11,XBL11 ブロックMA1において選択さ
れたビット線対 BL12,XBL12 ブロックMA2において選択さ
れたビット線対 BL13,XBL13 ブロックMA3において選択さ
れたビット線対 BL14,XBL14 ブロックMA4において選択さ
れたビット線対

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のワード線及び複数のビット線と、該
    ビット線に接続されるセンスアンプと、該ワード線と該
    ビット線の交点に接続された複数のメモリセルとを含む
    複数のブロックを有し、各該ブロックごとに一本の該ワ
    ード線が選択されるような半導体記憶装置において、 前記各ブロックで、前記センスアンプから選択ワード線
    までの距離が互いに異なるように前記ワード線を選択す
    る手段と、 該選択ワード線が該センスアンプに近いブロックから該
    センスアンプを順次活性化する手段とを有することを特
    徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】前記ビット線を複数の部分に分割する手段
    を持ち、前記センスアンプの位置から、選択された前記
    ワード線の位置までの、分割された該ビット線を活性状
    態とし、それより該センスアンプから遠い側のビット線
    は、該センスアンプの動作時も非活性状態を保持するよ
    うにしてなされたことを特徴とする請求項1記載の半導
    体記憶装置。
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