JPH05142180A - 二酸化炭素センサ - Google Patents
二酸化炭素センサInfo
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- JPH05142180A JPH05142180A JP32989691A JP32989691A JPH05142180A JP H05142180 A JPH05142180 A JP H05142180A JP 32989691 A JP32989691 A JP 32989691A JP 32989691 A JP32989691 A JP 32989691A JP H05142180 A JPH05142180 A JP H05142180A
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- Japan
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- sensor
- cuo
- batio3
- sensitivity
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系ＣＯ2センサのＣＯ2
感度を向上させる。 【構成】 ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系ＣＯ2センサにＡｇを
ドープする。ドーピングは好ましくは原材料のＣｕＯと
ＢａＴｉＯ3の双方に行い、添加量は１〜６ｗｔ％程度
とする。
感度を向上させる。 【構成】 ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系ＣＯ2センサにＡｇを
ドープする。ドーピングは好ましくは原材料のＣｕＯと
ＢａＴｉＯ3の双方に行い、添加量は１〜６ｗｔ％程度
とする。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は、ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3
系のＣＯ2センサの改良に関する。
系のＣＯ2センサの改良に関する。
【０００２】
【従来技術】発明者らは、ＣｕＯとＢａＴｉＯ3の等モ
ル混合物の静電容量がＣＯ2により変化し、この系をＣ
Ｏ2センサとして用い得ることを見い出した（第１０回
化学センサ研究発表会講演要旨集ｐ．ｐ．５３−５
６）。このセンサのＣＯ2感度は、例えば４６０℃の動
作温度において、２％のＣＯ2に対し２．８程度であ
る。ここに感度は、ＣＯ2中での静電容量と空気中での
静電容量の比を示すものとする（以下同じ）。発明者
は、このＣＯ2センサの増感について検討し、この発明
に到った。
ル混合物の静電容量がＣＯ2により変化し、この系をＣ
Ｏ2センサとして用い得ることを見い出した（第１０回
化学センサ研究発表会講演要旨集ｐ．ｐ．５３−５
６）。このセンサのＣＯ2感度は、例えば４６０℃の動
作温度において、２％のＣＯ2に対し２．８程度であ
る。ここに感度は、ＣＯ2中での静電容量と空気中での
静電容量の比を示すものとする（以下同じ）。発明者
は、このＣＯ2センサの増感について検討し、この発明
に到った。
【０００３】
【発明の課題】この発明の課題は、ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ
3系ＣＯ2センサのＣＯ2感度を向上させることにある。
3系ＣＯ2センサのＣＯ2感度を向上させることにある。
【０００４】
【発明の構成】この発明は、ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系Ｃ
Ｏ2検出材料を用いた、二酸化炭素センサにおいて、前
記のＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系ＣＯ2検出材料に、Ａｇ，Ｐ
ｄ，Ｐｔ，Ａｕ等の貴金属や、ＮｉＯ，Ｃｏ3Ｏ4，Ｚｎ
Ｏ等の遷移金属の酸化物、あるいはＩｎ2Ｏ3，ＳｎＯ2
等の典型金属元素の酸化物を添加したことを特徴とす
る。添加物を一般化すると、その一つは貴金属であり、
他の一つは遷移金属酸化物であり、最後のものは原子価
３または４の典型金属元素の酸化物である。これらの
内、最も増感作用が著しいものは、ＰｄとＡｇであり、
中でもＡｇが最も増感作用が高い。
Ｏ2検出材料を用いた、二酸化炭素センサにおいて、前
記のＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系ＣＯ2検出材料に、Ａｇ，Ｐ
ｄ，Ｐｔ，Ａｕ等の貴金属や、ＮｉＯ，Ｃｏ3Ｏ4，Ｚｎ
Ｏ等の遷移金属の酸化物、あるいはＩｎ2Ｏ3，ＳｎＯ2
等の典型金属元素の酸化物を添加したことを特徴とす
る。添加物を一般化すると、その一つは貴金属であり、
他の一つは遷移金属酸化物であり、最後のものは原子価
３または４の典型金属元素の酸化物である。これらの
内、最も増感作用が著しいものは、ＰｄとＡｇであり、
中でもＡｇが最も増感作用が高い。
【０００５】
【０００６】
【ＣＯ2センサの調製】ＢａＣＯ3とＴｉＯ2を等モル比
で混合した後、１２００℃で１２時間空気中で焼成し、
ＢａＴｉＯ3を得た。ＢａＴｉＯ3の調製条件は任意であ
る。このＢａＴｉＯ3と市販のＣｕＯ（試薬特級）を等
モル比で、イオン交換水に懸濁し、ＡｇＮＯ3を溶解さ
せて蒸発乾固しＡｇを添加した。ＢａＴｉＯ3とＣｕＯ
のモル比は１：１で最も高い感度が得られ、最も好まし
くは１：１とし、一般的には２：１〜１：２、より好ま
しくは３：２〜２：３、更に好ましくは５：４〜４：５
の範囲とする。Ａｇ以外の添加物の場合も、同様に硝酸
塩等の水溶液で添加した。
で混合した後、１２００℃で１２時間空気中で焼成し、
ＢａＴｉＯ3を得た。ＢａＴｉＯ3の調製条件は任意であ
る。このＢａＴｉＯ3と市販のＣｕＯ（試薬特級）を等
モル比で、イオン交換水に懸濁し、ＡｇＮＯ3を溶解さ
せて蒸発乾固しＡｇを添加した。ＢａＴｉＯ3とＣｕＯ
のモル比は１：１で最も高い感度が得られ、最も好まし
くは１：１とし、一般的には２：１〜１：２、より好ま
しくは３：２〜２：３、更に好ましくは５：４〜４：５
の範囲とする。Ａｇ以外の添加物の場合も、同様に硝酸
塩等の水溶液で添加した。
【０００７】ＢａＴｉＯ3に対して１〜５ｗｔ％になる
ようにＡｇを添加した。Ａｇの添加はＡｇ源としてＡｇ
ＮＯ3を用い、前記のイオン交換水に加え、蒸発乾固し
て行った。以上の方法で得た粉体をＡｇＮＯ3の分解温
度以上の５００℃で空気中で焼成し、ＡｇＮＯ3をＡｇ
に分解させてＣｕＯやＢａＴｉＯ3に担持した後、直径
１３ｍｍ，厚さ１ｍｍのディスク状に圧縮成形した。こ
のディスクを５００〜８００℃で５時間、空気中で焼成
した。電極としてＡｇペーストを直径６ｍｍの円形状に
塗布後、リード線として白金線を取り付け、ＣＯ2セン
サとした。電極材料はＡｇに限らず、Ａｕ，Ｐｔ，Ｐ
ｄ，Ｒｈ等の貴金属でも良く、動作温度で劣化せずＣｕ
ＯやＢａＴｉＯ3を被毒しない材料であれば、任意の電
極材料を用い得る。得られたセンサを図６に示す。図に
おいて、２はＡｇを添加したＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系の
ＣＯ2センサ材料、４，４はＡｇペースト電極である。
ようにＡｇを添加した。Ａｇの添加はＡｇ源としてＡｇ
ＮＯ3を用い、前記のイオン交換水に加え、蒸発乾固し
て行った。以上の方法で得た粉体をＡｇＮＯ3の分解温
度以上の５００℃で空気中で焼成し、ＡｇＮＯ3をＡｇ
に分解させてＣｕＯやＢａＴｉＯ3に担持した後、直径
１３ｍｍ，厚さ１ｍｍのディスク状に圧縮成形した。こ
のディスクを５００〜８００℃で５時間、空気中で焼成
した。電極としてＡｇペーストを直径６ｍｍの円形状に
塗布後、リード線として白金線を取り付け、ＣＯ2セン
サとした。電極材料はＡｇに限らず、Ａｕ，Ｐｔ，Ｐ
ｄ，Ｒｈ等の貴金属でも良く、動作温度で劣化せずＣｕ
ＯやＢａＴｉＯ3を被毒しない材料であれば、任意の電
極材料を用い得る。得られたセンサを図６に示す。図に
おいて、２はＡｇを添加したＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系の
ＣＯ2センサ材料、４，４はＡｇペースト電極である。
【０００８】ＣＯ2に対するセンサ特性は、流通型装置
を用いて測定し、空気からＣＯ2を含む空気（原則とし
てＣＯ2２容量％濃度）に切り換えた時の、センサの静
電容量の変化を測定した。静電容量はＬＣＲメータを用
いて、例えば５０ｋＨｚで測定した。なおセンサ感度
は、ＣＯ2を含む空気での静電容量に対する空気中の静
電容量の比、つまりＣｃｏ2／Ｃａｉｒで表した。
を用いて測定し、空気からＣＯ2を含む空気（原則とし
てＣＯ2２容量％濃度）に切り換えた時の、センサの静
電容量の変化を測定した。静電容量はＬＣＲメータを用
いて、例えば５０ｋＨｚで測定した。なおセンサ感度
は、ＣＯ2を含む空気での静電容量に対する空気中の静
電容量の比、つまりＣｃｏ2／Ｃａｉｒで表した。
【０００９】
【結果】図１にＣｕＯーＢａＴｉＯ3及び、ＣｕＯーＢ
ａＴｉＯ3にＡｇを添加したセンサ（ＢａＴｉＯ3のみに
Ａｇを添加したものと、ＣｕＯとＢａＴｉＯ3の双方に
Ａｇを添加したもの）について、２％のＣＯ2への感度
の、センサ温度依存性を示した。Ａｇを添加する方法と
して、ＢａＴｉＯ3にＡｇを１ｗｔ％担持させたセンサ
（ＣｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3と表記：Ａｇのセンサ材
料２全体に対する含有量は０．７５ｗｔ％）とＣｕＯと
ＢａＴｉＯ3両方にＢａＴｉＯ3の１ｗｔ％量Ａｇを担持
させたセンサ（Ａｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）と表
記：Ａｇのセンサ材料全体に対する含有量は０．７５ｗ
ｔ％）の２種類のセンサを作製し、ＣＯ2に対する感度
を比較した。Ａｇ無添加のＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3センサ
では、動作温度４６０℃において感度は２．８であっ
た。Ａｇを添加したセンサでは、いずれも感度は著しく
増加し、５６０℃の動作温度で、Ａｇ／（ＣｕＯ−Ｂａ
ＴｉＯ3）センサでは感度が７．７，ＣｕＯ−Ａｇ／Ｂ
ａＴｉＯ3センサで感度が１９．５に増加した。特にＣ
ｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3センサでは、Ａｇ無添加のＣ
ｕＯーＢａＴｉＯ3センサよりも、感度が１桁大きくな
った。
ａＴｉＯ3にＡｇを添加したセンサ（ＢａＴｉＯ3のみに
Ａｇを添加したものと、ＣｕＯとＢａＴｉＯ3の双方に
Ａｇを添加したもの）について、２％のＣＯ2への感度
の、センサ温度依存性を示した。Ａｇを添加する方法と
して、ＢａＴｉＯ3にＡｇを１ｗｔ％担持させたセンサ
（ＣｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3と表記：Ａｇのセンサ材
料２全体に対する含有量は０．７５ｗｔ％）とＣｕＯと
ＢａＴｉＯ3両方にＢａＴｉＯ3の１ｗｔ％量Ａｇを担持
させたセンサ（Ａｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）と表
記：Ａｇのセンサ材料全体に対する含有量は０．７５ｗ
ｔ％）の２種類のセンサを作製し、ＣＯ2に対する感度
を比較した。Ａｇ無添加のＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3センサ
では、動作温度４６０℃において感度は２．８であっ
た。Ａｇを添加したセンサでは、いずれも感度は著しく
増加し、５６０℃の動作温度で、Ａｇ／（ＣｕＯ−Ｂａ
ＴｉＯ3）センサでは感度が７．７，ＣｕＯ−Ａｇ／Ｂ
ａＴｉＯ3センサで感度が１９．５に増加した。特にＣ
ｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3センサでは、Ａｇ無添加のＣ
ｕＯーＢａＴｉＯ3センサよりも、感度が１桁大きくな
った。
【００１０】Ａｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）センサは
ＣｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3センサより感度は低いが、
図３に示すようにＣｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3に比べ、
感度が定常値に移行するまでの時間が短い。そこで以下
では、Ａｇを均一に添加したＡｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉ
Ｏ3）センサの特性を示す。なお図に示した特性は、特
に断わらない限り、調製直後の初期的な感度である。ま
た図３での、感度増加のメカニズムは不可逆なもので、
センサを室温に戻し放置しても、感度は低下しない。
ＣｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3センサより感度は低いが、
図３に示すようにＣｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3に比べ、
感度が定常値に移行するまでの時間が短い。そこで以下
では、Ａｇを均一に添加したＡｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉ
Ｏ3）センサの特性を示す。なお図に示した特性は、特
に断わらない限り、調製直後の初期的な感度である。ま
た図３での、感度増加のメカニズムは不可逆なもので、
センサを室温に戻し放置しても、感度は低下しない。
【００１１】図２にＡｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）セ
ンサにおける、ＣＯ2感度の焼成温度依存性を示す。い
ずれの焼成温度においても、Ａｇの添加により感度が向
上した。焼成温度の上昇とともに酸化物の表面積が減少
するので、ＣＯ2に対して最も高い感度を示す温度は高
くなったが、感度は増加した。とくに、７００℃、８０
０℃で焼成したセンサの感度は高い。焼成温度を８００
℃と高くすると、２％程度の高濃度のＣＯ2に対する感
度は増加するが、１％以下の低濃度のＣＯ2に対する感
度が低下するので、焼成温度としては７００℃が最適で
ある。即ち最も好ましい焼成温度は６５０〜７５０℃で
ある。ＣＯ2感度は５００℃付近で鋭くピーク状に現れ
る。このことは、先に発表したＣｕＯ等の炭酸塩化によ
る感度の発現、との仮説に符合する。
ンサにおける、ＣＯ2感度の焼成温度依存性を示す。い
ずれの焼成温度においても、Ａｇの添加により感度が向
上した。焼成温度の上昇とともに酸化物の表面積が減少
するので、ＣＯ2に対して最も高い感度を示す温度は高
くなったが、感度は増加した。とくに、７００℃、８０
０℃で焼成したセンサの感度は高い。焼成温度を８００
℃と高くすると、２％程度の高濃度のＣＯ2に対する感
度は増加するが、１％以下の低濃度のＣＯ2に対する感
度が低下するので、焼成温度としては７００℃が最適で
ある。即ち最も好ましい焼成温度は６５０〜７５０℃で
ある。ＣＯ2感度は５００℃付近で鋭くピーク状に現れ
る。このことは、先に発表したＣｕＯ等の炭酸塩化によ
る感度の発現、との仮説に符合する。
【００１２】図３に、７００℃で５時間、空気中で焼成
したセンサ（Ａｇ／ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）の、２％Ｃ
Ｏ2に対する感度の時間的変化を示した。これは５２０
℃にセンサを保持した際の特性である。時間が経過する
につれ、感度は多少増加し、６０時間以上で感度はほぼ
一定となり、実験を行った１８０時間以内でのセンサ感
度の低下はまったく認められなかった。したがって、前
処理として焼成温度を高くしたことでＣＯ2感度は増加
するとともにセンサ特性も安定化し、良好なＣＯ2セン
サ特性が得られた。６０時間以内での感度の増加は、Ｃ
Ｏ2との接触にともなうＡｇの再拡散及びセンサの焼結
状態の変化に起因すると推定される。図３から、実施例
のＣＯ2センサは焼成後出荷前に熱処理してエージング
し、感度を増加させるとともに安定化させた後に、出荷
した方が好ましいことが分かる。
したセンサ（Ａｇ／ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）の、２％Ｃ
Ｏ2に対する感度の時間的変化を示した。これは５２０
℃にセンサを保持した際の特性である。時間が経過する
につれ、感度は多少増加し、６０時間以上で感度はほぼ
一定となり、実験を行った１８０時間以内でのセンサ感
度の低下はまったく認められなかった。したがって、前
処理として焼成温度を高くしたことでＣＯ2感度は増加
するとともにセンサ特性も安定化し、良好なＣＯ2セン
サ特性が得られた。６０時間以内での感度の増加は、Ｃ
Ｏ2との接触にともなうＡｇの再拡散及びセンサの焼結
状態の変化に起因すると推定される。図３から、実施例
のＣＯ2センサは焼成後出荷前に熱処理してエージング
し、感度を増加させるとともに安定化させた後に、出荷
した方が好ましいことが分かる。
【００１３】図４に、７００℃で空気中５時間焼成した
Ａｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）センサにおける、感度
のＣＯ2濃度依存性を示した。３０ｐｐｍ〜３０％とい
う非常に広いＣＯ2濃度範囲において、センサの静電容
量はＣＯ2濃度とともに増加する。Ａｇを添加しないＣ
ｕＯ−ＢａＴｉＯ3の検出下限は約１００ｐｐｍであっ
たが、Ａｇ添加によりセンサ感度は向上し、検出下限は
３０ｐｐｍまで低下した。また静電容量のＣＯ2濃度依
存性は１００ｐｐｍ〜１％においてとくに顕著で、Ａｇ
／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）センサは大気中のＣＯ2濃度
の変化域の分析に優れた特性を有する。
Ａｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）センサにおける、感度
のＣＯ2濃度依存性を示した。３０ｐｐｍ〜３０％とい
う非常に広いＣＯ2濃度範囲において、センサの静電容
量はＣＯ2濃度とともに増加する。Ａｇを添加しないＣ
ｕＯ−ＢａＴｉＯ3の検出下限は約１００ｐｐｍであっ
たが、Ａｇ添加によりセンサ感度は向上し、検出下限は
３０ｐｐｍまで低下した。また静電容量のＣＯ2濃度依
存性は１００ｐｐｍ〜１％においてとくに顕著で、Ａｇ
／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）センサは大気中のＣＯ2濃度
の変化域の分析に優れた特性を有する。
【００１４】図５に、Ａｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）
センサにおける、２％ＣＯ2に対する静電容量変化のＡ
ｇ添加量依存性を示した。Ａｇ添加により感度は著しく
向上するが、Ａｇ添加がＢａＴｉＯ3に対して３．７５
ｗｔ％以上になると、感度がわずかに低下した。これは
Ａｇの添加量が多くなると、空気中での静電容量が低下
することに起因している。したがってＡｇの添加量は、
０．１〜３．５ｗｔ％、より好ましくは０．５ｗｔ％〜
３ｗｔ％である。ここでの添加量は、ＣＯ2センサ材料
の全体に対する金属Ａｇ換算での添加量を指す。
センサにおける、２％ＣＯ2に対する静電容量変化のＡ
ｇ添加量依存性を示した。Ａｇ添加により感度は著しく
向上するが、Ａｇ添加がＢａＴｉＯ3に対して３．７５
ｗｔ％以上になると、感度がわずかに低下した。これは
Ａｇの添加量が多くなると、空気中での静電容量が低下
することに起因している。したがってＡｇの添加量は、
０．１〜３．５ｗｔ％、より好ましくは０．５ｗｔ％〜
３ｗｔ％である。ここでの添加量は、ＣＯ2センサ材料
の全体に対する金属Ａｇ換算での添加量を指す。
【００１５】以上のように、ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系酸
化物にＡｇを添加すると、ＣＯ2感度は著しく増加する
ので、ＡｇはＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3センサにおいて良好
な増感剤となる。このセンサでは、ＣＯ2がＣｕＯまた
はＢａＴｉＯ3に吸着もしくはＣｕＯを炭酸化し、この
結果静電容量が変化する。そこで添加したＡｇは、ＣＯ
2の吸着もしくは炭酸化に対し触媒的に作用し、ＣｕＯ
−ＢａＴｉＯ3系センサの感度を向上させると考えられ
る。また７００℃程度で焼成することにより、高いＣＯ
2濃度で長時間安定なセンサを得、良好な静電容量型Ｃ
Ｏ2センサが得られる。
化物にＡｇを添加すると、ＣＯ2感度は著しく増加する
ので、ＡｇはＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3センサにおいて良好
な増感剤となる。このセンサでは、ＣＯ2がＣｕＯまた
はＢａＴｉＯ3に吸着もしくはＣｕＯを炭酸化し、この
結果静電容量が変化する。そこで添加したＡｇは、ＣＯ
2の吸着もしくは炭酸化に対し触媒的に作用し、ＣｕＯ
−ＢａＴｉＯ3系センサの感度を向上させると考えられ
る。また７００℃程度で焼成することにより、高いＣＯ
2濃度で長時間安定なセンサを得、良好な静電容量型Ｃ
Ｏ2センサが得られる。
【００１６】
【Ａｇ以外の添加物】Ａｇ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3）
センサと同様にして、Ｐｄ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ
3），Ｐｔ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3），ＮｉＯ／（Ｃｕ
Ｏ−ＢａＴｉＯ3）等のセンサを調製し、二酸化炭素感
度を求めた。添加量はＣｕＯとＢａＴｉＯ3の合計モル
量に対し、各１．０８モル％である。焼成条件は、それ
ぞれ空気中００℃で５時間である。２％のＣＯ2に対す
る感度を表１に示す。
センサと同様にして、Ｐｄ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ
3），Ｐｔ／（ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3），ＮｉＯ／（Ｃｕ
Ｏ−ＢａＴｉＯ3）等のセンサを調製し、二酸化炭素感
度を求めた。添加量はＣｕＯとＢａＴｉＯ3の合計モル
量に対し、各１．０８モル％である。焼成条件は、それ
ぞれ空気中００℃で５時間である。２％のＣＯ2に対す
る感度を表１に示す。
【００１７】
【表１】 ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3センサでのＣＯ2感度への添加効果 添加物 作動温度（℃） 空気中のＣ値（ｎＦ） ＣＯ2感度 無 ４６２ ３０．０ ２．３２ Ｐｔ ５２２ ２９．７ ２．７５ ＮｉＯ ５２４ ４．６ ３．１２ Ｐｄ ５７３ ４．７ ４．４４ Ａｇ ５７３ ５．７ ７．７３
【００１８】
【発明の効果】この発明では、ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系
ＣＯ2センサの感度を向上させることができる。
ＣＯ2センサの感度を向上させることができる。
【図１】 各６００℃で焼成した、ＣｕＯ−ＢａＴｉ
Ｏ3系センサ、Ａｇ／ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系センサ、Ｃ
ｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3系センサの、動作温度とＣＯ2
感度との関係を示す特性図
Ｏ3系センサ、Ａｇ／ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系センサ、Ｃ
ｕＯ−Ａｇ／ＢａＴｉＯ3系センサの、動作温度とＣＯ2
感度との関係を示す特性図
【図２】 ５００〜８００℃で焼成したＡｇ／ＣｕＯ
−ＢａＴｉＯ3系センサの、動作温度とＣＯ2感度との関
係を示す特性図
−ＢａＴｉＯ3系センサの、動作温度とＣＯ2感度との関
係を示す特性図
【図３】 ７００℃で焼成したＡｇ／ＣｕＯ−ＢａＴ
ｉＯ3系センサの、５２０℃で５０KＨｚの測定周波数で
の、加熱時間とＣＯ2感度の変化を示す特性図
ｉＯ3系センサの、５２０℃で５０KＨｚの測定周波数で
の、加熱時間とＣＯ2感度の変化を示す特性図
【図４】 ７００℃で焼成したＡｇ／ＣｕＯ−ＢａＴ
ｉＯ3系センサの５２０℃の動作温度での、ＣＯ2濃度特
性を示す特性図
ｉＯ3系センサの５２０℃の動作温度での、ＣＯ2濃度特
性を示す特性図
【図５】 ６００℃で焼成したＡｇ／ＣｕＯ−ＢａＴ
ｉＯ3系センサの５６０℃の動作温度での、Ａｇ添加量
とＣＯ2感度との関係を示す特性図
ｉＯ3系センサの５６０℃の動作温度での、Ａｇ添加量
とＣＯ2感度との関係を示す特性図
【図６】 実施例のＣＯ2センサの斜視図
２ ＣＯ2センサ材料 ４ 電極
フロントページの続き (72)発明者 滝田 祐作 大分市宮崎台３丁目４番33号 (72)発明者 水原 由加子 大分市旦野原700番地
Claims (2)
- 【請求項１】 ＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系ＣＯ2検出材料を
用いた、二酸化炭素センサにおいて、 前記のＣｕＯ−ＢａＴｉＯ3系ＣＯ2検出材料に、貴金属
元素、遷移金属元素、原子価３または４の典型金属元素
からなる群の少なくとも一員の元素を、添加したことを
特徴とする二酸化炭素センサ。 - 【請求項２】 前記の添加元素をＰｄまたはＡｇとした
ことを特徴とする、請求項１に記載の二酸化炭素セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32989691A JPH05142180A (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | 二酸化炭素センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32989691A JPH05142180A (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | 二酸化炭素センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142180A true JPH05142180A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=18226471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32989691A Pending JPH05142180A (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | 二酸化炭素センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05142180A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996012944A1 (de) * | 1994-10-21 | 1996-05-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Chemischer festkörpersensor |
| CN104237339A (zh) * | 2014-09-29 | 2014-12-24 | 南京理工大学 | 一种四氧化三钴-氧化锌/石墨烯三元复合物及其制备方法 |
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1991
- 1991-11-18 JP JP32989691A patent/JPH05142180A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996012944A1 (de) * | 1994-10-21 | 1996-05-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Chemischer festkörpersensor |
| US5958340A (en) * | 1994-10-21 | 1999-09-28 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Solid-state chemical sensor |
| CN104237339A (zh) * | 2014-09-29 | 2014-12-24 | 南京理工大学 | 一种四氧化三钴-氧化锌/石墨烯三元复合物及其制备方法 |
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