JPH0442788A - Driving circuit of ultrasonic motor - Google Patents
Driving circuit of ultrasonic motorInfo
- Publication number
- JPH0442788A JPH0442788A JP2149358A JP14935890A JPH0442788A JP H0442788 A JPH0442788 A JP H0442788A JP 2149358 A JP2149358 A JP 2149358A JP 14935890 A JP14935890 A JP 14935890A JP H0442788 A JPH0442788 A JP H0442788A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic motor
- transformer
- circuit
- primary side
- inductance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、低損失ドライブと低電流リップルを実現する
超音波モータの駆動回路に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an ultrasonic motor drive circuit that achieves low loss drive and low current ripple.
[発明の概要]
本発明は、トランスの一次側でスイッチングを行う超音
波モータの駆動回路において、そのトランスの一次側に
インダクタンス素子を介して電源を供給し、その二次側
の負荷になる超音波モータの直列共振系を利用し、正弦
波による電圧共振型のスイッチングドライブを行い、七
ロクロススイノチングを可能とすることにより、損失と
電源電流す、プルの少ない正弦波駆動を実現できるよう
にしたものである。[Summary of the Invention] The present invention provides an ultrasonic motor drive circuit that performs switching on the primary side of a transformer. By using the series resonance system of the sonic motor to perform voltage resonance type switching drive using sine waves and enabling seven-way cross switching, it is possible to realize sine wave drive with less loss, power supply current, and pull. This is what I did.
[従来の技術]
従来より、セラミ、クス振動子等の圧電素子に、その共
振周波数近辺の駆動信号を印加して超音波振動を生しさ
せ、回転運動を得る超音波モータか実用化されている。[Prior Art] Conventionally, ultrasonic motors have been put into practical use that generate rotational motion by applying a drive signal near the resonance frequency to a piezoelectric element such as a ceramic or glass vibrator to generate ultrasonic vibrations. There is.
超音波モータは、圧電素子を有し、進行波の振動を励振
するステータ部と、そのステータ部の振動を回転運動に
変換するロータ(スライタ)部から成る。ステータ部は
、例えば金属等のリング状弾性体に圧電素子か接着され
て成り、この圧電素子に駆動回路から駆動電圧を印加し
て共振にて励振し、ステータ部端面に゛たわみ振動の進
行波を発生させる。この進行波により、ステータ部頂上
に楕円運動が生じる。一方、ロータ部は、摩擦材が固着
されて、ステータ部の頂部へ加圧接触されて成る。従っ
て、ロータ部は摩擦材を介してステータ部の楕円運動に
より回転される。An ultrasonic motor includes a stator section that has a piezoelectric element and excites traveling wave vibrations, and a rotor (slider) section that converts the vibrations of the stator section into rotational motion. The stator section is made up of a piezoelectric element bonded to a ring-shaped elastic body such as metal, and a drive voltage is applied to this piezoelectric element from a drive circuit to cause it to resonate and create a traveling wave of flexural vibration on the end face of the stator section. to occur. This traveling wave causes elliptical motion at the top of the stator section. On the other hand, the rotor part has a friction material fixed thereto and is brought into pressure contact with the top of the stator part. Therefore, the rotor section is rotated by the elliptical movement of the stator section via the friction material.
このような超音波モータを駆動する従来例の駆動回路を
第5図に示す。101は等価回路で示した超音波モータ
、102はその超音波モータ101の駆動回路である。A conventional drive circuit for driving such an ultrasonic motor is shown in FIG. 101 is an ultrasonic motor shown as an equivalent circuit, and 102 is a drive circuit for the ultrasonic motor 101.
超音波モータ101の等価回路は、直列接続のインダク
タンスLと容量Cと抵抗Rとを有するとともに、それら
に並列な容量Caを有して成る。駆動回路102におい
て、Ltは並列容量Caとの並列共振回路を構成するた
めの可変インダクタンス素子、103は二次側を超音波
モータ101 (詳しくは圧電素子)に接続した昇圧ト
ランス、sw、、sw、はトランジスタやMOSFET
等のスイッチング素子であり、図示しない発振回路によ
り他励式て昇圧トランスlO3の一次側においてスイッ
チングを行う。昇圧トランス103の一次側はセンター
タ、 フヲ有し、そのセンタータップに電源電圧Vcが
直接接続されており、その−次側の両端は一端がシグナ
ルグランドに接続されたスイッチング素子SW、、SW
、のそれぞれに接続されている。The equivalent circuit of the ultrasonic motor 101 includes an inductance L, a capacitance C, and a resistance R connected in series, and a capacitance Ca in parallel with them. In the drive circuit 102, Lt is a variable inductance element for forming a parallel resonant circuit with parallel capacitance Ca, 103 is a step-up transformer whose secondary side is connected to the ultrasonic motor 101 (more specifically, a piezoelectric element), sw, , sw , is a transistor or MOSFET
It is a switching element such as, and performs switching on the primary side of the step-up transformer IO3 in a separately excited type by an oscillation circuit not shown. The primary side of the step-up transformer 103 has a center tap, and the power supply voltage Vc is directly connected to the center tap, and both ends of the primary side of the step-up transformer 103 have switching elements SW, SW, whose one end is connected to the signal ground.
, are connected to each of them.
第6図は、上記構成の従来例の動作波形図である。第5
図の従来例では、1/2πE丁で〔HI3が超音波モー
タの共振周波数であり、駆動周波数は振動、騒音等の問
題からその近辺に設定される。FIG. 6 is an operational waveform diagram of a conventional example having the above configuration. Fifth
In the conventional example shown in the figure, HI3 is the resonant frequency of the ultrasonic motor, and the drive frequency is set around it due to problems such as vibration and noise.
このような超音波モータの従来の駆動方法では、50%
より小さいデユーティ比でスイッチング素子sw、、s
w、を交互にオンに制御し、そのデユーティ比を最適化
して超音波モータ101の共振(時定数)に合わせるこ
とにより、疑似正弦波駆動を行っていた。上記において
、−次側のスイ・ノチングにより昇圧トランス】03は
、駆動周期TDRVのオン期間にフォアードコンバート
による巻数比に応じた昇圧を行い、オフ期間にフライノ
イ、。In the conventional driving method of such an ultrasonic motor, 50%
Switching elements sw,,s with a smaller duty ratio
Pseudo-sine wave driving was performed by alternately turning on w and optimizing the duty ratio to match the resonance (time constant) of the ultrasonic motor 101. In the above, the step-up transformer 03 performs step-up according to the turns ratio by forward conversion during the on-period of the drive cycle TDRV, and performs fly noise during the off-period.
クコンハートにより超音波モータの共振に合わせ、モー
タ駆動電圧Vdを疑似正弦波としている。The motor drive voltage Vd is made into a pseudo sine wave by the Kucon heart in accordance with the resonance of the ultrasonic motor.
なお、これらの駆動回路の例としては、特開昭63−1
78777号や特開昭64−107681号などに開示
されている。Incidentally, as an example of these drive circuits, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-1
It is disclosed in No. 78777 and Japanese Patent Application Laid-open No. 107681/1984.
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、上記従来の技術における超音波モータの
駆動回路では、フォアードコンバートによるスイッチン
グ部分で電圧が昇圧されるため、駆動電圧Vdは正弦波
に近い台形波にしかならず、超音波モータのステータ部
に発生する進行波もきれいな正弦波にならない。このよ
うな台形波には基本の正弦波のほかに高調波成分を含み
、この高調波成分は損失となる。一方、昇圧トランス1
03の一次側ではフォアードコンバートによるスイッチ
ングを行っている部分てパルス状のリップルの大きい電
流1cが流れており、これがスイッチング素子の損失を
大きくし、さらに電源ノイズを多くしている。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional ultrasonic motor drive circuit described above, the voltage is boosted at the switching part by forward conversion, so the drive voltage Vd only becomes a trapezoidal wave close to a sine wave. The traveling waves generated in the stator of an ultrasonic motor also do not form a clean sine wave. Such a trapezoidal wave includes harmonic components in addition to the fundamental sine wave, and these harmonic components result in loss. On the other hand, step-up transformer 1
On the primary side of 03, a pulse-like current 1c with a large ripple flows through the portion where forward conversion switching is performed, which increases the loss of the switching element and further increases the power supply noise.
本発明は、上記問題点を解決するために創案されたもの
で、損失と電流リップルの少ない正弦波駆動を実現する
超音波モータの駆動回路を提供することを目的とする。The present invention was devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic motor drive circuit that realizes sine wave drive with less loss and current ripple.
[課題を解決するための手段]
上記の目的を達成するための本発明の超音波モータの駆
動回路の構成は、トランスの一次側でスイッチングを行
い、その二次側で超音波モータに駆動電圧を印加する超
音波モータの駆動回路において、
上記トランスの一次側にインダクタンス素子を介して電
源を供給し、
上記超音波モータの圧電素子の等価並列容量をキャンセ
ルするインダクタンス素子を該圧電素子に並列に接続す
ることを特徴とする。[Means for Solving the Problems] The configuration of the ultrasonic motor drive circuit of the present invention for achieving the above object is such that switching is performed on the primary side of the transformer, and drive voltage is applied to the ultrasonic motor on the secondary side of the transformer. In a drive circuit for an ultrasonic motor that applies power, power is supplied to the primary side of the transformer through an inductance element, and an inductance element that cancels the equivalent parallel capacitance of the piezoelectric element of the ultrasonic motor is connected in parallel to the piezoelectric element. It is characterized by connecting.
[作用]
本発明は、スイッチングを行うトランスの一次側にイン
ダクタンス素子を介して電圧を固定とすることなく電源
を供給して定電流動作とし、二次側の負荷となる超音波
モータの並列容量をキャンセルして負荷を直列共振系と
し、その直列共振系の電圧共振現象に応じて電流を流せ
るようにして、モータの駆動電圧を正弦波にすることに
より、高調波成分をなくして損失を低下させ、電源の電
流り、プルを少なくするとともに、−次側のスイッチン
グドライブにおいて、ゼロクロススイッチングを可能に
する
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。[Function] The present invention provides constant current operation by supplying power to the primary side of a switching transformer through an inductance element without fixing the voltage, and reduces the parallel capacity of an ultrasonic motor serving as a load on the secondary side. The load is made into a series resonant system by canceling the current, and the current is made to flow according to the voltage resonance phenomenon of the series resonant system. By making the motor drive voltage a sine wave, harmonic components are eliminated and losses are reduced. Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例を示す回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of the present invention.
本実施例は、第5図の従来例とは、−次側の電源Vcの
接続のし方において異なる。それ以外の構成は同様であ
る。即ち、本実施例は、等価回路で示した超音波モータ
1とその駆動回路2から成り、超音波モータ1の等価回
路は、直列接続のインタフタンスLと容tcと抵抗Rと
を有するとともに、それらに並列な容1caを有して成
る。また、駆動回路2において、Ltは並列な容量Ca
との並列共振回路を構成してその並列容量Caをキャン
セルするための可変インダクタンス素子、3は二次側を
超音波モータ1 (詳しくは圧電素子)に接続した昇圧
トランス、sw、、sw、はトランジスタやMOSFE
T(電界効果トランジスタ)等のスイッチング素子であ
る。これらのスイッチング素子sw、、sw2は、図示
しない発振回路により他励式で昇圧トランス3の一次側
においてスイッチングを行う。昇圧トランス3の一次側
は、センタータップを有し、本実施例ではチョークコイ
ルLcを通して電源電圧Vcが、そのセンタータップに
接続される。各スイッチング素子SW、、SW2の一端
はシグナルグランドに接続され、それらの各スイッチン
グ素子sw、、sw2の他端は昇圧トランス3の一次側
の端子へそれぞれ接続されて、プッシュプル構成のスイ
ッチング回路か形成される。This embodiment differs from the conventional example shown in FIG. 5 in the way the negative power supply Vc is connected. The other configurations are the same. That is, this embodiment consists of an ultrasonic motor 1 and its drive circuit 2 shown as an equivalent circuit, and the equivalent circuit of the ultrasonic motor 1 includes an interface L, a capacitance tc, and a resistance R connected in series. It has a capacity of 1ca parallel to them. In addition, in the drive circuit 2, Lt is a parallel capacitance Ca
3 is a step-up transformer whose secondary side is connected to the ultrasonic motor 1 (more specifically, a piezoelectric element); Transistor or MOSFE
This is a switching element such as a T (field effect transistor). These switching elements sw, , sw2 perform switching on the primary side of the step-up transformer 3 in a separately excited type by an oscillation circuit (not shown). The primary side of the step-up transformer 3 has a center tap, and in this embodiment, a power supply voltage Vc is connected to the center tap through a choke coil Lc. One end of each switching element SW, SW2 is connected to the signal ground, and the other end of each switching element SW, SW2 is connected to the primary side terminal of the step-up transformer 3, forming a push-pull switching circuit. It is formed.
以上のように構成した実施例の動作および作用を述へる
。The operation and effect of the embodiment configured as above will be described.
第2図は上記の実施例における動作波形図である。昇圧
トランス3の一次側のセンタータップに接続したチョー
クコイルLcのインダクタンスの値は、トランス3の一
次側のインダクタンスしより充分大きい値にすることか
できる。これにより、−次側を定電流動作とすることが
できる。即ち、L c >>L 、てあれば、電源Vc
より供給される電流1cの交流成分IACはゼロに限り
なく近くなり、直流成分IDCのみ流れるので、駆動回
路1はフライバックコンバート動作になる。従って、−
次側のスイッチング素子sw、、sw、の制御は、フォ
アードコンバート動作のようにデユーティ比を最適化す
る必要はなくなり、デユーティ比は50%と単純にする
ことができる。スイッチング素子SW、とスイッチング
素子SW、の制御は相互に反転関係で制御する。即ち、
片方がオンのとき、他方はオフに制御される。FIG. 2 is an operational waveform diagram in the above embodiment. The value of the inductance of the choke coil Lc connected to the center tap on the primary side of the step-up transformer 3 can be made sufficiently larger than the inductance on the primary side of the transformer 3. This allows constant current operation on the negative side. That is, if L c >>L, then the power supply Vc
Since the alternating current component IAC of the current 1c supplied by the converter becomes extremely close to zero, and only the direct current component IDC flows, the drive circuit 1 performs a flyback conversion operation. Therefore, −
Control of the switching elements sw, , sw on the next side does not require optimizing the duty ratio as in the forward convert operation, and the duty ratio can be simply set to 50%. The switching element SW and the switching element SW are controlled in an inverse relationship to each other. That is,
When one is on, the other is controlled off.
以上の動作において、負荷となる超音波モータ】の等価
回路では、インタフタンス素子Ltにより並列な容1c
aか並列共振でキャンセルされて、LCR直列共振回路
の過渡応答(電圧共振)きなり、昇圧トランス3に蓄え
られた電磁エネルキーがその電圧共振に応して電流を流
し、駆動電圧■dは正弦波となる。さらに、トランス3
の一次側の両端子電圧vl+vffは、二次側の駆動電
圧Vdが正弦波となることから、それぞれ180°位相
差の半波状電圧になり、スイッチング素子5WSW、は
、共に電圧上ロクロススイノチングとなる。In the above operation, in the equivalent circuit of the ultrasonic motor that serves as the load, a parallel capacitor 1c is connected by the interface element Lt.
A is canceled by the parallel resonance, and the transient response (voltage resonance) of the LCR series resonant circuit occurs.The electromagnetic energy key stored in the step-up transformer 3 causes current to flow in response to the voltage resonance, and the drive voltage d becomes a sine wave. becomes. Furthermore, transformer 3
Since the drive voltage Vd on the secondary side is a sine wave, the voltages vl+vff on both terminals on the primary side are half-wave voltages with a 180° phase difference, and the switching elements 5WSW and 5WSW are both voltage-wise low-cross switching. becomes.
以上において、本実施例では電源〜′Cの供給電流1c
の交流成分I AC即ち電流リップルか小さくなること
から、スイッチング素子sw、、sw2の損失か小さく
なり、かつ電源ノイズか減少するとともに、駆動電圧V
dか正弦波となって高調波成分かないことから、損失の
ない効率の良い駆動か行える。従って、等価回路の並列
容Ji Caをインタフタンス素子Ltてキャンセルし
て超音波モータのLCて決まる共振周波数1/2πJL
での近辺で駆動する限り、理想的な駆動か行える。In the above, in this embodiment, the supply current 1c of the power supply ~'C
Since the alternating current component IAC, that is, the current ripple, becomes smaller, the loss of the switching elements sw, , sw2 becomes smaller, the power supply noise decreases, and the drive voltage V
Since it is a sine wave and has no harmonic components, it can be driven efficiently without loss. Therefore, the parallel capacitance Ji Ca of the equivalent circuit is canceled by the interface element Lt, and the resonant frequency 1/2πJL determined by the LC of the ultrasonic motor is obtained.
As long as it is driven near , ideal driving can be achieved.
以上の説明で本実施例は池励式プノンユブルフライパッ
ク電圧共振型スイッチングドライ゛ブであることがわか
るが、チョークコイルLcを挿入して電源供給を行うこ
とによって、フライバックコンバータとして動作させて
いる点が大きな特徴点であり、かつ、共振を決めている
定数が超音波モータのメカニカルな共振によって決定さ
れている点も特徴点である。From the above explanation, it can be seen that this embodiment is a battery-excited flexible flypack voltage resonance switching drive, but by inserting a choke coil Lc and supplying power, it can be operated as a flyback converter. A major feature is that the constant that determines resonance is determined by the mechanical resonance of the ultrasonic motor.
第3図は本発明の他の実施例を示す回路構成図である。FIG. 3 is a circuit diagram showing another embodiment of the present invention.
本実施例は、進行波方式の超音波モータを2相駆動する
場合の構成例を示している。本実施例の構成において、
11は超音波モータのA相。This embodiment shows a configuration example in which a traveling wave type ultrasonic motor is driven in two phases. In the configuration of this embodiment,
11 is the A phase of the ultrasonic motor.
B相の2相で駆動される圧電素子であり、12はA相の
駆動回路、13はB相の駆動回路、14は駆動周波数を
決める発振回路、15は人相、B相の位相関係を定める
フェーズシフト回路、16゜17は入力信号を反転する
インバータである。各相の駆動回路12.13はそれぞ
れが第1図の実施例で説明したと同一符号の部材や要素
により同一に構成される。ここで、A相の駆動回路12
のスイッチング素子SW2は、発振器14の出力である
デユーティ50%のタイミング信号すでオン/オフされ
、スイッチングSW、はタイミング信号すをインバータ
16で反転したタイミング信号aでオン/オフされる。It is a piezoelectric element driven by two phases: B phase, 12 is a drive circuit for A phase, 13 is a drive circuit for B phase, 14 is an oscillation circuit that determines the drive frequency, 15 is a human phase, and 15 is a piezoelectric element that determines the phase relationship of phase B. The phase shift circuit 16 and 17 is an inverter that inverts the input signal. The drive circuits 12 and 13 for each phase are constructed in the same manner using members and elements having the same reference numerals as those described in the embodiment of FIG. Here, the A-phase drive circuit 12
The switching element SW2 is turned on/off by a 50% duty timing signal output from the oscillator 14, and the switching element SW2 is turned on/off by a timing signal a obtained by inverting the timing signal A by an inverter 16.
また、B相の駆動回路13のスイッチング素子SW、は
フェーズシフト回路15の出力であるタイミング信号d
でオン/オフされ、スイッチング素子SW、はタイミン
グ信号dをインバータ17で反転したタイミング信号C
でオン/オフされる。フェーズシフト回路15は発振回
路14の出力即ちタイミング信号すを入力し、900位
相をシフトしてタイミング信号dを出力する。Furthermore, the switching element SW of the B-phase drive circuit 13 receives a timing signal d which is the output of the phase shift circuit 15.
The switching element SW receives a timing signal C obtained by inverting the timing signal d by an inverter 17.
is turned on/off. The phase shift circuit 15 inputs the output of the oscillation circuit 14, that is, the timing signal d, shifts the phase by 900 degrees, and outputs the timing signal d.
第4図は上記実施例のタイミング関係を示す動作波形図
である。人相の駆動回路12が互いに反転関係にあるデ
ユーティ50%のタイミング信号a、bでスイッチング
される結果、A相の駆動電圧vdAは第1図の実施例で
示したように正弦波となる。また、B相の駆動回路13
が同じくデユーティ50%のタイミング信号c、dでス
イッチングされる結果、B相の駆動電圧V d eも同
様に正弦波となるが、タイミング信号c、d力Zタイミ
ング信号a、bから90’だけ位相がシフトされている
ので、A相の駆動電圧■dAに対しては余弦波の関係と
なる。このような駆動電圧VdA。FIG. 4 is an operational waveform diagram showing the timing relationship of the above embodiment. As a result of the human-phase drive circuit 12 being switched by timing signals a and b having a duty of 50% and having an inverse relationship with each other, the A-phase drive voltage vdA becomes a sine wave as shown in the embodiment of FIG. In addition, the B-phase drive circuit 13
is similarly switched by timing signals c and d with a duty of 50%, and as a result, the B-phase driving voltage V d e also becomes a sine wave, but the timing signals c and d are only 90' from the Z timing signals a and b. Since the phase is shifted, it has a cosine wave relationship with respect to the A-phase drive voltage dA. Such a driving voltage VdA.
VdBを超音波モータの例えばリング状の圧電素子11
の二組の電極に印加し、そのリング上に7波長乗るよう
な駆動周波数にすると、一方向に進行する進行波の振動
が励振され、ロータ部の回転運動が得られる。以上のよ
うに本実施例も、高調波成分のない正弦波駆動によって
、損失が少なく、電流リップルの少ない理想的な超音波
モータの駆動が行える。For example, the ring-shaped piezoelectric element 11 of the ultrasonic motor
When applied to the two sets of electrodes and set to a driving frequency that causes seven wavelengths to ride on the ring, vibrations of traveling waves traveling in one direction are excited, and rotational motion of the rotor section is obtained. As described above, in this embodiment as well, an ideal ultrasonic motor can be driven with less loss and less current ripple by sine wave driving without harmonic components.
なお、実施例では他励式の駆動回路について説明を行っ
たが、本発明は自励式の駆動回路にも適用することがで
きる。また、2相駆動以外に片相駆動など種々の形式の
超音波モータにも適用可能である。このように、本発明
はその主旨に沿って種々に応用され、種々の実施態様を
取り得るものである。In the embodiment, a separately excited drive circuit has been described, but the present invention can also be applied to a self-excited drive circuit. Furthermore, it is applicable to various types of ultrasonic motors such as single-phase drive in addition to two-phase drive. As described above, the present invention can be applied in various ways and can take various embodiments in accordance with its gist.
[発明の効果コ
以上の説明で明らかなように、本発明の超音波モータの
駆動回路によれば、
(1)スイッチング駆動しているにもかかわらず、高調
波成分のない正弦波駆動を行うことかでき、損失の少な
いきれいな進行波を発生させることができる。[Effects of the Invention] As is clear from the above explanation, according to the ultrasonic motor drive circuit of the present invention, (1) Despite switching drive, sine wave drive without harmonic components is performed. This makes it possible to generate clean traveling waves with little loss.
(2)電圧ゼロクロススイッチングが可能になり、スイ
ッチング損失を低減することができる。(2) Voltage zero-cross switching becomes possible, and switching loss can be reduced.
(3)、電源電流のリップルが少な(なり、電源ノイズ
か低減する。(3) There is less ripple in the power supply current, which reduces power supply noise.
第1図は本発明の一実施例を示す回路図、第2図は上記
一実施例の動作波形図、第3図は本発明の他の実施例を
示す回路構成図、第4図は上記他の実施例の動作波形図
、第5図は従来例の回路図、第6図は上記従来例の動作
波形図である。
1・・・超音波モータ、2・・駆動回路、3・・昇圧ト
ランス、11・・圧電素子、12.13・・駆動回路、
14・・発振回路、15・・フェーズシフト回L 1
6.17・・・インバータ、LC・・・チョークコイル
、sw、、sw、・・・スイッチング素子、Lt・・・
可変インダクタンス。Fig. 1 is a circuit diagram showing one embodiment of the present invention, Fig. 2 is an operation waveform diagram of the above embodiment, Fig. 3 is a circuit configuration diagram showing another embodiment of the invention, and Fig. 4 is the above FIG. 5 is a circuit diagram of the conventional example, and FIG. 6 is an operational waveform diagram of the conventional example. 1... Ultrasonic motor, 2... Drive circuit, 3... Step-up transformer, 11... Piezoelectric element, 12.13... Drive circuit,
14...Oscillation circuit, 15...Phase shift circuit L1
6.17... Inverter, LC... Choke coil, sw, , sw,... Switching element, Lt...
variable inductance.
Claims (1)
次側で超音波モータに駆動電圧を印加する超音波モータ
の駆動回路において、 上記トランスの一次側にインダクタンス素子を介して電
源を供給し、 上記超音波モータの圧電素子の等価並列容量をキャンセ
ルするインダクタンス素子を該圧電素子に並列に接続す
ることを特徴とする超音波モータの駆動回路。(1) In an ultrasonic motor drive circuit that performs switching on the primary side of a transformer and applies a driving voltage to the ultrasonic motor on its secondary side, power is supplied to the primary side of the transformer via an inductance element, A drive circuit for an ultrasonic motor, characterized in that an inductance element for canceling the equivalent parallel capacitance of the piezoelectric element of the ultrasonic motor is connected in parallel to the piezoelectric element.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2149358A JP2976489B2 (en) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | Ultrasonic motor drive circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2149358A JP2976489B2 (en) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | Ultrasonic motor drive circuit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0442788A true JPH0442788A (en) | 1992-02-13 |
JP2976489B2 JP2976489B2 (en) | 1999-11-10 |
Family
ID=15473387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2149358A Expired - Lifetime JP2976489B2 (en) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | Ultrasonic motor drive circuit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2976489B2 (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009050051A (en) * | 2007-08-15 | 2009-03-05 | Sony Corp | Piezoelectric element drive circuit and pump device |
JP2010104131A (en) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Sanyo Electric Co Ltd | High-voltage output driver |
JP2010104132A (en) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Sanyo Electric Co Ltd | High-voltage output driver |
WO2010143125A1 (en) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and circuit arrangement for generating a pulsed voltage |
WO2015098800A1 (en) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | キヤノン株式会社 | Drive circuit for vibrating body, vibration-type actuator, imaging device, image generation device, and dust removal device |
JP2016106519A (en) * | 2016-03-08 | 2016-06-16 | 株式会社村田製作所 | Drive circuit for piezoelectric element |
US10256749B2 (en) | 2015-07-02 | 2019-04-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuator, motor, robot, and method of driving piezoelectric actuator |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4591521B2 (en) | 2008-02-18 | 2010-12-01 | ソニー株式会社 | Electronic device having a piezoelectric pump |
JP4631921B2 (en) * | 2008-03-26 | 2011-02-16 | ソニー株式会社 | Piezoelectric element driving apparatus and piezoelectric element driving frequency control method |
JP2017184297A (en) | 2016-03-28 | 2017-10-05 | セイコーエプソン株式会社 | Piezoelectric actuator, piezoelectric motor, robot, hand and pump |
-
1990
- 1990-06-07 JP JP2149358A patent/JP2976489B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009050051A (en) * | 2007-08-15 | 2009-03-05 | Sony Corp | Piezoelectric element drive circuit and pump device |
JP2010104131A (en) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Sanyo Electric Co Ltd | High-voltage output driver |
JP2010104132A (en) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Sanyo Electric Co Ltd | High-voltage output driver |
WO2010143125A1 (en) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and circuit arrangement for generating a pulsed voltage |
CN102460929A (en) * | 2009-06-11 | 2012-05-16 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | Method and circuit arrangement for generating a pulsed voltage |
WO2015098800A1 (en) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | キヤノン株式会社 | Drive circuit for vibrating body, vibration-type actuator, imaging device, image generation device, and dust removal device |
JP2015144556A (en) * | 2013-12-26 | 2015-08-06 | キヤノン株式会社 | Drive circuit of oscillating body, oscillation type actuator, imaging device, image formation apparatus, and dust removal device |
CN105981288A (en) * | 2013-12-26 | 2016-09-28 | 佳能株式会社 | Drive Circuit For Vibrating Body, Vibration-Type Actuator, Imaging Device, Image Generation Device, And Dust Removal Device |
CN105981288B (en) * | 2013-12-26 | 2018-05-04 | 佳能株式会社 | Vibrating elements drive circuit, vibration-type actuator, image pick-up device, video generation device and dust-extraction unit |
US10270371B2 (en) | 2013-12-26 | 2019-04-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibrating-element driving circuit, vibration-type actuator, image pickup apparatus, image generation apparatus, and dust removal apparatus |
US10256749B2 (en) | 2015-07-02 | 2019-04-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuator, motor, robot, and method of driving piezoelectric actuator |
JP2016106519A (en) * | 2016-03-08 | 2016-06-16 | 株式会社村田製作所 | Drive circuit for piezoelectric element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2976489B2 (en) | 1999-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2591423B2 (en) | Piezoelectric transformer converter for power | |
KR100283789B1 (en) | Voltage converter device implementing ripple steering and current source and control circuit using the same | |
JP2718392B2 (en) | Drive circuit for piezoelectric transformer | |
JP2012050264A (en) | Load driving device | |
JPH0442788A (en) | Driving circuit of ultrasonic motor | |
JPS59191485A (en) | Low loss high frequency inverter | |
EP1624561A2 (en) | Push-pull switching power converter | |
JP2002017090A (en) | Driving method and driving device for piezoelectric transformer | |
JP2917857B2 (en) | Resonant converter device | |
CN110138204B (en) | Converter system and application thereof | |
JPH07327366A (en) | Power supply | |
JPH09271174A (en) | Power supply equipment and control equipment of vibration wave actuator | |
JP2010259317A (en) | Load driver | |
JP2000166265A (en) | Vibration-type actuator driving apparatus | |
JPH11187657A (en) | Resonant type dc-to-dc converter circuit | |
JPH0487183A (en) | Driver circuit for inverter type microwave oven | |
JP2738354B2 (en) | Wide input piezoelectric transformer converter | |
JP4329451B2 (en) | Switching power supply | |
JPH0870590A (en) | Driving apparatus for ultrasonic piezoelectric transducer | |
RU2186452C2 (en) | Half-bridge dc voltage converter | |
RU2108653C1 (en) | Static converter with quasi-resonant current switching | |
JP3635854B2 (en) | converter | |
CN100511951C (en) | Discharge lamp lighting device and lighting unit | |
JP2570085Y2 (en) | Power circuit | |
JP2024545799A (en) | Piezoelectric power converter with trajectory control. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090910 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090910 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 11 |