JPH04343448A - ウェーハ把持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロボット等のアーム先
端部に取り付けて用いられるウェーハ把持装置に関し、
特に半導体ウェーハの端面を挟持し、位置精度よく把持
でき、把持状態での確実な保持性を維持できる把持装置
に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置のウェーハを把持する装置の
第１の従来例を図１０に示す。同図の装置は、ウェーハ
１を真空吸着するバキューム孔５ａを有する吸着部８と
、この吸着部８に連結された基体９と、真空ポンプに連
結され基体９を介して上記吸着部８と連結するバキュー
ムホース５ｂとで構成されている。この従来装置による
ウェーハ１の把持は、図１１に示すように、ウェーハ１
を吸着部８の表面に載置し、真空吸着により行なう。 また吸着したウェーハ１を吸着部８から取り外すときに
は、真空を常圧に戻すことにより行なう。

【０００３】図１０に示した把持装置は、構造が簡単で
安価であるが、把持の信頼性に問題が多い。例えば図１
１に示すように、ウェーハ１の吸着面に垂直方向の引っ
張り力Ｔには強いが、吸着面に平行方向の力Ｓに対して
は非常に弱いことが原因となり、ウェーハを落下させる
ことがある。またこの把持方法では、あらかじめ設定さ
れたウェーハ上の吸着位置と、実際に吸着された吸着位
置との間に誤差が生じるため、精度よくウェーハの把持
ができない等の問題点がある。

【０００４】半導体ウェーハを把持する装置の第２の従
来例を図１２に示す。この装置は、底板と、この底板の
両端部上に立設された一対の端板２，３及びカバー４か
らなる基体を有し，この基体の内側に機構部分が設けら
れている。すなわち一対の端板２，３に一対のガイドシ
ャフト６，７が互いに平行に取り付けられ、このガイド
シャフト６，７に一対の可動体１０，１１が滑動かつ互
いに弾性体により引き合って支持されている。この一対
の可動体１０，１１の一方、すなわちこの例では、基体
の一端部側に配置された可動体１０の中央上部に可動指
１２が取り付けられている。この可動指１２は、基体の
一端部端板２を貫通して、その前方に延出し、その先端
部にはウェーハ１を把持するための支持爪１４が取り付
けられている。また可動指１２の基端部は、可動体１１
に形成された溝内に挿入されている。またこの可動体１
１にはラック１９が取り付けられ、ラツク１９と歯合す
るピニオン２０が、底板に固定されたモータの出力軸に
取り付けられている。また基体の一方の端板２の外端に
は、固定指１７，１８が取り付けられ、それぞれの先端
部には、可動指１２に取り付けられた支持爪１４と同様
の支持爪１５，１６が設けられる。

【０００５】この図に示す従来装置によるウェーハの把
持は、上記支持爪１４，１５，１６間に介挿されたウェ
ーハ１（１点鎖線で示す）を、上記基体内に設けられた
機構を作動させることにより、可動指１２を滑動させ、
可動指１２と固定指１７，１８との間で把持することに
より行なわれる。なお把持したウェーハの解放は、上記
把持動作の逆であり、上記動作と逆の順序で動作する。

【０００６】上記図１２に示した把持装置は、第１の従
来例の真空吸着による把持装置に比べ、精度よく確実に
ウェーハを把持できる。しかしウェーハを把持する際に
可動指１２の運動方向と逆方向に、一時的に外力が加わ
った場合、例えば、ある面上に固着したウェーハを可動
指１２によりはがし取るとき、或いはウェーハを滑らせ
て移動するときのように面の摩擦力が急激に変化する場
合、可動指１２の移動速度は一定でなくなり、可動体１
０，１１の間隔は一時的に広がる。その後外力がなくな
ると、ウェーハは外力が加わる前の可動指１２の運動方
向に急激に移動することになる。さらに固定指１７，１
８のように、一対の把持指の一方が固定指であるため、
外力を緩衝吸収することができず、把持しているウェー
ハを破損してしまう可能性が大きいという問題点がある
。さらにこの把持装置は、ウェーハを把持している状態
で、可動指１２にウェーハを押圧する外力が働いた場合
、一対の把持指の一方が固定指であるため、外力を緩衝
吸収することができず、把持しているウェーハを破損し
てしまう可能性が大きいという問題点があった。

【０００７】半導体ウェーハを把持する第３の従来例を
図１３を参照して説明する。この例は、ウェーハの両面
に形成された電極または電極パッド上に半田付けを行な
うような工程で使用されるものである。従来工程では、
ウェーハ１ａをピンセット１３で挟み、そのまま半田槽
１９の中へ浸し、数秒間半田槽の中に保持した後、すば
やく引き上げウェーハ１ａの両面に半田を付けていた。

【０００８】上記ウェーハの両面半田付け作業は、人手
作業で行なわれており、溶けた半田を扱うので３００℃
以上の高温になり、火傷の危険性や、作業中の室温の上
昇、溶けた半田から発生するガスなどで、作業環境の悪
化と健康上の問題がある。また、人手作業で行なうため
に個人差があり、半田の付着程度等品質に多少のバラツ
キが発生し、安定した品質のものができないという問題
があるし、半田槽の中への挿入時に割れてしまうウェー
ハも出てくる。さらにピンセットでウェーハの両面から
挟み込むので、ピンセットで挟まれた部分の素子は半田
が付着しないまま残ってしまい、歩留まり低下の原因に
もなっている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】これまで述べたように
、ウェーハ主面を真空吸着して把持する装置は、ウェー
ハの吸着面に平行な外力に対しては把持力が非常に弱く
、またウェーハ吸着時、あらかじめ設定された吸着位置
と実際に吸着された吸着位置の間に誤差が生ずる等のた
め、ウェーハの把持位置の精度が悪く、またウェーハ把
持中にウェーハが動いたり、落下したりする把持の不確
実という課題がある。

【００１０】また最近試みられている第２の従来例の把
持装置では、上述の問題点は軽減されるが、この装置の
把持指は、一方が可動指、他方が固定指という構成のた
め、ウェーハを把持するとき、またはウェーハ把持中に
おいて、可動指にウェーハを押圧する方向の衝撃力が加
わると、ウェーハを破損する可能性が大きいという問題
点がある。

【００１１】本発明の目的は、アーム先端部などに設け
られるウェーハ把持装置において、ウェーハを把持する
とき、または把持中に位置精度よく確実にウェーハを把
持することができるとともに、把持指に外力が加わった
場合でもウェーハを破損することがないウェーハ把持装
置を提供し、また他の目的は、ウェーハの両面半田付け
における前記問題点を解決し、工程の自動化を可能とす
るウェーハの把持装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明のウェーハ把持装
置は、アームの先端部に設けられるウェーハ把持装置に
おいて、（ａ）長手方向に移動できる第一の可動指と，
（ｂ）第１可動指の先端部に回動自在に取り付けられ、
ウェーハ端面に当接してウェーハを支持する支持爪と、
（ｃ）第１可動指と並列に設けられる第２可動指と、（
ｄ）第２可動指の先端部に回動自在に取り付けられ、ウ
ェーハ端面に当接してウェーハを支持する支持爪と、（
ｅ）第１可動指の支持爪でウェーハ端面を押して第２可
動指の支持爪にウェーハ端面を当接し、第１及び第２の
可動指の前記支持爪でウェーハを挟持する第１可動指駆
動機構とを具備することを特徴とするものである。

【００１３】

【作用】ウェーハを把持する際、第１可動指は、ウェー
ハ端面を押してあらかじめ設定された一定距離移動する
ので、常に一定の力でウェーハを確実に把持できる。ウ
ェーハ把持指は、第１及び第２可動指から成り、固定指
を含まないことと、各可動指の先端部に取り付けられた
支持爪は回動自在であること等により、可動指にウェー
ハを押圧する外力が加わっても、緩衝作用があり、ウェ
ーハの破損を軽減できる。また支持爪は回動自在である
のでウェーハを支持するとき、多少の位置ずれがあって
も、把持動作中に位置補正が行なわれ、ウェーハの把持
位置の精度が良い。複数の支持爪によりウェーハ端面を
当接して把持するので、製品となる基板面を傷つけない
。本発明のウェーハ把持装置の構成では、ウェーハの把
持、解放の自動化が容易であり、所望により可動指及び
支持爪に半田が付着しない材質を使用することにより、
ウェーハの両面半田付け作業の自動化が可能となる。

【００１４】

【実施例】図１は、本発明のウェーハ把持装置の第１実
施例の構成を模式的に示す一部破砕平面図であり、図２
はこの装置のＩＩ−ＩＩ線（図１の一点鎖線参照）断面
図である。又、図１４は、図１に示す把持装置の基体内
部の機構部分の拡大平面図である。

【００１５】この把持装置は、底板２１の両端部上に設
けられた一対の端板２２，２３及びカバー２４から成る
基体２５を有し、この基体２５の内部に機構部分が設け
られている。一対の端板２２，２３に一対のガイドシャ
フト２６，２７が取り付けられ、これらガイドシャフト
２６，２７にボールブッシュを介して一対の可動体３０
，３１が滑動可能に支持されている。

【００１６】一対の可動体３０，３１の一方、すなわち
この例では可動体３０の中央上部に第１の可動指３２が
取り付けられている。第１可動指３２は、基体２５の端
板２２を貫通してその前方に延出し、その先端部には、
ウェーハ端面に当接してウェーハ１を把持するための支
持爪３４が取り付けられている。

【００１７】また他方の可動体３１の上部には２本の第
２可動指３７，３８が取り付けられている。この第２可
動指３７，３８は、第１可動指３２と同一平面上に位置
するように基体２５の端板２２を貫通して、その前方に
延出し、その各先端部には、第１可動指の支持爪３４と
同様の支持爪３５，３６が取り付けられている。また第
１可動指３２に取り付けられた支持爪３４と、第２可動
指３７，３８に取り付けられた支持爪３５，３６は、取
り付け部分を中心に回転する機構（図３，図４参照）と
なっている。

【００１８】また可動体３１の中央内部には、弾性体５
０が収納されている。この弾性体５０は、ねじ５１によ
って端板２２内に一端を固定されたピン５２に装着され
ている。可動体３１は、ウェーハ端面が方向６０ｂに移
動し、支持爪３５，３６に接触するまでは、弾性体５０
によって、端板２２側に引き寄せられている。したがっ
てウェーハ端面が爪３５，３６に接触した後さらに上記
移動を続けると、弾性体５０は、第２可動指３５，３６
を引き戻す方向６０ａの力すなわち把持力を発生させる
。

【００１９】さらに可動体３１の内部には、端板２２と
可動体３１との距離ｄ１　を測定する近接センサー４３
がねじ４４で固定されている。また近接センサー４３に
は、距離ｄ１　が所定値を越えたとき信号を外部制御装
置に送出する端子４５がついている。

【００２０】また可動体３０には、その移動距離を制限
するためのガイド溝４６を有するラック３９が、位置決
めピン４７ａ，４７ｂによってガイドシャフト２６，２
７に平行移動可能に取り付けられる。またラック３９と
歯合するピニオン４０が底板２１に固定されたモータの
出力軸に取り付けられている。ここで位置決めピン４７
ａ，４７ｂとガイド溝４６の一端との距離の余裕は、可
動体３１が端板２２に接触しているとき、第２可動指３
７，３８と端板２２との間に生じる距離ｄ２　と同等か
、それよりも短くしなければならない。

【００２１】第２可動指３７の先端部から突出してセン
サー４８が設けられ、把持されるウェーハの有無を検知
し、端子４９より信号を外部制御装置に送出する。

【００２２】また可動体３０の内部には、外部から第１
可動指３２に加わる衝撃力を緩衝する弾性体５３が収納
され、金具５４をラック３９にねじ５５によって取り付
けることによって封入している。また金具５４は、図示
してないが第１可動指３２の外部に取り付けられた外部
制御装置へ信号を送出する出力端子を持つリミットスイ
ッチのレバーに接触しておりドグ金具（スイッチを開閉
する押し金具）としての機能を持つ。ここで上記リミッ
トスイッチは、可動体３０があらかじめ設定された移動
範囲を越えた場合、この把持装置の動作を制止するため
のもので、制御信号を送出する機能があれば良いが、上
記レバーは微小な力に対しても作動する必要がある。

【００２３】また第１可動指３２は、ガイドシャフト２
６，２７に沿って直線運動するとともに弾性体５３を介
して固定部材に取り付けられ、第２可動指３７，３８は
、ガイドシャフト２６，２７に沿って直線移動可能に、
弾性体５０を介して固定部材に取り付けられ、支持爪３
４，３５，３６に加わるウェーハを押圧する方向の衝撃
力を緩衝吸収する機能を持っている。

【００２４】なお端板２３の外側には、この把持装置を
、例えばロボットアームに取り付けるためのフランジ部
５９が設けられている。

【００２５】次に、この把持装置の動作について述べる
。まず上記モータをあらかじめ設定された回転数だけ回
転させ、ラック３９，ピニオン４０から成る駆動機構を
介して可動体３０を矢印６０ａの方向に前進させると、
可動指３２，３７，３８の先端部に取り付けられた支持
爪３４，３５，３６の間隔が広がる。支持爪３４，３５
，３６の間隔は、ウェーハ１を十分余裕をもって挿入で
きる広さにする。この状態のとき、可動体３０と可動体
３１とは互いに接触しないように設定してある。この状
態で、例えばこの把持装置を支持するロボットアームを
駆動して、支持爪３４，３５，３６の間にウェーハ１を
介挿する。

【００２６】しかるのち、上記モータをあらかじめ設定
された回転数だけ逆回転させて可動体３０を後退させ、
ウェーハ１に支持爪３４を接触させて引き寄せ、さらに
支持爪３５，３６に接触させてウェーハ１を支持爪３４
，３５，３６で挟む。

【００２７】図３に第２可動指３７（または３８）に取
り付けられた支持爪３５（または３６）の断面図を、ま
た図４に基体２５から延出した第２可動指３７及び３８
の先端部に取り付けられた支持爪３５及び３６の斜視図
を示す。支持爪３５（または３６）は、Ｖ字溝を持った
ローラで、第２可動指３７（または３８）にねじ止めさ
れたピン５３を回転軸として、自由に両方向に回転でき
るように取り付けられている。第１可動指３２に取り付
けられる支持爪３４も支持爪３５及び３６と同様の構造
で、取り付け部分を中心に自由に回動できるようになっ
ている。

【００２８】このように支持爪３４，３５，３６は、自
身が自由に回動できるようになっているため、ウェーハ
のような円板状のものを挟むとき、ウェーハの端面がロ
ーラに接触し、ウェーハと共に回転して、ウェーハの中
心を精度よく把持することができる。というのも、図５
に示すように、可動指３７，３８に固定された支持爪だ
と、ウェーハのような薄い板状のものを把持すると、支
持爪のＶ字溝の部分にウェーハ端部が挟まってしまい、
３点で支持しなければならないところを２点で支持して
しまうということが起こり、ウェーハを運ぶ途中でウェ
ーハがぐらつく可能性もあり、ウェーハの位置精度が悪
くなる。なお符号３５ａ及び３６ａは可動指に固定され
た支持爪をあらわす。

【００２９】把持したウェーハの解放は、上記把持動作
の逆であり、上記動作と逆の順序で動作するので、その
説明を省略する。

【００３０】上記のように把持装置を構成すると、モー
タの回転を一定回転数だけ回転させれば、常に一定の力
でウェーハを把持できるので、把持力を精度よく調整す
ることができ、特にこわれやすい薄いウェーハを破損変
形することなく、確実に把持できるので落下などによる
ウェーハの破損を防止できる。またモータの出力トルク
を大きくすることで、ウェーハを引き寄せる力は大きく
でき、他方ウェーハを支持する力は、弾性体５０によっ
て必要最小限とすることができる。

【００３１】またウェーハの位置誤差についても、支持
爪３４，３５，３６に回転機構があるため、把持すると
きのウェーハの位置が多少ずれていても、把持すると支
持爪の回転に合わせてウェーハも回転し、把持中に誤差
補正が行なわれ、精度良く位置決めできる。

【００３２】さらにこの把持装置は、機構部分が基体２
５内に収容され、把持部分に複雑な構成がなく、小形に
形成されているので、小さな把持スペースでウェーハを
把持することができる。

【００３３】また可動指３２，３７，３８と可動体３０
，３１を介してこれを支えるガイドシャフト２６，２７
との間隔が小さく、モーメントを発生しないので、ウェ
ーハを把持する支持爪を精度よく位置決めでき、ウェー
ハを精度よく把持できる。

【００３４】次に図６、図７及び図８を参照し、本発明
の第２の実施例について説明する。本実施例のウェーハ
把持装置は、半田槽の中へウェーハを直接挿入し、ウェ
ーハの自動半田付けを行なう装置等において、ロボット
等のアーム先端に設けられるウェーハ把持装置である。

【００３５】この把持装置は、底板６１の両端に設けら
れた一対の端板６２，６３及びカバー６４から成る基体
６５を有し、基体６５の内側に機構部分が設けられてい
る。一対の端板６２，６３に一対のガイドシャフト６６
，６７が取り付けられ、これらガイドシャフト６６，６
７にボールブッシュ６８，６９を介して、一対の可動体
７０，７１が動けるように支持されている。上記可動体
７０，７１の一方、この実施例では可動体７０の中央に
第１の可動指７２が取り付けられており、可動指７２は
、材質は半田の付着しないもの、例えばチタン等ででき
ていて、基体６５の一方の端板６２を貫通して、その前
方に延出し、その先端部には、ウェーハ端面に当接して
ウェーハ１ａを把持するための支持爪７４ａ，７４ｂを
有している。支持爪７４ａ，７４ｂは、可動指７２と同
様、半田の付着しない材質のものが使用される。また支
持爪は、図８に示すように、ウェーハ１ａの端面を挟み
込めるように側面にＶ字状の溝８２が付けられている。 またもう一方の可動体７１には、第２の可動指７７，７
８が取り付けられ、第１可動指７２と同様に、端板６２
を貫通し、前方に延出した先端部には、Ｖ字溝の付いた
支持爪７５，７６が取り付けられている。また上記支持
爪７４ａ，７４ｂ，７５，７６は、基部となる可動指７
２，７７，７８に対し、僅かながら隙間を持ち、自由に
正逆両方向に自転できる構造となっている。また第１及
び第２の可動指には、放熱と熱伝達とを少なくする目的
で、数箇所の穴が開けてある。さらに可動体７０には、
ラック７９がガイドシャフト６６，６７と平行移動する
ように取り付けられており、ラック７９とかみ合うピニ
オン８０が底板６１に固定されたモータ８１の出力軸に
取り付けられている。

【００３６】次にこの把持装置の動作について説明する
。まずモータ８１をあらかじめ設定された回転数だけ回
転させ、ピニオン８０，ラック７９から成る駆動機構を
介して、可動体７０を第１可動指７２が延びている方向
に前進させ、第１及び第２の可動指７２及び７７，７８
に取り付けてあるウェーハ支持爪の間隔を広げる。この
ときの広さは、支持爪７４ａ，７４ｂと支持爪７５，７
６の間にウェーハが十分余裕をもって入る広さにする。 この状態のとき可動体７０と７１どうしは接触しない距
離に設定してある。この状態で、例えばロボットアーム
の先端に本把持装置を取り付け、ロボットを動作させ、
所定の位置に置かれたウェーハが、支持爪７４ａ，７４
ｂ，７５，７６の間にある位置にする。

【００３７】その後モータ８１を、あらかじめ設定され
た回転数だけ逆回転させ、可動体７０を後退させ、支持
爪７４ａ，７４ｂでウェーハ１ａを引き寄せ、支持爪７
５，７６との間にウェーハ１ａを挟み込む。このとき図
８に示すように、ウェーハ１ａは支持爪７４ａ，７４ｂ
，７５，７６のＶ字状の溝８２の間に挟まれるとともに
、支持爪が自在に回転するので、ウェーハ１ａの中心が
ずれていていも、引き寄せている最中に一方の支持爪、
例えば支持爪７５へ早く接触したとしても、ウェーハ１
ａの外周に沿って支持爪７５が回転し、ウェーハ１ａを
支持爪７４ａ，７４ｂ，７５，７６で挟むことができる
。

【００３８】上記の動作で把持されたウェーハ１ａは、
図９に示すように、ロボットアーム８３等の動作により
、半田槽８４の中へ可動指７２，７７，７８ごと浸され
るが、可動指及び支持爪は、半田となじみのないチタン
等の材質を使うことで、可動指上への半田の付着を防ぎ
、さらにはウェーハ１ａを挟んでいる支持爪７４ａ，７
４ｂ，７５，７６に半田が残り、ウェーハ１ａと支持爪
７４ａ，７４ｂ，７５，７６がくっつくとか、支持爪部
分に半田が集まるようなこともない。

【００３９】上記第２実施例の把持装置においては、次
の効果が得られる。すなわち（ａ）ウェーハを把持する
際、一定回転数で可動指を動かすため、常に一定の把持
力となり、破損しやすいウェーハ等を把持するのに適し
ている。（ｂ）支持爪が回転することにより、ウェーハ
を３点以上で支持ができ、把持中にウェーハの位置補正
も行なわれるので、把持するときの多少の位置ずれも許
容できる。（ｃ）半田槽内へ挿入する部分を半田が付着
しない材質にすることで、ウェーハと支持爪との間に半
田液の残りが付着して固まることを防止でき、余分な半
田を使うこともなく、支持爪付近の素子も良品となる。 （ｄ）半田槽内へ挿入する可動指を長くとることで、半
田の液面から駆動源を離すことができ、半田の熱から守
ることができる。（ｅ）ウェーハの外周を把持するため
、製品となるべき素子を傷付けずに半田付けができ、歩
留まりの向上が図れる。（ｆ）ウェーハの自動把持、解
放ができるので、ロボットなどと組み合わせて、キャリ
アからキャリアへの自動化が容易となり、人体へ及ぼし
ていた危険（火傷、有害ガス、作業環境など）を回避す
ることができ、安全性が向上する。

【００４０】第１及び第２実施例における第１可動指駆
動機構は、底板に固定されたモータ，その出力軸に取り
付けられたピニオン，ピニオンに歯合するラック，ラッ
クが取り付けられる可動体及び可動体を長手方向に移動
させるガイドシャフト等から構成され、モータの回転を
ラックとピニオンで可動体の直線運動に変換しているが
、これに限定されない。例えばモータの代わりにエア駆
動による回転運動の伝達でもよいし、リンク機構やベル
ト等の他の動力の伝達機構でもよい。またエアシリンダ
等により、直接可動体に直線運動させてもよい。

【００４１】また上記第１、第２実施例では、第１可動
指を挟んで左、右に第２可動指を設けてあるが、これに
限定されない。例えば第２可動指を挟んで左右に第１可
動指を設けてもよい。すなわち中央の第２可動指を短く
し左右の第１可動指を長くして、左右の第１可動指でウ
ェーハを引き寄せる機構であってもよい。また中央の第
２可動指を長くして、左右の第１可動指を短くし、第１
可動指でウェーハ端面を押して第２可動指の爪にウェー
ハを当接するようにしてもよい。また一本の可動指先端
部に設けられる支持爪は、１つまたは複数個のいずれで
あってもよい。

【００４２】

【発明の効果】これまで詳述したように、本発明により
、アーム先端部などに設けられるウェーハ把持装置にお
いて、ウェーハを把持するとき、または把持中に、位置
精度よく確実にウェーハを把持することができるととも
に把持指に外力が加わった場合でもウェーハを破損する
ことがないウェーハ把持装置を提供することができ、ま
た本発明により、ウェーハの両面半田付けにおける前記
従来の問題点を解決し、工程の自動化を可能とするウェ
ーハの把持装置を提供することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェーハ把持装置の第１実施例の構成
を模式的に示す一部破砕平面図である。

【図２】図１に示すウェーハ把持装置の部分断面図であ
る。

【図３】図１に示すウェーハ把持装置の第２可動指に取
り付けられた支持爪の断面図である。

【図４】図１に示すウェーハの把持装置の第２可動指と
その支持爪の斜視図である。

【図５】可動指に支持爪が固定して取り付けられた状態
を示す断面図である。

【図６】本発明のウェーハ把持装置の第２実施例の構成
を模式的に示す一部破砕平面図である。

【図７】図６に示すウェーハ把持装置の断面図である。

【図８】図６に示すウェーハ把持装置の支持爪の正面図
である。

【図９】本発明の第２実施例のウェーハ把持装置をロボ
ットのアーム先端部に取り付け、ウェーハの両面半田付
けを行なう斜視図である。

【図１０】ウェーハ把持装置の第１の従来例を示す斜視
図である。

【図１１】図１０のウェーハ把持装置の問題点を説明す
るための該装置の部分断面図である。

【図１２】ウェーハ把持装置の第２の従来例の構成を示
す平面図である。

【図１３】従来のウェーハの両面半田付け作業を説明す
る図である。

【図１４】図１に示すウェーハ把持装置の基体内部の機
構部分の一部破砕拡大平面図である。

【符号の説明】

１，１ａ　　ウェーハ ２５，６５　　基体 ２６，２７，６６，６７　　ガイドシャフト３０，３１
，７０，７１　　可動体 ３２，７２　　第１可動指 ３４，７４　　支持爪 ３５，３６，７５，７６　　支持爪

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】アームの先端部に設けられるウェーハ把持
   装置において、（ａ）長手方向に移動できる第一の可動
   指と，（ｂ）第１可動指の先端部に回動自在に取り付け
   られ、ウェーハ端面に当接してウェーハを支持する支持
   爪と、（ｃ）第１可動指と並列に設けられる第２可動指
   と、（ｄ）第２可動指の先端部に回動自在に取り付けら
   れ、ウェーハ端面に当接してウェーハを支持する支持爪
   と、（ｅ）第１可動指の支持爪でウェーハ端面を押して
   第２可動指の支持爪にウェーハ端面を当接し、第１及び
   第２の可動指の前記支持爪でウェーハを挟持する第１可
   動指駆動機構とを具備することを特徴とするウェーハ把
   持装置。