JPH0492446A - 基板搬送ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、半導体基板等の基板に対してエツチング等の
処理を施す処理装置において基板を搬送する基板搬送ロ
ボットに関する。

「従来の技術」 周知のように、半導体製造技術においては、生産性を向
上させるため半導体基板の大型化が進行しており、シリ
ンコン単結晶技術の進歩に伴って５インチから８インチ
の大型径のものが出現している。また、液晶デイスプレ
ィも大型なものの需要か高まっており、大型の液晶基板
か増加しつつある。

そして、このように半導体基板や液晶基板（以下、基板
という。）か大型化すると、これら基板に対して例えば
プラズマアッシングやプラズマエ、チング等の処理を施
す基板処理装置には、処理速度が均一でかつ高速である
ことが要求される。

このため、近年、この基板処理装置は、従来のバッチ式
のものに代わって、上記のような性能に優れる枚葉式の
ものが主流になってきている。

枚葉式基板処理装置とは、基板を一枚つつ処理する方式
の基板処理装置のことであり、通常、処理が行われるチ
ャンバと基板のロード・アンロード用カセットとを備え
るものである。

そして、この種のプラズマ処理装置は、処理チャンバ相
互間あるいはカセットとの間で基板を一枚づつ受は渡す
ための搬送装置を必要とするものであるが、従来、この
搬送装置としては、周回するベルトよりなりこのベルト
上に基板を載せて搬送する構造のものが一般的であった
。

ところで、このベルトによる基板の搬送装置であると、
ベルトの運動によってベルトから多量にダストが発生し
、このダストが汚染を極度にきらう基板に付着し易いた
め、製品の品質が確保し難く、歩留まりが悪くなるとい
う問題があった。

また、基板はベルトの摩擦力（粘着力）によって搬送す
るため位置決めが不正確になり易く、しばしば基板破損
等の事故か発生するという問題点があった。

そこで、先端に基板を載せるハンドが設けられたアーム
部を有するマニピュレータ（いわゆるロボット）より構
成された搬送装置が、上記問題点を解消したものとして
使用されつつある。

以下、このようなロオ、トの従来例を第６図により説明
する。

このロボット７９は、図に示すように、駆動部８０と、
この駆動８０の一側面８０ａ　（後述するフランジ８３
の接合面）に沿って動作するアーム部８１とより主に構
成され、アーム部８１の第２アーム８５の先端に基板を
載せるハンド８６が連結されたものである。

駆動部８０は、このロボット７９全体を基板処理装置に
取り付けるためのフランジ８３が形成されたケース８２
と、このケース８２内に図示していない軸受によって回
転自在に配置された回転ケース８７と、この回転ケース
８７内の回転中心線上に固定され出力軸８８ａがアーム
部８１の第１アーム８４の基端に連結された第１モータ
８８と、ケース８２に固定されてハンド８６及びアーム
部８１を回転ケース８７ととも旋回させる第２モータ８
９とを備えたものである。

なお、第６図において符号９０で示すものは回転ケース
８７の下端に形成されたブーりであり、このプーリ９０
と第２モータ８９の出力軸に固定されたプーリ９１とに
巻回されたベルト９２を介して回転ケース８７が駆動さ
れて前記旋回動作が行われるようになっている。

また、符号１０１で示すものは、回転ケース８７のケー
ス８２からの突出部の隙間をンールする磁気シールであ
る。

そして、アーム部８１は、上端か第２アーム８５の基端
下面に固定され第１アーム８４を貫通した状態で第２ア
ームを第１アーム８４の先端に回転自在に連結する軸９
９と、この軸９９の下端に固定されたプーリ９３と、こ
のプーリ９３と前記回転ケース８７の上端に設けられた
プーリ９４とに巻回されたベルト９７と、第１アーム８
４の先端部上面に固定され前記軸９９と同芯状に配置さ
れたプーリ９５と、上端がハンド８６の基端下面に固定
され第２アーム８５を貫通した状態でハンド８６を第２
アーム８５の先端に回転自在に連結する軸１００と、こ
の軸１００の下端に固定されたプーリ９６と、このプー
リ９６と前記プーリ９５とに巻回されたベルト９８とを
備える。

ここて、プーリ９３，９／Ｉ及びヘルド９７は、回転ケ
ース８７が前記出力軸８８ａにλ、ｆ　して相対的に回
転するとこの相対的回転と同方向に第２アーム８５を第
１アーム８４に対して回転させる伝達機構ｄを構成して
おり、つまり、第１モータ８８のみが作動して第１アー
ム８４か回転すると第２アーム８５を第１アーム８４に
対して逆方向に回転させる作用を有する。

また、プーリ９５，９６及びヘルド９８は、第２アーム
８５が第１アーム８４に対して回転するとごの回転と逆
方向にハンド８６を第２アーム８５に対して回転させる
連動機構ｒを構成している。

すなわち、このロボット７９は、このような構成とされ
ることによって、第１モータ８８のみの作動により、第
１アーム８４を回転させると同時に第２アーム８５を第
１アーム８４と反対方向に回転させてアーム部８１を屈
伸させ、ハンド８６をその向きを維持しつつ進退させる
ことかできるものである。

そして、この進退動作と第２モータ８９のみの動作によ
る前述の旋回動作とを組み合わせることによって、その
動作範囲内において、ハンド８６をあらゆる位置に動か
すことかでき、ハンド８６に載せた基板を任意の経路で
搬送して正確に位置決めすることかできる。

なお、前述の磁気ンール１０１はプーリ９０９１及びベ
ルト９２からの発塵を封じ込めるためにケース８２を密
閉するものであるか、同様に、アーム部８４に設けられ
たプーリ９３，９４．．９５．９６及びベルト９７．９
８も図示していないカバーで覆われ磁気ンールを用いて
密閉されるようになっている。

「発明が解決しようとする課題」 ゛上記従来の基板搬送ロボット７９は、動作範囲内であ
ればハンド８６に載せた基板を任意の経路て搬送して正
確に位置決めすることができるとともに発塵による害か
ないという優れたものであるか、ハンド８６及びアーム
部８１を第１モータ８８が固定された回転ケース８７と
ともに第２モータ８９によって回転させてハンド８６の
旋回動作を行う構成となっているため、以下のような不
具合点を有していた。

すなわち、第１モータ８８のケーブル８８ｂか前記旋回
動作時に捩られることになるので、この捩れを逃がすよ
うな特別な配線を行わなければならず、また、このよう
な配線を施したとしても回転ケース８７を大きな角度回
転させるとケーブル８８ｂか捩切れる恐れがあるので、
回転ケース８７すなわちハンド８６の旋回角度は通常３
００度程度に制限される。

このため、例えば、隣接して配置された二つの処理チャ
ンバ間の基板の搬送を行う場合でも、処理チャンバがそ
れぞれロボットの前記旋回動作範囲の両端に位置してい
ると、一方の処理チャンバから最短距離で他方の処理チ
ャンバにハンド８６を移動させることができず、逆方向
にハンド８６を旋回させて遠回りに移動させなければな
らない。

つまり、特に多数のチャンバを何する処理装置において
は、最短経路で基板を搬送することができない場合が多
く、基板の搬送時間か無用に長くなり、処理装置のスル
ーブツト（単位時間当たりの基板処理可能枚数）が低下
するという問題かあった。

また、第１モータ８８を内部に配して大径な回転ケース
８７の外周が７−ルされなければならなず、磁気ンール
１０１が大型て非常に高価なものとなり、ロボットのコ
ストが高く処理装置の搬送装置に要するコストか増加す
るという問題もあった。

本発明は上記従来の事情に鑑みなされたものであって、
いずれのモータも固定状態のままで運転することができ
、かつ、駆動部を密閉するンールを小型にできる基板搬
送ロボットを提供することを目的としている。

「課題を解決するための手段」 本発明の基板搬送ロボットは、駆動部に同芯状に設けら
れた二つの駆動軸と、これら駆動軸か配置された駆動部
の一側部から順次連結されたアーム部及びハンドとを備
え、前記駆動軸の一つか回転すると前記アーム部か屈伸
してハンドか進退し、前記駆動軸の両方が回転すると前
記アーム部とともにハンドか旋回するように構成された
基板搬送ロボットであって、 前記駆動軸の一方は中空状とされて他方がその内側に配
設され、前記駆動軸の一方は駆動部内方に伸びるその基
端側において駆動部に対して固定された第一のモータの
出力軸に連結されているとともに、前記駆動軸の他方は
前記駆動軸の一方よりさらに前記内方に伸びるその基端
において駆動部に固定された第二のモータの出力軸に連
結されていることを特徴としている。

「作用」 本発明の基板搬送ロボットであると、第一のモータも第
二のモータも駆動部に固定された状態でありながら、こ
れらモータの中で一方のみを作動させて駆動軸の一つを
回転させてハンドを進退させ、また、モータを両方同時
に作動させ駆動軸を両方とも回転させてハンドを旋回さ
せることが従来と同様にできる。

したがって、本発明の基板搬送ロボットは、モータ全体
か回転しないのでそのケーブルか捩られることがなく、
その旋回可能角度は無制限となる。

しかも、各モータは駆動部の内方に配置しており、駆動
軸の基端以外の部分の外周に軸封部品を配設して駆動部
内を密封できるので、軸封部品を従来よりも小型にする
ことができる。

「実施例」 以下、本発明の一実施例を第１図〜第５図により説明す
る。

第４図は本発明の基板搬送ロボｙ）を使用して構成され
たプラズマ処理装置の平面図であり、第５図は第４図に
おける■−■断面図である。

このプラズマ処理装置は、五角柱状の搬送チャンバ１０
と、この搬送チャンバｌＯの各側面から張り出すように
設けられた処理チャンバｌｌａ、　ｌｌｂ。

１１ｃ、　Ｉｌｄ及び搬入搬出用チャンバ１２とを備え
るもので、基板搬送ロボット３３は搬送チャンバ１０に
設置されている。

まず、基板搬送ロボット３３以外の部分について説明す
る。

各処理チャンバｌｌａ、　ｌｌｂ、　ｌｌｃ、　Ｉｌｄ
内の底部にはそれぞれステーノ１４ａ、　１４ｂ、　１
４ｃ、　１４ｄが設けられ、このステー／１４ａ、　１
４ｂ、　１４ｃ、　１４ｄ上に載置された状態の基板（
半導体基板あるいは液晶基板等）に各種プラズマ処理（
プラズマエ、チングあるいはフラズマアノンング等）か
施されるようになっている。

すなわち、第５図に示すように各処理チャンバの底部に
形成された排気通路１５を介して真空ポンプ（図示路）
によって内部を排気し所定処理圧力とした状態で、上部
に設けられた電極１６内から反応ガスを流しつつこの電
極Ｊ６に高周波電力を印加し前記反応カスを電離させる
ことにより、ステーン上にプラズマを発生させて基板表
面においてエツチング等の処理を行うことかできるよう
になっている。

そして、搬入搬出チャンバ１２内に設けられたロード用
カセットＩ８及びアンロード用カセット１９を介してそ
れぞれ基板の搬入及び搬出が行われるようになっており
、各処理チャンバと各カセットとの間（あるいは各処理
チャンバ相互間）の基板の搬送は、搬送ロボット３３に
よって搬送チャンバ１０内を経由して一枚づつ行われる
ようになっている。

例えば、ロード用カセット１８に装填された未処理の基
板に０は搬送チャンバｌＯ内を経由して処理チャンバ内
に入れられ、処理が済むと再び搬送チャンバ１０を経由
してアンロード用カセット１９まで移動させられて、処
理済みの基板に、としてこのカセット１９に装填される
ようになっている。

また、第５図に示すように、各ステージには基板を昇降
させるブツシャ−２０が設けられており、このブ、シャ
ー２０と搬送ロボット３３との連携動作によって、搬送
ロボ・ノド３３から各ステージへの基板の移載か行われ
るようになっている。これは、各カセ、）１８．＋９に
おいても同様てあり、各カセ・／）１８．１９にも基板
を昇降させる機構が設けられている。

なお、搬送チャンバ１０と各処理チャンバとの間の連通
口には、それぞれここれら連通口を開閉させるケートバ
ルブ２１か設けられ、処理時には処理チャンバ内か搬送
チャ／ハ１０内から隔絶され密封されて処理チャンバ内
のみが処理圧力となるようにされている。

また、搬入搬出チャンバ１２の外部への開口部及び搬送
チャンバ１０への連通口にも、それぞれゲートバルブ２
２ａ、２２ｂが設けられて、搬送チャンバ１０内のベー
ス圧力が保持できるようになっている。

すなわち、この搬入搬出チャンバ１２内も図示していな
い排気系により排気できるようにされており、ゲートバ
ルブ２２ａのみを開けて外部との間で基板の搬入搬出が
行われた後に、搬送装置によるカセットからの搬送が行
われる際には、まず両方のゲートバルブ２２ａ、２２ｂ
を閉めた状態で内部の圧力をベース圧力まで下げてから
ゲートバルブ２２ｂのみを開けるようにすれば、ベース
圧力を保持てきる。

つぎに、搬送ロホノト３３について説明する。

この搬送口ホント３３は、第４図、第５図に示すように
、駆動部３０とこの駆動部３０の一側面３Ｑａに沿って
二次元的に動作するアーム部３１とを備えたものである
。そして、アーム部３１の旋回中心すなわち駆動部３０
の軸中心は搬送チャンバ１０の中心に一致させられ、ア
ーム部３１が搬送チャンバ１０内に位置し、駆動部３０
が搬送チャンバ１０から下方に張り出すように搬送チャ
ンバ１０に取り付けられて、アーム部３１の先端に設け
られたハンド３４に基板を載せて移動させるものである
。

以下、第１図、第２図によって、このロボット３３の各
部の構成を詳細に説明する。

まず、駆動部３０は、第１図に示すように、フランジ部
４０ａを有するケース４０と、このケース４０内のフラ
ンジ部４０ａの中心線上に配設されケース４０に固定さ
れた第２モータ４２（第二のモータ）と、ケース４０内
に第２モータ４２と並んで配置され固定された第１モー
タ４１　（第一のモータ）と、フラノ／部４０ａの中心
線上に基端が第２モータ４２の上方に位置し先端かフラ
ノ／部４０ａから突出した状態に配設された中空状の第
１駆動軸４３（駆動軸の一方）と、基端が第１駆動軸４
３よりも下方に伸びて第２モータ４２の出力軸に固定さ
れ先端か第１駆動軸４３内の中心線上に伸びるように設
けられた第２駆動軸４４（駆動軸の他方）と、第１駆動
軸４３とフランジ部４０ａとの間に設けられた磁気シー
ル４５とより主構成をなすものである。

そして、ケース４０内の第２モータ４２の上方位置には
、軸受４６ａによって回転自在に支持されるとともに第
１駆動軸４３の基端外周に固定されたプーリ４７が設け
られ、このプーリ４７と第１モータ４１の出力軸に固定
されたプーリ４８とに巻回された歯付きベルト４９を介
して、第１駆動軸４３は第１モータ４１によって駆動さ
れるようになっている。

ここで、ケース４０は、前述のようにその軸線（すなわ
ち、フラノ／部４０ａの中心線）を搬送チャンバＩＯの
中心線に一致させて搬送チャンバ１０の下壁に取り付け
られており、第５図に示すように、フランジ部４０ａに
取り付けられたＯリング３９により、このフランジ部４
０ａと搬送チャンバｌＯとの接合部がシールされている
。なお、このフランジ部４０ａの接合面か前記−側面３
０ａである。

モータ４１，４２は、例えばパルスモータであって、教
示された動作プログラムに基づき、図示していないパル
スエンコーダ（回転位置検出器）やコントローラによっ
てサーボ制御されるようになっている。

第１駆動軸４３は、軸受４６ｂによってケースに支持さ
れ、その先端外周には後述する第１アーム５０のボス部
５０ａが嵌合固定させられている。

第２駆動軸４４は、軸受４６Ｃによってその先端部が第
１駆動軸４３の内面に対して回転自在に支持されており
、その先端面には後述するプーリ５６の平爪５９が嵌合
する穴か形成され、この嵌合によって第２駆動軸４４は
後述するプーリ５６の軸部５６ａに連結されている。

また、磁気シール４５は、磁性流体を使用して良好な密
封性能と摺動抵抗特性とを有する軸封部品である。

つぎに、アーム部３１は、駆動部３０においてフランジ
４０ａか形成されている一側部３０ｂから順次連結され
た第１アーム５０及び第２アーム５１を備える。

第１アーム５０は、前記第１駆動軸４３の先端に固定さ
れて前記−側面３０ａに沿って伸びる箱状のものであり
、また、第２アーム５１は、この第１アーム５０の先端
部上面に回転自在に連結されて第１アーム５０と同方向
に伸びる箱状のものである。

第１アーム５０にはその基端部下面に位置してボス部５
０ａが形成されており、このボス部５０ａが第１駆動軸
４３の先端部外周に嵌合固定させられることによって、
第１アーム５０は第１駆動軸４３に固定されて第１駆動
軸４３の回転によって前記−側面３０ａに沿って回転す
るようになっている。

また、第２アーム５１にもその基端部下面から伸びるボ
ス部５１ａが形成されており、このボス部５１ａが第１
アーム５０の先端部内に伸ひてこの先端部底面に立設固
定された軸５２の外周に軸受５３，５４を介して取り付
けられることによって、第２アーム５１は第１アーム５
０に連結されてやはり前記−側面３０ａに平行な平面に
沿って回転できるようになっている。

前記ボス部５１ａの外周には歯付きベルト用のプーリ５
５が形成されており、このプーリ５５と第１アーム５０
の基端部内に配設されたプーリ５６とには歯付きベルト
５７か巻回されている。

ここで、プーリ５６は、前記ボス部５０ａと同軸上に配
置されたもので、その軸部５６ａがホス部り０ａ内に軸
受け５８を介して取り付けられることにより、第１アー
ム５０に回転自在に取り付けられている。また、このプ
ーリ５６の軸ｆ’Ａ　５６　ａの先端には平爪５９かし
成され、前述したようにこの平爪５９か第２駆動軸４４
の先端に嵌合することによって、このプーリ５６は第２
駆動軸４・４に連結され駆動されるようになっている。

また、プーリ５６の歯数はプーリ５５の歯数に対して２
倍になっており、プーリ５５，５６Ｔｉひヘルド５７は
、第２駆動軸４４か第１駅動軸４３に対して相対的に回
転するとこの相対的回転と同方向その倍の角度たけ第２
アーム５１を第１アーム５０に対して回転させる伝達機
構りを構成している。（この作用については後述する。

）また、第２アーム５１内まで伸びる前記軸５２の先端
には歯付きヘルド用のプーリ６０が固定ており、このプ
ーリ６０と第２アーム５１の先端内部に配設されたブー
１ノロ１とには歯付きヘルド６２が巻回されている。

ここで、プーリ６１は、第２アーム５１の底面に軸受け
６３を介して取り付けられたもので、その回転軸は前記
軸５２と平行である。

また、プーリ６１の歯数はプーリ６０の歯数に対して２
倍になっており、プーリ６０．６１及びベルト６２は、
第２７−ム５１か第１アーム５０に対して回転するとこ
の回転と逆方向にその半分の角度たけハンド３４を第２
アーム５１に対して回転させる連動機構Ｒを構成してい
る６　（この作用については後述する。） そして、前記プーリ６１の上面には軸部６１ａか形成さ
れ、その先端は第２アーム５１の上方外部にわずかに突
出するようになっている。

なお、第３図において符号６４．６５で示すものは、磁
気シール４５と同様の部品であり、それぞれ、ボス部５
１ａの第１アーム５０内への押入部、あるいは、前記軸
部６１ａの第２アーム５１からの突出部の隙間を密封し
ている。

つぎに、ハンド３４は、第２図に示すように、先端に基
板載置部（この場合半導体ウェハ用）７０が形成された
もので、その基端が前記軸部６１ａの上面に固定される
ことによって、やはり前記−側面３０ａに平行な平面に
沿って回転するようになっている。

このハンド３４の基板載置部７０は、周囲にカイト７］
ａ、７１ｂ、７１ｃか形成されたコ字状の載置面７０ａ
を有するものてあり、これらカイト部間に基板か載せら
れると、基板はその中央部下面かこのハンド３４の裏側
に望んだ状態で支持されるようになっている。すなわち
、前述のブツシャ−２０上にこのハンド３４が位置して
いる状態で第５図において符号Ｐ、て示すようにブ、ン
ヤー２０を上昇させれば、基板の中央部をブノ／ヤー２
０で押し上げてハンド３４から基板を持ち上げることが
でき、ハンド３４を退避させた後ブソンヤ−２０を符号
Ｐ１で示す位置まで下降させればハンド３４上からステ
ージ上へ基板を移載することができる。また、この逆の
手順でステージ上からハンド３４に基板を移載できるよ
うになっている。

なお、これらロボ、ト３２．３３において、各アーム５
０．５１とハンド３４の連結部の距ＩＩＬＬ、は等距離
とされており、また、少なくともこレラ各アーム５０．
５１とノ・ンド３４を一直線上に伸ばせば、ハンド３４
の載置部７０か各処理チャンバ内のステージあるいは搬
入搬出用チャン、＜１２内のカセ、）１８．１９に十分
届くように前記距離り、、Ｌ２及びノ・ンド３４の長さ
か設定されている。

またなお、第５図に示すよう１こ、ロボット３３の上下
方向位置は、ノ・ント３４を各処理チャンノ＼等の内部
に挿入てき、ノ＼ント３４が各チャンツク等における昇
降機構（例えばブノ／ヤー２０）の可動範囲に位置する
よう番こ設定されている。

つぎに、以上のように構成された基板処理装置における
搬送ロボット３３の動作を説明する。

マス、ロボット３３において、第１モータ４１（すなわ
ち第１駆動軸４３）のみを作動させると、第１アーム５
０と第２アーム５１とはノ〈ンタグラフのように伸縮し
て、ノ＼ント３４が第３図、第４図において符号Ｘて示
すように水平に進退する。

すなわち、例えば、第３図に示すよう１こ、上方から見
て第１駆動軸４３が反時計方向に３０度何回転ると、こ
れにともなって第１アーム５０も同方向に３０度何回転
るわけであるか、この時プーリ５６は固定状態にあるた
めプーリ５５は第１アーム５０に対して相対的に反対方
向（第３図において時計方向）に回転する。しかも、歯
数の違いによってプーリ５５すなわち第２アーム５１は
第１アーム５０に対して６０度回転するので、結果的に
第１アーム５０基端の連結中心Ａ（第１駆動軸４３の回
転中心）とノ＼ンド３４基端の連結中心Ｂ（プーリ６１
の回転中心）とを結ぶ線分の方向は変化せずその長さだ
けが変化（この場合減少）する。また、同様に、この時
ノ＼ンド３４はプーリ６０．６１及びベルト６２の作用
によって第２アーム５０に対して第３図において反時計
方向に３０度何回転るので、ハンド３４の方向も変化せ
ず常に前記線分の方向に向いていることになり、ノ＼ン
ト３４は前記中心Ａ、Ｂを結ぶ一直線上を後退すること
になる。

つまり、このような伝達機構り及び連動機構Ｒの作用に
よって、この場合アーム、５０．５１及びハツト３４は
第３図において鎖線で示すように運動する。

また、第１モータ４Ｘ及び第２モータ４２を同時に作動
させ、第１駆動軸４３と第２駆動軸４４とを同方向に回
転させれば、各アーム５０．５］及ヒハンド３４は、互
いの相対位置を変えないで第１駆動軸４３を中心として
前記−側面３０ａに沿って回転する。

以上の説明から明らかなように、ロホ４７ト３３のハン
ド３４は、モータ４１，４２の動作によって前記−側面
３０ａ　（すなわち、水平面）に沿って旋回及び進退さ
せて二次元的に動かすことができ、予め動作プログラム
を作成しておけば、この動作プログラムの７−ケンスに
従ってハンド３４を各チャンバ内のあらゆる位置に任意
の方向に向けて順次移動させて基板の搬送ができる。

すなわち、本実施例の搬送ロボット３３は、第１モータ
４１も第２モータ４２も駆動部に固定された状態であり
ながら、これらモータの中で一方のみを作動させて駆動
軸４３．４４の一つを回転させてハンドを進退させ、ま
た、モータを両方同時に作動させ駆動軸４３．４４を両
方とも回転させてハンド３４を旋回させることか従来と
同様にてきる。

したかって、この基板搬送ロボット３３は、従来と同様
に発塵による害がなく基板を正確に位置決めして移載て
きるという効果を有しながら、いずれのモータもそれ全
体か回転しないのてモータのケーブルか捩られることか
なく、このケーブルの配線か非常に簡単であるとともに
、前記旋回動作の角度範囲は無制限になって処理装置に
おける搬送時間を従来よりも格段に向上でき、かつ、処
理チャンバ等の配置の自由度を向上させることができる
。

例えば、上記第４図に示す処理装置において処理チャン
バｌｌａから処理チャンバｌｉｄに基板を搬送しようと
する場合、従来であると動作範囲との関係で第４図にお
いて時計回りでロボットのハンド及びアーム部を旋回さ
せて行わなければならない可能性があるか、このロボッ
ト３３であると必ず反時計回りて旋回させて最短距離で
搬送できる。これは他のチャンバ間でも同様であり、」
−記実施例の場合処理装置におけるいかなる搬送も一台
のロボット３３で常に最短距離で行える。また、旋回の
動作範囲か無制限なので、搬送チャンバはこのロポｙ　
＋−３３の周囲のどの位置にも配置できるので、上記の
ようなマルチチャンバ方式の処理装置がコンパクトに構
成し易くなる。

また、このロボット３３は、各モータ４１，４２を駆動
部３０の内方に配置し駆動軸４３．４４のみをアームか
連結される一側部３０ｂに伸ばした構成であるため、第
１図に示すように、第１駆動軸４３の外周に小型な磁気
７−ルを配設して駆動部内を密封でき、大型になればな
る程高価な磁気シールを従来よりも小型にすることがて
きる。

したがって、搬送用ロボットのコストが低減でき、ひい
ては処理装置のコストタウンを図ることができる。

なお、上記実施例では、駆動軸の一方のみの回転によっ
てアーム部を屈伸させて／・ンドを進退させるための機
構（すなわち、伝達機構りと連動機構Ｒ）を、ブーりと
ベルトよりなるものとしているか、これに限るものてな
い。例えば、伝達機構Ｒは第２駆動軸４４の回転を２倍
の比率で第２アーム５１に伝達する機構であれば歯車あ
るいはリンク等で構成されたものでもよい。また、連動
機構Ｒ＜：、第２アーム５１の第１アーム５０に対スル
回転に伴いハンド８６を逆方向に１７２倍の比率で回転
させる機構であれば歯車等で構成されていてもよい。

また、本発明における中空状の駆動軸は第１アーム５０
に固定される側の駆動軸になっていることに限られず、
例えば上記実施例において、中空な第１駆動軸４３の先
端をプーリ５６に連結し、プーリ５６を貫通させて第２
駆動軸４４の先端をさらに上方に伸ばしてアーム５０の
上向面に固定した構成としてもよく、この場合第２駆動
軸４４のみの回転によりノ・ント３４を進退させて同様
の動作をさせることかできる。

マタ、本発明における二つのモータの配置等も種々の変
形か有り得る。例えば上記実施例において、第１モータ
４１を第２モータ４２の上方同軸線上に配置し、第２駆
動軸４４はこの第１モータ４１をも貫通させて下方に伸
ばし第２モータ４２に連結するようにして、第１駆動軸
４３の基端を直接第１モータ４Ｉの出力軸（この場合中
空な軸である。）に連結する構成であってもよい。

「発明の効果」 本発明の基板搬送ロボｙ）は、いずれのモータも駆動部
に固定された構成でありながら、これらモータの運転に
よって従来と同様にノーントの進退及び旋回動作を行う
ことができる。

したがって、従来と同様に発塵による害がなく正確に位
置決めて移載ができるという効果に加えて下記のような
種々の効果を奏する。

第一に、モータのケーブルが捩られないのでノ＼ントの
旋回動作範囲（角度）が無制限になり、処理装置におけ
る効率の良い搬送が可能になって処理装置のスルーブツ
トを向上させることができるとともに、処理装置におけ
る搬送チャツノ＜の配置の自由度が向上して小型で高機
能な処理装置を構成できる。

第二に、駆動軸の外周に軸封部品を配設して駆動部内を
密封てきるのて、軸封部品を従来よりし小型にてきコス
トタウンを図ることかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本発明の一実施例を説明するための図
であって、第１図は基板搬送ロボットの縦断面図、第２
図はノ＼ンドの平面図、第３図は基板搬送ロボットの動
作を示すノ・ンド及びアームの平面図、第４図は基板処
理装置の平面図、第５図は第４図の■−■断面図である
。 また、第６図は従来の基板搬送ロボットを示す縦断面図
である。 ３０・・・・・駆動部、３０ｂ・・・−側部、３３・−
・基板搬送ロボット、３４・・ノ＼ンド、４１・・・第
一のモータ（第１モータ）、４２　　第二のモータ（第
２モータ）、駆動軸の一方 （第１駆動軸） 駆動軸の他方 （第２駆動軸） アーム、 第１アーム 第２アーム） 基板。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　駆動部に同芯状に設けられた二つの駆動軸と、これら
   駆動軸が配置された駆動部の一側部から順次連結された
   アーム部及びハンドとを備え、前記駆動軸の一つが回転
   すると前記アーム部が屈伸してハンドが進退し、前記駆
   動軸の両方が回転すると前記アーム部とともにハンドが
   旋回するように構成された基板搬送ロボットであって、 前記駆動軸の一方は中空状とされて他方がその内側に配
   設され、前記駆動軸の一方は駆動部内方に伸びるその基
   端側において駆動部に対して固定された第一のモータの
   出力軸に連結されているとともに、前記駆動軸の他方は
   前記駆動軸の一方よりさらに前記内方に伸びるその基端
   において駆動部に固定された第二のモータの出力軸に連
   結されていることを特徴とする基板搬送ロボット。