JPH0479180A - イオン化気体発生装置 - Google Patents
イオン化気体発生装置Info
- Publication number
- JPH0479180A JPH0479180A JP19160690A JP19160690A JPH0479180A JP H0479180 A JPH0479180 A JP H0479180A JP 19160690 A JP19160690 A JP 19160690A JP 19160690 A JP19160690 A JP 19160690A JP H0479180 A JPH0479180 A JP H0479180A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- corona discharge
- ions
- container
- pure water
- Prior art date
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- Electrostatic Separation (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野］
本発明は、種々の物体の表面に蓄積した電伺を中和する
ために使われるイオン化気体を発生させる装置に関する
ものである。
ために使われるイオン化気体を発生させる装置に関する
ものである。
Ｋ従来の技術】
イオン化気体発生装置として従来普通に用いられている
ものは、針状の電極と平板状の対極とを適当な距舗を隔
てて対向させ、両電極間に５，０００〜７，０ＯＯＶの
高電圧を印加して不均一電界を形成させることにより針
状電極先端付近でコロナ放電を生じさせるものである。
ものは、針状の電極と平板状の対極とを適当な距舗を隔
てて対向させ、両電極間に５，０００〜７，０ＯＯＶの
高電圧を印加して不均一電界を形成させることにより針
状電極先端付近でコロナ放電を生じさせるものである。
このイオン化気体発生装置においては、コロナ放電の安
定性と発生するイオン化気体の純度の確保が課題であっ
た。即ち、コロナ放電を生じさせる針状電極は放電開始
電圧を低くするため先端を鋭くしであるが、放電による
損耗が激しく、普通便われるタングステン１或いはステ
ンレス製のものは放電によりその針状先端が少しずつ太
くなるから、周辺の電界強度は徐々に低下する。これを
放電するとコロナ放電は次第に弱まり、発生イオン数が
減少するので、電極はしばしば交換する必要があった。
定性と発生するイオン化気体の純度の確保が課題であっ
た。即ち、コロナ放電を生じさせる針状電極は放電開始
電圧を低くするため先端を鋭くしであるが、放電による
損耗が激しく、普通便われるタングステン１或いはステ
ンレス製のものは放電によりその針状先端が少しずつ太
くなるから、周辺の電界強度は徐々に低下する。これを
放電するとコロナ放電は次第に弱まり、発生イオン数が
減少するので、電極はしばしば交換する必要があった。
また、単に性能低下を起こすだけでなく、電極先端の金
属は約０．１〜０．０１μｍの微粒子となって飛散し、
イオン化気体中に入るので、半導体工業などサブミクロ
ンの塵埃も嫌う分野においてはそのままでは使用するこ
とのできない汚染されたイオン化気体を生じてしまう。
属は約０．１〜０．０１μｍの微粒子となって飛散し、
イオン化気体中に入るので、半導体工業などサブミクロ
ンの塵埃も嫌う分野においてはそのままでは使用するこ
とのできない汚染されたイオン化気体を生じてしまう。
Ｋ発明が解決しようとする課題】
そこで本発明の目的は、従来のイオン化気体発生装置よ
りも電極寿命が長く、イオン化気体に金ａｍ粒子が混入
する恐れもないイオン化気体発住装買を提供することに
ある。
りも電極寿命が長く、イオン化気体に金ａｍ粒子が混入
する恐れもないイオン化気体発住装買を提供することに
ある。
Ｋ課題を解決するための手段】
本発明は、コロナ放電によりイオン化気体を発生させる
装置において、コロナ放電電極を該電極の先端方向が解
放構造の電気絶縁体製容器中に配置し、該電気絶縁体製
容器に純水を満して電極先端が純水中に置かれるように
した。
装置において、コロナ放電電極を該電極の先端方向が解
放構造の電気絶縁体製容器中に配置し、該電気絶縁体製
容器に純水を満して電極先端が純水中に置かれるように
した。
Ｋ作 用）
本発明のイオン化気体発生装置によりイオン化気体を発
生さゼる場合は、電気絶縁体製容器に純水を供給してコ
ロナ放電電極先端が純水中に置かれるようにし、その状
態でコロナ放電電極と対極との間に約３，０ＯＯＶ以上
の高電圧を印加する。強い電界が形成されたコロナ放電
電極先端付近では水分子がＨ“イオンと叶１イオンに解
離し、対極と反対極性のイオンが対極に引かれて容器間
隙から空気中に出る。水の分子は酸素や窒素よりもイオ
ン化しやすいので、電極が空気中にある場合よりも低い
電圧で多量のイオンが発生する。
生さゼる場合は、電気絶縁体製容器に純水を供給してコ
ロナ放電電極先端が純水中に置かれるようにし、その状
態でコロナ放電電極と対極との間に約３，０ＯＯＶ以上
の高電圧を印加する。強い電界が形成されたコロナ放電
電極先端付近では水分子がＨ“イオンと叶１イオンに解
離し、対極と反対極性のイオンが対極に引かれて容器間
隙から空気中に出る。水の分子は酸素や窒素よりもイオ
ン化しやすいので、電極が空気中にある場合よりも低い
電圧で多量のイオンが発生する。
Ｋ実 加 例】
図示した実施例のコロナ放電電極１装肴部は、ガラス製
の漏斗状容器２の先端を細くして毛細間隙３とし、反対
側には密閉蓋４を嵌看し、全体を水平に配置したものの
中に、タングステン製の針状コロナ放電電極１を密閉蓋
４側から毛細間隙３方向に針状先端１ａを向けて固定し
、またパイプ５を通して純水Ｗを供給できるようにした
ものである。尚、容器２内の純水Ｗには該純水が毛細間
隙３から押し出されるほどの水圧は加えられない。
の漏斗状容器２の先端を細くして毛細間隙３とし、反対
側には密閉蓋４を嵌看し、全体を水平に配置したものの
中に、タングステン製の針状コロナ放電電極１を密閉蓋
４側から毛細間隙３方向に針状先端１ａを向けて固定し
、またパイプ５を通して純水Ｗを供給できるようにした
ものである。尚、容器２内の純水Ｗには該純水が毛細間
隙３から押し出されるほどの水圧は加えられない。
バイブ５からは放電による消耗量に応じた量の純水が補
給されるだけである。対極６はステンレス製の平板状の
ものである。コロナ放電電極１装着部と対極６は、針状
コロナ放電電極１が対極６の中心を向く配置で、断面正
方形のダクト７の対向壁に固定されている。ダクト７の
上部には送風機８および高性能エアフィルタ９があり、
上述の電極設置領域に清浄化空気を送るようになってい
る。
給されるだけである。対極６はステンレス製の平板状の
ものである。コロナ放電電極１装着部と対極６は、針状
コロナ放電電極１が対極６の中心を向く配置で、断面正
方形のダクト７の対向壁に固定されている。ダクト７の
上部には送風機８および高性能エアフィルタ９があり、
上述の電極設置領域に清浄化空気を送るようになってい
る。
これらの外に、図示してない高圧電源装置があり、コロ
ナ放電電極１と対極６との間にコロナ放電維持に必要な
高電圧を印加することができる。
ナ放電電極１と対極６との間にコロナ放電維持に必要な
高電圧を印加することができる。
電極の極性は、必要とするイオン化気体の種類に応じて
変更する。即ち、＋イオンを必要とする場合はコロナ放
電電極１側を十とし、−イオンを必要とする場合はコロ
ナ放電電極１側を−にする。
変更する。即ち、＋イオンを必要とする場合はコロナ放
電電極１側を十とし、−イオンを必要とする場合はコロ
ナ放電電極１側を−にする。
＋イオンと一イオンの両方を発生させたい場合は、交流
高電圧を印加する。コロナ放電を維持するのに必要な電
圧は約３，０００〜ｓ、ｏｏｏｖであり、従来の、水を
用いないイオン化気体発生装置においては５０００〜７
，０ＯＯＶを要していたのと比べるとずっと低くて済む
。
高電圧を印加する。コロナ放電を維持するのに必要な電
圧は約３，０００〜ｓ、ｏｏｏｖであり、従来の、水を
用いないイオン化気体発生装置においては５０００〜７
，０ＯＯＶを要していたのと比べるとずっと低くて済む
。
十イオンを発生させる場合についてさらに説明すると、
送風機８を作動させて清浄化空気を電極設置領域に流し
た状態でコロナ放電電極１を＋、対極６を−とする高電
圧を印加する。これにより、コロナ放電電極１の先端付
近には強い不均一電界が形成されてコロナ放電が始まる
。このとき水分子はＨ＋イオンと叶−イオンに解離し、
叶−イオンはコロナ放電電極１に引かれるがＨ＋イオン
は対極６に引かれて毛細間隙３から容器４外に出、大部
分が清浄化空気流に乗って図面下方に送り出される。
送風機８を作動させて清浄化空気を電極設置領域に流し
た状態でコロナ放電電極１を＋、対極６を−とする高電
圧を印加する。これにより、コロナ放電電極１の先端付
近には強い不均一電界が形成されてコロナ放電が始まる
。このとき水分子はＨ＋イオンと叶−イオンに解離し、
叶−イオンはコロナ放電電極１に引かれるがＨ＋イオン
は対極６に引かれて毛細間隙３から容器４外に出、大部
分が清浄化空気流に乗って図面下方に送り出される。
毛細間隙３の大きさによってはイオン化してない純水Ｗ
が霧状になって飛び出すことがあるが、それがイオン化
気体の利用上障害になるときは、電気ヒータで加熱する
などの方法により水滴を気化させればよい。
が霧状になって飛び出すことがあるが、それがイオン化
気体の利用上障害になるときは、電気ヒータで加熱する
などの方法により水滴を気化させればよい。
上記実施例ではコロナ放電電極１は単一の針状電極から
なるものであったが、該電極は必要に応じて複数本を平
行に配置してイオン発生能力を高めることができる。そ
の場合は、スリット状の毛細間隙を設けた絶縁材製容器
内に、該スリット状毛細間隙に先端を向けて針状コロナ
放電電極を並列配電するとよい。
なるものであったが、該電極は必要に応じて複数本を平
行に配置してイオン発生能力を高めることができる。そ
の場合は、スリット状の毛細間隙を設けた絶縁材製容器
内に、該スリット状毛細間隙に先端を向けて針状コロナ
放電電極を並列配電するとよい。
Ｋ光明の効果）
本弁明のイオン化気体発生ａｌｌは上述のようにコロナ
放電電極を該電極の先端方向が解散構造の電気絶縁体製
容器中に配置し、該電気絶縁体製容器に純水を満して電
極先端が純水中に置かれるようにしたものであるから、
従来のイオン化気体発生装置に比べると低部電圧で多量
のイオンを発生させることができる。
放電電極を該電極の先端方向が解散構造の電気絶縁体製
容器中に配置し、該電気絶縁体製容器に純水を満して電
極先端が純水中に置かれるようにしたものであるから、
従来のイオン化気体発生装置に比べると低部電圧で多量
のイオンを発生させることができる。
また、純水中に置かれた電極は微粒子化して飛散するこ
とがないから、電極寿命が長く、長時間安定したイオン
化能力を発揮する。さらに、イオン化気体に電極由来の
金属微粒子が混入しないから、金属微粒子の混在を嫌う
用途にもそのまま使用することができる。
とがないから、電極寿命が長く、長時間安定したイオン
化能力を発揮する。さらに、イオン化気体に電極由来の
金属微粒子が混入しないから、金属微粒子の混在を嫌う
用途にもそのまま使用することができる。
図面は本発明の実施例の要部を示す縦断面略図である。
１・・・コロナ放電電極、 ２・・・ガラス製容器。
Claims (1)
- １、コロナ放電によりイオン化気体を発生させる装置に
おいて、コロナ放電電極を該電極の先端方向が解放構造
の電気絶縁体製容器中に配置し、該電気絶縁体製容器に
純水を満して電極先端が純水中に置かれるようにしたこ
とを特徴とするイオン化気体発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19160690A JPH0632259B2 (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | イオン化気体発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19160690A JPH0632259B2 (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | イオン化気体発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0479180A true JPH0479180A (ja) | 1992-03-12 |
| JPH0632259B2 JPH0632259B2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=16277437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19160690A Expired - Lifetime JPH0632259B2 (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | イオン化気体発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632259B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002203657A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-19 | Daikin Ind Ltd | イオン発生器 |
| JP2003024764A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-28 | Japan Science & Technology Corp | ガス発生装置 |
| US9041406B2 (en) | 2012-07-02 | 2015-05-26 | Denso Corporation | Insulation deterioration detection apparatus |
| JP2019147151A (ja) * | 2014-02-18 | 2019-09-05 | ブルーエアー・エービー | イオン化手段を備えた空気清浄装置 |
-
1990
- 1990-07-19 JP JP19160690A patent/JPH0632259B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002203657A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-19 | Daikin Ind Ltd | イオン発生器 |
| JP2003024764A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-28 | Japan Science & Technology Corp | ガス発生装置 |
| US9041406B2 (en) | 2012-07-02 | 2015-05-26 | Denso Corporation | Insulation deterioration detection apparatus |
| JP2019147151A (ja) * | 2014-02-18 | 2019-09-05 | ブルーエアー・エービー | イオン化手段を備えた空気清浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0632259B2 (ja) | 1994-04-27 |
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