JPH0437667A - 軽量高剛性セラミックス及びその用途 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、軽量高剛性セラミックス構造体に係るもので
あり、特に反応焼結セラミックスマトリックス中に３次
元連続網目状構造体、中空粒子、中空繊維が形成された
複合構造の軽量高剛性セラミックス及びその用途に関す
る。

〔従来の技術〕

般に、エンジンなどの機械構造部品に適するセラミック
スとして窒化物、炭化物が開発されている。従来のセラ
ミックスは、窒化珪素や炭化珪素などの単一組成物が主
流であり、靭性が小さい欠点がある。最近、靭性や強度
を向上させることを目的に、繊維強化複合セラミックス
が検討されている。また、比弾性率の高い材料として、
炭素をマ）　ｊＪワックスして炭素繊維で強化した炭素
複合材料が開発されている。

しかし、上記複合材は繊維配向によって機械的特性を改
善していることに特徴が有る。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら上記従来技術は、セラミックスの靭性につ
いては改善されているが、比弾性率の改善については全
く配慮がされていない。

本発明の目的は、従来に無い軽量高剛性つまり比弾性率
の高い複合セラミックス構造体を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明者らは、セラミックスの比弾性率を向上すること
を目的に鋭意研究の結果、反応焼結セラミックスマトリ
ックス中に３次元連続網目状構造体、中空粒子、中空繊
維を構成することにより比弾性率を改善できることを発
明した。

上記目的は、気孔率４０ｖｏｌ％以下の反応焼結セラミ
ックスマトリックス中に、３次元連続網目状構造体、中
空粒子、中空繊維の少なくとも一種を形成させることに
より達成される。

本発明は、反応焼結セラミツフスマ）　ＩＪソックス構
成することが必須条件である。従来の大きな収縮を伴う
常圧焼結法やホットプレス法では、収縮時に３次元連続
網目状構造体、中空繊維、中空粒子が破壊されるととも
に、内部に引っ張り応力が残留し、良好な焼結体を得る
ことが出来ない。それに対して、本発明のセラミックス
は、焼結に伴う焼結時寸法変化率が１％程度と小さいの
で３次元連続網目状構造体、中空繊維、中空粒子を破壊
させない状態で焼結体を得ることができ、焼結体内部に
引っ張り応力がほとんど残留しないので、結果的には、
比弾性率の高い構造体を得ることが出来る。

本発明により、比弾性率９０　ＧＰａ／（ｇ／ｃｍ３）
以上の反応焼結５ｉ３Ｎ４ｕ量高剛性セラミツクス、あ
るいは、比弾性率１３０’ＧＰａ／（ｇ／ｃｍ３）以」
二の反応焼結ＳｉＣ軽量高剛性セラミックスが得られる
。これにより、反応焼結セラミックスの欠点である剛性
を改善でき、反応焼結セラミックスの利点である高寸法
精度焼結により、複雑形状の軽量高剛性セラミックスを
ほとんど無加工で製造することが可能と成る。

本発明の３次元連続網目状構造体、中空繊維、中空粒子
は、金属、炭化物、窒化物、酸化物、酸窒化物、珪化物
、硼化物の少なくとも一種以上で構成されることが好ま
しい。特に、タングステン、モリブデン、炭化珪素、窒
化珪素、窒化アルミ、カーボン、酸化珪素、窒化硼素、
炭化硼素が好適である。

該中空粒子、中空繊維を形成したセラミックスマトリッ
クス中の気孔率（中空部分も含む）は４０ｖｏｌ％以下
とするのが好ましい。なぜなら、４０ｖｏｌ％より多い
と機械的強度が低下して比弾性率の向上に寄与しないた
めである。

該３次元連続網目状構造体は、ハニカム構造体、例えば
横断面形状が六角形状、五角形状、四角形状、丸状など
のものが使用でき、縦断面方向に穴が設けられていても
良い。また、中空構造のハニカムを用いるとより軽量化
が図れる。

また、スケルトン構造でも同様に比弾性率を向上するこ
とが可能である。３次元連続網目状構造体は、上記の形
状に限られず、３次元的に連続した網目状の構造体であ
れば良い。

該３次元連続網目状構造体の製造法は、押出し成形で作
製した後焼結する方法、３次元繊維表面にセラミックス
や金属粒子をコーティングした後焼結する方法、などに
より任意の３次元連続網目状構造体を公知の方法により
製造可能である。

該中空粒子は、外径１μｍから１　ｍｍ程度、内径０．
５μｍから０．５　ｎｕｎ程度のものを使用することが
できるが、この範囲には限定されない。また、中空粒子
内に第２の粒子が鈴のような形で混在した形状のものを
使用すると減衰効果をも、もたらすことができる。

該中空粒子は、閉気孔の中空粒子が好ましい。

該中空繊維は、外径１μｍから１　ｎ＋ｍ程度、内径０
５μｍから０．５証程度のもの、アスペクト比ハ、１０
から１００を使用することができるが、この範囲には限
定されない。中実繊維に比較して、軽量化を図ることが
でき、比弾性率を向上させることが可能である。

本発明において、３次元連続網目状構造体及び中空繊維
を一次元方向に比弾性率が向上するように配向すること
により、駆動、停止を繰り返す機構部品の駆動力向に対
して剛性を向上させることができ、精密な制御が可能と
成る。

該３次元連続網目状構造体、中空粒子、中空繊維の弾性
率は、反応焼結セラミックスマトリックスの弾性率より
も大きい方が好ましい。

該反応焼結セラミックスマトリックスは、導電性材料、
絶縁性材料、圧電材、誘電材、磁性材、熱伝導材、触媒
材、電子放射性材、センサ材などの特性をもつセラミッ
クスを用いることができる。また、反応焼結セラミック
スマトリックス中に形成する３次元連続網目状構造体、
中空繊維、中空粒子についても、同様に導電性材料、絶
縁性材料、圧電材、誘電材、磁性材、熱伝導材、触媒材
、電子放射性材、センサ材などの特性をもつものを使用
できる。これにより、各種機能材料への応用も可能であ
る。

該反応焼結セラミックスマトリックスは窒化物、酸化物
、酸窒化物、炭化物から選ばれた少なくとも一種の粒子
及び／またはホイスカで構成できる。特に密度が小さく
耐熱性に優れている３１口、Ｓｉ３Ｎ４　、八ＩＮを主
成分とするのが好ましい。また、ホイスカと粒子との複
合材とすることにより靭性をも向上可能である。

該反応焼結マトリックスと３次元連続網目状構造体、中
空繊維、中空粒子との結合状態の構造図を第８図及び第
９図に示す。

本発明は、Ａ部分である３次元連続網目状構造体、中空
繊維、中空粒子の間が反応焼結により生成した粒子Ｂ、
あるいは反応焼結により生成した粒子Ｂ及びウィスカＣ
により結合された構造であることに特徴が有る。本発明
は、反応焼結で該３次元連続網目状構造体、中空繊維、
中空粒子を結合するため、反応焼結マトリックスと該３
次元連続網目状構造体、中空繊維、中空粒子との組成が
異なったものを容易に製造できる。

該反応焼結セラミックスマトリックスは平均粒径１００
μｍ以下の炭化物、酸化物、窒化物、酸窒化物から選ば
れた少なくとも一種の無機化合物と平均粒径が該無機化
合物より小さいＳｉ３Ｎ４、及び気孔量が４０ｖｏｌ％
以下、最大気孔径が３０μｍ以下の気孔で構成すること
により、比弾性率を向上できる。

特に、３次元連続網目状構造体、中空繊維、中空粒子の
一種以上と、平均粒径１００μｍ以下の炭化物、酸化物
、窒化物、酸窒化物から選ばれた少なくとも一種の無機
化合物と、金属Ｓ１粉末あるいは金属層粉末からなる成
形体を窒化して得られるＳｉ３Ｎ、あるいは八ＩＮとで
、３次元連続網目状構造体、中空繊維、中空粒子の一種
以上を結合したセラミックスで構成することにより焼結
時寸法変化率が小さいので精密焼結が可能であり、後加
工をほとんど必要としないので低コストて製造可能であ
る。

ここで、ＣＯガスを用いて反応焼結することにより、炭
化物でハニカム構造体、中空繊維、中空粒子の一種以上
を結合したセラミックスが得られる。

本発明は、反応焼結セラミックスマトリックス内部及び
／又は表面の気孔中に、プラスチック、ガラス、金属、
セラミックスの少なくとも種を含浸し、これらで表面を
■われていると。

表面からのクランクの発生を防止できるので、より信頼
性の高いセラミックスが得られる。

本発明は、焼結中に成形体中の金属粉末から生成する窒
化物により、３次元連続網目状構造体、中空繊維、中空
粒子の一種以上を結合するとともに粒子間の空隙を減少
させることができ、焼結時の寸法変化率を小さくし、金
属粉末から生成する窒化物の種類により電気抵抗率を任
意に制御可能にすることも可能である。

本発明において、金属粉末は周期表■族から■族に属す
るもノテ、特ニＴｉ　、　Ｚｒ、　Ｖ、　Ｎｂ。

Ｔａ、　Ｃｒ、　Ｃｅ、　Ｃｏ、　Ｍｎ、　ｔｌｆ　、
　Ｗ、　Ｍｏ、　ＦｅＡｌ　、　Ｓｉ　、　Ｐｒ、　Ｎ
ｔ３．　Ｓｍ、　Ｅｕ、　Ｇｄ、　Ｔｂ。

Ｄｙ、　Ｈａ、　Ｙｂ、　Ｌｕ、　Ｔｈ、　ｃｏ、　Ｎ
ｉから選ばれた少なくとも一種以上のものを使用できる
。たとえば、Ｔ１の窒化物は電気抵抗率が約１０−５Ω
ｃｍオーダと小さく、逆にＳｉの窒化物は約１０１５Ω
ｃｍオーダと大きい。このように金属粉末の種類によっ
て窒化物の抵抗率が異なり、このような抵抗率の異なる
金属窒化物を組合せることにより、導電から絶縁まで抵
抗率の制御が可能となる。

また、金属粉末以外に無機化合物を混合することにより
、電気特性や機械的特性などを制御することが可能であ
り、弾性率の向上にも有効である。

前記金属粉末は、市販のものをそのまま用いることがで
き、またミルなどにより粉砕した丸みを帯びた粒子を使
用してもよい。

反応焼結は、成形体を、窒素及び／又はアンモニアに必
要に応じて水素、アルゴン、ヘリウムなどを加えた窒化
性ガス雰囲気下あるいはＣＯガスなどの炭化性ガス雰囲
気下で加熱するのが好ましい。これにより、窒化物、炭
化物を生成させることができる。また、本発明における
反応焼結は、焼結中に収縮をもたらせる液層部分が存在
しないことが特徴である。つまり、金属粉末と３次元連
続網目状構造体、中空繊維、中空粒子の間には、液層部
分となるガラス層や合金層が介在しないことに特徴があ
る。

本発明の反応焼結体は、焼結時の寸法変化率が極めて少
ないので、キャリッジのような複雑形状のものでも、特
に、二次加工することなく作成でき、型内面の形状を転
写した表面を有する焼結体を得ることができる。

本発明において、成形用バインダはポリビニルブチラー
ルやポリエチレンなどの有機高分子化合物やシリコンイ
ミド化合物やポリシラン化合物などの有機Ｓｉ高分子化
合物などを適量添加し、好ましくは８〜１５重量部添加
し、成形体の粒子体積充填率を６５％以上とするのが好
ましい。また成形方法は、射出成形、プレス成形、ラバ
ープレス成形、押出し成形、鋳込み成形、金型粉末成形
など形状と要求特性に応じて成形方法を選択する。

本発明において、複合セラミックス焼結体の気孔中に樹
脂、油、潤滑剤などを含浸することも可能であり、摺動
部材へも応用可能である。

本発明の軽量高剛性セラミックスは、精密位置制御を必
要とする各種機構部品へ応用可能であり、例えば、ディ
スク装置用キャリッジ及びアーム、電子部品をプリント
基板に挿入するだめの自動実装機のアーム及びステージ
、アクチュエーターの部品、ロボットのアームなどに好
適である。

また、熱膨張係数が小さく高剛性のため、工作機械のス
テージなどの構造部品にも適している。

〔作用〕

本発明は、軽量高剛性セラミックスに係るものであり、
特に反応焼結セラミックスマトリックス中に３次元連続
網目状構造体、中空繊維、中空粒子の一種以上を構成す
ることにより、比弾性率の高いセラミックスを得ること
が出来る。

また、防振効果としても有効な材料を得ることができ、
精密位置制御を必要とする各種機構部品へ応用可能であ
り、アクセスタイムを大巾に短縮出来る。

〔実施例〕

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、
本発明はこれら実施例に限定されない。

実施例１ 押出し成形、焼結により作製した相対密度９５％のカー
ボン質３次元連続網目状構造体（第１図のａ）を成形用
の型内に設置し、平均粒径０．８μｍのＳｉ粉末に解こ
う剤と蒸留水を混合したスラリーを型内に流し詰み、成
形体を作製した。成形体は水分を除去した後、窒素ガス
中１３８０℃まで段階的に長時間かけて加熱処理し、生
成物であるＳｉ３Ｎ４（第１図のｂ）で結合したカーボ
ン質３次元連続網目状構造体セラミックス（第１図）を
得た。断面を第２図に示す。また、反応焼結セラミック
スとカーボン質３次元連続網目状構造体との微構造模式
図を第３図に示す。カーボン質３次元連続網目状構造体
が、Ｓｌの生成物であるＳｉ３Ｎ、粒子及びＳｉ３Ｎ４
ウイスカで結合されている。Ｓ　ｌ　３　ＩＱ−粒子及
びＳｉ３Ｎ４　ウィスカは気相反応で生成するた約に、
この粒界には、ガラス相などの高温で軟イヒする組成は
介在していない。

この時の成形体から焼結体への寸法変化率は０．１％と
小さく寸法精度に優れたものが得られた。焼結体の気孔
率は１８％、気孔径２０μｍ以下、比弾性率は１２４　
ＧＰａ／（ｇ／ｃｍ３）であった。

比弾性率は、弾性率を３点曲げ法によりそのたわみより
計算して求め、その値を焼結体の密度で割って求めた。

ｈヒ較のために、カーボン質３次元連続網目状構造体を
含まない反応焼結５ｉａＬセラミツクスを同様に作製し
、測定した結果、比弾性率は、６３　ＧＰａ／（ｇ／ｃ
ｍ３）であった。これより、本発明品は、極めて高い弾
性率を有することが判る。

本実施例の３次元連続網目状構造体は、カーボン以外に
タングステン、Ｓｉ３Ｎ、　、ＳｉＣ、ＡｌＮ　。

Ｓｉ０２、Ａ１．口、　、ＴｉＮ　、ムライト、ＺｒＯ
２などを用いても同様に焼結可能である。

また、上記成形体をＣＯガス雰囲気中で処理することに
より、Ｓｌが炭化されＳｉＣで結合されたカーボン質３
次元連続網目状構造体セラミックスが得られる。このと
き、カーボンの表面がＳｉＣに変化し、より比弾性率を
向上させることができる。これにより、比弾性率１６０
　ＧＰａ／（ｇ、’ｃｍ３）の構造体が得られた。ここ
で、３次元連続網目状構造体を含まない反応焼結ＳｉＣ
セラミックスの比弾性率は、１２５　ＧＰａ／（ｇ／ｃ
ｍ３）であり、本発明品が極めて高い比弾性率を有する
ことが判る。

実施例２ 押出し成形により作製したＳｉＣ質３次元連続網目状構
造体成形体を成形用の型内に設置し、平均粒径０．８μ
ｍのＴｉ粉末に解こう剤と蒸留水を混合したスラリーを
型内に流し込み、成形体を作製した。成形体は水分を除
去した後、窒素ガス中１５００℃まで同時に加熱処理し
、ＴｉＮでＳｉＣ質３次元連続網目状構造体を結合した
構造体の複合セラミックスを得た。焼結体の気孔率は１
８％、比弾性率は９８　ＧＰａ／（ｇ／ｃｍ３）であっ
た。この構造体は、４Ｘ１０−’Ωｍの導電性を有する
。

また、平均粒径０．８μｍのＴｉ粉末８０ｗｔ％に平均
粒径２μｍのＳｉＣ粉末粉末２０冗ｔラリーを同様に型
内に流し込み、成形、焼結を行った。その結果、比弾性
率は１　１　３　ＧＰａ／（ｇ／ｃｍ３）まで向上させ
ることができた。

実施例３ 平均粒径０．８μｍの８１粉末７０重量部と平均粒径１
０μｍ　（内径５μｍ）の８１０２中空粒子３０重量部
に熱可塑性樹脂を１３重量部添加、混合し、射出成形に
より成形体を作製した。成形体は樹脂分を除去した後、
窒素ガス中１３８０℃まで段階的に長時間かけて加熱処
理し、Ｓｉ３Ｎ４で結合したＳｉ０２中空粒子セラミッ
クス（第５図）を得た。この時の成形体から焼結体への
寸法変化率は０．１％と小さく寸法精度に優れたものが
得られた。焼結体の気孔率は２５％、気孔径２０μｎ以
下、比弾性率は９　８　ＧＰａ／（ｇ／　ｃｍ３）であ
った。

また、上記の焼結体を５０気圧の窒素中、１５００℃で
処理することにより、Ｓｉ口，中空粒子の表面層がＳｉ
３Ｎ４に変化し、より比弾性率の高いセラミックス［　
１　１　４　ＧＰａ／（ｇ／　ｃｍ３）　ｊが得られた
。

実施例４ 実施例３と同様にして、外径１　ｍｍ、内径０．５肚、
長さ５　ｍｍのＳｉＣ質中空繊維３０ｗｔ％、Ｓｌ粉末
７０ｉｖｔ％を成形、焼結した。その結果、Ｓｉ３Ｎ４
で結合したＳｉＣ質中空繊維セラミックス（第４図）を
得た。その結果、比弾性率１　２　０　ＧＰａ／（ｇ／
　ｃｍ３）の構造体が得られた。

実施例５ 実施例２と同様にして、焼結条件を変えて気孔率の異な
る焼結体を作製し、比弾性率を求めた。その結果を第６
図に示す。これより、気孔率が４０ｖｏｌ％を越えると
比弾性率が小さくなり、軽量高剛性材料として好ましく
ないことが判る。

実施例６ 実施例１で得られた３次元連続網目状構造セラミックス
を用いて、第７図に示すような磁気ディスク装置のキャ
リッジ、アーム部品を構成した。磁気ディスク２は、ス
ピンドル１９で保持され、高速で回転する。薄膜磁気ヘ
ッド組立て体１３はアームアセンブリ１４に保持され、
その先端に薄膜磁気ヘッドが設けられる。この組立て体
１３は磁気ディスク２０の数だけ有り、キャリッジ１６
に一体に固定され、ガイドレール６の上をベアリング５
によって同時に移動する。移動は、磁気回路１５によっ
て自動釣行われる。従来のアルミ製品に比較して、比弾
性率が２倍以上向上し、駆動、停止に伴う振動（びびり
）が小さくなり磁気ディスク装置の信頼性が大幅に向上
した。

〔発明の効果〕

本発明によりセラミックスの比弾性率を大幅に改善する
ことができる。したがって、駆動、停止を繰り返す機構
部品の剛性や信頼性を著しく向上させることができ、従
来に無い、高精密制御の機構部品を提供することが可能
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は３次元連続網目状構造複合セラミックスを示す
斜視図、第２図は第１図の断面模式図、第３図は反応焼
結セラミックスマトリックスと３次元連続網目状構造体
との結合部分を示す拡大微構造模式図、第４図は中空繊
維複合セラミックスを示す斜視図、第５図は中空粒子複
合セラミックスを示す斜視図、第６図は焼結体気孔率と
比弾性率の関係を示すグラフ、第７図は磁気ディスク装
置の断面図、第８図及び第９図は、粒子、ウィスカと３
次元連続網目状構造体、中空粒子、中空繊維の結合状態
を示す拡大構造図である。 ａ・・・３次元連続網目状構造体、ｂ・セラミックスマ
トリックス、Ｃ・・・中空繊維、ｄ・・・中空粒子、ｅ
・・・セラミックス粒子、ｆ・・・セラミックスウィス
カ、５・・・ベアリング、６・・・ガイドレール、１３
・・・薄膜磁気ヘッド組立て体、１４・・・アーム、１
５・・・磁気回路、１６・・・キャリッジ、１７・・・
導体、１８・・・エンクロージャ、１９・・・スピンド
ル、２０・・・磁気ディスク、Ａ・・・３次元連続網目
状構造体、中空繊維、中空粒子 特許出願人　　株式会社日立製作所 代　　理　　人　　　中　　　本　　　　　　　定向　
　　　　　井　　　上　　　　　　　昭図面の浄書（内
容に変更なし） 第１（ロ） 図面の浄書（内容に変更なし） 第３図 易２凰 琥’７１！１ 邪乙鵬

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、気孔率４０ｖｏｌ％以下の反応焼結セラミックスマ
   トリックス中に、３次元連続網目状構造体が形成されて
   いることを特徴とする軽量高剛性セラミックス。 ２、気孔率４０ｖｏｌ％以下の反応焼結セラミックスマ
   トリックス中に、中空粒子が形成されていることを特徴
   とする軽量高剛性セラミックス。 ３、気孔率４０ｖｏｌ％以下の反応焼結セラミックスマ
   トリックス中に、中空繊維が形成されていることを特徴
   とする軽量高剛性セラミックス。 ４、請求項１、２又は３記載において、反応焼結セラミ
   ックスマトリックスとして、Ｓｉ＿３Ｎ＿４又はＳｉＣ
   からなるセラミックスを用いることを特徴とする軽量高
   剛性セラミックス。 ５、請求項４記載において、前記マトリックスがＳｉ＿
   ３Ｎ＿４からなるセラミックスで、比弾性率９０ＧＰａ
   ／（ｇ／ｃｍ＾３）以上の特性を有することを特徴とす
   る軽量高剛性セラミックス。 ６、請求項４記載において、前記マトリックスがＳｉＣ
   からなるセラミックスで、比弾性率１４０ＧＰａ／（ｇ
   ／ｃｍ＾３）以上の特性を有することを特徴とする軽量
   高剛性セラミックス。 ７、請求項１、２又は３記載において、３次元連続網目
   状構造体、中空粒子又は中空繊維は金属単体、炭化物、
   窒化物、酸化物、酸窒化物、珪化物、硼化物から選ばれ
   た少なくとも一種からなることを特徴とする軽量高剛性
   セラミックス。 ８、請求項１〜４のいずれか１項記載において、反応焼
   結セラミックスマトリックスの気孔が、プラスチック、
   ガラス、金属から選ばれた少なくとも一種で埋められて
   いることを特徴とする軽量高剛性セラミックス。 ９、請求項１、２又は３記載において、反応焼結セラミ
   ックスマトリックスが、窒化物、酸化物、酸窒化物、炭
   化物から選ばれた少なくとも一種の粒子及び／又はホイ
   スカからなることを特徴とする軽量高剛性セラミックス
   。 １０、請求項１、２又は３記載において、反応焼結セラ
   ミックスマトリックスが、平均粒径 １００μｍ以下の炭化物、酸化物、窒化物、酸窒化物か
   ら選ばれた少なくとも一種の無機化合物と、平均粒径が
   該無機化合物より小さいＳｉ＿３Ｎ＿４、及び気孔量４
   ０ｖｏｌ％以下、最大気孔径が３０μｍ以下の気孔で構
   成されたセラミックスとから成ることを特徴とする軽量
   高剛性セラミックス。 １１、３次元連続網目状構造体、中空粒子、中空繊維の
   少なくとも一種と、金属粉末とからなる成形体を、反応
   焼結して得られる反応生成物で、３次元連続網目状構造
   体、中空粒子、中空繊維の少なくとも一種を結合した、
   気孔量が４０ｖｏｌ％以下、最大気孔径が３０μｍ以下
   の気孔からなる軽量高剛性セラミックス。 １２、３次元連続網目状構造体、中空粒子、中空繊維の
   少なくとも一種と、金属粉末及び無機化合物とからなる
   成形体を、反応焼結して得られる反応生成物で、３次元
   連続網目状構造体、中空粒子、中空繊維の少なくとも一
   種を結合した、気孔量が４０ｖｏｌ％以下、最大気孔径
   が３０μｍ以下の気孔からなる軽量高剛性セラミックス
   。 １３、３次元連続網目状構造体、中空粒子、中空繊維の
   少なくとも一種と、金属Ｓｉ粉末とからなる成形体を、
   窒化して得られるＳｉ＿３Ｎ＿４で、３次元連続網目状
   構造体、中空粒子、中空繊維の少なくとも一種を結合し
   た、気孔量が ４０ｖｏｌ％以下、最大気孔径が３０μｍ以下の気孔か
   らなる軽量高剛性セラミックス。 １４、３次元連続網目状構造体、中空粒子、中空繊維の
   少なくとも一種と、金属Ａｌ粉末とからなる成形体を、
   窒化して得られるＡｌＮで、３次元連続網目状構造体、
   中空粒子、中空繊維の少なくとも一種を結合した、気孔
   量が４０ｖｏｌ％以下、最大気孔径が３０μｍ以下の気
   孔からなる軽量高剛性セラミックス。 １５、請求項１〜１４のいずれか１項記載の軽量高剛性
   セラミックスを用いて成形したことを特徴とする往復運
   動及び／又は回転運動用駆動機構部品。 １６、請求項１〜１４のいずれか１項記載の軽量高剛性
   セラミックスを用いて成形したことを特徴とする磁気用
   、光用又は光磁気用ディスク装置用キャリッジ及びアー
   ム。