JPH0487792A - ３軸制御可能なヘッド駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、３軸制御可能なヘッドをハーモニックドライ
ブ減速機およびモータにより駆動する装置に関する。

〔従来の技術〕

特公昭６１−４７６７３号の公報は、ロボットアーム先
端のヘッドをロボット本体側の２台のモータおよびハー
モニックドライブ減速機で駆動し、ヘッドに首振り運動
および旋回運動を与え、それらの各運動にともなう相対
運動を２台のハーモニックドライブ減速機の連動関係に
よって補正している。

また、特願平１−２２９９２号の発明は、２軸制御可能
なヘッドを２台のハーモニックドライブ減速機によって
駆動し、一方の軸の駆動にともなう他方の軸の相対運動
を例えば２台のハーモニ。

クドライブ減速機の連動関係によって補正している。

〔従来技術の課題〕

ところが、いずれのヘッドも２軸制御であるため、それ
らの技術は、３軸制御のヘッドにそのまま利用できない
ことになる。

〔発明の目的〕

したがって、本発明の目的は、３軸制御可能なヘッドを
減速機、２台のハーモニックドライブ減速機およびモー
タによって駆動する過程で、１つの軸の駆動ムこともな
う他の２つの軸のそれぞれの相対運動をハーモニックド
ライブ減速機の連動関係によって打ち消せるようにする
ことである。

〔発明の解決手段〕

上記目的の下に、本発明は、３軸制御可能なヘッドにお
いて、ヘッドの旋回軸、振り軸および回転軸毎に１台の
減速機、２台のハーモニックドライブ減速機およびモー
タを組み込み、減速機、各ハーモニックドライブ減速機
およびモータを必要な運動毎に独立に駆動できるように
するとともに、旋回用の減速機を振り用のハーモニック
ドライブ減速機と回転用のハーモニックドライブ減速機
とに連動させ、また振り用のハーモニックドライブ減速
機を回転用のハーモニックドライブ減速機と連動させる
ようにしている。

〔発明の作用〕

旋回用のモータが回転したとき、旋回用の減速機は、ヘ
ッドの旋回軸を独立に回転させることによって、ヘッド
に旋回運動を与えると同時に、この旋回軸の回転を振り
用のハーモニックドライブ減速機および回転用のハーモ
ニックドライブ減速機にも伝達し、ヘッドの振り軸およ
びヘッドの回転軸を旋回運動にともなう相対振り運動お
よび相対回転運動を打ち消し方向に打ち消しに必要な回
転量だけ駆動する。

また、振り用のモータが回転したとき、振り用のハーモ
ニックドライブ減速機は、ヘッドの振り軸を独立に駆動
し、ヘッドに振り運動を与えると同時に、振り用のハー
モニックドライブ減速機の回転を回転用ハーモニックド
ライブ減速機にも伝達し、ヘットの回転軸を駆動するこ
とによって、振り運動にともなうヘッドの相対回転運動
を打ち消す方向に打ち消しに必要な回転量だけ回転させ
る。

さらに、回転用のモータが回転したとき、ハーモニ・シ
フドライブ減速機は、ヘッドの回転軸を単独で駆動する
ことによって、ヘッドに回転運動を与える。この回転運
動のとき、ヘッドの旋回軸や振り軸に相対運動が発生し
ないため、回転用のハーモニックドライブ減速機は、他
のハーモニックドライブ減速機と連動する関係にない。

〔実施例〕

第１図および第２図は、３軸制御可能なヘッド駆動装置
ｌの構成を示している。

この３軸制御可能なヘッド駆動装置ｌは、ケーシング２
の部分に組み込まれている。

すなわち、ケーシング２は、例えば垂直方向の筒状体内
部で中空の旋回軸３を上下の軸受け４によって回転自在
に支持している。また、この旋回軸３は、下端部分で、
中空の振り軸５を旋回軸３に対して直交する中心線β上
で両端の軸受け６によって回転自在に支持している。さ
らに、この振り軸５は、例えば上記旋回軸３の中心線α
上で、回転軸７およびこれと一体のヘッド９を回転軸７
の中心線Ｔ上で両端の軸受け８によって回転自在に支持
している。

なお、このヘッド９は、三次元形状の測定用または電子
ビーム加工用のものであり、回転軸７の中心線Ｔ上の作
用点Ｐを交点として所定の傾斜角θで交差する位置に距
離センサまたは電子ビーム照射エレメントを備えている
。

そして、上記ケーシング２は、箱状体内部で旋回用の減
速機として例えばハーモニックドライブ減速機２０、振
り用のハーモニ・ツクドライブ減速機３０および回転用
のハーモニックドライブ減速機４０を収納している。こ
れらのノ＼−モニ・ツクドライブ減速機２０．３０．４
０は、第１図のほか、第３図および第４図に示すように
、楕円形のウェブジェネレータ２１．３１．４１、ウェ
ブジェネレータ２１．３１．４１の外側に嵌め込まれた
ボールヘアリング２２．３２．４２、ポールへ７リング
２２．３２．４２の外側に嵌め込まれた変形可能な外歯
付きのフレクスプライン２３．３３．４３、フレクスプ
ライン２３．３３．４３に長軸上で噛み合う内歯付きの
第１サーキュラスプライン２４．３４．４４および第２
サーキュラスプライン２５．３５．４５によって組み立
てられている。なお、第１サーキュラスプライン２４．
３４．４４の歯数は、それぞれ対応のフレクスプライン
２３．３３．４３の歯数と等しく、また第２サーキュラ
スプライン２５．３５．４５の歯数よりも例えば２歯小
さく設定されている。

これらのウェブジェネレータ２１．３１．４１は、それ
ぞれ各運動の入力側であり、軸継手２７．３７．４７に
よってケーシング２の外側に取り付けられたモータ２６
．３６．４６の出力軸に連結されている。また第１サー
キュラスプライン２４は、ケーシング２に直接固定され
ており、また第１サーキュラスプライン３４．４４は、
それぞれ連動輪としての連動ギヤ３８．４８とともに軸
受け３９．４９および軸受はハウジング１２、工３によ
って、ケーシング２に対して回転自在に支持されている
。さらに、第２サーキュラスプライン２５．３５．４５
は出力輪としての出力ギヤ１４．１５．１６に固定され
ており、出力ギヤ１４．１５．１６のボス部分で各ウェ
ブジェネレータ２１．３１．４１の補助軸１７．１８．
１９とともに軸受け５０．５１．５２．５３．５４．５
５によってケーシング２の軸受はハウジング５６．５７
．５８に対し回転自在に支持されている。なお、これら
の出力ギヤ１４．１５．１６の回転量は、それぞれ回転
検出手段５９．６０．６１によって検出できるようにな
っている。

そして、出力ギヤ１４および連動ギヤ３８は、第１図お
よび第２図に示すように、旋回軸３の上部に取り付けら
れた伝達ギヤ６２に噛み合っている。ここで、出力ギヤ
１４および伝達ギヤ６２は、旋回用のハーモニックドラ
イブ減速機２０の出力回転を旋回軸３に伝達するために
、旋回用回転伝達手段を構成している。

また、出力ギヤ１５は、振り用の伝達軸１０の上端に固
定された伝達ギヤ６３に噛み合っている。

なお、この伝達軸ＩＯは、中空であって、中空の旋回軸
３内の中心線α上で上下の軸受け６５により、旋回軸３
に対して回転自在に支持されており、下端のベベルギヤ
６６、これに噛み合い旋回軸３の下端部分で支持された
ベベルギヤ６７、チェノホイール６８．６９およびこれ
らに巻掛けられたチェノ７０を介し振り軸５の中心軸７
１に回転を伝達する。なお中心軸７１やベベルギヤ６７
のギヤ軸７４は、それぞれ軸受け７２．７３によって旋
回軸３のブロック状部分に支持されている。ここで、出
力ギヤ１５、伝達ギヤ６２、伝達軸１０、ベベルギヤ６
６．６７、チェノホイール６８．６９、チェノ７０およ
び中心軸７１は、振り用のハーモニックドライブ減速機
３０の出力回転を振り軸５に伝達するために、振り用回
転伝達手段を構成している。

さらに、連動ギヤ４８は、伝達ギヤ６３に噛み合ってお
り、また出力ギヤ１６は、回転用の伝達軸１１の上端に
固定された伝達輪としての伝達ギヤ６４に噛み合ってい
る。なお、この伝達軸１１は、中空の伝達軸１０ととも
に、旋回軸３の中心線α上で同心的に組み合わせられて
おり、軸受け７５によってケーシング２や伝達軸１０に
対して回転自在に支持されている。この伝達軸１１の回
転は、下端部分のへベルギヤ７６、これに噛み合うヘベ
ルギヤ７７、チェノホイール７９．８０、チェノ８１、
ベベルギヤ８２．８３を介して回転軸７に伝達される。

なお、ベベルギヤ７７のギヤ軸８４やベベルギヤ８２の
ギヤ軸８５は、それぞれ軸受け７８．８６により旋回軸
３のブロック状部分に支持されている。これらの出力ギ
ヤ１６、伝達ギヤ６４、伝達軸１１、ベベルギヤ７６．
７７、チェノホイール７９．８０、チェノ８１およびへ
ベルギヤ８２．８３は、回転用回転伝達手段を構成して
いる。

なお、この３軸制御可能なヘッド駆動装置１は、直交座
標系の位置決め装置などに組み付けられる。

次に、上記３軸制御可能なヘッド駆動装置１の作用を説
明する。

ヘッド９は、旋回軸３の中心線αを中心として例えば±
１８２．５度の範囲で旋回可能であり、また、振り軸５
の中心線βを中心として、一方向に１０度、子方向に９
５度程度の範囲で振り運動可能な状態にあり、さらに回
転軸７の中心線γを中心として、±１８２．５度程度の
範囲で回転できる状態で取り付けられている。

ここで、旋回運動、振り運動、これらの運動にともなう
不必要な相対運動の打ち消し動作および回転運動は、以
下のようにして与えられる。

旋回運動および相対運動の打ち消し動作二ヘンド９の旋
回運動のために、モータ２６が必要な方向に所定の量だ
け回転すると、その回転は、ハーモニックドライブ減速
機２０の入力としてウェブジェネレータ２１に与えられ
、減速比ｉａＯ下に減速され、出力ギヤ１４を介して、
伝達ギヤ６２に伝達されるため、旋回軸３は、所定の方
向に必要な角度だけ旋回することによって、下方のヘッ
ド９に旋回運動を与える。

この入出力形態でのハーモニックドライブ減速機２０の
減速比ｉａは、速比Ｒ＝（第１サーキュラスプライン２
４の歯数／第１サーキエラスプライン２４と第２サーキ
ュラスプライン２５との歯数差）としたとき、下記の弐
で与えられる。

１ａ＝１／（Ｒ＋１） この旋回運動時に、振り用の伝達軸１０や、回転用の伝
達軸１１が停止しておれば、ベベルギヤ６７．７７がそ
れぞれ停止中のベベルギヤ６６．７６の周りを移動して
それらのギヤ比に応じて自転するため、ヘッド９は、ベ
ベルギヤ６７．７７の自転を受けて、旋回運動にともな
う相対運動として、不必要な振り運動および回転運動を
行う。

そこでハーモニックドライブ減速機３０．４０は、ハー
モニックドライブ減速機２０と連動し、相対的な振り運
動および回転運動を打ち消す方向の回転を発生し、ヘッ
ド９の旋回運動にともなう不必要な運動を吸収する。す
なわち出力ギヤ１４が回転したとき、この回転は、伝達
ギヤ６２を介して連動ギヤ３８に伝達される。

このとき、ウェブジェネレータ３１が固定されており、
第１サーキュラスプライン３４が入力側で、第２サーキ
ュラスプライン３５が出力側となるため、この入出力形
態でのハーモニックドライブ減速機３０の連動時の減速
比ｔｂは、速比Ｒ＝（第１サーキュラスプライン３４の
歯数／第１サーキュラスプライン３４と第２サーキュラ
スプライン３５との歯数差）とすれば、下記の式によっ
て与えられる。

ｉ　ｂ＝Ｒ／　（Ｒ＋　１） この第２サーキュラスプライン３５の回転つまり出力ギ
ヤ１５の回転は、伝達ギヤ６４に伝達ギヤ６２と同し向
きの回転として伝達され、ヘベルギヤ６６．６７やチェ
ノホイール６８．６９およびチェノ７０の固有の伝達比
によって、振り運動の打ち消しに必要な回転量として振
り軸５に伝達される。したがって、旋回軸３が旋回した
とき、これにともなう振り軸５の不必要な振り運動は、
伝達ギヤ６２の回転を入力とするハーモニックドライブ
減速機３０の出力によって機械的に打ち消されていく。

しかも、この伝達ギヤ６３の回転は、連動ギヤ４８を介
して回転用のハーモニックドライブ減速機４０の入力回
転となる。

ここでも、ウェブジェネレータ４１が固定であり、第１
サーキュラスプライン４４が入力側で、第２サーキュラ
スプライン４５が出力側となっているため、この入出力
形態でのハーモニックドライブ減速機４０の連動時の減
速比ｉｂは、速比Ｒ＝（第１サーキュラスプライン４４
の歯数／第１サーキュラスプライン４４と第２サーキュ
ラスプライン４５との歯数差）とすれば、下記の式によ
って与えられる。

１ｂ＝Ｒ／（Ｒ＋１） このハーモニックドライブ減速機４０の出力は、第２サ
ーキュラスプライン４５、出力ギヤ１６、伝達ギヤ６４
、伝達軸１１、ヘベルギヤ７６．７７、チェノホイール
７９．８０、チェノ８１およびヘベルギヤ８２．８３の
固有の伝達比を介して旋回運動にともなうヘッド９の不
必要な回転運動を打ち消す方向の回転量として最終的に
回転軸７に伝達される。

このように、旋回軸３が中心線αの周りに旋回すると、
これにともなってヘンドアが不必要な振り運動および回
転運動を行うか、この旋回軸３の旋回と連動するハーモ
ニックドライブ減速機３０．４０は、不必要な振り運動
および回転運動を打ち消す方向の回転および回転量を発
生し、それぞれ振り軸５および回転軸７に伝達する。も
ちろん、この連動時に、連動ギヤ３８．４８の回転は、
それぞれ減速比ｉｂで出力ギヤ１５．１６に伝えられる
だけで、入力側のウェブジェネレータ３１．４１の回転
に全く影響を与えない。したがって、ヘッド９は、旋回
運動にかかわらず、旋回前の振り角度や回転角度を維持
する。

振り運動および相対運動の打ち消し動作：次に、ヘッド
９の振り運動のためにモータ３６が回転すると、第１サ
ーキュラスプライン３４が固定側で、ウェブジェネレー
タ３１が入力側となり、第２サーキュラスプライン３５
が出力側となるから、モータ３６の回転は、ハーモニッ
クドライブ減速機３０の減速比ｉａによって減速され、
出力ギヤ１５、伝達ギヤ６３を介して伝達軸１０に伝達
され、さらにベベルギヤ６６．６７、チェノホイール６
８．６９およびチェノ７０を介して、振り軸５に伝達さ
れる。これによって、ヘッド９は、モータ３６の回転方
向および回転量に応じて所定の方向に必要な角度だけ振
り軸５を中心として回動する。

この入出力形態でのハーモニックドライブ減速機３０の
減速比ｉａは、速比Ｒ＝（第１サーキュラスプライン３
４の歯数／第１サーキュラスプライン３４と第２サーキ
ュラスプライン３５との歯数差）としたとき、下記の弐
で与えられる。

１ａ＝１／（Ｒ＋２） この振り運動のときに、ベベルギヤ８２が停止状態にあ
るとすると、振り軸５の振り運動にともなってヘベルギ
ヤ８３が停止中のヘベルギヤ８２の周囲を転がって自転
するため、ヘッド９に不必要な回転運動があられれる。

しかし、この不必要な回転運動は伝達ギヤ６３と連動関
係にある回転用のハーモニックドライブ減速機４０によ
って打ち消される。すなわち、伝達ギヤ６３の回転は、
連動ギヤ４８により第１サーキュラスプライン４４に伝
達され、ハーモニックドライブ減速機４０の連動時の減
速比ｉｂによって減速され、第２サーキュラスプライン
４５、伝達ギヤ１６を介し回転用の伝達軸１１に伝達さ
れ、ベベルギヤ７６．７７、チェノホイール７９．８０
およびチェノ８１の伝達比などによって調整され、最終
的に不必要な回転を打ち消す方向の回転量として回転軸
７に伝達される。したがって、ヘッド９が振り運動を行
ったとしても、その振り運動にともなうヘッド９の相対
的な回転運動は、振り用のハーモニックドライブ減速機
３ｏと連動する関係のハーモニックドライブ減速機４０
によって打ち消されることになる。

回転運動： 次にヘッド９の回転運動のために、モータ４６が回転す
ると、その回転は、回転用のハーモニックドライブ減速
機４０の入力側のウェブジェネレータ４１に伝えられ、
減速比ｉａによって減速され、出力側の第２サーキュラ
スプライン４５、出力ギヤ１６を介し伝達ギヤ６４、伝
達軸１１に伝達され、さらにベベルギヤ７６．７７、チ
ェノホイール７９．８０およびチェノ８１などの伝達比
によって最終的に回転軸７に伝達される。

この入出力形態でのハーモニックドライブ減速機４０の
速比ｉａは、歯数比Ｒ＝（第１サーキュラスプライン４
４の歯数／第１サーキュラスプライン４４と第２サーキ
ュラスプライン４５との歯数差）としたとき、下記の式
で与えられる。

１ａ＝１／（Ｒ＋１） この回転運動に必要な回転方向および回転量は、モータ
４６の回転方向および回転量によって決定される。この
回転運動にともなって、不必要な旋回運動や振り運動は
、発生しない。

なお、以上の記述は、説明の単純化のために、差動歯車
列や遊星歯車列の回転計算法と同様に、旋回軸３、振り
軸５あるいは回転軸７の１つの軸を駆動するとき、他の
２軸を停止（固定）状態としている。しかし、実際の制
御の過程で旋回軸３、振り軸５および回転軸７は、はと
んど同時に駆動されるから、ハーモニックドライブ減速
機３ｏ、４０は、差動的に働くことになる。

なお、それぞれのギヤはタイミングプーリ・タイミング
ベルトやチェノホイール・チェノなどで置き換えること
もでき、またチェノホイール・チェノは、歯車列で置き
換えることもできる。また、ハーモニックドライブ減速
機２０．３０．４０は、連動関係にあるとき、第１サー
キュラスプライン２４．３４．４４と第２サーキュラス
プライン２５．３５．４５との入出力関係を入れ換える
ことによって、増速比の関係で利用することもできる。

また、旋回用のハーモニックドライブ減速機２０は、他
の形式の減速機で構成することもできる。

〔発明の効果〕

本発明では、下記の特有の効果が得られる。

３軸制御可能なヘッドの旋回用の減速機、振り用のハー
モニックドライブ減速機および回転用のハーモニックド
ライブ減速機が旋回軸の周りに配置されており、旋回軸
、振り軸および回転軸が旋回用のモータ、振り用のモー
タおよび回転用のモータによって、駆動できるようにな
っているから、ヘッドの旋回運動、振り運動および回転
運動がそれぞれ独立に制御でき、ヘッドの姿勢を３次元
形状の測定や加工に適切な向きに設定できる。

旋回用の減速機、振り用および回転用のハーモニックド
ライブ減速機が旋回軸およびこれと一体の伝達輪の周り
にあって伝達輪列を構成し、旋回用の減速機の出力回転
が振り用および回転用のハーモニックドライブ減速機の
第１サーキュラスプラインと連動する関係にあり、ヘッ
ドの旋回運動にともなう不必要な振り運動および不必要
な回転運動が振り用および回転用のハーモニックドライ
ブ減速機の連動回転によって機械的に打ち消される関係
にあるため、複雑な補正演算や修正制御が必要とされず
、また回転伝達経路の切り換え手段もなくてすむため、
機械的な構成部分が簡略化でき、しかも打ち消しのため
に必要な回転量も正確であるから、ヘッドの運動が高い
精度の下に制御できる。

特に、打ち消しのための回転力がハーモニックドライブ
減速機の第１サーキュラスプラインから入力され、かつ
第２サーキュラスプラインを介して出力され、モータと
連結される入力側のウェブジェネレータの回転に全く影
響を与えないため、打ち消し動作の過程で、回転力の伝
達系に回転力遮断用のクラッチや回転伝達経路の切り換
え用の歯車列などが必要とされず、もちろん、それらの
オンオフ制御や切り換え制御も必要とされないため、取
り扱いが楽であり、モータの回転方向および回転量制御
だけでヘッドの３軸制御が可能となる。

もちろん、ヘッド部分に駆動用のモータや減速機が存在
しないため、ヘッド自体の軽量化により、運動制御のス
ピードが高速化でき、また加減速時の慣性による位置決
め誤差なども低く抑えられるほか、回転制御のための配
線などがヘッド部分から引き出す必要もなく、電線やヘ
ッドの一部が他の部分と干渉することもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は３軸制御可能なヘッド駆動装置の一部展開垂直
断面図、第２図は歯車列の噛み合い関係の一部破断乎面
図、第３図はハーモニックドライブ減速機の拡大断面図
、第４図はハーモニックドライブ減速機の一部破断拡大
正面図である。 １・・３軸制御可能なヘッド駆動装置、２・・ケーシン
グ、３・・旋回軸、５・・振り軸、７・・回転軸、９・
・ヘッド、１０・・振り用の伝達軸、１１・・回転用の
伝達軸、１４．１５．１６・・出力輪としての出力ギヤ
、２０・・旋回用の減速機としてのハーモニックドライ
ブ減速機、２１・・ウェブジェネレータ、２３・・フレ
クスプライン、２４・・第１サーキュラスプライン、２
５・・第２サーキュラスプライン、２６・・モータ、３
０・・振り用のハーモニックドライブ減速機、３１・・
ウェブジェネレータ、３３・・フレクスプライン、３４
・・第１サーキュラスプライン、３５・・第２サーキュ
ラスプライン、３６・・モータ、３８・・連結輪として
の連動ギヤ、４０・・回転用のハーモニックドライブ減
速機、４１・・ウェブジェネレータ、４２・・ボールベ
アリング、４３・・フレクスプライン、４４・　・第１
サーキュラスプライン、４５・・第２サーキュラスプラ
イン、４６・・モータ、４８・・連結輪としての連動ギ
ヤ、６２・６３．６４・・伝達輪としての伝達ギヤ。 特許　出願人株式会社日千トヤマ 代　　　理　　　人　弁理士　中　川　國　男第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ケーシングの内部に中空の旋回軸を回転自在に支持し、
   この旋回軸の一端に振り軸を回転自在に支持し、この振
   り軸に回転軸を回転自在に支持し、この回転軸にヘッド
   を取り付けるとともに、上記旋回軸内に中空の振り用の
   伝達軸および回転用の伝達軸を同心的に配置してなる３
   軸制御可能なヘッドにおいて、 上記ケーシングに旋回用の減速機、振り用のハーモニッ
   クドライブ（登録商標・以下同じ）減速機、回転用のハ
   ーモニックドライブ減速機を組み込み、各ハーモニック
   ドライブ減速機の入力側にそれぞれモータの出力軸を連
   結し、上記旋回用の減速機の出力軸を上記旋回軸に固定
   された伝達輪に噛み合わせ、上記振り用のハーモニック
   ドライブ減速機の第２サーキュラスプラインに固定され
   た出力輪を上記振り用の伝達軸に固定された伝達輪に噛
   み合わせ、上記回転用のハーモニックドライブ減速機の
   第２サーキュラスプラインに取り付けられた出力輪を上
   記回転用の伝達軸に取り付けられた伝達輪に噛み合わせ
   るとともに、上記振り用のハーモニックドライブ減速機
   の第１サーキュラスプラインに取り付けられた連動輪を
   上記旋回軸に固定された上記伝達輪に噛み合わせ、上記
   回転用のハーモニックドライブ減速機の第１サーキュラ
   スプラインに固定された連動輪を上記振り用の伝達軸に
   固定された伝達輪に噛み合わせ、さらに上記の振り用の
   伝達軸、回転用の伝達軸をそれぞれ振り用回転伝達手段
   、回転用伝達手段により上記の振り軸、回転軸に連動さ
   せてなり、 上記旋回軸の駆動時に上記振り軸に対する上記振り用の
   ハーモニックドライブ減速機の減速比および上記振り用
   回転伝達手段の伝達比、上記回転軸に対する上記回転用
   のハーモニックドライブ減速機の減速比および上記回転
   用回転伝達手段の伝達比をいずれも上記旋回軸の回転に
   ともなう不必要な相対運動の打ち消しに必要な値に設定
   し、さらに上記振り軸の駆動時に上記回転軸に対する上
   記回転用のハーモニックドライブ減速機の減速比および
   上記回転用回転伝達手段の伝達比を振り軸の回転にとも
   なう上記回転軸の不必要な相対運動の打ち消しに必要な
   値に設定してなることを特徴とする３軸制御可能なヘッ
   ド駆動装置。