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JPH04331923A - Active matrix display device - Google Patents

Active matrix display device

Info

Publication number
JPH04331923A
JPH04331923A JP3102366A JP10236691A JPH04331923A JP H04331923 A JPH04331923 A JP H04331923A JP 3102366 A JP3102366 A JP 3102366A JP 10236691 A JP10236691 A JP 10236691A JP H04331923 A JPH04331923 A JP H04331923A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
picture element
bus line
conductor
parts
element electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3102366A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2633407B2 (en
Inventor
Ken Kanamori
金森 謙
Yutaka Fujiki
裕 藤木
Manabu Takahama
高濱 学
Yoshiharu Kataoka
義晴 片岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=14325463&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH04331923(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP10236691A priority Critical patent/JP2633407B2/en
Publication of JPH04331923A publication Critical patent/JPH04331923A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2633407B2 publication Critical patent/JP2633407B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To realize the active matrix display device equipped with a redundant structure which secures correct a picture element defect. CONSTITUTION:Conductor parts 47 are formed at the corner parts of a picture element electrode 41 corresponding to the opposite sides from parts where TFTs 31 are formed, and source bus line projection parts 24 which are formed projecting from source bus lines 23 to the picture element electrode 41 are superposed on the base end parts of the conductor parts 47 across insulating films. Further, conductor pieces 48 which are connected electrically to the picture element electrode 41 are superposed on the tip parts of the conductor parts 47 while covering the entire surfaces of the tip parts. The overlap parts between the bus line projection parts 24 and conductor parts 47 and the overlap parts between the conductor parts 47 and conductor pieces 48 are irradiated with laser light. Consequently, the source bus line projection parts 24 and conductor parts 47, and conductor parts 47 and conductor pieces 48 are connected electrically and respectively, so the picture element electrode 41 and source bus lines 23 are connected eventually.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、表示用絵素電極にスイ
ッチング素子を介して駆動信号を印加することにより、
表示を実行する表示装置に関し、特に絵素電極をマトリ
クス状に配列して高密度表示を行うアクティブマトリク
ス駆動方式の表示装置に関する。
[Industrial Application Field] The present invention applies a driving signal to a display picture element electrode through a switching element.
The present invention relates to a display device that performs display, and particularly relates to an active matrix drive type display device that performs high-density display by arranging picture element electrodes in a matrix.

【0002】0002

【従来の技術】従来より、液晶表示装置、EL表示装置
、プラズマ表示装置等においては、マトリクス状に配設
された絵素電極を選択駆動することにより、画面上に表
示パターンが形成される。表示絵素の選択方式として、
個々の独立した絵素電極を配設し、この絵素電極のそれ
ぞれにスイッチング素子を接続して表示駆動するアクテ
ィブマトリクス駆動方式が知られている。絵素電極を選
択駆動するスイッチング素子としては、TFT(薄膜ト
ランジスタ)素子、MIM(金属−絶縁層−金属)素子
、MOSトランジスタ素子、ダイオード、バリスタ等が
一般的に使用され、絵素電極とこれに対向する対向電極
間に印加される電圧をスイッチング素子でスイッチング
して、両電極間に介在させた液晶、EL発光層あるいは
プラズマ発光体等の表示媒体を光学的に変調して、該光
学的変調が表示パターンとして視認される。このような
、アクティブマトリクス駆動方式は、高コントラストの
表示が可能であり、液晶テレビジョン、ワードプロセッ
サ、コンピュータの端末表示装置等に実用化されている
2. Description of the Related Art Conventionally, in liquid crystal display devices, EL display devices, plasma display devices, etc., a display pattern is formed on a screen by selectively driving picture element electrodes arranged in a matrix. As a display pixel selection method,
An active matrix driving method is known in which individual independent picture element electrodes are arranged and a switching element is connected to each of the picture element electrodes to drive display. As switching elements for selectively driving picture element electrodes, TFT (thin film transistor) elements, MIM (metal-insulating layer-metal) elements, MOS transistor elements, diodes, varistors, etc. are generally used. A voltage applied between opposing electrodes is switched by a switching element to optically modulate a display medium such as a liquid crystal, an EL light-emitting layer, or a plasma light-emitting material interposed between both electrodes, and the optical modulation is performed by switching the voltage applied between opposing electrodes. is visually recognized as a display pattern. Such an active matrix drive system is capable of high-contrast display and has been put to practical use in liquid crystal televisions, word processors, computer terminal display devices, and the like.

【0003】ところで、このようなアクティブマトリク
ス表示装置において、例えばスイッチング素子が不良素
子として形成されると、その不良素子に接続された絵素
電極には本来与えられるべき信号が入力されないため、
表示画面上では点状の絵素欠陥、即ち、点欠陥として認
識される。このような点欠陥は、表示装置の表示品位を
著しく損ない、製品歩留りの観点から大きな問題になる
By the way, in such an active matrix display device, for example, if a switching element is formed as a defective element, the signal that should originally be given is not input to the picture element electrode connected to the defective element.
On the display screen, the defect is recognized as a point-like pixel defect, that is, a point defect. Such point defects significantly impair the display quality of the display device and become a big problem from the viewpoint of product yield.

【0004】絵素不良の主たる原因は、以下の2種類の
ものに大別される。1つは、走査信号(ゲートバスライ
ンからの信号)によってスイッチング素子が選択されて
いる時間内に、絵素電極を十分に充電できないために起
こる不良(以下ON不良という)であり、今1つは、ス
イッチング素子の非選択時に絵素電極に充電した電荷が
漏洩する不良(以下OFF不良という)である。
The main causes of pixel defects can be broadly classified into the following two types. One is a defect (hereinafter referred to as ON defect) that occurs because the pixel electrode cannot be sufficiently charged within the time when the switching element is selected by the scanning signal (signal from the gate bus line). is a defect (hereinafter referred to as OFF defect) in which the charge charged in the picture element electrode leaks when the switching element is not selected.

【0005】ここで、ON不良はスイッチング素子の不
良に起因するが、OFF不良はスイッチング素子を介し
て電気的漏洩が起こる場合と、絵素電極とバスラインと
の間に電気的漏洩が起こる場合との2種類がある。ON
不良、OFF不良いずれの場合も、絵素電極と対向電極
との間に印加される電圧が必要な値に達しなくなるため
、ノーマリホワイトモード(液晶に印加される電圧が0
の時に光の透過率等が最大になる表示モード)を採用す
る場合は、絵素不良部が輝点に見え、ノーマリブラック
モード(電圧0で透過率が最低になる表示モード)を採
用する場合は黒点に見えることになる。
[0005] Here, ON failure is caused by a failure of the switching element, while OFF failure is caused by electrical leakage occurring through the switching element or between the picture element electrode and the bus line. There are two types. ON
In both cases of failure and OFF failure, the voltage applied between the picture element electrode and the counter electrode does not reach the required value, so the normally white mode (the voltage applied to the liquid crystal is 0)
When using a display mode in which the light transmittance is at its maximum when In this case, it will look like a sunspot.

【0006】このような点欠陥はスイッチング素子が配
設される基板の作成段階で発見されれば、レーザートリ
ミング等で修正可能である。しかしながら、該基板の作
成途中で膨大な数の絵素の中からかかる点欠陥を検出す
るのは極めて困難であり、製造時間や製造コストを考慮
すると、量産レベルでは不可能といってよい。特に、絵
素数が10万〜50万個におよぶ大型表示パネルでは完
全に不可能であるといえる。
[0006] If such point defects are discovered during the manufacturing stage of the substrate on which the switching elements are disposed, they can be corrected by laser trimming or the like. However, it is extremely difficult to detect such point defects from among a huge number of picture elements during the production of the substrate, and considering the manufacturing time and manufacturing cost, it can be said that it is impossible at a mass production level. In particular, it can be said that this is completely impossible for large display panels with 100,000 to 500,000 picture elements.

【0007】そこで、最近ではこの種の点欠陥を容易に
検出でき、且つ該点欠陥を簡単に修復することができる
構造のアクティブマトリクス表示装置が種々提案されて
きており、その一例として以下に説明する冗長構造をと
るアクティブマトリクス表示装置がある。このアクティ
ブマトリクス表示装置においては、液晶を封入して該ア
クティブマトリクス表示装置を点灯できる状態にして点
欠陥を検出し、その後、不良絵素の絵素電極と最近接の
ソースバスラインとを、ガラス基板越しにレーザーを照
射することにより、電気的に導通(短絡)させて点欠陥
を修復する手法が取られる。
[0007]Recently, therefore, various active matrix display devices having structures that can easily detect and repair point defects of this type have been proposed, one example of which will be described below. There is an active matrix display device that has a redundant structure. In this active matrix display device, point defects are detected by enclosing a liquid crystal and making the active matrix display device into a state where it can be turned on.Then, the pixel electrode of the defective pixel and the nearest source bus line are connected to each other using glass. A method is used to repair point defects by irradiating a laser through the substrate to create electrical continuity (short circuit).

【0008】上記のようにして、不良絵素の絵素電極と
最近接のソースバスラインとを電気的に導通させると、
不良絵素の絵素電極にゲートバスラインからの信号にか
かわらず、ソースバスラインからの信号がそのまま入力
されることになる。通常の絵素(正常絵素)ではゲート
バスラインの選択時間内に供給されたソース信号のみを
充電し、これを1周期分(次の選択時間が来るまでの時
間)保持するのに対し、この場合はゲートバスラインの
選択・非選択にかかわらず常にソース信号を充電するこ
とになる。従って、この場合は、1周期を通してみると
この間に入力されたソース電圧の実行値が液晶に加わる
ことになる。それ故、不良絵素の帰属するソースバスラ
インに付属した全ての絵素の平均的な明るさに不良絵素
が点灯することになる。この状態は完全な輝点でもなく
黒点でもない。この結果、上記修復が施された絵素は正
常に作動しているわけではないが、点欠陥として極めて
判別しにくい状態になっており、点欠間が実質的に修復
されたといえる。
When the pixel electrode of the defective pixel and the nearest source bus line are electrically connected as described above,
Regardless of the signal from the gate bus line, the signal from the source bus line is input as is to the picture element electrode of the defective picture element. A normal picture element (normal picture element) charges only the source signal supplied within the selection time of the gate bus line and holds this for one cycle (the time until the next selection time comes). In this case, the source signal is always charged regardless of whether the gate bus line is selected or not. Therefore, in this case, the actual value of the source voltage input during one cycle is applied to the liquid crystal. Therefore, the defective picture element lights up at the average brightness of all the picture elements attached to the source bus line to which the defective picture element belongs. This state is neither a perfect bright spot nor a sunspot. As a result, although the repaired picture element is not operating normally, it is in a state where it is extremely difficult to distinguish it as a point defect, and it can be said that the point defect has been substantially repaired.

【0009】図6および図7は上記した冗長構造をとる
アクティブマトリクス表示装置の一従来例を示す。図6
に示される従来例は、ゲートバスライン21、ソースバ
スライン23、TFT31および絵素電極41からなる
1つのユニット内に絵素電極41とソースバスライン2
3とを短絡させるための冗長構造を有している。
FIGS. 6 and 7 show a conventional example of an active matrix display device having the above-described redundant structure. Figure 6
In the conventional example shown in FIG.
It has a redundant structure for short-circuiting 3 and 3.

【0010】該冗長構造において、点欠陥の検出、修復
は以下のようにして行われる。すなわち、検出は図示さ
れるTFT31等が配設されたガラス基板と対向電極側
のガラス基板とを貼り合わせ、両ガラス基板間に液晶を
封入し、この状態でゲートバスライン21、ソースバス
ライン23および対向電極に適当な信号を印加して絵素
を点灯し、その点灯状態を検査員が目視で検査して点欠
陥の検出が行われる。点欠陥が見つかったら、次にこの
絵素をレーザー光等のエネルギ照射により修復する。
In the redundant structure, point defects are detected and repaired as follows. That is, for detection, a glass substrate on which the TFT 31 and the like shown in the figure are disposed is bonded to a glass substrate on the counter electrode side, a liquid crystal is sealed between both glass substrates, and in this state, the gate bus line 21 and the source bus line 23 are connected to each other. A suitable signal is then applied to the counter electrode to light up the picture element, and an inspector visually inspects the lighting state to detect point defects. If a point defect is found, the picture element is then repaired by irradiation with energy such as a laser beam.

【0011】具体的には、ソースバスライン23から絵
素電極41に向けて突出形成されたソースバスライン突
出部24と、該ソースバスライン突出部24に絶縁膜を
介して重畳された導電体部47との重畳部、および導電
体部47と、該導電体部47の先端部に絶縁膜を介して
重畳された導電体片48との重畳部にレーザー光を照射
し、該当部位を小さなスポットで打ち抜く。これにより
、打ち抜かれた穴の周囲を介して導電体部47とゲート
バスライン突出部24および導電体部47と導電体片4
8が電気的に接続され、結局、絵素電極41とソースバ
スライン23とが短絡される。従って、絵素電極41が
ソースバスライン23と常に同電位になり、これで目的
が達成される。
Specifically, a source bus line protrusion 24 is formed to protrude from the source bus line 23 toward the picture element electrode 41, and a conductor is overlapped with the source bus line protrusion 24 via an insulating film. A laser beam is irradiated to the overlapping portion with the conductor portion 47 and the overlapping portion between the conductor portion 47 and the conductor piece 48 superimposed on the tip of the conductor portion 47 via an insulating film, and the corresponding portion is made into a small Punch out at the spot. As a result, the conductor part 47 and the gate bus line protruding part 24 and the conductor part 47 and the conductor piece 4 are inserted through the periphery of the punched hole.
8 are electrically connected, and as a result, the picture element electrode 41 and the source bus line 23 are short-circuited. Therefore, the picture element electrode 41 is always at the same potential as the source bus line 23, and this achieves the purpose.

【0012】一方、図7の従来例では、図上左側隅部に
冗長構造が形成され、該冗長構造は、TFT31が形成
されるゲートバスライン21に隣接するゲートバスライ
ン21aから絵素電極41に向けて突出形成されたゲー
トバスライン突出部25、該ゲートバスライン突出部2
5の基端部に絶縁膜を介して重畳されたソースバスライ
ン突出部24、および該ゲートバスライン突出部25の
先端部に絶縁膜を介して重畳された導電体片48を、組
み合わせた構造からなる。該絶縁膜の存在により、これ
らは初期状態において電気的に絶縁されている。
On the other hand, in the conventional example shown in FIG. 7, a redundant structure is formed in the left corner of the figure, and the redundant structure extends from the gate bus line 21a adjacent to the gate bus line 21 on which the TFT 31 is formed to the pixel electrode 41. The gate bus line protrusion 25 is formed to protrude toward the gate bus line protrusion 2.
A structure in which a source bus line protrusion 24 is superimposed on the base end of the gate bus line protrusion 25 via an insulating film, and a conductor piece 48 is superimposed on the tip of the gate bus line protrusion 25 via an insulating film. Consisting of Due to the presence of the insulating film, these are electrically insulated in the initial state.

【0013】上記同様に液晶封入状態で点灯して点欠陥
が検出されると、まずガラス基板越しにレーザー光をゲ
ートバスライン突出部25の根元部に照射し、ゲートバ
スライン突出部25を根元から切断する。これにより、
ゲートバスライン突出部25はゲートバスライン21a
から電気的に隔絶された状態になる。続いて、ゲートバ
スライン突出部25とソースバスライン突出部24の重
畳部およびゲートバスライン突出部25と導電体片48
の重畳部にそれぞれ2回目および3回目のレーザー光照
射を行う。これにより、ゲートバスライン突出部25と
ソースバスライン突出部24およびゲートバスライン突
出部25と導電体片24がそれぞれ電気的に接続され、
結局ソースバスライン23と絵素電気欲41とが短絡さ
れる。これにより、上記同様に点欠陥が修復される。
Similarly to the above, when the liquid crystal is turned on with the liquid crystal enclosed and a point defect is detected, a laser beam is first irradiated through the glass substrate to the base of the gate bus line protrusion 25. disconnect from. This results in
The gate bus line protrusion 25 is connected to the gate bus line 21a.
It is electrically isolated from the Subsequently, the overlapping portion of the gate bus line protrusion 25 and the source bus line protrusion 24 and the overlapping portion of the gate bus line protrusion 25 and the conductor piece 48
The second and third laser beam irradiations are applied to the superimposed portions of the two. As a result, the gate bus line protrusion 25 and the source bus line protrusion 24 and the gate bus line protrusion 25 and the conductor piece 24 are electrically connected, respectively.
As a result, the source bus line 23 and the picture element electricity source 41 are short-circuited. As a result, point defects are repaired in the same manner as described above.

【0014】ここで、ソースバスライン23と絵素電極
41との短絡は、スイッチング素子としてのTFT31
の選択期間における抵抗値よりも大きい値である必要が
ある。これは、TFT31の書き込み時間毎に変化する
ソースバスライン23からの信号を速やかに絵素に充電
しなければ、絵素電極41に加わるソース信号の電圧の
実行値が小さくなってしまうからである。レーザー光を
用いた上記修復処理によればかかる条件を確実にクリア
できる。
Here, the short circuit between the source bus line 23 and the picture element electrode 41 is caused by the TFT 31 as a switching element.
must be larger than the resistance value during the selected period. This is because unless the signal from the source bus line 23, which changes every time the TFT 31 is written, is quickly charged into the picture element, the actual value of the voltage of the source signal applied to the picture element electrode 41 will become small. . The above-mentioned repair process using laser light can reliably meet these conditions.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】)上記冗長構造をとる
従来例においては、点欠陥を実質的に修復するためには
レーザー照射後に上下に重畳された導電体が確実に導通
していることが必要になる。上下の導電体の導通は、上
記のように重畳部分にレーザーで小さなスポット状の穴
を明け、該穴の周囲部において上下間を導通して行われ
る。従来の冗長構造では、導電体片48の大きさはせい
ぜい10μm四方であり、この部分をレーザーで打ち抜
くことになる。
[Problems to be Solved by the Invention]) In the conventional example with the above-mentioned redundant structure, in order to substantially repair a point defect, it is necessary to ensure that the conductors superimposed above and below are electrically connected after laser irradiation. It becomes necessary. The conduction between the upper and lower conductors is achieved by drilling a small spot-like hole in the overlapping portion with a laser as described above, and conducting between the upper and lower conductors around the hole. In the conventional redundant structure, the size of the conductor piece 48 is at most 10 μm square, and this portion is punched out with a laser.

【0016】ところで、通常このような加工に用いられ
る代表的なYAGレーザー(波長1053nm)の加工
精度は数μm角の穴を加工できる程度である。従って、
YAGレーザーで上記導電体片48に穴を加工する場合
は、穴の面積が導電体片48の面積に対して僅かに小さ
い程度となる。それ故、図8(a)に示すように、導電
体片48の中央にレーザー光を照射すると、レーザー光
の照射領域51が導電体片48の面積よりも僅かに小さ
いため、導電体片48が完全に粉砕されてしまい、上下
間の導通が全くとれない事態を招くおそれがある。
By the way, the machining accuracy of a typical YAG laser (wavelength: 1053 nm) that is normally used for such machining is at a level that can machine a hole several μm square. Therefore,
When a hole is formed in the conductor piece 48 using a YAG laser, the area of the hole is slightly smaller than the area of the conductor piece 48. Therefore, as shown in FIG. 8A, when the center of the conductor piece 48 is irradiated with a laser beam, the laser beam irradiation area 51 is slightly smaller than the area of the conductor piece 48, so that the conductor piece 48 may be completely crushed, leading to a situation where there is no electrical conduction between the upper and lower parts.

【0017】このような不具合を防止するには、図8(
b)に示すように導電体片48の端部よりの部分にレー
ザー光を照射すればよい。しかるに、この方法によれば
、図8(b)に網掛け線52で示すように、上下間の導
通をとるべき穴の周囲部の周長が短く、接続確率が十分
とは言えない。従って、上下間の導通を確実に行うには
不十分である。
[0017] In order to prevent such a problem, the method shown in Fig. 8 (
As shown in b), a portion of the conductor piece 48 closer to the end may be irradiated with a laser beam. However, according to this method, as shown by the hatched line 52 in FIG. 8(b), the circumference of the hole where the upper and lower parts should be electrically connected is short, and the connection probability cannot be said to be sufficient. Therefore, it is insufficient to ensure electrical continuity between the upper and lower sides.

【0018】また、YAGレーザーの照射による導電体
片48の四散を防止するには、レーザー光の照射領域5
1に対して導電体片48を含む冗長構造の面積を十分大
きくすればよい。しかるに、本来不必要である冗長構造
を大きくすることは有効な解決法とは言えない。
Furthermore, in order to prevent the conductor pieces 48 from scattering due to YAG laser irradiation, the laser beam irradiation area 5
1, the area of the redundant structure including the conductor piece 48 may be made sufficiently large. However, increasing the size of redundant structures that are essentially unnecessary cannot be said to be an effective solution.

【0019】本発明は、このような従来技術の課題を解
決するものであり、冗長構造を大きくすることなく、点
欠陥を確実に修復でき、製品の歩留りを格段に向上でき
るアクティブマトリクス表示装置を提供することを目的
とする。
The present invention solves the problems of the prior art, and provides an active matrix display device that can reliably repair point defects without increasing the size of the redundant structure, and can significantly improve product yield. The purpose is to provide.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明のアクティブマト
リクス表示装置は、一対の絶縁性基板の何れか一方の基
板上に走査線および信号線を格子状に配線し、該走査線
および信号線で囲まれた領域に絵素電極をそれぞれ配設
すると共に、該絵素電極と該走査線および信号線にそれ
ぞれスイッチング素子を接続したアクティブマトリクス
液晶表示装置において、該絵素電極に向けて該信号線か
ら突出形成され、該絵素電極と電気的に非接触の信号線
突出部と、該信号線突出部に一端側が絶縁膜を介して重
畳され、該信号線、該走査線および該絵素電極と電気的
に非接触の導電体部と、該導電体部の他端側に、他端末
部を完全に覆うようにして絶縁膜を介して重畳され、該
絵素電極に電気的に接触し、且つ該信号線突出部と電気
的に非接触の導電体片とを備えてなり、そのことにより
上記目的が達成される。
[Means for Solving the Problems] The active matrix display device of the present invention has scanning lines and signal lines wired in a grid pattern on one of a pair of insulating substrates, and the scanning lines and signal lines In an active matrix liquid crystal display device in which pixel electrodes are arranged in the enclosed area, and switching elements are connected to the pixel electrodes, the scanning lines, and the signal lines, respectively, the signal lines are connected to the pixel electrodes. a signal line protrusion formed protruding from the pixel electrode and not in electrical contact with the picture element electrode; one end side overlapping the signal line protrusion with an insulating film interposed therebetween; the signal line, the scanning line, and the picture element electrode; a conductor portion that is not in electrical contact with the pixel electrode, and a conductor portion that is superimposed on the other end side of the conductor portion with an insulating film in between so as to completely cover the other terminal portion, and that is in electrical contact with the pixel electrode. , and a conductor piece that is not in electrical contact with the signal line protrusion, thereby achieving the above object.

【0021】前記走査線に隣接する走査線から前記絵素
電極に向けて突出形成された走査線突出部や前記絵素電
極の下部に付加容量を形成する付加容量バスラインから
該絵素電極に向けて突出形成された付加容量バスライン
突出部で前記導電体部を形成することもできる。
[0021] A scanning line protrusion formed protruding from a scanning line adjacent to the scanning line toward the picture element electrode and an additional capacitance bus line forming an additional capacitance below the picture element electrode to the picture element electrode. The conductor portion may also be formed by an additional capacitance bus line protrusion formed to protrude toward the conductor.

【0022】[0022]

【作用】上記構成のアクティブマトリクス表示装置にお
いて、スイッチング素子が配設される基板と対向電極側
の基板とを貼り合わせ、両者間に液晶を封入した後、走
査線、信号線および絵素電極に適当な駆動信号を与える
と、アクティブマトリクス表示装置が表示パターンを表
示するので、その表示画面を視認することにより、点欠
陥を容易に発見できる。
[Operation] In the active matrix display device having the above configuration, the substrate on which the switching elements are disposed and the substrate on the counter electrode side are bonded together, liquid crystal is sealed between them, and then the scanning lines, signal lines, and pixel electrodes are connected to each other. When an appropriate drive signal is applied, the active matrix display device displays a display pattern, so that point defects can be easily found by visually checking the display screen.

【0023】そして、点欠陥を発見すると、導電体部と
導電体片との重畳部、より具体的には図3に示される照
射領域51にレーザー光を照射する。図3において、導
電体片48は下方の導電体部47の先端から少し突出し
た状態で該導電体部47の先端を完全に覆うようにして
、絶縁膜を介して重畳されている。また、照射領域51
の一部は導電体部47の先端からはみ出している。
When a point defect is found, a laser beam is irradiated onto the overlapping portion of the conductor portion and the conductor piece, more specifically onto the irradiation area 51 shown in FIG. In FIG. 3, the conductor piece 48 is overlapped with an insulating film interposed therebetween so as to completely cover the tip of the conductor portion 47 in a state where it slightly protrudes from the tip of the conductor portion 47 below. In addition, the irradiation area 51
A part of the conductor portion 47 protrudes from the tip.

【0024】このような照射領域51にレーザー光を照
射すると、レーザー光が導電体部47と導電体片48間
に介在させた絶縁膜を突き破り、これにより図3に網掛
け線52で示される照射領域51の端部において導電体
片48と導電体部47が短絡される。
When such an irradiation area 51 is irradiated with a laser beam, the laser beam pierces through the insulating film interposed between the conductor portion 47 and the conductor piece 48, and as a result, the area shown by the hatched line 52 in FIG. The conductor piece 48 and the conductor portion 47 are short-circuited at the end of the irradiation area 51 .

【0025】このとき、上記した冗長構造によれば、図
から明かなように、導電体片48と導電体部47との接
続部における周長を十分確保できる。なおかつ、照射領
域が重畳部の端部よりの位置に選定されているので、レ
ーザー照射により導電体片48が四散することがない。 それ故、このような冗長構造によれば、上下の導電体の
接続確率を十分大きくでき、両者を確実に導通させるこ
とが可能になる。
At this time, according to the above-described redundant structure, as is clear from the figure, a sufficient circumferential length can be secured at the connection portion between the conductor piece 48 and the conductor portion 47. Furthermore, since the irradiation area is selected at a position closer to the end of the overlapping portion, the conductor pieces 48 are not scattered due to laser irradiation. Therefore, according to such a redundant structure, the probability of connection between the upper and lower conductors can be sufficiently increased, and it becomes possible to ensure conduction between the two.

【0026】[0026]

【実施例】本発明の実施例について以下に説明する。[Examples] Examples of the present invention will be described below.

【0027】図1〜図3は本実施例のアクティブマトリ
クス表示装置を示しており、この表示装置は、上下一対
の透明絶縁性基板1、2間に液晶18を封入してなる。 下側の基板1上には、走査線として機能する複数本のゲ
ートバスライン21、21…および信号線として機能す
る複数本のソースバスライン23、…が縦横に配線され
、両バスライン21、23で囲まれる矩形上の領域それ
ぞれに絵素電極41がマトリクス状に配設される。ゲー
トバスライン21にはこれから分岐したゲートバス支線
22が形成され、該ゲートバス支線22の先端部にはT
FT31が形成される。TFT31はスイッチング素子
として機能し、絵素電極41に接続される。
FIGS. 1 to 3 show an active matrix display device according to this embodiment, and this display device has a liquid crystal 18 sealed between a pair of upper and lower transparent insulating substrates 1 and 2. On the lower substrate 1, a plurality of gate bus lines 21, 21, . . . which function as scanning lines, and a plurality of source bus lines 23, . Picture element electrodes 41 are arranged in a matrix in each rectangular area surrounded by 23. A gate bus branch line 22 is formed from the gate bus line 21, and a T bus branch line 22 is formed at the tip of the gate bus branch line 22.
FT31 is formed. The TFT 31 functions as a switching element and is connected to the picture element electrode 41.

【0028】TFT31形成部の反対側に相当する絵素
電極41の隅部には先端部が絵素電極41に重畳される
矩形状をなす導電体部47が形成される。該導電体部4
7の基端部上方にはソースバスライン23から突出形成
されたソースバスライン突出部24がゲート絶縁膜13
(図2参照)を介して重畳される。加えて、導電体部4
7の先端部上方には、該先端部の全面を覆い、且つ先端
が導電体部47よりも突出する導電体片48がゲート絶
縁膜13を介して重畳される。該導電体片48は導電体
部47と交差する方向に長い矩形状をなす。
A rectangular conductor portion 47 whose tip overlaps the picture element electrode 41 is formed at a corner of the picture element electrode 41 corresponding to the opposite side of the TFT 31 forming portion. The conductor portion 4
A source bus line protrusion 24 protruding from the source bus line 23 is formed above the base end of the gate insulating film 13 .
(see FIG. 2). In addition, the conductor portion 4
A conductor piece 48 that covers the entire surface of the tip and whose tip protrudes beyond the conductor portion 47 is superimposed above the tip of the conductor 7 with the gate insulating film 13 interposed therebetween. The conductor piece 48 has a rectangular shape that is long in the direction intersecting the conductor portion 47 .

【0029】以下各部の詳細を制作手順に従って説明す
る。図2に示すように、まず透明絶縁性基板1上にゲー
トバスライン21を作製する。この作製は、一般にTa
、Ti、Al、Cr等の単層又は多層の金属をスパッタ
リング法により透明絶縁性基板1上に堆積し、その後に
パターニングして作成される。この時、同時にゲートバ
ス支線22および導電体部47が作製される。本実施例
では透明絶縁性基板1としてガラス基板1を用いた。 なお、ゲートバスライン21の下にベースコート膜とし
てTa2O5等の絶縁膜を形成することにしてもよい。
The details of each part will be explained below according to the production procedure. As shown in FIG. 2, first, a gate bus line 21 is formed on a transparent insulating substrate 1. This fabrication is generally performed using Ta
, Ti, Al, Cr, etc., in a single layer or multiple layers are deposited on the transparent insulating substrate 1 by sputtering, and then patterned. At this time, the gate bus branch line 22 and the conductor portion 47 are simultaneously produced. In this example, a glass substrate 1 was used as the transparent insulating substrate 1. Note that an insulating film such as Ta2O5 may be formed as a base coat film under the gate bus line 21.

【0030】次いで、ゲートバスライン21(ゲートバ
ス支線22及び導電体部47を含む)上にゲート絶縁膜
13を積層する。本実施例では、プラズマCVD法によ
りSiNx膜を300nm堆積してゲート絶縁膜13と
した。なお、ゲート絶縁膜13を形成する前に、ゲート
バスライン21を陽極酸化して、Ta2O5からなる酸
化膜12を形成してもよい。
Next, a gate insulating film 13 is laminated on the gate bus line 21 (including the gate bus branch line 22 and the conductor portion 47). In this example, a SiNx film was deposited to a thickness of 300 nm by plasma CVD to form the gate insulating film 13. Note that before forming the gate insulating film 13, the gate bus line 21 may be anodized to form the oxide film 12 made of Ta2O5.

【0031】次いで、プラズマCVD法により半導体層
14およびエッチングストッパ層15をゲート絶縁膜1
3の上に連続して形成する。半導体層14はアモルファ
スシリコン(a−Si)層で構成され、エッチングスト
ッパ層15はSiNx層で構成される。それぞれの膜厚
は30nm、200nmとする。そして、エッチングス
トッパ層15をパターニングし、その後、リンを添加し
たn+型a−Si層16をプラズマCVD法で80nm
の厚みで積層する。このn+型a−Si層16は半導体
層14と、その後に積層されるソース電極32又はドレ
イン電極33とのオーミックコンタクトを良好にするた
めに形成される。
Next, the semiconductor layer 14 and the etching stopper layer 15 are deposited on the gate insulating film 1 by plasma CVD.
Continuously form on top of 3. The semiconductor layer 14 is made of an amorphous silicon (a-Si) layer, and the etching stopper layer 15 is made of a SiNx layer. The respective film thicknesses are 30 nm and 200 nm. Then, the etching stopper layer 15 is patterned, and then a phosphorus-doped n+ type a-Si layer 16 is formed to a thickness of 80 nm by plasma CVD.
Laminated to a thickness of . This n+ type a-Si layer 16 is formed to improve the ohmic contact between the semiconductor layer 14 and the source electrode 32 or drain electrode 33 laminated thereafter.

【0032】次いで、n+型a−Si層16をパターニ
ングし、その後、ソース金属をスパッタリング法により
積層する。ソース金属としては、一般に、Ti、Al、
Mo、Cr等が用いられるが、本実施例ではTiを使用
した。そして、Ti金属層をパターニングし、ソース電
極32およびドレイン電極33を得る。この時、ソース
バスライン23、ソースバスライン突出部24および導
電体片48が同時に形成される。これにより、図2にそ
の構造を示すTFT31が作製される。
Next, the n+ type a-Si layer 16 is patterned, and then a source metal is deposited by sputtering. Source metals generally include Ti, Al,
Although Mo, Cr, etc. are used, Ti was used in this example. Then, the Ti metal layer is patterned to obtain a source electrode 32 and a drain electrode 33. At this time, the source bus line 23, source bus line protrusion 24, and conductor piece 48 are formed at the same time. As a result, a TFT 31 whose structure is shown in FIG. 2 is manufactured.

【0033】次いで、絵素電極41となる透明導電性物
質を積層する。本実施例では透明導電性物質として、I
TO(Indium tin oxide)をスパッタ
リング法により積層し、これをパターニングして絵素電
極41を得る。該絵素電極41は上記のようにゲートバ
スライン21とソースバスライン23で囲まれた矩形の
領域に積層形成され、図2に示すように、その端部はT
FT31のドレイン電極33の端部に積層され、また、
導電体片48上に積層される。これにより、絵素電極4
1とTFT31のドレイン電極33および導電体片44
が導通状態になる。
Next, a transparent conductive material that will become the picture element electrode 41 is laminated. In this example, I
TO (indium tin oxide) is laminated by a sputtering method, and this is patterned to obtain a picture element electrode 41. The picture element electrode 41 is laminated in a rectangular area surrounded by the gate bus line 21 and the source bus line 23 as described above, and as shown in FIG.
Laminated on the end of the drain electrode 33 of the FT 31, and
It is laminated on the conductor piece 48. As a result, the picture element electrode 4
1 and the drain electrode 33 of the TFT 31 and the conductor piece 44
becomes conductive.

【0034】絵素電極41を形成したガラス基板1上の
全面には、SiNxからなる保護膜17が堆積される。 該保護膜17は、絵素電極41の中央部で除去した窓あ
き形状にしてもよい。保護膜17上には配向膜19が形
成される。該保護膜17についても、その中央部を除去
した窓あき形状にしてもよい。図2に示すように、ガラ
ス基板1に対向するガラス基板2上には、対向電極3及
び配向膜9が形成される。そして、これらのガラス基板
1、2の間に液晶18を封入し、本実施例のアクティブ
マトリクス表示装置が作成される。
A protective film 17 made of SiNx is deposited over the entire surface of the glass substrate 1 on which the picture element electrodes 41 are formed. The protective film 17 may be removed in the center of the picture element electrode 41 to form a window. An alignment film 19 is formed on the protective film 17 . The protective film 17 may also have a window-perforated shape with its central portion removed. As shown in FIG. 2, a counter electrode 3 and an alignment film 9 are formed on a glass substrate 2 facing the glass substrate 1. Then, a liquid crystal 18 is sealed between these glass substrates 1 and 2, and the active matrix display device of this embodiment is fabricated.

【0035】次に、本実施例のアクティブマトリクス表
示装置において絵素欠陥が生じた場合の修復方法につい
て説明する。通常、絵素電極41はTFT31によって
駆動され、TFT31が正常に動作している限り、ゲー
トバスライン21とソースバスライン23に囲まれた領
域の絵素は正常に動作し、表示上の問題は発生しない。 ところが、TFT31が異常を来たしたり、ソースバス
ライン23と絵素電極41の間に弱い電流リークが発生
したりすると、絵素欠陥が現れ、表示上の問題として認
識される。これを本実施例においては以下のようにして
修復する。
Next, a method of repairing a pixel defect when it occurs in the active matrix display device of this embodiment will be explained. Normally, the picture element electrode 41 is driven by the TFT 31, and as long as the TFT 31 operates normally, the picture element in the area surrounded by the gate bus line 21 and the source bus line 23 operates normally, and there are no display problems. Does not occur. However, if the TFT 31 becomes abnormal or a weak current leak occurs between the source bus line 23 and the picture element electrode 41, a picture element defect appears and is recognized as a display problem. In this embodiment, this is repaired as follows.

【0036】すなわち、アクティブマトリクス表示装置
を駆動して、絵素欠陥を確認すると、まず、導電体部4
7とソースバスライン突出部24との重畳部および導電
体部47と導電体片48との重畳部に、光エネルギの一
例としてYAGレーザー光を照射する。レーザー光が照
射された部分ではレーザー光が上記した上下の導電体間
のゲート絶縁膜13を突き破る。これにより、レーザー
光が照射された部分の端部において上下の導電体が短絡
される。
That is, when the active matrix display device is driven and pixel defects are confirmed, first, the conductor portion 4
7 and the source bus line protrusion 24 and the overlapped portion between the conductor section 47 and the conductor piece 48 are irradiated with YAG laser light as an example of optical energy. In the portion irradiated with the laser light, the laser light breaks through the gate insulating film 13 between the above-mentioned upper and lower conductors. As a result, the upper and lower conductors are short-circuited at the end of the portion irradiated with the laser beam.

【0037】なお、導電体部47と導電体片48との重
畳部におけるレーザー光の照射部は図3に破線で示され
る照射領域51とする。該照射領域51の一部は導電体
部47の先端からはみ出しており、はみ出し部を形成す
ると、次に説明する接続部における周長を大きくできる
利点がある。
Note that the laser beam irradiation area at the overlapped portion of the conductor portion 47 and the conductor piece 48 is an irradiation area 51 shown by a broken line in FIG. A portion of the irradiation area 51 protrudes from the tip of the conductor portion 47, and forming the protrusion has the advantage that the circumference of the connection portion, which will be described below, can be increased.

【0038】上記の照射領域51にレーザー光を照射す
る場合は、図中に網掛け線52で示すように、導電体部
47と導電体片48との接続部における周長を図8(b
)に示される上記従来例の周長に比べて格段に大きくで
きる。また、図から明かなように、導電体片48の面積
に比べて照射領域51の面積が小さくなっている。 従って、導電体片48が四散することがない。
When the above irradiation area 51 is irradiated with a laser beam, the circumference at the connection portion between the conductor portion 47 and the conductor piece 48 is determined as shown in FIG.
) can be made much larger than the circumference of the above conventional example. Further, as is clear from the figure, the area of the irradiation region 51 is smaller than the area of the conductor piece 48. Therefore, the conductor pieces 48 are not scattered.

【0039】上記2箇所の位置に対するレーザー光の照
射により、ソースバスライン突出部24と導電体部47
が導通され、且つ導電体部47と導電体片48が導通さ
れる。従って、結果的にソースバスライン24と絵素電
極41が短絡される。それ故、点欠陥を発生している絵
素は隣接したソースバスライン23に沿った全ての絵素
の平均的な明るさに点灯され、表示上欠陥として極めて
視認しにくくなる。
By irradiating the above two positions with laser light, the source bus line protrusion 24 and the conductor portion 47 are
are electrically connected, and the conductor portion 47 and the conductor piece 48 are electrically connected. Therefore, as a result, the source bus line 24 and the picture element electrode 41 are short-circuited. Therefore, the pixel in which the point defect has occurred is illuminated with the average brightness of all the pixel elements along the adjacent source bus line 23, making it extremely difficult to visually recognize it as a defect on the display.

【0040】なお、レーザー光の照射はガラス基板1の
裏側から或はガラス基板2側から行うことができるが、
本実施例のアクティブマトリクス表示装置においては、
対向電極側が遮光用の導電体で覆われ、直接レーザー光
を照射することができない。そこで、本実施例ではガラ
ス基板の裏側から照射した。また、上記2箇所の位置に
対するレーザー光の照射順序は、上記順序に限定される
ものではない。
Note that the laser beam irradiation can be performed from the back side of the glass substrate 1 or from the glass substrate 2 side.
In the active matrix display device of this example,
The counter electrode side is covered with a light-shielding conductor and cannot be directly irradiated with laser light. Therefore, in this example, irradiation was performed from the back side of the glass substrate. Further, the order of irradiation of the laser beams onto the two positions is not limited to the above order.

【0041】図4は本発明の他の実施例を示しており、
この実施例では上記した導電体部47に代えて、TFT
31に接続されるゲートバスライン21に隣接するゲー
トバスライン21aから絵素電極41に向けて突出形成
したゲートバスライン突出部25を用いる構成をとる。 この実施例によれば以下に示す利点がある。
FIG. 4 shows another embodiment of the present invention,
In this embodiment, instead of the above-mentioned conductor portion 47, a TFT
The configuration uses a gate bus line protrusion 25 formed to protrude toward the picture element electrode 41 from the gate bus line 21a adjacent to the gate bus line 21 connected to the gate bus line 31. This embodiment has the following advantages.

【0042】すなわち、一般にゲートバスライン21を
陽極酸化して表面にTa酸化膜を形成し絶縁膜を2層構
造として絶縁性を高める構造がよく使用されるが、導電
体部47をゲートバスライン21に接続してあると、ゲ
ートバスライン21の陽極酸化を行う際に同時に陽極酸
化膜が形成されるので、この部分の絶縁特性を向上でき
る利点がある。そこで、本実施例ではかかる利点を生か
すべく、ゲートバスライン21aから突出形成したゲー
トバスライン突出部25で導電体部を形成する構成をと
る。
That is, in general, a structure is often used in which the gate bus line 21 is anodized to form a Ta oxide film on the surface and the insulating film has a two-layer structure to improve insulation. 21, an anodic oxide film is formed at the same time when the gate bus line 21 is anodized, which has the advantage of improving the insulation properties of this portion. Therefore, in order to take advantage of this advantage, this embodiment adopts a configuration in which the conductor portion is formed by the gate bus line protrusion 25 formed to protrude from the gate bus line 21a.

【0043】但し、この実施例においては、レーザー光
を照射する際にゲートバスライン21aからゲートバス
ライン突出部25を切り離す必要がある。この切り離し
は、ゲートバスライン突出部25の根元部にレーザー光
を照射して実現される。
However, in this embodiment, it is necessary to separate the gate bus line protrusion 25 from the gate bus line 21a when irradiating the laser beam. This separation is achieved by irradiating the root portion of the gate bus line protrusion 25 with laser light.

【0044】本実施例のアクティブマトリクス表示装置
は上記実施例同様にして制作され、また点欠陥の修復は
、ゲートバスライン突出部25をゲートバスライン21
aから切り離した後(又はその前)に、上記実施例同様
の2箇所の位置にレーザー光を照射して行われる。
The active matrix display device of this example is manufactured in the same manner as in the above example, and point defects are repaired by connecting the gate bus line protrusion 25 to the gate bus line 21.
After (or before) separation from a, laser light is irradiated to two positions similar to the above embodiment.

【0045】図5は本発明の更に他の実施例を示してお
り、この実施例では、各絵素電極41が付加容量72を
有する構成をとる。付加容量72は、ゲートバスライン
21に平行に設けられた付加容量バスライン26と、絵
素電極41との間に介在される前記ゲート絶縁膜13と
で構成される。今少し説明すると、ゲートバスライン2
1が絵素電極41に重畳され、ゲートバスライン21と
絵素電極41との重畳部に図中斜線で示す付加容量72
が形成される。付加容量バスライン26は上記ゲートバ
スライン21と同じ金属を積層し、ゲートバスライン2
1のパターニングの際に同時に形成される。
FIG. 5 shows still another embodiment of the present invention, in which each picture element electrode 41 has an additional capacitance 72. The additional capacitor 72 is composed of an additional capacitor bus line 26 provided parallel to the gate bus line 21 and the gate insulating film 13 interposed between the picture element electrode 41. To explain a little bit, Gate Bus Line 2
1 is superimposed on the picture element electrode 41, and an additional capacitor 72 shown with diagonal lines in the figure is provided at the overlapped portion of the gate bus line 21 and the picture element electrode 41.
is formed. The additional capacitor bus line 26 is made of the same metal as the gate bus line 21, and is made of the same metal as the gate bus line 21.
They are formed simultaneously during the patterning of the first pattern.

【0046】本実施例では、付加容量バスライン24に
上記対向電極3と同じ信号が入力されるようになってい
る。従って、付加容量42は電気回路的には絵素電極4
1とガラス基板2との間に封入される液晶18の液晶容
量に並列に設けられることになる。このような付加容量
42の存在により、絵素電極41の電荷保持能力が向上
し、結局、表示装置としての性能を向上できることにな
る。
In this embodiment, the same signal as the counter electrode 3 is input to the additional capacitance bus line 24. Therefore, the additional capacitance 42 is connected to the picture element electrode 4 in terms of an electric circuit.
1 and the glass substrate 2 in parallel to the liquid crystal capacitor of the liquid crystal 18 sealed between the liquid crystal 18 and the glass substrate 2. The presence of such an additional capacitor 42 improves the charge retention ability of the picture element electrode 41, and ultimately improves the performance of the display device.

【0047】本実施例では導電体部が付加容量バスライ
ン26から絵素電極41側に向けて突出形成された付加
容量バスライン突出部27で形成される構成をとる。こ
の実施例における点欠陥の修復は、図4に示される実施
例同様にして行われる。
In this embodiment, the conductor portion is formed by an additional capacitor bus line protrusion 27 that is formed to protrude from the additional capacitor bus line 26 toward the picture element electrode 41 side. Repair of point defects in this embodiment is performed in the same manner as in the embodiment shown in FIG.

【0048】なお、上記各実施例ではスイッチング素子
としてTFTを用いたが、MOSトランジスタ素子等の
他のスイッチング素子を用いることもできる。また、T
FTの構造についても上記実施例のものに限定されず、
ソースバスラインを下面に配置し、ゲートバスラインを
上面に配置した構造であってもよい。
Although TFTs are used as switching elements in the above embodiments, other switching elements such as MOS transistor elements may also be used. Also, T
The structure of the FT is not limited to that of the above embodiment,
A structure may be used in which the source bus line is placed on the bottom surface and the gate bus line is placed on the top surface.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上の本発明アクティブマトリクス表示
装置の冗長構造によれば、点欠陥の修復後における上下
の導電体の接続確率を大きくできる。従って、上下の導
電体を確実に導通することができる。また、導電体が四
散することがない。それ故、製品の歩留りを向上でき、
コストダウンを図る上で都合のよいものになる。
According to the above-described redundant structure of the active matrix display device of the present invention, the probability of connection between the upper and lower conductors after a point defect is repaired can be increased. Therefore, electrical continuity between the upper and lower conductors can be ensured. Further, the conductor does not scatter. Therefore, product yield can be improved,
This is convenient for reducing costs.

【0050】また、特に請求項2記載のアクティブマト
リクス表示装置によれば、絶縁特性を向上できる利点が
ある。
[0050] In particular, the active matrix display device according to the second aspect has the advantage that insulation characteristics can be improved.

【0051】また、特に請求項3記載のアクティブマト
リクス表示装置によれば、表示特性を向上できる利点が
ある。
[0051] In particular, the active matrix display device according to claim 3 has the advantage that display characteristics can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明のアクティブマトリクス表示装置の平面
図。
FIG. 1 is a plan view of an active matrix display device of the present invention.

【図2】図1のA−A線断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. 1.

【図3】図1のB部拡大図。FIG. 3 is an enlarged view of part B in FIG. 1.

【図4】本発明の他の実施例を示す平面図。FIG. 4 is a plan view showing another embodiment of the invention.

【図5】本発明の更に他の実施例を示す平面図。FIG. 5 is a plan view showing still another embodiment of the present invention.

【図6】従来例を示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing a conventional example.

【図7】他の従来例を示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing another conventional example.

【図8】従来例の欠点を示す平面図。FIG. 8 is a plan view showing the drawbacks of the conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1  絵素電極が配設される側のガラス基板2  対向
電極が配設される側のガラス基板3  対向電極 13  ゲート絶縁膜 18  液晶 21(21a)  ゲートバスライン 22  ゲートバス支線 23  ソースバスライン 24  ソースバスライン突出部 25  ゲートバスライン突出部 26  付加容量バスライン 27  付加容量バスライン突出部 31  TFT 32  ソース電極 33  ドレイン電極 41  絵素電極 47  導電体部 48  導電体片 51  レーザー光の照射領域 52  接続部における周長を示す網掛け線72  付
加容量
1 Glass substrate on the side where the picture element electrode is arranged 2 Glass substrate on the side where the counter electrode is arranged 3 Counter electrode 13 Gate insulating film 18 Liquid crystal 21 (21a) Gate bus line 22 Gate bus branch line 23 Source bus line 24 Source bus line protrusion 25 Gate bus line protrusion 26 Additional capacitance bus line 27 Additional capacitance bus line protrusion 31 TFT 32 Source electrode 33 Drain electrode 41 Picture element electrode 47 Conductor portion 48 Conductor piece 51 Laser light irradiation area 52 Shaded line 72 indicating the circumference at the connection part Additional capacitance

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】一対の絶縁性基板の何れか一方の基板上に
走査線および信号線を格子状に配線し、該走査線および
信号線で囲まれた領域に絵素電極をそれぞれ配設すると
共に、該絵素電極と該走査線および信号線にそれぞれス
イッチング素子を接続したアクティブマトリクス液晶表
示装置において、該絵素電極に向けて該信号線から突出
形成され、該絵素電極と電気的に非接触の信号線突出部
と、該信号線突出部に一端側が絶縁膜を介して重畳され
、該信号線、該走査線および該絵素電極と電気的に非接
触の導電体部と、該導電体部の他端側に、他端末部を完
全に覆うようにして絶縁膜を介して重畳され、該絵素電
極に電気的に接触し、且つ該信号線突出部と電気的に非
接触の導電体片とを備えたアクティブマトリクス表示装
置。
Claim 1: Scanning lines and signal lines are wired in a grid pattern on one of a pair of insulating substrates, and pixel electrodes are respectively arranged in areas surrounded by the scanning lines and signal lines. In addition, in an active matrix liquid crystal display device in which switching elements are connected to the picture element electrode, the scanning line, and the signal line, respectively, a switching element is formed protruding from the signal line toward the picture element electrode, and is electrically connected to the picture element electrode. a non-contact signal line protrusion, a conductor portion whose one end side is overlapped with the signal line protrusion via an insulating film, and which is not in electrical contact with the signal line, the scanning line, and the pixel electrode; Overlaid on the other end side of the conductor portion with an insulating film interposed therebetween so as to completely cover the other terminal portion, electrically contacting the picture element electrode and not electrically contacting the signal line protruding portion. An active matrix display device comprising a conductive piece.
【請求項2】前記導電体部が前記走査線に隣接する走査
線から前記絵素電極に向けて突出形成された走査線突出
部である請求項1記載のアクティブマトリクス表示装置
2. The active matrix display device according to claim 1, wherein the conductor portion is a scanning line protruding portion formed to protrude from a scanning line adjacent to the scanning line toward the picture element electrode.
【請求項3】前記導電体部が前記絵素電極の下部に付加
容量を形成する付加容量バスラインから該絵素電極に向
けて突出形成された付加容量バスライン突出部である請
求項1記載のアクティブマトリクス表示装置。
3. The conductor portion is an additional capacitor bus line protruding portion formed to protrude toward the picture element electrode from an additional capacitor bus line forming an additional capacitor below the picture element electrode. active matrix display device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5373379A (en) * 1992-05-13 1994-12-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Repairable liquid crystal display panel with laser fusible links
US5392143A (en) * 1989-11-30 1995-02-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Liquid crystal display having drain and pixel electrodes linkable to a wiring line having a potential
WO1996007122A1 (en) * 1994-08-30 1996-03-07 Hitachi, Ltd. Method of production of active matrix type liquid crystal display device
JP2007256919A (en) * 2006-03-23 2007-10-04 Genta Kagi Kogyo Kofun Yugenkoshi Electronic ink display device and repair method thereof

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