JPH05100274A - Harmonic generator - Google Patents
Harmonic generatorInfo
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- JPH05100274A JPH05100274A JP30393091A JP30393091A JPH05100274A JP H05100274 A JPH05100274 A JP H05100274A JP 30393091 A JP30393091 A JP 30393091A JP 30393091 A JP30393091 A JP 30393091A JP H05100274 A JPH05100274 A JP H05100274A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】全反射あるいは高反射条件を損なうことなく1
平面の反射面における傷や汚れの発生を防止し高調波出
力を効率よく、かつ、安定に発生させる。
【構成】モノリシック型共振器16は、非線形光学材料
としてKNbO3結晶がもちいられており、保護材17
には光学ガラスであるBK7が用いられている。860
nmの基本波18に対してのKNbO3 結晶の屈折率は
n1 =2.278であり、これに対しBK7の屈折率は
n2=1.51であり全反射の臨界角はθ=41.5゜
となり実際の全反射条件を損なわない。
(57) [Abstract] [Purpose] 1 without compromising total reflection or high reflection conditions
The generation of scratches and dirt on the flat reflecting surface is prevented, and harmonic output is generated efficiently and stably. [Structure] The monolithic resonator 16 uses a KNbO 3 crystal as a nonlinear optical material, and a protective material 17
Is BK7 which is an optical glass. 860
The refractive index of the KNbO 3 crystal for the fundamental wave 18 of nm is n 1 = 2.278, while the refractive index of BK7 is n 2 = 1.51 and the critical angle of total reflection is θ = 41. It becomes 0.5 ° and does not impair the actual total reflection condition.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザ等の光源
から発せられる基本波をモノリシック型共振器内で高調
波に変換する高調波発生装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a harmonic generator for converting a fundamental wave emitted from a light source such as a semiconductor laser into a harmonic within a monolithic resonator.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、半導体レーザ等から出射される基
本波を非線形光学材料に通して波長変換された第2高調
波や第3高調波を得る装置が種々提案されている。これ
らの装置では、複数の反射面で構成される共振器内に非
線形光学材料を配置し、基本波を共振器内に閉じ込めて
増幅させることで、高調波を効率よく発生させるように
している。2. Description of the Related Art In recent years, various devices have been proposed for obtaining a second harmonic wave or a third harmonic wave whose wavelength is converted by passing a fundamental wave emitted from a semiconductor laser or the like through a nonlinear optical material. In these devices, a nonlinear optical material is arranged in a resonator composed of a plurality of reflecting surfaces, and a fundamental wave is confined in the resonator to be amplified so that harmonics are efficiently generated.
【0003】そして、共振器としては、非線形光学材料
の端面に反射膜を設けて、その内部で共振させるモノリ
シック型共振器と、複数のミラーを配置して共振器を構
成し、この共振器内に非線形光学材料を配置した外部共
振器とが知られている。最近では、装置の小型化及び高
調波への変換効率の向上を図るために、外部共振器型の
ものから、非線形光学材料の内部において基本波を共振
させるモノリシック型のものへとその主流が移行しつつ
ある。As the resonator, a reflection film is provided on the end face of the nonlinear optical material, and a monolithic resonator for resonating inside thereof and a plurality of mirrors are arranged to form the resonator. An external resonator in which a non-linear optical material is arranged is known. Recently, in order to downsize the device and improve the conversion efficiency to higher harmonics, the mainstream is shifting from the external resonator type to the monolithic type that resonates the fundamental wave inside the nonlinear optical material. I am doing it.
【0004】図2には、従来の高調波発生装置の一例と
して、モノリシック型共振器を用いた第2高調波発生装
置が示されている。この第2高調波発生装置1は、半導
体レーザ(以下LDとする)2、コリメートレンズ3、
モードマッチングレンズ4及びKNbO3 結晶等からな
る非線形光学材料5によって構成されている。LD2
は、例えば波長860nm の基本波6を出射する。非線形光
学材料5の図中左右の対面する2面は、球面状に研磨加
工されている。このうち図中左側の面は基本波6の入射
面をなし、この面に基本波6に対して一部透過の球面ミ
ラー8が形成されている。また、図中右側の面は第2高
調波7の出射面をなし、この面に基本波6に対して高反
射、第2高調波7に対して高透過の球面ミラー9が形成
されている。更に、非線形光学材料5の図中下面は、基
本波6及び第2高調波7のいずれも全反射する平面ミラ
ー10を成している。FIG. 2 shows, as an example of a conventional harmonic generator, a second harmonic generator using a monolithic resonator. The second harmonic generation device 1 includes a semiconductor laser (hereinafter referred to as LD) 2, a collimator lens 3,
It is composed of a mode matching lens 4 and a nonlinear optical material 5 made of KNbO 3 crystal or the like. LD2
Emits a fundamental wave 6 having a wavelength of 860 nm, for example. Two surfaces of the nonlinear optical material 5 facing each other in the figure are polished into a spherical shape. Of these, the surface on the left side of the drawing is the incident surface of the fundamental wave 6, and a spherical mirror 8 that partially transmits the fundamental wave 6 is formed on this surface. In addition, the surface on the right side in the drawing forms the exit surface of the second harmonic wave 7, and a spherical mirror 9 that is highly reflective of the fundamental wave 6 and highly transmissive of the second harmonic wave 7 is formed on this surface. .. Further, the lower surface of the nonlinear optical material 5 in the figure constitutes a plane mirror 10 that totally reflects both the fundamental wave 6 and the second harmonic wave 7.
【0005】上記の構成において、LD2から出射する
波長860nm の基本波6は、コリメートレンズ3により平
行光にされ、モードマッチングレンズ4を通過して、非
線形光学材料5の球面ミラー8のA点から入射する。こ
の際、A点に入射した基本波6が非線形光学材料5の結
晶軸aと平行に進むように、基本波6を結晶軸aに対し
て特定の角度θで入射させる。この基本波6は、2つの
球面ミラー8、9と、平面ミラー10とで構成されるリ
ング共振器内の点A、B、Cでリング型に反射して増幅
される。In the above structure, the fundamental wave 6 having a wavelength of 860 nm emitted from the LD 2 is collimated by the collimator lens 3, passes through the mode matching lens 4, and passes from the point A of the spherical mirror 8 of the nonlinear optical material 5. Incident. At this time, the fundamental wave 6 is incident on the crystal axis a at a specific angle θ so that the fundamental wave 6 incident on the point A travels in parallel with the crystal axis a of the nonlinear optical material 5. The fundamental wave 6 is reflected in a ring shape at points A, B, and C in the ring resonator composed of the two spherical mirrors 8 and 9 and the plane mirror 10 to be amplified.
【0006】そして、基本波6は、非線形光学材料5内
を結晶軸aの方向に通過するとき、基本波6の一部が波
長430nm の第2高調波7に変換され、球面ミラー9のB
点から出射される。なお、位相整合条件に適合させて高
調波への変換効率を安定させるため、非線形光学材料5
は、ペルチェ素子11等による温度制御が行われる。こ
のような高調波発生装置を用いれば、基本波を効率よく
高調波に変換することができる。When the fundamental wave 6 passes through the nonlinear optical material 5 in the direction of the crystal axis a, a part of the fundamental wave 6 is converted into a second harmonic wave 7 having a wavelength of 430 nm, and the B of the spherical mirror 9 is reflected.
Emitted from a point. In order to meet the phase matching condition and stabilize the conversion efficiency to harmonics, the nonlinear optical material 5
Is temperature controlled by the Peltier element 11 and the like. By using such a harmonic generator, the fundamental wave can be efficiently converted into a harmonic.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の第2高調波発生装置では、使用時に生ずる傷及び汚
れの付着等により、平面ミラー10で全反射すべき共振
光の一部が、散乱や吸収により失われたり、共振状態が
得られなくなることがあり、第2高調波出力が大幅に低
下するという問題を有していた。However, in the above-described second harmonic generator of the related art, due to scratches and dirt attached during use, a part of the resonance light to be totally reflected by the plane mirror 10 is scattered or scattered. There is a problem in that the second harmonic wave output may be significantly reduced because it may be lost due to absorption or the resonance state may not be obtained.
【0008】したがって、本発明の目的は平面ミラー1
0での全反射条件を損なうことなく全反射面における傷
や汚れの発生を防止し高調波出力を効率よく、かつ、安
定に発生させることができる高調波発生装置を提供する
ことにある。Therefore, an object of the present invention is to provide the plane mirror 1
It is an object of the present invention to provide a harmonic wave generating device capable of efficiently and stably generating a harmonic wave output by preventing scratches and stains on the total reflection surface without impairing the total reflection condition at 0.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の高調波発生装置は、対面する2曲面と1平
面の3つの反射面によって内部で基本波を三角状にリン
グ共振させる非線形光学材料を含むモノリシック型共振
器を備えた高調波発生装置において、前記非線形光学材
料の前記1平面からなる反射面に、反射性保護材を設け
たことを特徴とする。In order to achieve the above object, the harmonic generator of the present invention is a nonlinear device which internally causes a fundamental wave to ring-resonate in a triangular shape by three reflecting surfaces of two curved surfaces and one flat surface facing each other. A higher harmonic wave generating device provided with a monolithic resonator including an optical material is characterized in that a reflective protective material is provided on a reflecting surface of the non-linear optical material consisting of the one plane.
【0010】上記反射性保護材としては、非線形光学材
料より基本波に対する屈折率が低い、光学ガラス、プラ
スチック、透明性樹脂等の透明性材料よりなる全反射性
保護材が好ましく使用できる。また、基本波の反射率の
大きい金属板を非線形光学材料に接合させてもよく、あ
るいは基本波の反射率の大きい金属薄膜を蒸着等の手段
により接着させ、その表面をプラスチック板やプラスチ
ック樹脂等の保護材で覆ってもよい。さらに、反射性保
護材としてSiO2 やTiO2 の薄膜を蒸着、CVD等
の手段により積層させた誘電体多層高反射膜を設けても
よい。この場合、波長860 nmの基本波に対して99.5
%以上の高反射膜が得られる。As the above-mentioned reflective protective material, a total reflective protective material made of a transparent material such as optical glass, plastic, transparent resin or the like having a lower refractive index for the fundamental wave than the nonlinear optical material can be preferably used. Alternatively, a metal plate having a high reflectance of the fundamental wave may be bonded to the non-linear optical material, or a metal thin film having a high reflectance of the fundamental wave may be adhered by means such as vapor deposition and the surface thereof may be a plastic plate or a plastic resin. It may be covered with a protective material. Further, a dielectric multilayer high reflection film in which thin films of SiO 2 and TiO 2 are laminated by means such as vapor deposition and CVD may be provided as a reflective protective material. In this case, 99.5 for the fundamental wave with a wavelength of 860 nm.
% Or more of the high reflection film can be obtained.
【0011】また、非線形光学材料としては、KNbO
3 結晶等の非線形光学結晶、有機非線形光学材料等が用
いられる。As the nonlinear optical material, KNbO is used.
Non-linear optical crystals such as 3 crystals, organic non-linear optical materials, etc. are used.
【0012】[0012]
【作用】本発明の高調波発生装置はモノリシック型共振
器の1平面からなる反射面に、反射性保護材を前記反射
面に設けている。この保護材により前記反射面の傷及び
汚れの発生による高調波出力の低下を防止する。In the harmonic generator of the present invention, the monolithic resonator has a reflecting surface formed of one plane and a reflective protective material is provided on the reflecting surface. This protective material prevents the harmonic output from being lowered due to scratches and stains on the reflecting surface.
【0013】[0013]
【実施例】図1には本発明を第2高調波発生装置に適用
した一実施例が示されている。なお、本発明は第2高調
波発生装置に限定されるものではなく、第3高調波発生
装置等にも適用することができる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an embodiment in which the present invention is applied to a second harmonic generation device. The present invention is not limited to the second harmonic generation device, and can be applied to the third harmonic generation device and the like.
【0014】この第2高調波発生装置12はレーザ光源
としてのLD13、コリメートレンズ14、モードマッ
チングレンズ15、モノリシック型共振器16、反射面
の保護材17が順次配列されて構成されている。The second harmonic generator 12 comprises an LD 13 as a laser light source, a collimator lens 14, a mode matching lens 15, a monolithic resonator 16 and a protective material 17 for the reflecting surface, which are sequentially arranged.
【0015】LD13はこの実施例では、波長860nm 、
単一縦、単一横モードで、非点収差の少ない基本波18
を出射するものが用いられている。なお、光源としては
LDによって励起されたYAG、YLFなどの固体レー
ザ媒質からの出射光を用いることもできる。コリメート
レンズ14は、LD13から出射される基本波18を平
行なビームにし、モードマッチングレンズ15は、この
ビームを絞ってモノリシック型共振器16内の共振モー
ドと入射ビームとを整合させる役割をなす。In this embodiment, the LD 13 has a wavelength of 860 nm,
Basic wave with little astigmatism in single longitudinal and single transverse modes 18
The one that emits is used. As the light source, light emitted from a solid-state laser medium such as YAG or YLF excited by an LD can be used. The collimator lens 14 collimates the fundamental wave 18 emitted from the LD 13 into a parallel beam, and the mode matching lens 15 narrows the beam to match the resonance mode in the monolithic resonator 16 with the incident beam.
【0016】この実施例においては、モノリシック型共
振器16は、非線形光学材料としてKNbO3 結晶がも
ちいられており、保護材17には光学ガラスであるBK
7が用いられている。この実施例の場合は、860nm の基
本波18に対してのKNbO3 結晶の屈折率はn1 =2.
278 であり、これに対しBK7の屈折率はn2 =1.51で
あり全反射の臨界角はθ=41.5゜となり実際の全反射条
件を損なわない。In this embodiment, the monolithic resonator 16 uses KNbO 3 crystal as a nonlinear optical material, and the protective material 17 is BK which is optical glass.
7 is used. In the case of this embodiment, the refractive index of the KNbO 3 crystal for the fundamental wave 18 of 860 nm is n 1 = 2.
On the other hand, the refractive index of BK7 is n 2 = 1.51 and the critical angle of total reflection is θ = 41.5 °, which does not impair the actual total reflection condition.
【0017】基本波18の入射側に位置する一方のモノ
リシック型共振器16の端面は球面状に形成されてお
り、この面には基本波を93%反射する反射膜が蒸着さ
れて球面ミラー20とされている。また、第2高調波の
出射側に位置する共振器16の端面は、同じく球面状に
形成されており、この面に基本波を99.9%反射、第
2高調波を90%透過する反射膜が蒸着されて球面ミラ
ー21とされている。更に、非線形光学材料の図中下面
は、結晶軸aに沿って平面にカット、研磨され、基本波
18、第2高調波19を共に全反射する平面ミラー22
としてある。The end face of one monolithic resonator 16 located on the incident side of the fundamental wave 18 is formed in a spherical shape, and a reflective film for reflecting the fundamental wave by 93% is vapor-deposited on this surface to form a spherical mirror 20. It is said that. The end face of the resonator 16 located on the emission side of the second harmonic is also formed into a spherical shape, and 99.9% of the fundamental wave is reflected and 90% of the second harmonic is transmitted to this face. The film is vapor-deposited to form the spherical mirror 21. Further, the lower surface of the non-linear optical material in the figure is cut into a plane along the crystal axis a and polished, and a plane mirror 22 that totally reflects the fundamental wave 18 and the second harmonic wave 19 together.
There is.
【0018】モノリシック型共振器16を構成する非線
形光学材料は、結晶軸a方向の長さ7.0mm、球面の
曲率半径5.0mmのブロックとされている。反射面の
保護材は厚さ0.5mmで一辺の長さが2mmの板状の
ものが用いられている。この第2高調波発生装置12を
用い、LD13から波長860nm の基本波を出射すると、
基本波18は、コリメートレンズ14によって平行なビ
ームとされた後、モードマッチングレンズ15によって
集光されて、球面ミラー20の点Aからモノリシック型
共振器16内に入射する。The non-linear optical material forming the monolithic resonator 16 is a block having a length of 7.0 mm in the direction of the crystal axis a and a spherical radius of curvature of 5.0 mm. As the protective material for the reflecting surface, a plate-shaped material having a thickness of 0.5 mm and a side length of 2 mm is used. When the second harmonic generator 12 is used to emit a fundamental wave having a wavelength of 860 nm from the LD 13,
The fundamental wave 18 is made into a parallel beam by the collimator lens 14, is condensed by the mode matching lens 15, and enters the monolithic resonator 16 from the point A of the spherical mirror 20.
【0019】共振器16内に入射した基本波18は、非
線形光学材料中を結晶軸aに沿って伝搬し、対面する球
面ミラー21の点Bで反射され、平面ミラー22の点C
に向い、平面ミラー22の点Cで全反射されて球面ミラ
ー20の点Aに戻り、点Aで反射されて再び結晶軸aに
沿って伝搬し、元の光と重なり合って進行波型の共振が
なされる。このように基本波18は、モノリシック型共
振器16内において三角形のリング状の共振経路をとっ
て共振し増幅される。The fundamental wave 18 that has entered the resonator 16 propagates in the nonlinear optical material along the crystal axis a, is reflected at the point B of the facing spherical mirror 21, and is reflected at the point C of the plane mirror 22.
Towards the point A of the plane mirror 22, the light is totally reflected at the point C of the plane mirror 22, returns to the point A of the spherical mirror 20, is reflected at the point A, propagates again along the crystal axis a, and overlaps with the original light to cause traveling wave type resonance. Is done. In this way, the fundamental wave 18 resonates along the triangular ring-shaped resonance path in the monolithic resonator 16 and is amplified.
【0020】こうして増幅された基本波18は、非線形
光学材料中を結晶軸a方向に伝搬するとき、その一部が
波長430nm の第2高調波19に変換される。この第2高
調波19が球面ミラー21から出射される。なお、位相
整合条件に適合させて高調波への変換効率を安定させる
ため、モノリシック共振器16は、ペルチェ素子23等
による温度制御が行われる。したがって、本発明の高調
波発生装置12を情報検出用光源として用いて、光記録
媒体の情報読み取り装置を構成した場合には、記録密度
の高い装置を得ることができる。When the fundamental wave 18 thus amplified propagates through the nonlinear optical material in the direction of the crystal axis a, a part of the fundamental wave 18 is converted into a second harmonic wave 19 having a wavelength of 430 nm. The second harmonic wave 19 is emitted from the spherical mirror 21. Note that the temperature of the monolithic resonator 16 is controlled by the Peltier element 23 or the like in order to stabilize the conversion efficiency to harmonics by adapting to the phase matching condition. Therefore, when the harmonic generator 12 of the present invention is used as a light source for information detection to construct an information reading device for an optical recording medium, a device having a high recording density can be obtained.
【0021】[0021]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
モノリシック型共振器の1平面の反射面に反射性保護材
を設けることによって、全反射あるいは高反射条件を損
なうことなく反射面における傷や汚れの発生を防止し高
調波出力を効率よく、かつ、安定に発生させることがで
きる。As described above, according to the present invention,
By providing a reflective protective material on the reflecting surface of one plane of the monolithic resonator, it is possible to prevent scratches and stains on the reflecting surface without impairing total reflection or high reflection conditions, and to efficiently output higher harmonics. It can be generated stably.
【図1】本発明の第2高調波発生装置の一実施例を示す
側面図である。FIG. 1 is a side view showing an embodiment of a second harmonic generation device of the present invention.
【図2】従来の第2高調波発生装置の一例を示す側面図
である。FIG. 2 is a side view showing an example of a conventional second harmonic generator.
12 第2高調波発生装置 13 LD 14 コリメートレンズ 15 モードマッチングレンズ 16 モノリシック型共振器 17 保護材 18 基本波 19 第2高調波 20 球面ミラー 21 球面ミラー 22 平面ミラー 23 ペルチェ素子 12 Second Harmonic Generator 13 LD 14 Collimating Lens 15 Mode Matching Lens 16 Monolithic Resonator 17 Protective Material 18 Fundamental Wave 19 Second Harmonic Wave 20 Spherical Mirror 21 Spherical Mirror 22 Plane Mirror 23 Peltier Element
Claims (5)
よって内部で基本波を三角状にリング共振させる非線形
光学材料を含むモノリシック型共振器を備えた高調波発
生装置において、前記非線形光学材料の前記1平面から
なる反射面に、反射性保護材を設けたことを特徴とする
高調波発生装置。1. A harmonic generator comprising a monolithic resonator including a non-linear optical material in which a fundamental wave is triangularly ring-resonated inside by three reflecting surfaces of two curved surfaces and one flat surface facing each other. A higher harmonic wave generating device, characterized in that a reflective protective material is provided on a reflecting surface formed of the one plane of the material.
基本波に対する屈折率が低い透明性材料よりなる全反射
性保護材である請求項1の高調波発生装置。2. The harmonic generator according to claim 1, wherein the reflective protective material is a total reflective protective material made of a transparent material having a lower refractive index for a fundamental wave than a nonlinear optical material.
きい金属板である請求項1の高調波発生装置。3. The harmonic generator according to claim 1, wherein the reflective protective material is a metal plate having a high reflectance of a fundamental wave.
きい金属薄膜とその表面を覆う保護材からなる請求項1
の高調波発生装置。4. The reflective protective material comprises a metal thin film having a high reflectance of a fundamental wave and a protective material covering the surface thereof.
Harmonic generator.
ある請求項1の高調波発生装置。5. The harmonic generation device according to claim 1, wherein the reflective protective material is a dielectric multilayer highly reflective film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30393091A JPH05100274A (en) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | Harmonic generator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30393091A JPH05100274A (en) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | Harmonic generator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05100274A true JPH05100274A (en) | 1993-04-23 |
Family
ID=17926993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30393091A Withdrawn JPH05100274A (en) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | Harmonic generator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05100274A (en) |
-
1991
- 1991-10-04 JP JP30393091A patent/JPH05100274A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990107 |