JPH0474470A - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
固体撮像装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH0474470A JPH0474470A JP2189090A JP18909090A JPH0474470A JP H0474470 A JPH0474470 A JP H0474470A JP 2189090 A JP2189090 A JP 2189090A JP 18909090 A JP18909090 A JP 18909090A JP H0474470 A JPH0474470 A JP H0474470A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- lens
- entire surface
- micro
- acrylic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は固体撮像素子、特にカラー固体撮像素子上に個
別の高集光率マイクロレンスを形成する工程をもつ固体
撮像装置の製造方法に関するものである。
別の高集光率マイクロレンスを形成する工程をもつ固体
撮像装置の製造方法に関するものである。
従来の技術
近年、固体撮像装置は、固体撮像素子か有する小型、軽
量、長寿命、低残像、低消費電力なとの優れた特長のた
めに、ビデオムービーやスチルカメラなとの受光素子と
して利用されている。
量、長寿命、低残像、低消費電力なとの優れた特長のた
めに、ビデオムービーやスチルカメラなとの受光素子と
して利用されている。
以下、図面を参照しながら従来の固体撮像装置の製造方
法について説明する。
法について説明する。
第２図は従来の固体撮像装置のマイクロレンズ形成工程
の一例を示した工程順断面図である。
の一例を示した工程順断面図である。
第２図ｆａｔにおいて、ＣＣＤ固体撮像素子基板］およ
びフォトダイオート２の凹凸表面上に透明樹脂を全面回
転塗布したのちに加熱乾燥させて第１透明平坦膜７を形
成する。
びフォトダイオート２の凹凸表面上に透明樹脂を全面回
転塗布したのちに加熱乾燥させて第１透明平坦膜７を形
成する。
第２図ｔｂ＋において、第１透明平坦膜７上に白色光を
分光するための薄膜カラーフィルター４を形成する。
分光するための薄膜カラーフィルター４を形成する。
第２図ｆｃｌにおいて、薄膜カラーフィルター４の凹凸
表面上に、透明樹脂を全面回転塗布したのちに加熱乾燥
させて第２透明平坦膜８を形成する。
表面上に、透明樹脂を全面回転塗布したのちに加熱乾燥
させて第２透明平坦膜８を形成する。
第２図ｆｄｌにおいて、第２透明平坦膜８上にネガ型紫
外線感光性透明樹脂を全面回転塗布したのちに低温乾燥
して紫外線感光性透明膜９を形成する。
外線感光性透明樹脂を全面回転塗布したのちに低温乾燥
して紫外線感光性透明膜９を形成する。
第２図（ｅ＋において、紫外線感光性透明膜９に紫外線
の選択露光および現像をおこなってマイクロレンズの下
地となる所望の立体形状を形成する。
の選択露光および現像をおこなってマイクロレンズの下
地となる所望の立体形状を形成する。
第２図ｔｆ＋において、紫外線感光性透明膜９の立体形
状上および第２透明平坦膜８上に透明保護膜１０を全面
回転塗布したのちに加熱乾燥することによって所望とす
るマイクロレンズ形状を形成する。
状上および第２透明平坦膜８上に透明保護膜１０を全面
回転塗布したのちに加熱乾燥することによって所望とす
るマイクロレンズ形状を形成する。
第３図は従来の固体撮像装置のマイクロレンズ形成工程
の他の例を示した工程順断面図である。
の他の例を示した工程順断面図である。
第３図（ａｌにおいて、ＣＣＤＣＤ固体素像素子基板１
びフォトダイオード２の凹凸表面上に透明樹脂を全面回
転塗布したのちに加熱乾燥させて第１透明平坦膜７を形
成する。
びフォトダイオード２の凹凸表面上に透明樹脂を全面回
転塗布したのちに加熱乾燥させて第１透明平坦膜７を形
成する。
第３図ｔｂ＋において、第１透明平坦膜７上に白色光を
分光するための薄膜カラーフィルター４を形成する。
分光するための薄膜カラーフィルター４を形成する。
第３図ｔｃ）において、薄膜カラーフィルター４の凹凸
表面上に、透明樹脂を全面回転塗布したのちに加熱乾燥
させて第２透明平坦膜８を形成する。
表面上に、透明樹脂を全面回転塗布したのちに加熱乾燥
させて第２透明平坦膜８を形成する。
第３図ｆｄｉにおいて、第２透明平坦膜８上にマイクロ
レンズ材料６を全面回転塗布したのちに低温で乾燥させ
る。
レンズ材料６を全面回転塗布したのちに低温で乾燥させ
る。
第３図ｔｅ＋において、マイクロレンズ材料６に紫外線
の選択露光および現像をおこなって所望の立体形状を形
成する。
の選択露光および現像をおこなって所望の立体形状を形
成する。
第３図（ｆ）において、マイクロレンズ材料６の立体形
状上および第２透明平坦膜８上に紫外線の全面露光をお
こなって可視光領域の透過率を向上させる。
状上および第２透明平坦膜８上に紫外線の全面露光をお
こなって可視光領域の透過率を向上させる。
第３図ｔｇ＋において、マイクロレンズ材料６を２００
０Ｃ以上で熱処理することによって硬化収縮をおこない
、マイクロレンズ形状を形成する。
０Ｃ以上で熱処理することによって硬化収縮をおこない
、マイクロレンズ形状を形成する。
発明か解決しようとする課題
しかしながら、上記のような構成では、第２図ｆ）のよ
うに、紫外線感光性透明膜９の立体形状上および第２透
明平坦膜８上に透明保護膜１０を全面回転塗布してマイ
クロレンズ形状を形成しティるために、紫外線感光性透
明膜９の立体形状上に形＋ｆｆｌしたマイクロレンズか
十分に大きな曲率をもつことかできすフォトタイオート
２へのレノ２、集光率を十分に高めることかできないと
いった問題を有していた。
うに、紫外線感光性透明膜９の立体形状上および第２透
明平坦膜８上に透明保護膜１０を全面回転塗布してマイ
クロレンズ形状を形成しティるために、紫外線感光性透
明膜９の立体形状上に形＋ｆｆｌしたマイクロレンズか
十分に大きな曲率をもつことかできすフォトタイオート
２へのレノ２、集光率を十分に高めることかできないと
いった問題を有していた。
また、第３図（ｇ）のように、マイクロレンズ材料６の
耐溶剤性および耐衝撃性な七の信頼性を向上させるため
に、２００℃以上の高温て熱処理すると、加熱変形は熱
可塑性の方か熱硬化性より優先的に起こるために、厚み
のある十分に大きな曲率をもったマイクロレンズを形成
することかできず、フォトダイオード２へのレンズ集光
率を十分に高めることかできないといった問題を有して
いた。
耐溶剤性および耐衝撃性な七の信頼性を向上させるため
に、２００℃以上の高温て熱処理すると、加熱変形は熱
可塑性の方か熱硬化性より優先的に起こるために、厚み
のある十分に大きな曲率をもったマイクロレンズを形成
することかできず、フォトダイオード２へのレンズ集光
率を十分に高めることかできないといった問題を有して
いた。
本発明は上記欠点に鑑み、マイクロレンズ材料６を中温
および高温の２段階に分けて加熱することによって信頼
性か高く、しかも十分に大きな曲率をもったマイクロレ
ンズを形成することかでき、フォトダイオード２へのレ
ンズ集光率を十分に高めることかできる固体撮像装置の
製造方法を提供するものである。
および高温の２段階に分けて加熱することによって信頼
性か高く、しかも十分に大きな曲率をもったマイクロレ
ンズを形成することかでき、フォトダイオード２へのレ
ンズ集光率を十分に高めることかできる固体撮像装置の
製造方法を提供するものである。
課題を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために、本発明の固体撮像装置の
製造方法は、固体撮像素子上に透明樹脂を全面塗布して
加熱乾燥することを繰り返す工程と、前記透明樹脂上に
感光性レノストを全面塗布して低温で加熱乾燥する工程
と、前記感光性レジストを選択露光して所望のパターン
を形成する工程と、前記パターンを全面露光する工程と
、前記パターンを中温で加熱処理してマイクロレンズを
形成する工程と、前記マイクロレンズを高温で加熱処理
する工程とて構成されている。
製造方法は、固体撮像素子上に透明樹脂を全面塗布して
加熱乾燥することを繰り返す工程と、前記透明樹脂上に
感光性レノストを全面塗布して低温で加熱乾燥する工程
と、前記感光性レジストを選択露光して所望のパターン
を形成する工程と、前記パターンを全面露光する工程と
、前記パターンを中温で加熱処理してマイクロレンズを
形成する工程と、前記マイクロレンズを高温で加熱処理
する工程とて構成されている。
作用
この構成によって、信頼性か高く、しかも十分に大きな
曲率をもったマイクロレンズを形成することかでき、フ
ォトダイオードへのレンズ集光率を十分に高めることか
できる。
曲率をもったマイクロレンズを形成することかでき、フ
ォトダイオードへのレンズ集光率を十分に高めることか
できる。
実施例
以下、本発明の一実施例について図面を参照しなから説
明する。
明する。
第１図は、本発明の〜実施例の固体撮像装置のマイクロ
レンズ形成工程を示した工程順断面図である。第１図（
ａｌにおいて、１はＣＣＤ固体撮像素子基板である。２
は入射光を電気信号に変換するためのフォトダイオード
である。３はＣＣＤ固体撮像素子基板１の凹凸を平坦化
するための第１アクリル平坦膜である。第１図（ｂ＋に
おいて、４は入射光を分光するための薄膜カラーフィル
ターである。第１図（Ｃ）において、５は薄膜カラーフ
ィルター４の凹凸を平坦化するための第２アクリル平坦
膜である。第１図（ｄ）において、６はボン型紫外線感
光性レジストで、しかも３００ｍＪ／ａｄ以上の紫外線
露光によって可視光領域の透過率か全域にわたって９０
％以上に向上し、さらに１３０〜２８０℃の加熱処理に
よって熱可塑性による形状変化と熱硬化性による形状固
定とか同時に進行して両者の進行差によって形状か決定
されるという性質をもったナフトキノン／アンドを感光
基とするフェノール系のマイクロレンズ材料である。
レンズ形成工程を示した工程順断面図である。第１図（
ａｌにおいて、１はＣＣＤ固体撮像素子基板である。２
は入射光を電気信号に変換するためのフォトダイオード
である。３はＣＣＤ固体撮像素子基板１の凹凸を平坦化
するための第１アクリル平坦膜である。第１図（ｂ＋に
おいて、４は入射光を分光するための薄膜カラーフィル
ターである。第１図（Ｃ）において、５は薄膜カラーフ
ィルター４の凹凸を平坦化するための第２アクリル平坦
膜である。第１図（ｄ）において、６はボン型紫外線感
光性レジストで、しかも３００ｍＪ／ａｄ以上の紫外線
露光によって可視光領域の透過率か全域にわたって９０
％以上に向上し、さらに１３０〜２８０℃の加熱処理に
よって熱可塑性による形状変化と熱硬化性による形状固
定とか同時に進行して両者の進行差によって形状か決定
されるという性質をもったナフトキノン／アンドを感光
基とするフェノール系のマイクロレンズ材料である。
以上のように構成された固体撮像装置のマイクロレンズ
形成工程について、以下、その動作を説明する。
形成工程について、以下、その動作を説明する。
第１図ｆａｔにおいて、ＣＣＤ固体撮像素子基板１およ
びフォトダイオード２の凹凸表面上にアクリル樹脂を全
面回転塗布したのちに加熱乾燥させて第１アクリル平坦
膜３を形成する。
びフォトダイオード２の凹凸表面上にアクリル樹脂を全
面回転塗布したのちに加熱乾燥させて第１アクリル平坦
膜３を形成する。
第１図ｉｂ）において、第１アクリル平坦膜３上に白色
光を分光するための薄膜カラーフィルター４を形成する
。
光を分光するための薄膜カラーフィルター４を形成する
。
第１図に）において、薄膜カラーフィルター４の凹凸表
面上に、アクリル樹脂を全面回転塗布したのちに２００
〜２５０℃で加熱乾燥する、塗布・乾燥工程を２〜５回
繰り返すことによって平坦性の高い第２アクリル平坦膜
５を形成する。
面上に、アクリル樹脂を全面回転塗布したのちに２００
〜２５０℃で加熱乾燥する、塗布・乾燥工程を２〜５回
繰り返すことによって平坦性の高い第２アクリル平坦膜
５を形成する。
第１図ｔｄ）において、第２アクリル平坦膜５上にマイ
クロレンズ材料６を０．５μｍ以上の厚さになるように
全面回転塗布したのちに１００〜１２０ ’Ｃで低温乾
燥させる。
クロレンズ材料６を０．５μｍ以上の厚さになるように
全面回転塗布したのちに１００〜１２０ ’Ｃで低温乾
燥させる。
第１ 図ｔｅｌにおいて、マイクロレンズ材料６にｇ線
の選択露光を５０〜５００ｍＪ／ｃｒ／の範囲ておこな
ったのちに現像をおこなって所望の立体形状を形成する
。
の選択露光を５０〜５００ｍＪ／ｃｒ／の範囲ておこな
ったのちに現像をおこなって所望の立体形状を形成する
。
第１図げ）において、マイクロレンズ材料６の立体形状
上および前記第２アクリル平坦膜５上にｇ線の全面露光
を３００ｍｊ、／ｃ＋ｒｆ以上おこなって可視光領域の
透過率を全領域で９０％以上に向上させる。
上および前記第２アクリル平坦膜５上にｇ線の全面露光
を３００ｍｊ、／ｃ＋ｒｆ以上おこなって可視光領域の
透過率を全領域で９０％以上に向上させる。
第１図＋ｇ＋において、マイクロレンズ材料６ ヲ１３
０〜１８０℃の中温で加熱して熱可塑性と熱硬化性の両
性質を制御することによって所望とする十分に大きな曲
率をもったマイクロレンズを形成する。
０〜１８０℃の中温で加熱して熱可塑性と熱硬化性の両
性質を制御することによって所望とする十分に大きな曲
率をもったマイクロレンズを形成する。
第１図ｔｈｌにおいて、マイクロレンズ材料６を１９０
〜２８０℃の高温で熱処理することによって耐溶剤性お
よび耐熱衝撃性なとの信頼性を向上させる。
〜２８０℃の高温で熱処理することによって耐溶剤性お
よび耐熱衝撃性なとの信頼性を向上させる。
以上のように本実施例によれば、第１図＋ｇ＋および第
１図（ｈｌのように、マイクロレンズ材料６の熱処理を
１３０〜１８０℃の中温および１９０〜２８０℃の高温
の２段階きすることによって、耐溶剤性および耐熱衝撃
性なとの信頼性の向上をはかることかでき、かつ十分に
大きな曲率をもったマイクロレンズを形成できてフォト
タイオートへのレンズ集光率の向上をはかることかでき
る。
１図（ｈｌのように、マイクロレンズ材料６の熱処理を
１３０〜１８０℃の中温および１９０〜２８０℃の高温
の２段階きすることによって、耐溶剤性および耐熱衝撃
性なとの信頼性の向上をはかることかでき、かつ十分に
大きな曲率をもったマイクロレンズを形成できてフォト
タイオートへのレンズ集光率の向上をはかることかでき
る。
なお、実施例では平坦膜としてアクリル樹脂を用いたか
、平坦膜は、アクリル樹脂に限定されるものではなく、
可視光透過性の高い耐熱性樹脂であればよい。また、薄
膜カラーフィルターとしては、セラチンやカゼインなと
を染色しｆ：薄膜あるいは染料含有感光性レンズトナと
か考えられる。
、平坦膜は、アクリル樹脂に限定されるものではなく、
可視光透過性の高い耐熱性樹脂であればよい。また、薄
膜カラーフィルターとしては、セラチンやカゼインなと
を染色しｆ：薄膜あるいは染料含有感光性レンズトナと
か考えられる。
さらにマイクロレンズ材料６としてナフトキノン／アン
ドを感光基とするフェノール系のボン型レジストを用い
たか、マイクロレンズ材料はナフトキノンジアンドを感
光基とするフェノール系のボン型レジストに限定される
ものではなく、下地平坦膜との密着性かよく選択露光に
よって微細パターンか形成できかつ露光によって可視光
領域の透過率か全域にわたって９０％以上あり、熱処理
によって熱可塑性による形状変化と熱硬化性よる形状固
定とか同時に進行して両者の進行差によって形状か決定
され、耐溶剤性なとの信頼性か良好であるといった性質
をもった感光性レノストであればよい。
ドを感光基とするフェノール系のボン型レジストを用い
たか、マイクロレンズ材料はナフトキノンジアンドを感
光基とするフェノール系のボン型レジストに限定される
ものではなく、下地平坦膜との密着性かよく選択露光に
よって微細パターンか形成できかつ露光によって可視光
領域の透過率か全域にわたって９０％以上あり、熱処理
によって熱可塑性による形状変化と熱硬化性よる形状固
定とか同時に進行して両者の進行差によって形状か決定
され、耐溶剤性なとの信頼性か良好であるといった性質
をもった感光性レノストであればよい。
発明の効果
以上のように本発明によれば、ナフトキ７ノノアンドを
感光基とするフェノール系のマイクロレンズ材料の熱処
理を１３０〜１８０℃の中温および１９０〜２８０℃の
高温の２段階とすることによって、耐溶剤性および耐熱
衝撃性なとの信頼性の向上とマイクロレンズの曲率を制
御し、フォトダイオードへのレンズ集光率の向上をはか
ることかでき、その実用的効果は犬なるものかある。
感光基とするフェノール系のマイクロレンズ材料の熱処
理を１３０〜１８０℃の中温および１９０〜２８０℃の
高温の２段階とすることによって、耐溶剤性および耐熱
衝撃性なとの信頼性の向上とマイクロレンズの曲率を制
御し、フォトダイオードへのレンズ集光率の向上をはか
ることかでき、その実用的効果は犬なるものかある。
第１図は本発明の一実施例の固体撮像装置のマイクロレ
ンズ形成工程順断面図、第２図および第３図は従来各側
の固体撮像装置のマイクロレンズ形成工程順断面図であ
る。 １・・・・・・ＣＣＤ固体撮像素子基板、２・・・・・
・フォトダイオード、３・・・・・・第１アクリル平坦
膜、４・・・薄膜カラーフィルター ５・・・・・・第
２アクリル平坦膜、６・・・・・・マイクロレンズ材料
、７・・・・・・第１透明平坦膜、８・・・・・・第２
透明平坦膜、９・・・・・・紫外線感光性透明膜、１０
・・・・・・透明保護膜。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１８第 １ メ グ ＣＣＤＨＪ榊−１阪儂拳）１嘔もに２フイトフイオ
ート ３ 閉ｆアグゾ・秤ｊＥＬＭ灸 第２図 ５ 足２アクリルイ担膜 第２ 図 第 図
ンズ形成工程順断面図、第２図および第３図は従来各側
の固体撮像装置のマイクロレンズ形成工程順断面図であ
る。 １・・・・・・ＣＣＤ固体撮像素子基板、２・・・・・
・フォトダイオード、３・・・・・・第１アクリル平坦
膜、４・・・薄膜カラーフィルター ５・・・・・・第
２アクリル平坦膜、６・・・・・・マイクロレンズ材料
、７・・・・・・第１透明平坦膜、８・・・・・・第２
透明平坦膜、９・・・・・・紫外線感光性透明膜、１０
・・・・・・透明保護膜。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１８第 １ メ グ ＣＣＤＨＪ榊−１阪儂拳）１嘔もに２フイトフイオ
ート ３ 閉ｆアグゾ・秤ｊＥＬＭ灸 第２図 ５ 足２アクリルイ担膜 第２ 図 第 図
Claims (1)
- 固体撮像素子上に、透明樹脂を全面塗布して加熱乾燥
することを繰り返す工程と、前記透明樹脂上に感光性レ
ジストを全面塗布して低温で加熱乾燥する工程と、前記
感光性レジストを選択露光して所望のパターンを形成す
る工程と、前記パターンを全面露光する工程と、前記パ
ターンを中温で加熱処理してマイクロレンズを形成する
工程と、前記マイクロレンズを高温で加熱処理する工程
とを有することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2189090A JP2604890B2 (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 固体撮像装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2189090A JP2604890B2 (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 固体撮像装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474470A true JPH0474470A (ja) | 1992-03-09 |
| JP2604890B2 JP2604890B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=16235164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2189090A Expired - Fee Related JP2604890B2 (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2604890B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0741418A2 (en) * | 1995-05-02 | 1996-11-06 | Matsushita Electronics Corporation | Solid state imaging device and production method for the same |
| JP2006295125A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置及びその製造方法並びにカメラ |
| US8139131B2 (en) | 2005-01-18 | 2012-03-20 | Panasonic Corporation | Solid state imaging device and fabrication method thereof, and camera incorporating the solid state imaging device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7978255B2 (en) | 2007-10-11 | 2011-07-12 | Nikon Corporation | Solid-state image sensor and image-capturing device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0412568A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-17 | Sharp Corp | 固体撮像装置の製造方法 |
-
1990
- 1990-07-16 JP JP2189090A patent/JP2604890B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0412568A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-17 | Sharp Corp | 固体撮像装置の製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0741418A2 (en) * | 1995-05-02 | 1996-11-06 | Matsushita Electronics Corporation | Solid state imaging device and production method for the same |
| EP0741418A3 (en) * | 1995-05-02 | 1998-06-03 | Matsushita Electronics Corporation | Solid state imaging device and production method for the same |
| US5976907A (en) * | 1995-05-02 | 1999-11-02 | Matsushita Electronics Corporation | Solid state imaging device and production method for the same |
| JP2006295125A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置及びその製造方法並びにカメラ |
| US8139131B2 (en) | 2005-01-18 | 2012-03-20 | Panasonic Corporation | Solid state imaging device and fabrication method thereof, and camera incorporating the solid state imaging device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2604890B2 (ja) | 1997-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06232379A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JP2776810B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| JPS6038989A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| WO2007020733A1 (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 | |
| JP2945440B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| JPH0474470A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| JPH03286566A (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
| TW548431B (en) | Microlens array and fabrication method thereof | |
| JP2000307090A (ja) | 固体撮像素子用マイクロレンズアレイ及びそれを用いた固体撮像素子並びにそれらの製造方法 | |
| JP4465750B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
| JP5027081B2 (ja) | カラー撮像デバイスおよびカラー撮像デバイスの製造方法 | |
| JP2969842B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
| JP2003258224A (ja) | 固体撮像素子及びその製造方法 | |
| JP2892865B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
| JP3776483B2 (ja) | 集光性フィルタ−およびその製造法 | |
| JP3598855B2 (ja) | 固体撮像素子及びその製造方法 | |
| JPH03190167A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPH06112456A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| JPH0474471A (ja) | マイクロレンズの作製方法 | |
| JP3035955B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
| JPS6213067A (ja) | レンズ領域を有する固体撮像装置 | |
| JPH03152973A (ja) | 固体撮像素子の製法 | |
| JP2518955B2 (ja) | 固体撮像素子のマイクロレンズ形成方法 | |
| JPH0444266A (ja) | 固体撮像素子のマイクロレンズ形成方法 | |
| JPH03218067A (ja) | 固体撮像素子用マイクロレンズの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080129 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100129 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |