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JPH04346448A - ワイヤボンダ用ボール形成装置 - Google Patents

ワイヤボンダ用ボール形成装置

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JPH04346448A
JPH04346448A JP3148125A JP14812591A JPH04346448A JP H04346448 A JPH04346448 A JP H04346448A JP 3148125 A JP3148125 A JP 3148125A JP 14812591 A JP14812591 A JP 14812591A JP H04346448 A JPH04346448 A JP H04346448A
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義光 寺門
Kazumasa Sasakura
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は放電によってワイヤの先
端にボールを形成するワイヤボンダ用ボール形成装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンダにおけるボール形成装置は
、ワイヤの先端と放電電極間に高電圧を印加して放電さ
せることによってワイヤ先端にボールを形成するもので
ある。なお、この種の装置に関連するものとして、例え
ば特公昭６１ー４６９６８号公報、特公平１ー５４８５
８号公報、特公平１ー５４８５９号公報等があげられる
。
【０００３】ところで、前記したボール形成において、
高圧電源からの高電圧を定電流回路を介してワイヤ先端
に印加した場合、ワイヤ先端と放電電極間のギャップの
ばらつきがボール形成に悪影響を与える。即ち、前記ギ
ャップが大きくなるにつれてワイヤに印加される放電電
圧は大きくなるので、ボール径も大きくなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、高電
圧を定電流回路を介して印加した場合における放電電極
とワイヤ先端とのギャップのばらつきによるボール径の
不安定については何ら配慮がされていなく、均一なボー
ル径が得られないという問題点があった。
【０００５】本発明の目的は、均一なボール径が得られ
るワイヤボンダ用ボール形成装置を提供することにある
。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、高圧電源と放電電極間に定電流回路
を設け、ワイヤの先端と放電電極間に放電時の放電電流
を一定に制御して高電圧を印加し、ワイヤの先端にボー
ルを形成するワイヤボンダ用ボール形成装置において、
前記放電時における放電電圧を検出し、この検出された
放電電圧の変化に応じて前記定電流回路による放電時間
を制御することを特徴とする。
【０００７】
【作用】放電電圧の変化に応じて定電流回路による放電
時間を制御するので、ワイヤに印加される電力、即ちエ
ネルギーを一定とすることができる。即ち、放電電圧が
大きい時は、放電時間を短くし、逆に放電電圧が小さい
時は放電時間を長くする。これにより、常に均一なボー
ル径を得ることができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１により説明す
る。ボール形成時には、クランパ１でワイヤ２をクラン
プし、キヤピラリ３に挿通されたワイヤ２と所定のギャ
ップＧを保つようにワイヤ２の先端下方に放電電極４が
移動させられる。そして、ワイヤ２の先端と放電電極４
間にボール形成装置により高電圧が印加され、ワイヤ２
の先端にボールが形成される。
【０００９】前記ボール形成装置は次のように構成され
ている。高圧電源１０の一方の出力線１０ａは定電流回
路１１の入力部に接続され、定電流回路１１の出力線１
１ａは放電電極４に接続されている。また高圧電源１０
の他方の出力線１０ｂ及びクランパ１に接続された接続
線１ａはそれぞれアースされている。また前記出力線１
１ａと前記出力線１０ｂには放電電圧を検出する放電電
圧検出回路１２が接続されている。前記定電流回路１１
には、定電流制御用電源１３によって電圧が印加され、
定電流回路１１の放電電流の大きさは、放電電流可変抵
抗１４によって設定できるようになっている。
【００１０】前記放電電圧検出回路１２により検出され
た放電電圧は、電圧を時間に変換するＶーＴコンバータ
２０に入力される。ＶーＴコンバータ２０の出力は放電
時間設定回路２１に入力され、放電時間設定回路２１に
予め設定された放電時間が補正され、放電時間設定回路
２１より出力する補正された放電時間により前記定電流
回路１１の放電時間が制御されるようになっている。ま
た前記ＶーＴコンバータ２０及び放電時間設定回路２１
には、放電時間制御用電源２２によって電圧が印加され
、放電時間設定回路２１の放電時間は、放電時間可変抵
抗２３によって設定できるようになっている。
【００１１】次に作用について説明する。放電時には、
放電開始信号が放電時間設定回路２１に入力され、放電
時間設定回路２１からの信号によって定電流回路１１の
トリガが開く。そこで、定電流回路１１には放電電流可
変抵抗１４によって予め設定された放電電流が作用し、
高圧電源１０の高電圧がワイヤ２の先端と放電電極４に
印加され、放電が起こってワイヤ２の先端にボールが形
成される。この場合、前記放電電圧は、定電流回路１１
を介してワイヤ２の先端と放電電極４に印加されるので
、ワイヤ２の先端と放電電極４とのギャップＧが変化す
ると、ギャップＧに比例して放電電圧は変化する。即ち
、図２に示すように、ギャップＧが大きくなると、放電
電圧Ｙも大きくなる。
【００１２】しかるに、本実施例においては、ワイヤ２
と放電電極４に印加された前記放電電圧Ｙを放電電圧検
出回路１２によって検出し、この放電電圧ＹをＶーＴコ
ンバータ２０によって時間に変換し、予め放電時間可変
抵抗２３によって設定された放電時間を前記放電電圧Ｙ
の変化によって補正する。そして、この補正された時間
だけ放電時間設定回路２１によって定電流回路１１が作
用し、ワイヤ２の先端と放電電極４間に印加される高電
圧の時間が制御される。即ち、図２に示すように、放電
電圧Ｙが大きくなるに従って放電時間Ｘは短くなるよう
に制御される。
【００１３】このように、放電電圧Ｙが変化した分だけ
、即ちギャップＧが変化した分だけ、放電時間Ｘを制御
するので、ワイヤ２に印加される電力（エネルギー）を
常に一定とすることができ、ギャップＧの変化にかかわ
らず常に均一なボール径を得ることができる。即ち、図
３に示すように、放電時間が常に一定の場合には、ギャ
ップＧに比例してボール径も大きくなった。しかし、本
実施例のように、放電電圧Ｙの変化、即ちギャップＧの
変化に比例して放電時間Ｘを制御した場合には、ギャッ
プＧの変化に関係なく一定のボール径が得られた。
【００１４】実験の結果、放電電圧Ｙの単位をＶ（ボル
ト）、放電時間Ｘの単位をｍＳとした場合、均一なボー
ル径が得られる条件は数１で表されることが判明した。 （数１）　　Ｙ＝−０．０１８Ｘ＋１０．８
【００１５
】
【発明の効果】本発明によれば、放電時における放電電
圧を検出し、この検出された放電電圧の変化に応じて前
記定電流回路による放電時間を制御するので、常に均一
なボール径が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す回路図である。
【図２】ギャップと放電電圧及び放電時間の関係を示す
図である。
【図３】ギャップとボール径との関係を示す図である。
【符号の説明】
２　　　　ワイヤ ４　　　　放電電極 １０　　高圧電源 １１　　定電流回路 １２　　放電電圧検出回路 ２０　　ＶーＴコンバータ ２１　　放電時間設定回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　高圧電源と放電電極間に定電流回路を
    設け、ワイヤの先端と放電電極間に放電時の放電電流を
    一定に制御して高電圧を印加し、ワイヤの先端にボール
    を形成するワイヤボンダ用ボール形成装置において、前
    記放電時における放電電圧を検出し、この検出された放
    電電圧の変化に応じて前記定電流回路による放電時間を
    制御することを特徴とするワイヤボンダ用ボール形成装
    置。
JP3148125A 1991-05-24 1991-05-24 ワイヤボンダ用ボール形成装置 Expired - Fee Related JP2835989B2 (ja)

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