JPH04354545A - 循環式小型クリーンルーム - Google Patents
循環式小型クリーンルームInfo
- Publication number
- JPH04354545A JPH04354545A JP12622291A JP12622291A JPH04354545A JP H04354545 A JPH04354545 A JP H04354545A JP 12622291 A JP12622291 A JP 12622291A JP 12622291 A JP12622291 A JP 12622291A JP H04354545 A JPH04354545 A JP H04354545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- room
- clean room
- recirculating
- return ducts
- posts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体精密部品の製造
、生物の培養、食品の梱包等の高クリーン度が要求され
る作業に用いることができる、特に小型の循環式クリー
ンルームに関する。
、生物の培養、食品の梱包等の高クリーン度が要求され
る作業に用いることができる、特に小型の循環式クリー
ンルームに関する。
【０００２】
【従来の技術】簡易クリーンルームとしては、従来ＨＥ
ＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃ
ｕｌａｔｅＡｉｒ）フィルターを装備した送風ユニット
１１を取り付け、図４（ａ）に示すように外部から導入
した空気をフィルタリングした後、室内またはブース内
に送るか、図４（ｂ）に示すように、送風部分の近くに
ある吸気吸い込み口１２から空気を吸い、フィルタリン
グして吹き出し口１３から吹き出すという具合に循環さ
せる構造をしている。
ＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃ
ｕｌａｔｅＡｉｒ）フィルターを装備した送風ユニット
１１を取り付け、図４（ａ）に示すように外部から導入
した空気をフィルタリングした後、室内またはブース内
に送るか、図４（ｂ）に示すように、送風部分の近くに
ある吸気吸い込み口１２から空気を吸い、フィルタリン
グして吹き出し口１３から吹き出すという具合に循環さ
せる構造をしている。
【０００３】しかし、前者の場合、空気を循環させずに
、外部に排出するためにクリーン度を上げることができ
ず、後者の構造ではクリーンルーム内で空気が乱流する
ために、クリーン度を維持することが困難である。
、外部に排出するためにクリーン度を上げることができ
ず、後者の構造ではクリーンルーム内で空気が乱流する
ために、クリーン度を維持することが困難である。
【０００４】大型のクリーンルームでは、天井部に送風
ユニットを、床下にリターン溝を有し、空気の流れをダ
ウンフローにすることによりクリーン度を上げる構造を
しているが、現在までのところ、循環式の小型クリーン
ルームでは、リターンダクトの構造が大掛かりとなるた
めに、ダウンフローの循環式のものはない。
ユニットを、床下にリターン溝を有し、空気の流れをダ
ウンフローにすることによりクリーン度を上げる構造を
しているが、現在までのところ、循環式の小型クリーン
ルームでは、リターンダクトの構造が大掛かりとなるた
めに、ダウンフローの循環式のものはない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、大掛
かりな構造物を要することなく、循環式で気流がダウン
フローに近い小型クリーンルームを提供することを目的
とする。
かりな構造物を要することなく、循環式で気流がダウン
フローに近い小型クリーンルームを提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の循環式クリーン
ルームは、床，天井，支柱及び４側面を有する循環式ク
リーンルームにおいて、前記支柱を中空とし、リターン
ダクトとしたことを特徴とする。前記４側面は、取替可
能なパネルとすることができる。
ルームは、床，天井，支柱及び４側面を有する循環式ク
リーンルームにおいて、前記支柱を中空とし、リターン
ダクトとしたことを特徴とする。前記４側面は、取替可
能なパネルとすることができる。
【０００７】
【作用】本格的なクリーンルームと同様なリターンダク
トを有し、しかもコンパクトな構造とするために、図１
に示すように４隅の柱を中空として、これをリターンダ
クト４として兼用する。このことにより、天井部分に設
置されたＨＥＰＡフィルタを持つ送風ユニット１の吹き
出し口２から吹き出されたクリーンエアは下側への流れ
となり、また通気孔を有する床面５及びリターンダクト
４を介して送風ユニット１の吸い込み口３に循環される
ため、室内のクリーン度を高く維持できる。また、４側
面は取替可能な構造とすることにより、クリーンベンチ
、測定装置、パスボックス等の付加装置を必要に応じて
取付けることが可能となる。これにより、室内に搬入す
べき物を少なくでき、クリーンルームの内容積を小さく
することができる。
トを有し、しかもコンパクトな構造とするために、図１
に示すように４隅の柱を中空として、これをリターンダ
クト４として兼用する。このことにより、天井部分に設
置されたＨＥＰＡフィルタを持つ送風ユニット１の吹き
出し口２から吹き出されたクリーンエアは下側への流れ
となり、また通気孔を有する床面５及びリターンダクト
４を介して送風ユニット１の吸い込み口３に循環される
ため、室内のクリーン度を高く維持できる。また、４側
面は取替可能な構造とすることにより、クリーンベンチ
、測定装置、パスボックス等の付加装置を必要に応じて
取付けることが可能となる。これにより、室内に搬入す
べき物を少なくでき、クリーンルームの内容積を小さく
することができる。
【０００８】
【実施例】以下に、本発明を図面に示す実施例を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【０００９】図２に本発明の基本構造を示す。天井中央
部分にＨＥＰＡフィルタを持つ送風ユニット１があり、
４隅の支柱がリターンダクト４を兼ね、ダクト４を介し
てエアは再び送風ユニット１に戻る。基本的に４側面は
フリーなパネル６である。
部分にＨＥＰＡフィルタを持つ送風ユニット１があり、
４隅の支柱がリターンダクト４を兼ね、ダクト４を介し
てエアは再び送風ユニット１に戻る。基本的に４側面は
フリーなパネル６である。
【００１０】図３には本発明の応用例を示す。入室用の
ドア８、資材搬入用のパスボックス９、作業用のクリー
ンベンチ１０及び測定機器７などをパネル６に取付けた
場合を示している。
ドア８、資材搬入用のパスボックス９、作業用のクリー
ンベンチ１０及び測定機器７などをパネル６に取付けた
場合を示している。
【００１１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれば
構造物を支持する４本の柱を中空としてこれをリターン
ダクトと兼用しているため、特別なダクト配管が不要と
なり、コンパクトな循環式クリーンルームを実現するこ
とができる。また、４側面を取替可能なパネル構造とす
ることにより、用途に応じた適用が可能となる。
構造物を支持する４本の柱を中空としてこれをリターン
ダクトと兼用しているため、特別なダクト配管が不要と
なり、コンパクトな循環式クリーンルームを実現するこ
とができる。また、４側面を取替可能なパネル構造とす
ることにより、用途に応じた適用が可能となる。
【００１２】クリーンルーム内のクリーン度は、部屋の
内容積、構造、送風機の能力及び室内に外部から持ち込
まれる物の量によって決まるが、機材を交換可能なパネ
ルに埋め込むことによって室内の表面積を減らし、また
機材等がないために部屋の内容積を小さくすることがで
きる。これによって送風ファンの電気容量を低くするこ
とができ、高クリーン度を低電力消費で維持することが
可能となる。
内容積、構造、送風機の能力及び室内に外部から持ち込
まれる物の量によって決まるが、機材を交換可能なパネ
ルに埋め込むことによって室内の表面積を減らし、また
機材等がないために部屋の内容積を小さくすることがで
きる。これによって送風ファンの電気容量を低くするこ
とができ、高クリーン度を低電力消費で維持することが
可能となる。
【図１】 本発明の基本的構成を示す断面図である。
【図２】 本発明の基本的実施例を示す斜視図である
。
。
【図３】 本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図４】 従来のクリーンルームの例を示す断面図で
ある。
ある。
１ 送風ユニット、２吹き出し口、３ 吸い込み口
、４ リターンダクト、５床面、６ パネル、７
測定機器、８ ドア、９ パスボックス、１０
クリーンベンチ
、４ リターンダクト、５床面、６ パネル、７
測定機器、８ ドア、９ パスボックス、１０
クリーンベンチ
Claims (2)
- 【請求項１】 床，天井，支柱及び４側面を有する循
環式クリーンルームにおいて、前記支柱を中空とし、リ
ターンダクトとしたことを特徴とする循環式クリーンル
ーム。 - 【請求項２】 ４側面を取替可能なパネルとしたこと
を特徴とする請求項１記載の循環式クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12622291A JPH04354545A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 循環式小型クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12622291A JPH04354545A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 循環式小型クリーンルーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04354545A true JPH04354545A (ja) | 1992-12-08 |
Family
ID=14929774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12622291A Pending JPH04354545A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 循環式小型クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04354545A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60120874A (ja) * | 1983-09-12 | 1985-06-28 | ワ−ナ−−ランバ−ト・コンパニ− | Ｃｌ−１９５７ｂ抗菌性化合物およびその製法 |
| JPS6183648A (ja) * | 1984-09-26 | 1986-04-28 | Agency Of Ind Science & Technol | 結晶化ガラスとその製造方法 |
-
1991
- 1991-05-29 JP JP12622291A patent/JPH04354545A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60120874A (ja) * | 1983-09-12 | 1985-06-28 | ワ−ナ−−ランバ−ト・コンパニ− | Ｃｌ−１９５７ｂ抗菌性化合物およびその製法 |
| JPS6183648A (ja) * | 1984-09-26 | 1986-04-28 | Agency Of Ind Science & Technol | 結晶化ガラスとその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6632260B1 (en) | Adjustable clean-air flow environment | |
| JPH0136009B2 (ja) | ||
| JP3911904B2 (ja) | クリーンルーム構造 | |
| US3638404A (en) | Vertical laminar-flow clean room of flexible design | |
| US10184686B2 (en) | System for maintaining a pollutant controlled workspace | |
| JPH0322547B2 (ja) | ||
| JPH064125B2 (ja) | クリ−ンベンチ | |
| JPH0348417B2 (ja) | ||
| JPH11211164A (ja) | 空気清浄化用送風機ユニット | |
| JPH06272921A (ja) | クリーンブースユニット及びそれを備えたクリーンルーム | |
| JPH04354545A (ja) | 循環式小型クリーンルーム | |
| JP2551923Y2 (ja) | クリーンルーム | |
| JP2531334B2 (ja) | カセット形天井設置用換気ユニット | |
| JPH0611064Y2 (ja) | クリーンルーム用ファンフィルタユニット | |
| JPH0466034A (ja) | 動物飼育装置 | |
| JPS6346327A (ja) | 可変風量吹出し吸込みユニツトを有するクリ−ンル−ム | |
| JP2849673B2 (ja) | 組合せ型エアコンユニット | |
| JPH06341686A (ja) | クリーンルームのクリーンシステム及び移動式クリーンユニット | |
| JPH0514105Y2 (ja) | ||
| JPH065541Y2 (ja) | 空気調和設備 | |
| JPS61168735A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPS62182541A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPH029324Y2 (ja) | ||
| CN212027258U (zh) | 一种模块化洁净棚 | |
| JPH02161240A (ja) | クリーンルームの床下二層構造 |