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JPH045164B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH045164B2
JPH045164B2 JP58069624A JP6962483A JPH045164B2 JP H045164 B2 JPH045164 B2 JP H045164B2 JP 58069624 A JP58069624 A JP 58069624A JP 6962483 A JP6962483 A JP 6962483A JP H045164 B2 JPH045164 B2 JP H045164B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
refractive index
mirror
contact
layers
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP58069624A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS59195205A (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP6962483A priority Critical patent/JPS59195205A/ja
Publication of JPS59195205A publication Critical patent/JPS59195205A/ja
Publication of JPH045164B2 publication Critical patent/JPH045164B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/28Interference filters
    • G02B5/285Interference filters comprising deposited thin solid films

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 発明の分野 本発明は電子写真複写機用のフイルタを兼ねた
結像系のミラーに関する。
(ロ) 発明の背景 電子写真複写機において、感光体としてSe−
As感光体、アモルフアスシリコン感光体等を用
いる場合、これらの感光体が波長550nm付近を
中心として長波長側にも短波長側にも感度を有し
ているため、ハロゲンランプ等の白色光源を用い
ると、原稿における赤色及び青色の部分の写りが
悪くなると云う問題がある。この対策として通常
は色ガラスフイルタ或は干渉膜フイルタを組合せ
て、短波長側の光と長波長側の光を夫々カツトす
るようにしているが、フイルタを2枚以上組合せ
るので、光量の損失が増し、コストも上昇すると
云う難点があつた。この点はバンドパスフイルタ
の特性を持たせた多層膜ミラーを用いることによ
つて一応解決できるが、従来の多層膜ミラーのバ
ンドパスフイルタでは特性上不満足な点があつ
た。この点についてもう少し詳しく説明する。
第1図は従来の多層膜ミラーの膜構成を示す。
Gはガラス基板で、Aは外部の空気領域である。
Hは高屈折率層、Lは低屈折率層で、各層は図示
のように全部λp/4の光学的厚さ(実際の厚さに
屈折率を掛けた値)になつている。こゝでλpは反
射域の中心波長である。層の構成はガラス基板に
接する層と空気に接する層が高屈折率で、その間
はH,L各層が交互に重なつている。このような
膜構成のミラーの分光反射率特性を第2図に示
す。同図に示されているように反射特性はバンド
パスフイルタの特性を呈しているが、バンド域の
両側にリツプルが現れている。このリツプル部分
は感光体が感光するので、原稿の赤色部及び青色
部の再現性は余り改善されない。
第2図に示されるような分光反射特性の改善の
試みもなされている。第3図がその一例で、第1
図の膜構成で、ガラス基板に接するH層と空気に
接するH層とを夫々光学的厚さをλp/8にしたも
のである。このようにすると分光反射率特性は第
4図のようになり、長波長側のリツプルは消える
が短波長側のリツプルは第1図の構成より却つて
強められてしまう。第3図の膜構成でHとLを入
れ換えた関係の構成にすると、今度は短波長側の
リツプルは除去されるが長波長側のリツプルが第
2図の特性より増強されてしまう。
(ハ) 目的 本発明は電子写真複写機において、多層膜ミラ
ーを用いる場合の分光反射率特性の改善を目的と
する。
(ニ) 構成 本発明はガラス基板に接する層を高屈折率、空
気に接する層を低屈折率とし、中間に高、低各屈
折率の層を交互に偶数層重ねて配置し、ガラス基
板に接する層と空気に接する層の光学的厚さを
λp/8、ガラス基板に接するH層に接する次の低
屈折率層の光学的厚さをλp/4以下、他の各層の
光学的厚さをλp/4とした多層膜ミラーを提供す
る。
(ホ) 実施例 第5図及び第6図に本発明の一実施例を示す。
第1図と同じくGはガラス基板、Aは外部の空
気、Hは高屈折率層、Lは低屈折率層である。以
下説明の便宜上各層に番号をつけ、ガラス基板G
に接する層から順番に第1層、第2層等と呼び、
最後の空気に接する層を最外層と呼ぶことにす
る。また高屈折率層はH層、低屈折率層はL層と
呼び、層の厚さは一々断らないが光学的厚さを示
す。λpは設計波長で例えば550nmに選定される。
H層としてはZrO2、TiO2、ZnS、CeO2等を用
いる。L層としてはMgF2、SiO2、氷晶石等を用
いる。ガラス基板Gの屈折率は1.52程度のものを
用いる。
第5図の実施例は第1層のH層と最外層のL層
とが厚さλp/8、他の層は全部λp/4の層厚にし
てある。第7図がこの実施例のミラーの分光反射
率特性で第2図と比較すれば明らかなようにバン
ド域の両側のリツプルが減少している。
第6図の実施例では第2層のL層の厚さをλp
4より稍薄くし、0.23λpとした。実際問題として
同層の厚さは0.23〜1.2λpの範囲が好ましい。この
実施例による分光反射率特性を第8図に示す。長
波長側のリツプルが第5図の実施例より更に減少
しているのが認められる。この実施例は長波長側
のリツプルをより一層抑えるのが目的であるが、
第2層を余り薄くして0.2λp以下にすると短波長
側のリツプルが強くなつて来て反射率が25%以上
となり青の再現性が低下して来る。0.23λp
0.25λpの範囲では第5図の実施例との差が余り認
められない。この実施例は第5図のものより赤色
側の再現性をより高めようとしたものであるが、
Se−As感光体の場合、赤色光だけでなく、近赤
外光にかけて感度を有し、単に赤色部分の再現を
低下させるだけでなく、メモリ効果等の作像プロ
セスに悪影響を与える効果が現れるので、このよ
うな場合に長波長側のリツプルを特に抑えた第6
図の構成が有効となる。
第9図は本発明ミラーを用いた電子写真複写機
の構成の一例を示す。1は原稿台のガラス板、
2,3は走査鏡で、走査鏡3は走査鏡2の移動距
離の半分の距離を移動する。4は結合レンズ、5
が本発明に係るミラーで共に位置固定であり、6
が感光体ドラムである。機能上本発明ミラーは
2,3,5の各ミラーのうち何れに採用されても
よいが、常時結像レンズの近くにあるミラー5が
面積が最も小さくてよいから、ミラー5に本発明
を採用するのが製造上有利である。
(ヘ) 効果 本発明多層膜ミラーは上述したように第1層と
が屈折率において一方がHなら他方がLと云う点
で従来例と異なり、夫々の厚さをλp/8とするこ
とでバンド域の両側のリツプルを従来より低くす
ることに成功し、電子写真の青色、赤色の両方に
おける再現性の改善が2種以上のフイルタを組合
せると云つた面倒さなしに実現でき、更に第2層
の厚さをλp/4以下とすることで、長波長側のリ
ツプルをより一層抑圧し、近赤外まで感度を有す
る感光体におけるメモリ効果の防止も実現でき
た。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の多層膜ミラーの一例の膜構成を
示す図、第2図は上記ミラーの分光反射率特性の
グラフ、第3図は他の従来例のミラーの膜構成を
示す図、第4図は同ミラーの分光反射率特性のグ
ラフ、第5図は本発明の一実施例ミラーの膜構成
図、第6図は本発明の他の実施例ミラーの膜構成
図、第7図は第5図のミラーの分光反射率特性の
グラフ、第8図は第6図のミラーの分光反射率特
性図、第9図は本発明ミラーを用いた電子写真複
写機の一例の要部側面図である。 G……ガラス基板、A……外部空気領域、H…
…高屈折率層、L……低屈折率層。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 ガラス基板に接する第1層を高屈折率、外部
    の空気に接する最外層を低屈折率とし、これら両
    層の光学的厚さを夫々設計波長λpに対してλp/8
    とし、上記両層の間に第1層の側から順に低屈折
    率層と高屈折率層とを交互に偶数層介在させ、こ
    れら介在層において、上記第1層と接する低屈折
    率層の光学的厚さを0.23λp〜0.2λpとし、他の各層
    の光学的厚さをλp/4としたことを特徴とする多
    層膜ミラー。
JP6962483A 1983-04-19 1983-04-19 多層膜ミラ− Granted JPS59195205A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6962483A JPS59195205A (ja) 1983-04-19 1983-04-19 多層膜ミラ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6962483A JPS59195205A (ja) 1983-04-19 1983-04-19 多層膜ミラ−

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59195205A JPS59195205A (ja) 1984-11-06
JPH045164B2 true JPH045164B2 (ja) 1992-01-30

Family

ID=13408204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6962483A Granted JPS59195205A (ja) 1983-04-19 1983-04-19 多層膜ミラ−

Country Status (1)

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JP (1) JPS59195205A (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6374005A (ja) * 1986-09-18 1988-04-04 Hoya Corp 多層膜裏面反射鏡
JP2629693B2 (ja) * 1987-02-26 1997-07-09 松下電器産業株式会社 エキシマレーザ用ミラー
JPH01154001A (ja) * 1987-12-10 1989-06-16 Minolta Camera Co Ltd 光学フイルタ
JP5304892B2 (ja) 2009-05-07 2013-10-02 コニカミノルタ株式会社 光特性測定プローブ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52104138A (en) * 1976-01-20 1977-09-01 Ricoh Co Ltd Short pass filter

Also Published As

Publication number Publication date
JPS59195205A (ja) 1984-11-06

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