JPH05111874A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 バレル内に研磨剤と被研磨物等を収容して攪
拌研磨する研磨装置において、研磨効率をより高くしか
つ運転条件の設定の容易化を図る。 【構成】 上部が開放され、内部に研磨剤とともに被研
磨物が収容される槽８と、この槽８を水平軸芯回りに揺
動可能に支持する支持軸２ａ、２ｂと、槽８を往復揺動
させる揺動駆動手段６と、槽８の上部開口から槽８内に
向けて研磨剤を投射するショット装置２１とを備えてい
る。槽８を往復揺動させると、槽８内の全ての材料が鉛
直面内で８の字状に均一かつ強力に流動することにより
優れた研磨効率が得られ、さらにこのように強力に流動
している被研磨物に対して槽８の上部開口からショット
装置２１にて研磨剤を投射することにより、研磨剤を被
研磨物に効果的にかつ均一に衝突させて研磨でき、研磨
効率を著しく向上できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、槽内で被研磨物を研磨
剤と共に攪拌して研磨を行う研磨装置に関し、更に詳し
くは、槽を揺動させるとともに研磨剤を投射して研磨を
行う、謂わば揺動・投射併用式研磨装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】槽内で被研磨物を研磨剤とともに攪拌し
て研磨を行う研磨装置としては、回転式、振動式、遠心
式等の各種方式の研磨装置が良く知られている。

【０００３】各方式における研磨原理を説明すると、回
転式研磨装置は最も一般的で回転式バレルとも呼ばれて
おり、水平軸芯回りに回転自在に支持された円筒状又は
多角筒状の槽内に研磨剤とともに被研磨物を収容し、槽
を軸芯回りに回転させて槽内の研磨剤と被研磨物を攪拌
することにより、被研磨物の研磨を行っている。

【０００４】又、振動式研磨装置は上部が開放された槽
を振動させることにより、槽内で被研磨物に研磨剤を接
触させて被研磨物の研磨を行っている。さらに、槽の開
口部からショット材をブラストして研磨効果を高めるこ
とも行われている。但し、単に槽を振動させた状態で槽
内にショット材をブラストしても被研磨物に的確にブラ
ストできないので、槽内にダンパ部を設けて被研磨物を
振動搬送にてダンパ部まで持ち上げ、このダンパ部から
落下する被研磨物に向かってショット材をブラストする
ようにしている。

【０００５】又、遠心式の研磨装置については、複数の
槽を自転させながら公転させる構成になっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、回転式の研
磨装置では槽内の材料の上部流動層のみにて研磨される
ために、研磨効率が低いという問題があり、その上密閉
した槽を用いるので、材料の投入、排出が容易でなく、
また材料を目視しながらの運転操作ができない等の問題
がある。

【０００７】一方、振動式の研磨装置では、材料振動と
その振動に伴う材料流動とによって研磨が行われるので
研磨効率は回転方式より高く、また上部が開放された槽
を用いるので槽内への材料投入及び槽からの材料排出が
容易で、かつ槽内の材料を目視しながら運転操作を行う
ことができ、さらに集塵機を用いることにより乾式研磨
も可能であるが、振動に伴う騒音が大きいという問題が
ある。又、振動による材料流動はそれほど顕著でないた
め、材料の攪拌が十分でなく、研磨効率はなお十分でな
い。また、槽の開口からブラストを併用しても上記のよ
うにタンパ部から落下する被研磨物に対して瞬間的にか
つ部分的にブラストされるだけであるため、研磨効果の
著しい改善は望めない。

【０００８】また、遠心式の研磨装置では、振動式の研
磨装置よりもさらに高い研磨効率が得られるが、密閉槽
を使用しなければならないことによる上記問題点を有す
るとともに、装置構造が複雑でコスト高になるという問
題があった。

【０００９】このような従来方式の研磨装置の問題点を
解消するものとして、本出願人は先に上部が開放された
槽を揺動させることによって槽内の材料を鉛直面内で８
の字状の軌跡を描いて流動させるようにした揺動方式の
研磨装置を提案した。しかし、単なる揺動だけでは材料
の投入量や研磨剤の種類に応じて最適な揺動条件を設定
するのに熟練及び手間を有するため、さらに研磨効率が
高くかつ運転の容易な研磨装置が望まるというという課
題があった。

【００１０】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、研磨
効率がより高く、かつ運転条件の設定の容易な研磨装置
を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の研磨装置は、上
部が開放され、内部に研磨剤とともに被研磨物が収容さ
れる槽と、この槽を水平軸芯回りに揺動可能に支持する
支持手段と、槽を往復揺動させる揺動駆動手段と、槽の
上部開口から槽内に向けて研磨剤を投射するショット装
置とを備えたことを特徴とする。

【００１２】必要により、槽内に投入された研磨剤と液
体の混合物をショット装置に送給する手段が設けられ、
さらに研磨剤を樹脂又はゴムに保持させた軟質ショット
材とされる。

【００１３】又、必要に応じて槽を振動させる手段を設
けることができる。

【００１４】

【作用】本発明の研磨装置によれば、槽を往復揺動させ
ることにより槽内の材料が鉛直面内で８の字状に流動
し、すべての材料が均一にかつ強力に流動することによ
って優れた研磨効率が得られ、さらにこのように大きく
流動している被研磨物に対して槽の上部開口からショッ
ト装置にて研磨剤を投射することにより、被研磨物に効
果的にかつ均一に研磨剤を衝突させて研磨でき、研磨効
率を著しく向上することができる。又、往復揺動と研磨
剤のショットの併用により著しく研磨効率が向上するの
で、運転条件の設定を緩やかにしても効率的に研磨で
き、運転が容易となる。

【００１５】又、液体と研磨剤の混合物をショットして
湿式研磨を行うと研磨剤の目詰まりを防止できて効率的
に研磨でき、さらに樹脂に研磨剤を保持させた軟質のシ
ョット材をショットすると被研磨物の表面を傷付けずに
精細な研磨が可能となる。

【００１６】更に、槽を振動させる手段を設けると、そ
の振動手段にて材料の全体に振動が付加されてそれらの
複合効果によって一層研磨効率が向上するとともに、被
研磨物が穴や凹部を有する複雑な形状の場合にも穴や凹
部の表面までその内部に侵入・脱出する研磨剤の振動に
よって確実に研磨することができ、複雑な形状の被研磨
物であっても全表面の研磨が可能となる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の研磨装置の一実施例を図１〜
図６を参照して説明する。

【００１８】図１、図２において、１はフレーム兼外容
器であり、両側壁に同一水平軸芯の一対の支持軸２ａ、
２ｂが回転自在に配設されている。支持軸２ａ、２ｂの
互いに対向する一端にはそれぞれ水平方向両側に伸びる
揺動腕３ａ、３ｂが固定されている。揺動腕３ａ、３ｂ
間には、各揺動腕３ａ、３ｂの両端に装着された防振ゴ
ム４を介して平面視方形状の揺動枠５が装着されてい
る。一方の支持軸２ａの他端には後で詳細に説明する揺
動駆動手段６が連結されている。

【００１９】揺動枠５の両側部材の上面にはそれぞれ適
当間隔設けて一対づつばね７が取付けられている。揺動
枠５内には上面が開口した槽８がその高さ方向の中間部
まで挿入され、かつこの槽８の両側壁に取付けられたブ
ラケット９を介して揺動枠５上のばね７にて弾性的に支
持されている。槽８は、その両側壁が上面の開口に向け
て倒立ハの字状に開いた断面形状に形成されており、底
面の中央部には振動モータ１０が取付けられている。こ
の槽８は、その底部が研磨剤はある程度通過し、被研磨
物（以下、ワークと称することもある。）は通過しない
多孔板にて構成されている。

【００２０】フレーム兼外容器１の底壁１ａは支持軸２
ａ、２ｂの軸芯を中心とするほぼ部分円筒状に形成さ
れ、この底壁１ａの一側に偏った位置に研磨剤排出用の
細長い開口１１が形成されている。この底壁１ａの開口
１１位置にはスクリューコンベア１２のケーシング１３
が接続され、開口１１から排出された研磨剤をスクリュ
ーコンベア１２にてその一端に向けて搬送するように構
成されている。槽８の底面からフレーム兼外容器１の底
壁１ａに向けて延出された一対のブラケット１４、１４
の先端に、底壁１ａに沿って摺動する弾性材から成るス
クレーパ１５が取付けられ、このスクレーパ１５にて槽
８の底部から落下した研磨剤を槽８の揺動によって開口
１１に向けて排出するように構成されている。

【００２１】スクリューコンベア１２は、ケーシング１
３の内部に搬送スクリュー１６を回転自在に配設し、こ
の搬送スクリュー１６をケーシング１３の他端外部に配
設された駆動モータ１７にて連動ギア１８を介して回転
駆動するように構成されている。スクリューコンベア１
２の一端はバケットエレベータ１９の下端供給部１９ａ
に接続されている。バケットエレベータ１９は、その下
端供給部１９ａに供給された研磨剤を上端排出部１９ｂ
まで上昇搬送し、シュート２０を介してショット装置２
１に供給する。

【００２２】フレーム兼外容器１の上壁には、槽８の上
面開口に対向するように上記ショット装置２１が配設さ
れている。詳しくは、揺動枠５及び槽８の揺動軸芯の直
上位置でかつ槽８に対して揺動軸芯方向一端側に偏った
位置に配設され、このショット装置２１から揺動する槽
８内に向けて揺動軸芯を通る鉛直面と平行にかつ揺動軸
芯方向に斜め方向から均一に研磨剤を投射するように構
成されている。このショット装置２１は内部に回転自在
に配設されたインペラ（図示せず）を駆動モータ２２に
て高速回転してインペラの中央部に供給された研磨剤を
羽根で加速して投射するように構成されている。尚、図
２において、２３はバケットエレベータ１９の駆動モー
タである。また、図１において、２４はフレーム兼外容
器１の上部一側壁に形成されたワークや研磨剤などの材
料の投入排出開口であり、開閉蓋２５にて開閉される。

【００２３】次に、揺動駆動手段６の詳細構成を図３〜
図６を参照して説明する。図３、図４において、一方の
支持軸２ａの先端部にピニオン２８が固定されている。
モータベース３０上に軸芯が支持軸２ａ、２ｂの軸芯方
向と直交するように駆動モータ３１が設置されている。
この駆動モータ３１の上方位置には一対の取付ブラケッ
ト３２にて支持された支軸３３が配設され、この支軸３
３に軸受３４を介して円筒カム３５が回転自在に支持さ
れている。この円筒カム３５の一端には歯付きプーリ３
６が固定され、駆動モータ３１の出力軸に装着された歯
付きプーリ３７との間にタイミングベルト３８が巻回さ
れ、駆動モータ３１にて円筒カム３５を回転駆動するよ
うに構成されている。

【００２４】円筒カム３５のカム溝３５ａは、図６にそ
の展開図を示すように、往復移動端における折返し部分
Ａと、折返し部分Ａに接続される折返し近傍部分Ｂと、
折返し近傍部分Ｂ、Ｂ間を接続する中間部分Ｃとから構
成されている。折返し部分Ａは過大な衝撃を受けずに円
滑にかつ速やかに折り返すように比較的小さな曲率半径
の円弧状溝としてあり、折返し近傍部分Ｂでは中間部分
Ｃよりも円筒カム３５の軸芯に対する傾斜角が小さくな
るようにしてある。かくして、円筒カム３５を等速回転
すると、カム溝３５ａに係合した部材が移動端の折返し
部分Ａでは過大な衝撃を受けない範囲の加速度で速やか
に折り返し、折返した後その近傍部分Ｂでは相対的に高
速で移動し、中間部分Ｃでは相対的に低速で移動する。

【００２５】円筒カム３５の上方位置には、図５に詳細
に示すように、取付部材３９にてスライドガイド４０が
支持されている。このスライドガイド４０は円筒カム３
５の軸芯と平行に配置され、このスライドガイド４０に
沿って移動自在な往復移動部材４１に、円筒カム３５の
上端部位置でそのカム溝３５ａに係合するカムフォロア
４２が取付ブラケット４３を介して取付けられている。
又、往復移動部材４１に高さ位置を任意に調整可能な支
持ブラケット４４が取付けられ、この支持ブラケット４
４上にピニオン２８に噛合するラック４５が取付けられ
ている。４６は支持ブラケット４４に設けられた位置調
整用長穴、４７は固定ボルトである。

【００２６】以上の構成において、湿式研磨の場合は、
槽８に研磨剤（研磨石）、水などの液体及び被研磨物が
投入され、乾式研磨の場合は、槽８に研磨剤（研磨石、
研磨媒剤）及び被研磨物が投入される。この材料投入時
にフレーム兼外容器１の開閉蓋２５を開閉して槽８内に
材料を投入する。槽８は上面が開放されているので蓋を
開閉する必要がなく、作業が極めて容易である。

【００２７】材料投入後、揺動駆動手段６の駆動モータ
３１を駆動すると、円筒カム３５が回転し、それに伴っ
て往復移動部材４１がスライドガイド４０に沿って往復
移動し、ラック４５が往復移動するため、このラック４
５に噛合しているピニオン２８が往復回転し、それに伴
って支持軸２ａ、揺動腕３ａ、防振ゴム４を介して揺動
枠５が往復揺動し、さらにばね７を介して槽８が往復揺
動する。槽８の揺動範囲は、円筒カム３５を変更するこ
となく、ピニオン２８の径を変え、それに噛合するラッ
ク４５の高さ位置を変更することによって選択すること
ができる。又、揺動速度は駆動モータ３１の回転速度を
変化させることによって任意に選択できる。それらの選
択は、材料の投入量、研磨剤及び被研磨物の種類、研磨
面の仕上げ状態に応じて適宜になされる。

【００２８】この槽８の往復揺動に際して、円筒カム３
５のカム溝３５ａが、往復移動部材４１を移動端では過
大な衝撃を与えない範囲で速やかに折返し、移動端近傍
では相対的に高速で移動させ、中間では相対的に低速で
移動させるように構成されているので、ラック４５とピ
ニオン２８を介して揺動駆動される槽８は、揺動端近傍
部分で相対的に高速で揺動し、揺動端で過大な衝撃を与
えない範囲で大きな加速度で揺動方向を反転し、揺動端
近傍を高速で揺動し、その後中間部では相対的に低速で
揺動するという動作を繰り返して揺動する。そのため、
揺動端及びそのり近傍で大きな加速度が作用し、槽８内
の材料の全体を確実に鉛直面内で８の字状の軌跡を描く
ように流動させることができる。

【００２９】かくして、槽８の往復揺動に伴って槽８内
の材料が鉛直面内でより適切な８の字状の軌跡を描いて
流動するため、全ての材料が均一にかつ強力に運動し、
極めて優れた研磨効率が得られる。

【００３０】それと同時に、槽８の往復揺動によって上
記の如く８の字状に確実に流動している槽８内のワーク
に向かってショット装置２１から研磨剤を投射すること
によって槽８内のすべてのワークに対して効率的にかつ
均一に研磨剤が衝突し、研磨効率が著しく向上する。従
来の振動バレル内のワークに対して研磨剤を投射する方
式の場合には、全てのワークに対して研磨剤を効率的に
かつ均一に衝突させることが困難であるのに対して著し
い効果上の差異を発揮する。

【００３１】又、本実施例では振動モータ１０を設けて
いるので、同時にこの振動モータ１０を動作させると、
槽８がばね７を介して弾性支持されているので、槽８は
上記のように支持軸２ａ、２ｂ回りに往復揺動しながら
振動する。その結果、槽８及びその内部の材料の全体に
振動が付加されるため、その複合効果によって一層研磨
効率が向上するとともに、被研磨物が穴や凹部を有する
複雑な形状の場合にも穴や凹部の表面までその内部に侵
入・脱出する研磨剤の振動によって確実に研磨され、複
雑な形状の被研磨物であっても全表面の研磨が可能とな
る。

【００３２】一方、振動モータ１０による振動だけで研
磨するものでなく、振動は付加するだけであるので、振
動強度は低くても所期の効果が発揮されるため、振動に
よる騒音発生も少なくて済む。さらに、槽８はばね７を
介して振動可能に揺動枠５に支持されているので、バレ
ル８を効率的に振動させることができるとともに、揺動
枠５には槽８の振動が大きく減衰して伝達され、この揺
動枠５が防振ゴム４を介して支持軸２ａ、２ｂにて支持
されているので、揺動駆動手段６やフレーム兼外容器１
及び外部環境に対する振動伝達はほぼ完璧に絶縁され、
振動による機械的なトラブルの発生や公害の発生を防止
できる。

【００３３】なお、例えばスプーンやホークなどの小型
のワークを研磨する場合には、これらのワークをかご型
内容器に入れて槽８内に配置すると、槽８内からワーク
だけを簡単に取り出すことができ、作業性が良くなる。

【００３４】また、槽８又はその内部のかご型内容器に
ついて揺動軸芯方向に複数の仕切りを設け、複数種類の
ワークを分けて同時に研磨するようにすることもでき
る。

【００３５】更に、このかご型内容器に小さく区画され
た多数のワーク収納空間を形成し、各ワーク収納空間に
１又は少数のワークを収納して研磨作業を行うと、研磨
作業中にワーク自体は大きく移動せず、互いに衝突する
のを防止した状態で研磨剤だけがかご型内容器の網目を
通過してワークの研磨を行うため、ワーク同士の衝突に
よる傷付きを防止して高精度の研磨が可能である。

【００３６】また、乾式研磨を行う場合、研磨によって
生じる粉状の排出物を集塵機で吸引することにより、ク
リーンな作業環境を維持できる。

【００３７】次に、図７〜図１１を参照して湿式で精細
な研磨を行うのに好適な実施例について説明する。

【００３８】この実施例では、研磨剤であるショット材
を液体との混合状態でショット装置２１に向けて搬送す
るためのエジェクタポンプ５０をスクリューコンベア１
２の一端排出部に配設し、液体とショット材の混合物を
送給管５１を介してショット装置２１に供給するように
構成されている。

【００３９】エジェクタポンプ５１の詳細構成を、図８
〜図１１を参照して説明する。図８、図９において、円
筒状のスリーブ本体５２の両端部に同軸状に出入口管５
３が接合されている。各出入口管５３はスリーブ本体５
２の端部内周に螺合する接合筒部５３ａと、スリーブ本
体５２の端面に係合するフランジ部５３ｂと、ホース等
に対する接続管部５３ｃとを有している。スリーブ本体
５２の中央部には高圧液体導入口５４が設けられてい
る。

【００４０】スリーブ本体５２内には、その内周面との
間に環状空間５５を形成するとともに内径が出入口管５
３の内径とほぼ同径の可動筒体５６が、出入口管５３、
５３の端面間で軸芯方向に適当な距離だけ移動可能に配
設され、かつ可動筒体５６の両端面と出入口管５３の端
面が可動筒体５６の外方に向かって小径となるテーパ面
５７に形成されている。環状空間５５は高圧液体導入口
５４に連通している。

【００４１】又、図９、図１０に示すように、スリーブ
本体５２の内周から可動筒体５６をスリーブ本体５２の
軸芯上に保持する保持リブ５８が可動筒体５６の両側部
に対してそれぞれ周方向に複数づつ突設されている。

【００４２】スリーブ本体５２の中央部の高圧液体導入
口５４とは直径方向反対側にはボス５９が突設されてそ
の中央に軸穴６０が穿孔され、切換軸６１が貫通されて
いる。切換軸６１のスリーブ本体５２内に突出した一端
から短いレバー６２が延出され、その先端に可動筒体５
６に形成された係合穴６４に係合する突部６３が設けら
れている。切換軸６１のスリーブ本体５２の外部に突出
した他端には切換レバー６５が装着されている。ボス５
９の内周部には切換軸６１の外周との間にシール材６６
が介装され、ボス５９の外周に螺合した袋ナット６７に
て押圧固定されている。

【００４３】このような構成のエジェクタポンプ５０を
用いると、スリーブ本体５２内には直線状でかつ全く障
害物の突出しない圧送通路６９が形成されており、高圧
液体ポンプ６８にて高圧液体導入口５４から環状空間５
５に高圧液体を導入すると、この高圧液体が可動筒体５
６の端面とこれに対向する出入口管５３の端面の間に形
成されたテーパ状のノズル７０から圧送通路６９内にそ
の全周から噴出するため、圧送通路６９の上流側から図
８に白抜き矢印で示すように液体とショット材の混合物
を吸引して下流側に向けて圧送することができる。

【００４４】また、切換レバー６５を図１１に矢印Ｙで
示すように回動操作すると、仮想線で示すように、短い
レバー６２の突部３３が回動し、この突部６３が可動筒
体５６の係合穴６４に係合しているため、可動筒体５６
はその軸芯回りに回転しながら軸芯方向にｄだけ移動す
る。その結果、可動筒体５６が吐出側に移動して反対側
にノズル７０が形成されるため、圧送方向が切換わる。
かくして、操作レバー６５を操作するだけで液体とショ
ット材の混合物を強制的にフレーム兼外容器１に戻すこ
とができる。

【００４５】以上の構成において、ショット材として樹
脂に研磨剤を保持させた軟質のショット材を用いて液体
とともにショット装置２１にてショットすると、軟質の
ショット材にて被研磨物の表面を傷付けずに精細な研磨
が可能となるとともに液体にてショット材の目詰まりが
防止されるため、軟質ショット材の併用による精細な研
磨を実用化できる。

【００４６】なお、以上の実施例では揺動駆動手段の揺
動機構として、円筒カムによって直線往復移動される往
復移動部材とラック・ピニオンを用いた例を示したが、
ハートカムを用いた等速往復移動部材と揺動レバーの組
み合わせからなる揺動機構等を用いてもよく、また揺動
駆動手段としてロータリーアクチュエータを用いてほぼ
等速で揺動駆動するようにしてもよい。

【００４７】また、本発明ではショット装置２１を併用
しているので、槽８の往復揺動条件は必ずしも最適条件
でなくても効率的に研磨することができ、そのため揺動
駆動手段としてクランク機構等を用いることもでき、ま
た運転条件の設定も厳しくなく、運転が容易である。

【００４８】更に、本発明においては振動モータ１０、
及びそれに関連した構成要素であるばね７、揺動枠５等
を省略することもできる。

【００４９】

【発明の効果】本発明の研磨装置によれば、槽を往復揺
動させることにより槽内の材料が鉛直面内で８の字状に
流動し、すべての材料が均一にかつ強力に流動すること
によって優れた研磨効率が得られ、さらにこのように強
力に流動している被研磨物に対して槽の上部開口からシ
ョット装置にて研磨剤を投射することにより、被研磨物
に効果的にかつ均一に研磨剤を衝突させて研磨でき、研
磨効率を著しく向上することができる。又、往復揺動と
研磨剤のショットの併用により著しく研磨効率が向上す
るので、運転条件の設定を緩やかに設定しても効率的に
研磨でき、運転が容易となる。

【００５０】又、液体と研磨剤の混合物をショットして
湿式研磨を行うと研磨剤の目詰まりを防止できて効率的
に研磨でき、さらに樹脂に研磨剤を保持させた軟質のシ
ョット材をショットすると被研磨物の表面を傷付けずに
精細な研磨が可能となる。

【００５１】更に、槽を振動させる手段を設けると、そ
の振動手段にて材料の全体に振動が付加されてそれらの
複合効果によって一層研磨効率が向上するとともに、被
研磨物が穴や凹部を有する複雑な形状の場合にも穴や凹
部の表面までその内部に侵入・脱出する研磨剤の振動に
よって確実に研磨することができ、複雑な形状の被研磨
物であっても全表面の研磨が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の研磨装置の部分断面側面図
である。

【図２】同研磨装置の部分断面正面図である。

【図３】同研磨装置の揺動駆動手段の部分断面正面図で
ある。

【図４】同研磨装置の揺動駆動手段の部分断面側面図で
ある。

【図５】図３のＶ部の拡大詳細図である。

【図６】揺動駆動手段における円筒カムのカム溝の展開
図である。

【図７】本発明の他の実施例の研磨装置の部分断面正面
図である。

【図８】同研磨装置のエジェクターポンプの部分断面正
面図である。

【図９】図８のＸ−Ｘ線断面図である。

【図１０】エジェクターポンプにおける可動筒体の斜視
図である。

【図１１】可動筒体の位置切換動作の説明図である。

【符号の説明】

２ａ 支持軸 ２ｂ 支持軸 ６ 揺動駆動手段 ８ 槽 １０ 振動モータ ２１ ショット装置 ５０ エジェクターポンプ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上部が開放され、内部に研磨剤とともに
   被研磨物が収容される槽と、この槽を水平軸芯回りに揺
   動可能に支持する支持手段と、槽を往復揺動させる揺動
   駆動手段と、槽の上部開口から槽内に向けて研磨剤を投
   射するショット装置とを備えたことを特徴とする研磨装
   置。
2. 【請求項２】 槽内に投入された研磨剤と液体の混合物
   をショット装置に送給する手段を設けたことを特徴とす
   る請求項１の研磨装置。
3. 【請求項３】 研磨剤を樹脂又はゴムに保持させて軟質
   ショット材としたことを特徴とする請求項２記載の研磨
   装置。
4. 【請求項４】 槽を振動させる手段を設けたことを特徴
   とする請求項１記載の研磨装置。