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JPH04324664A - Set sheet of lead frame - Google Patents

Set sheet of lead frame

Info

Publication number
JPH04324664A
JPH04324664A JP9427391A JP9427391A JPH04324664A JP H04324664 A JPH04324664 A JP H04324664A JP 9427391 A JP9427391 A JP 9427391A JP 9427391 A JP9427391 A JP 9427391A JP H04324664 A JPH04324664 A JP H04324664A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
individual lead
frame
base material
lead frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9427391A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshikazu Ito
吉一 伊藤
Osamu Watanabe
治 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP9427391A priority Critical patent/JPH04324664A/en
Publication of JPH04324664A publication Critical patent/JPH04324664A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the generation of crock when insulative base material is unified in a body, by forming dummy patterns which have many holes almost similarly to individual lead frames, in the parts of a set sheet where the individual lead frames and a frame body are not formed. CONSTITUTION:A frame body 11 in which tool holes and the like are bored is formed on the outer periphery of a set sheet 10, and a dummy pattern 13 having the same pattern as an individual lead frame 12 is formed in the part positioned between the frame body 11 and each lead frame 12. Insulative base material for constituting an electronic mounting board is unified in a body with the surface and the rear of the set sheet 10 by thermo-compression bonding. Thereby softened parts of the insulative base material are mutually bonded through many holes of the individual lead frames 12 and the dummy patterns 13. The greater part of the finely divided set sheet 10 are buried in the insulative base material. Hence the insulative base material is unified in a body with the set sheet without leaving stress, so that crook is not generated at all in the set sheet.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品搭載用基板を
構成するためのリードフレームの多数を一枚の金属板か
ら一連のものとして形成した集合シートに関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an assembly sheet in which a number of lead frames for configuring a board for mounting electronic components are formed as a series from a single metal plate.

【0002】0002

【従来の技術】例えば半導体素子という電子部品を搭載
して多数の外部接続端子を有する半導体装置を構成する
ための電子部品搭載用基板としては、近年種々なものが
提案されてきているが、出願人は、高密度実装を可能と
し製造を容易とすることのできる電子部品搭載用基板と
して、リードフレームの両面に絶縁基材を一体化するも
のを既に種々提案してきている。この出願人既提案の電
子部品搭載用基板は、外部接続端子となる多数のリード
を一体化したリードフレームを採用するものであるが、
このリードフレームは多数のものを一枚の金属板から一
連のものとして形成することが行われている。つまり、
一個の電子部品搭載用基板に対応する個別リードフレー
ムの多数を集合させたシート状のものとして形成してお
き、この集合シートの両面にシート状の絶縁基材を一体
化して所定のパターンを形成した後に、各電子部品搭載
用基板を個別に切り出すことが行われているのである。
[Prior Art] In recent years, various electronic component mounting substrates have been proposed for configuring semiconductor devices on which electronic components such as semiconductor elements are mounted and have a large number of external connection terminals. People have already proposed various types of substrates for mounting electronic components that enable high-density mounting and facilitate manufacturing by integrating insulating base materials on both sides of a lead frame. The electronic component mounting board proposed by the applicant employs a lead frame that integrates a large number of leads that serve as external connection terminals.
A large number of lead frames are formed as a series from a single metal plate. In other words,
A large number of individual lead frames corresponding to one electronic component mounting board are assembled into a sheet shape, and a sheet-shaped insulating base material is integrated on both sides of this assembly sheet to form a predetermined pattern. After that, each electronic component mounting board is individually cut out.

【0003】以上のように、多数の個別リードフレーム
を一連のものとして集合シートとした場合には、この集
合シートそれ自体の製造は勿論、各電子部品搭載用基板
とするための絶縁基材の一体化、これに対する必要なパ
ターン(導体回路)の形成、必要なメッキ及びこれに付
随する各種処理をまとめてかつ連続的に行えることから
工業上非常に有利である。しかしながら、このように有
利な集合シートではあっても、本発明者等の検討による
と次のような不具合が生じ得る可能性が出てきているの
である。
[0003] As described above, when a large number of individual lead frames are assembled into a series to form an aggregate sheet, it is not only necessary to manufacture the aggregate sheet itself, but also to create an insulating base material for each electronic component mounting board. It is very advantageous industrially because integration, formation of necessary patterns (conductor circuits), necessary plating, and various associated treatments can be performed all at once and continuously. However, even with such an advantageous collection sheet, studies by the present inventors have revealed that the following problems may occur.

【0004】つまり、集合シートは多数の個別リードフ
レームを一連にしたものであり、この集合シートに大き
な面積の絶縁基材シートを熱圧着プレスによって一体化
した場合に、全体に「湾曲」が生じ得ることが予見され
たのである。この「湾曲」が生じ得る原因と考えられる
のは、集合シートを構成している金属板と、集合シート
の両面に一体化される絶縁基材との熱膨張率の差、ある
いはその金属板のパターン形状による金属密度の差など
である。この「湾曲」が生じたとすると、全体を各装置
にマウントして各加工作業を行おうとする場合に、各装
置に対するマウントが正しくできないだけでなく、例え
ば絶縁基材に対するパターンの形成等が正しく行われな
いことになる。
[0004] In other words, an aggregate sheet is a series of many individual lead frames, and when an insulating base sheet with a large area is integrated into this aggregate sheet by thermocompression press, "curvature" occurs in the whole. It was foreseen that it would be obtained. The cause of this "curvature" is thought to be the difference in thermal expansion coefficient between the metal plate that makes up the aggregate sheet and the insulating base material integrated on both sides of the aggregate sheet, or the difference in the thermal expansion coefficient of the metal plate. This includes differences in metal density depending on the pattern shape. If this "curvature" occurs, if you try to mount the entire device on each device and perform various processing operations, not only will it not be possible to mount each device correctly, but also it will not be possible to correctly form a pattern on an insulating base material. This means that you will not be able to do so.

【0005】そこで、本発明者等は、この集合シート等
に生じる可能性のある「湾曲」を予め予防するにはどう
したらよいかについて種々検討を重ねてきた結果、本発
明を完成したのである。
[0005] Therefore, the inventors of the present invention have completed the present invention as a result of various studies on how to prevent the "curvature" that may occur in the collective sheet etc. .

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な経緯に基づいてなされたもので、その解決しようとす
る課題は、集合シートに絶縁基材を一体化したときの「
湾曲」である。
[Problems to be Solved by the Invention] The present invention has been made based on the above-mentioned circumstances, and the problem to be solved is to
curvature”.

【0007】そして、本発明の目的とするところは、絶
縁基材を一体化したときに湾曲を生じないようにするこ
とができて、これにより電子部品搭載用基板として構成
するための各工程における作業を容易かつ確実にするこ
とのできる集合シートを簡単な構成によって提供するこ
とにある。
[0007]An object of the present invention is to prevent curvature from occurring when the insulating base material is integrated, thereby making it possible to prevent the occurrence of curvature in each step of constructing a board for mounting electronic components. To provide a collection sheet with a simple configuration that allows work to be done easily and reliably.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、本発明の採った手段は、実施例において使用する
符号を付して説明すると、「多数のリードを一体化した
状態に構成され、その両面に絶縁基材を一体化すること
により電子部品搭載用基板を構成する個別リードフレー
ム12の多数を一枚の金属板により一連のものとして形
成するとともに、外周に前記金属板によって形成した枠
体11を備えた集合シート10であって、この集合シー
ト10の各個別リードフレーム12及び枠体11とはな
らない部分に、各個別リードフレーム12と略同様なダ
ミーパターン13を形成したことを特徴とするリードフ
レームの集合シート10」である。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems, the means taken by the present invention are explained by adding the reference numerals used in the embodiments. By integrating insulating base materials on both sides, a large number of individual lead frames 12 constituting an electronic component mounting board are formed as a series from one metal plate, and the outer periphery is formed from the metal plate. A dummy pattern 13 substantially similar to each individual lead frame 12 is formed in a part of the aggregate sheet 10 that does not become each individual lead frame 12 and the frame 11. 10” is a lead frame assembly sheet 10 characterized by the following.

【0009】すなわち、本発明に係る集合シート10は
、その各個別リードフレーム12及び枠体11が形成さ
れなくて空いている部分に、各個別リードフレーム12
と略同様に多数の穴を有した複雑形状のダミーパターン
13を積極的に形成したものである。
That is, in the assembly sheet 10 according to the present invention, each individual lead frame 12 and frame body 11 are not formed and the vacant portion is provided with each individual lead frame 12.
A complex-shaped dummy pattern 13 having a large number of holes is actively formed in substantially the same manner as in FIG.

【0010】0010

【発明の作用】以上のように構成した本発明に係る集合
シート10にあっては、その各個別リードフレーム12
が例えば各リード間に形成された多数のパターン穴によ
って集合シート10の表裏に連通したものとなっている
ことは当然である。このような多数のパターン穴によっ
て表裏に連通したものとなっていることは、各個別リー
ドフレーム12と略同様に形成したダミーパターン13
においても同じである。このため、この集合シート10
においては、これを形成する前の金属板からすれば、互
いに連結されてはいても非常に細分化されたものとなっ
ているのであり、最初の金属板における剛性は枠体11
を除いて殆どなくなったものとなっているのである。
Effect of the Invention In the aggregate sheet 10 according to the present invention constructed as described above, each individual lead frame 12
It goes without saying that the front and back sides of the aggregate sheet 10 are connected to each other by, for example, a large number of patterned holes formed between the respective leads. The fact that the front and back sides are connected through such a large number of pattern holes means that the dummy patterns 13 formed in substantially the same manner as each individual lead frame 12
The same is true for . For this reason, this collection sheet 10
, if we look at the metal plates before they are formed, they are very segmented even though they are connected to each other, and the rigidity of the initial metal plates is the same as the frame 11.
Almost all of them have disappeared except for.

【0011】以上のような状態の集合シート10の表裏
に、電子部品搭載用基板を構成するための絶縁基材を熱
圧着により一体化すると、絶縁基材の軟化した一部が各
個別リードフレーム12及びダミーパターン13の多数
の穴を通して互いに接着し合い、集合シート10の細か
く分断されている大部分が絶縁基材中に埋設されること
になるのである。従って、各絶縁基材は、集合シート1
0に対して応力を残留させることなく一体化されるので
あり、各絶縁基材が一体化された集合シート10には全
く湾曲が生じないことになるのである。なお、集合シー
ト10の枠体11においては、その表裏に位置する絶縁
基材が互いに接着されることがないため、絶縁基材との
熱膨張率の差のため多少の応力が残留することはあるが
、この枠体11にはその全面に絶縁基材を一体化するこ
とはまれであるため、その残留応力は完全に無視し得る
ものである。つまり、この枠体11は各種装置内を通す
場合のマウント部分となることが多いため、この枠体1
1の全面に絶縁基材が一体化されることは非常に少ない
ものである。
When the insulating base material for configuring the electronic component mounting board is integrated on the front and back sides of the assembly sheet 10 in the above state by thermocompression bonding, a softened part of the insulating base material becomes attached to each individual lead frame. 12 and the dummy patterns 13 through a large number of holes, and most of the finely divided parts of the aggregate sheet 10 are embedded in the insulating base material. Therefore, each insulating base material has a collective sheet 1
The insulating base materials are integrated without any residual stress, and the aggregate sheet 10 in which the respective insulating base materials are integrated does not have any curvature at all. In addition, in the frame 11 of the aggregate sheet 10, since the insulating base materials located on the front and back sides are not bonded to each other, some stress may remain due to the difference in thermal expansion coefficient with the insulating base materials. However, since it is rare that an insulating base material is integrated over the entire surface of the frame 11, the residual stress can be completely ignored. In other words, since this frame 11 is often used as a mount part when passing through various devices, this frame 11
It is extremely rare for an insulating base material to be integrated over the entire surface of a substrate.

【0012】以上のような集合シート10を採用して電
子部品搭載用基板を構成して行く各工程においては、こ
の集合シート10あるいはこれに絶縁基材を一体化した
ものに湾曲が殆ど生じないのであるから、各種装置に対
するマウントが完全な状態で行われ、当然のことながら
完成後の電子部品搭載用基板においても湾曲は全くない
のである。
[0012] In each step of constructing a board for mounting electronic components by employing the aggregate sheet 10 as described above, almost no curvature occurs in the aggregate sheet 10 or the insulating base material integrated therewith. Therefore, various devices can be mounted in a perfect state, and as a matter of course, there is no curvature at all in the completed electronic component mounting board.

【0013】[0013]

【実施例】次に、本発明に係る集合シート10を、図面
に示した各実施例に従って詳細に説明するが、その前に
、この集合シート10がどのように使用されるものであ
るのかを図4を参照しながら説明する。
[Embodiments] Next, the assembly sheet 10 according to the present invention will be explained in detail according to each embodiment shown in the drawings, but before that, it will be explained how this assembly sheet 10 is used. This will be explained with reference to FIG.

【0014】図4には、本発明に係る集合シート10を
使用して構成した個別の電子部品搭載用基板に対して電
子部品を実装し、外部接続端子となるべきリードを残し
て、全体をモールド樹脂によってモールドすることによ
り完成した半導体装置の断面図が示してある。この半導
体装置において使用されている電子部品搭載用基板は、
本発明に係る集合シート10の両面に絶縁基材を一体化
した後、各個別リードフレーム12毎に絶縁基材を切断
して個別化することにより構成したものである。すなわ
ち、この半導体装置に使用されている電子部品搭載用基
板は、集合シート10を中心材料として所謂多数個取り
して形成したものであり、個別リードフレーム12を中
心に切断によって個別化された絶縁基材を一体化したも
のである。
FIG. 4 shows electronic components mounted on individual electronic component mounting boards constructed using the assembly sheet 10 according to the present invention, and the entire circuit board being assembled, leaving leads to serve as external connection terminals. A cross-sectional view of a semiconductor device completed by molding with a molding resin is shown. The electronic component mounting board used in this semiconductor device is
It is constructed by integrating insulating base materials on both sides of the aggregate sheet 10 according to the present invention, and then cutting the insulating base materials into individual lead frames 12. That is, the electronic component mounting board used in this semiconductor device is formed by cutting out so-called multiple pieces using the aggregate sheet 10 as a core material, and the insulating parts are individually cut by cutting around the individual lead frames 12. The base material is integrated.

【0015】このような電子部品搭載用基板を多数個取
りして形成するための一つの材料が、図1または図2に
示した集合シート10なのである。
One of the materials for forming a large number of electronic component mounting substrates is the assembly sheet 10 shown in FIG. 1 or 2.

【0016】(実施例1)図1には、本発明に係る集合
シート10の第1実施例が示してあり、この集合シート
10は一枚の金属板(例えば銅板、あるいは42アロイ
板)をエッチング等の手段によって加工して形成したも
のである。本実施例の集合シート10においては、4個
の個別リードフレーム12で一つのリードフレームとし
、このリードフレームを横に6個配列してあり、合計2
4個の個別リードフレーム12を備えたものである。 そして、この集合シート10の外周にはツール穴等を形
成した枠体11が形成してあって、この枠体11と各リ
ードフレーム間に位置する部分に個別リードフレーム1
2と同じパターンのダミーパターン13が形成してある
(Embodiment 1) FIG. 1 shows a first embodiment of an aggregate sheet 10 according to the present invention. It is formed by processing by means such as etching. In the assembly sheet 10 of this embodiment, one lead frame is made up of four individual lead frames 12, and six lead frames are arranged horizontally, making a total of two lead frames.
It is equipped with four individual lead frames 12. A frame 11 in which tool holes etc. are formed is formed on the outer periphery of the collective sheet 10, and individual lead frames 11 are placed between the frame 11 and each lead frame.
A dummy pattern 13 having the same pattern as 2 is formed.

【0017】本実施例における集合シート10は、所謂
フォトソルダーレジストを使用したエッチングにより形
成したものであるが、各個別リードフレーム12のパタ
ーンを形成するためのネガをそのまま利用することによ
り、各ダミーパターン13を個別リードフレーム12と
ともに形成したものである。つまり、この集合シート1
0は、これを機械的に取扱うために是非必要な枠体11
を最低限の大きさのものとして残しながら、各個別リー
ドフレーム12以外の部分に個別リードフレーム12と
同じパターンを有するダミーパターン13をそれぞれ形
成したものである。
The assembly sheet 10 in this embodiment is formed by etching using a so-called photo solder resist, but by using the negative for forming the pattern of each individual lead frame 12 as it is, each dummy A pattern 13 is formed together with an individual lead frame 12. In other words, this set sheet 1
0 is the frame 11 that is absolutely necessary to handle this mechanically.
A dummy pattern 13 having the same pattern as the individual lead frame 12 is formed in a portion other than each individual lead frame 12 while keeping the size of the lead frame to a minimum size.

【0018】(実施例2)図2には、本発明の集合シー
ト10の第2実施例が示してあるが、この集合シート1
0においては枠体11を少し内側に形成するとともに、
この枠体11の外側に、複数の個別リードフレーム12
を並べて形成したリードフレーム(図2においては縦に
長い長方形として表現してある)の配列に対して半ピッ
チズラせた状態で各ダミーパターン13が形成してある
。また、この実施例集合シート10においては、各リー
ドフレーム間に多数のスリット14を形成することによ
り、ダミーパターン13と同様な効果を各スリット14
においても生じさせるようにしている。
(Embodiment 2) FIG. 2 shows a second embodiment of the collection sheet 10 of the present invention.
In 0, the frame 11 is formed slightly inside,
A plurality of individual lead frames 12 are provided outside this frame 11.
Each dummy pattern 13 is formed so as to be shifted by half a pitch with respect to the arrangement of lead frames (represented as vertically long rectangles in FIG. 2) formed by arranging the lead frames. In addition, in this embodiment assembly sheet 10, by forming a large number of slits 14 between each lead frame, the same effect as that of the dummy pattern 13 can be obtained with each slit 14.
I am also trying to make this happen.

【0019】以上の各実施例においては、各ダミーパタ
ーン13を個別リードフレーム12と同じにして形成し
たものを例示しているが、各ダミーパターン13として
は各個別リードフレーム12と同様な複雑形状の穴面積
を有したものであれば十分である。その意味では、図3
の(イ)〜(ニ)に示したようなパターンのものを金属
板の所定位置に予め形成しておいてから、必要なパター
ンの個別リードフレーム12を形成するようにして実施
してもよい。この場合には、各ダミーパターン13を例
えばパンチング加工によって形成しておき、そのように
ダミーパターン13を形成した金属板に各個別リードフ
レーム12をエッチングによって形成するようにして実
施してもよいものである。
In each of the above embodiments, each dummy pattern 13 is formed in the same manner as the individual lead frame 12, but each dummy pattern 13 has a complex shape similar to that of each individual lead frame 12. It is sufficient if the hole area is . In that sense, Figure 3
It is also possible to form the patterns shown in (a) to (d) in advance at a predetermined position on the metal plate, and then form the individual lead frames 12 in the required pattern. . In this case, each dummy pattern 13 may be formed by punching, for example, and each individual lead frame 12 may be formed by etching on the metal plate on which the dummy pattern 13 is formed. It is.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明においては、
上記各実施例にて例示した如く、「多数のリードを一体
化した状態に構成され、その両面に絶縁基材を一体化す
ることにより電子部品搭載用基板を構成する個別リード
フレーム12の多数を一枚の金属板により一連のものと
して形成するとともに、外周に前記金属板によって形成
した枠体11を備えた集合シート10であって、この集
合シート10の各個別リードフレーム12及び枠体11
とはならない部分に、各個別リードフレーム12と略同
様なダミーパターン13を形成した」ことにその特徴が
あり、これにより、絶縁基材を一体化したときに湾曲を
生じないようにすることができて、これにより電子部品
搭載用基板として構成するための各工程における作業を
容易かつ確実にすることのできる集合シートを簡単な構
成によって提供することができるのである。
[Effects of the Invention] As detailed above, in the present invention,
As exemplified in each of the above embodiments, "a large number of individual lead frames 12 that are constructed by integrating a large number of leads, and that constitute a board for mounting electronic components by integrating an insulating base material on both sides of the lead frame 12," An aggregate sheet 10 formed as a series of one metal plate and provided with a frame 11 formed of the metal plate on the outer periphery, each individual lead frame 12 and frame 11 of this aggregate sheet 10.
The feature lies in the fact that a dummy pattern 13 that is substantially similar to each individual lead frame 12 is formed in a portion where the insulating base material is not curved. This makes it possible to provide an assembly sheet with a simple structure that can facilitate and ensure the work in each process for configuring it as a board for mounting electronic components.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明の第1実施例に係る集合シートの平面図
である。
FIG. 1 is a plan view of a collective sheet according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施例に係る集合シートの平面図
である。
FIG. 2 is a plan view of a collective sheet according to a second embodiment of the present invention.

【図3】ダミーパターンのパターンの他の種類を(イ)
〜(ニ)に分けて示した拡大平面図である。
[Figure 3] Other types of dummy patterns (A)
It is an enlarged plan view divided into - (d) and shown.

【図4】本発明に係る集合シートを使用して構成した電
子部品搭載用基板を利用して形成した半導体装置の拡大
断面図である。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a semiconductor device formed using an electronic component mounting substrate constructed using an aggregate sheet according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10  集合シート 11  枠体 12  個別リードフレーム 13  ダミーパターン 14  スリット 10 Set sheet 11 Frame body 12 Individual lead frame 13 Dummy pattern 14 Slit

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  多数のリードを一体化した状態に構成
され、その両面に絶縁基材を一体化することにより電子
部品搭載用基板を構成する個別リードフレームの多数を
一枚の金属板により一連のものとして形成するとともに
、外周に前記金属板によって形成した枠体を備えた集合
シートであって、この集合シートの前記各個別リードフ
レーム及び枠体とはならない部分に、前記各個別リード
フレームと略同様なダミーパターンを形成したことを特
徴とするリードフレームの集合シート。
Claim 1: A single metal plate connects a large number of individual lead frames that constitute a board for mounting electronic components by integrating a large number of leads and integrating insulating base materials on both sides of the individual lead frames. A collective sheet having a frame formed of the metal plate on the outer periphery, and a portion of the collective sheet that does not become the individual lead frame and the frame is provided with the individual lead frame and the frame body. A collection sheet of lead frames characterized by forming substantially similar dummy patterns.
JP9427391A 1991-04-24 1991-04-24 Set sheet of lead frame Pending JPH04324664A (en)

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JP (1) JPH04324664A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010283147A (en) * 2009-06-04 2010-12-16 Seiko Epson Corp Semiconductor device manufacturing method, substrate manufacturing method, and substrate

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010283147A (en) * 2009-06-04 2010-12-16 Seiko Epson Corp Semiconductor device manufacturing method, substrate manufacturing method, and substrate

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