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JPH04278901A - Color filter and production thereof - Google Patents

Color filter and production thereof

Info

Publication number
JPH04278901A
JPH04278901A JP3040378A JP4037891A JPH04278901A JP H04278901 A JPH04278901 A JP H04278901A JP 3040378 A JP3040378 A JP 3040378A JP 4037891 A JP4037891 A JP 4037891A JP H04278901 A JPH04278901 A JP H04278901A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color
color filter
substrate
manufacturing
picture elements
Prior art date
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Granted
Application number
JP3040378A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3027860B2 (en
Inventor
Kazuo Aoki
青木和雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP4037891A priority Critical patent/JP3027860B2/en
Publication of JPH04278901A publication Critical patent/JPH04278901A/en
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Publication of JP3027860B2 publication Critical patent/JP3027860B2/en
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Abstract

PURPOSE:To provide the color filter which is highly flat and inexpensive. CONSTITUTION:Any one color of the red, green and blue of the color filter having red, green and blue picture elements consisting of negative type color resists contg. color materials on a transparent substrate 406 and having at least one layer of transparent protective films is subjected to exposing on the rear surface by casting light of a desired wavelength thereto from the side having no patterns on the substrate 406 with the previously formed picture elements of the two colors as a mash to form a third color between the picture elements of the first color and the second color. Further, a transparent protective film 502 is formed on the picture elements of the three colors and the substrate.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、2層型スーパーツイス
トネマチック(STN)液晶表示素子、フィルム補償型
液晶表示素子、液晶テレビ等に用いられるカラーフィル
ター、及びカラーフィルターの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a two-layer super twisted nematic (STN) liquid crystal display element, a film-compensated liquid crystal display element, a color filter used in liquid crystal televisions, and a method for producing a color filter.

【0002】0002

【従来の技術】液晶表示素子には、大きく分けて2種類
の方式がある。一つは単純マトリクス、もう一つはTF
T、MIM等の能動素子を利用したアクティブマトリク
スである。  単純マトリクス方式は、実用化されてい
る2層型STN液晶表示素子、フィルム補償型液晶表示
素子、強誘電性液晶素子等がある。いずれの場合も急峻
な閾値特性を利用したものであり、表示エリア内で均一
な表示特性を得るために平坦な基板が必要である。すな
わち、カラーフィルターにも同様に高い平坦度が要求さ
れる。一般的に、カラーフィルターの製造方法には、印
刷法、染色方法、電着方法が知られている。最近では、
ネガ型のカラーレジストを用いた方法も検討されている
2. Description of the Related Art Liquid crystal display devices are roughly divided into two types. One is simple matrix, the other is TF
This is an active matrix that uses active elements such as T and MIM. Examples of the simple matrix method include two-layer STN liquid crystal display elements, film-compensated liquid crystal display elements, and ferroelectric liquid crystal display elements that have been put into practical use. In either case, steep threshold characteristics are utilized, and a flat substrate is required to obtain uniform display characteristics within the display area. That is, color filters are also required to have high flatness. Generally, printing methods, dyeing methods, and electrodeposition methods are known as methods for producing color filters. recently,
A method using a negative color resist is also being considered.

【0003】0003

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
のカラーフィルター製造方法では、高平坦で安価なカラ
ーフィルターを製造することはできなかった。図1に各
絵素間の遮光部を色の重ねで作成したカラーフィルター
の断面図を示した。図1において、透明基板101の上
に赤絵素102、青絵素103、緑絵素104がストラ
イプ状に形成されており、それぞれの絵素の重なり部1
05が絵素間の遮光層を兼ねて存在している。これらの
絵素間の重なり部の段差は1μmから2μmあり、保護
層106が形成されても、よほど保護層106の厚みが
大きくない限りこの重なり部105の段差を埋めること
はできない。保護層を厚く着ける方法も検討されている
が、塗布方法、研磨による平坦化の工程が煩雑であり、
コスト高の原因となっている。
[Problems to be Solved by the Invention] However, with these color filter manufacturing methods, it has not been possible to manufacture highly flat and inexpensive color filters. FIG. 1 shows a cross-sectional view of a color filter in which the light-shielding portion between each picture element is created by overlapping colors. In FIG. 1, a red pixel 102, a blue pixel 103, and a green pixel 104 are formed in a stripe shape on a transparent substrate 101, and an overlapping portion 1 of each pixel
05 also exists as a light shielding layer between picture elements. The level difference in the overlapped portion between these picture elements is 1 μm to 2 μm, and even if the protective layer 106 is formed, the level difference in the overlapped portion 105 cannot be filled unless the thickness of the protective layer 106 is very large. A method of applying a thick protective layer is also being considered, but the coating method and polishing process are complicated.
This causes high costs.

【0004】0004

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決する為に、以下の点に特徴がある。すなわち、1) 
 透明な基板上に少なくとも色材を含むネガ型カラーレ
ジストからなる、赤色、緑色、青色の絵素と、少なくと
も一層の透明な保護膜を有するカラーフィルターであっ
て、赤色、緑色、青色のうち一色を、先に形成された二
色のパターンをマスクとして基板上の絵素の無い側より
所望の波長の光を当てて裏面露光を行い、一色目と二色
目の絵素間に三色目を形成し、さらに三色の絵素上及び
基板上に透明な保護膜を有することを特徴とするカラー
フィルターであり、 2)  透明な基板上に少なくともネガ型カラーレジス
トからなる、赤色、緑色、青色の絵素と、少なくとも一
層の透明な保護膜を有するカラーフィルターの製造方法
に於て、 a)カラーレジストを基板に塗布する工程とb)乾燥す
る工程と c)ガラスマスクを用いて所望のパターンを形成するフ
ォト工程と d)現像する工程と e)焼成する工程と を2回繰り返し、三色目は f)カラーレジストを基板に塗布する工程とg)乾燥す
る工程と h)さきに形成された2色のパターンをフォトマスクと
して、基板のパターンが形成されていない裏面より所望
の波長の光を当てて露光する工程と i)現像する工程と j)焼成する工程と さらに k)透明なネガ型レジストを前記カラーパターンを有す
る基板上に塗布する工程と l)乾燥する工程と m)ガラスマスクを用いてパターンを形成するフォト工
程と n)現像する工程と o)焼成する工程 を含むことを特徴とするカラーフィルターの製造方法で
ある。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, the present invention is characterized by the following points. That is, 1)
A color filter consisting of a negative color resist containing at least a coloring material on a transparent substrate and having red, green, and blue picture elements and at least one transparent protective film, the color filter having one color among red, green, and blue. Using the previously formed two-color pattern as a mask, perform backside exposure by applying light of the desired wavelength from the side of the substrate where there are no picture elements, and form a third color between the first and second color picture elements. 2) It is a color filter characterized by having a transparent protective film on the picture elements of three colors and on the substrate. A method for producing a color filter having a picture element and at least one transparent protective film includes: a) applying a color resist to a substrate; b) drying; and c) forming a desired pattern using a glass mask. The photo process of forming, d) developing process, and e) baking process are repeated twice, and the third color is f) the process of applying color resist to the substrate, g) drying process, and h) the previously formed 2 Using the color pattern as a photomask, a step of exposing the substrate to light of a desired wavelength from the back surface where the pattern is not formed, i) a developing step, j) a baking step, and k) a transparent negative resist. The method includes the steps of: coating the color pattern on the substrate having the color pattern, l) drying, m) photolithography for forming a pattern using a glass mask, n) developing, and o) baking. This is a method for manufacturing a color filter.

【0005】[0005]

【実施例】本発明の実施例において、顔料分散型カラー
レジストの材料は、富士ハントエレクトロニクステクノ
ロジー株式会社製のものを用いた。このカラーレジスト
は、商品名をカラーモザイクといい、青色のものはCB
V、赤色のものはCRY、緑色のものはCGY、透明な
ものはCTという名称を有する。このカラーレジストは
、アクリル系感光性樹脂からなり空気中の酸素によって
硬化阻害を起こすため、必要に応じて酸素遮断膜(富士
ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製  商
品名CP)を被膜した後に露光する事が望ましい。その
時、CBV、CRY、CGYはそれぞれ高い感度を示す
[Example] In the examples of the present invention, the material of the pigment-dispersed color resist was manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd. The product name of this color resist is Color Mosaic, and the blue one is CB.
V, the red one is called CRY, the green one is CGY, and the transparent one is called CT. This color resist is made of acrylic photosensitive resin and its curing is inhibited by oxygen in the air, so if necessary, it may be coated with an oxygen barrier film (product name: CP, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) before exposure. desirable. At that time, CBV, CRY, and CGY each exhibit high sensitivity.

【0006】本発明の実施例において、顔料分散型カラ
ーレジストの材料は、富士ハントエレクトロニクステク
ノロジー株式会社製のものを用いるのが望ましいが、同
様の感度特性を有するネガ型材料も用いることもできる
。染料が分散されていても良い。
In the embodiments of the present invention, it is preferable to use materials for the pigment-dispersed color resist manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd., but negative-tone materials having similar sensitivity characteristics can also be used. The dye may be dispersed.

【0007】本発明の実施例において、透明な保護層に
用いられる材料は、富士ハントエレクトロニクステクノ
ロジー株式会社製CTを用いる事が望ましいが、例えば
、エポキシ系、ウレタン系、ポリアミド系、ポリイミド
系等他の材料も用いることができる。
In the embodiments of the present invention, the material used for the transparent protective layer is preferably CT manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd., but other materials such as epoxy, urethane, polyamide, and polyimide may also be used. materials can also be used.

【0008】本発明の実施例において、材料の塗布装置
は、バーコーター、ロールコーター等を用いることもで
きスピンコーターも使用できる。また、印刷法で塗布す
る事もできる。
In the embodiments of the present invention, a bar coater, a roll coater, or a spin coater may be used as the material coating device. It can also be applied by a printing method.

【0009】本実施例では、露光用光源として超高圧水
銀灯を用いた。
In this example, an ultra-high pressure mercury lamp was used as the light source for exposure.

【0010】本発明の透明基板には、ソーダガラスを用
いるのが望ましいが、他のガラス、例えば石英ガラス、
無アルカリガラスもしくはポリカーボネート、ポリアク
リル樹脂などの有機高分子基板も用いる事ができる。ま
た、無機質の薄膜が有ってもよい。
Although soda glass is preferably used for the transparent substrate of the present invention, other glasses such as quartz glass,
An alkali-free glass or an organic polymer substrate such as polycarbonate or polyacrylic resin can also be used. Further, there may be an inorganic thin film.

【0011】本実施例のカラーフィルターのパターンは
、ストライプ状であるがモザイクタイプの様に画素が色
間で分割されていても本発明が適応できる。
Although the pattern of the color filter of this embodiment is striped, the present invention is also applicable to a mosaic type in which pixels are divided between colors.

【0012】(実施例1)本発明のカラーフィルターの
製造方法の実施例を、図2−aから図2−dに示した。
(Example 1) An example of the method for manufacturing a color filter of the present invention is shown in FIGS. 2-a to 2-d.

【0013】図2において、透明基板201上に、赤色
のカラーレジストCRY202をバーコーター203を
用いて塗布し、乾燥後ガラスマスク204を用いて超高
圧水銀灯205で所望の露光量にて露光、現像し、スト
ライプ状のパターン206を形成した。その後高温で焼
成し基板207を得た。
In FIG. 2, a red color resist CRY 202 is applied onto a transparent substrate 201 using a bar coater 203, and after drying, it is exposed to a desired amount of light using an ultra-high pressure mercury lamp 205 using a glass mask 204, and developed. Then, a striped pattern 206 was formed. Thereafter, the substrate 207 was obtained by firing at a high temperature.

【0014】次に、図3において、前記基板207上に
緑色のカラーレジストCGY301をバーコーター30
2を用いて塗布し、CRYと同様の工程にてパターンが
重ならないようにストライプ状にCGY303を形成し
基板304を得た。なお、現像液はアルカリ系現像液(
富士ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製商
品名CD)を用いた。
Next, in FIG. 3, a green color resist CGY301 is applied onto the substrate 207 using a bar coater 30.
2, and CGY303 was formed in stripes in the same process as CRY so that the patterns did not overlap to obtain a substrate 304. Note that the developer is an alkaline developer (
(trade name: CD manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was used.

【0015】次に図4において、上記基板304にカラ
ーレジストCBV401をバーコーター402を用いて
塗布し乾燥した後、酸素遮断膜CP403を被膜し、パ
ターンの形成されていない側にUVカットフィルター4
04を介して、所望の露光量で高圧水銀灯光源より露光
した。その際には画素エリアを限定するためにフォトマ
スク405も用いた。その後現像を行い焼成し基板40
6を得た。
Next, in FIG. 4, a color resist CBV401 is coated on the substrate 304 using a bar coater 402, and after drying, an oxygen barrier film CP403 is coated, and a UV cut filter 4 is placed on the side where no pattern is formed.
The sample was exposed to light from a high-pressure mercury lamp light source at a desired exposure amount via 04. At that time, a photomask 405 was also used to limit the pixel area. After that, the substrate 40 is developed and baked.
I got 6.

【0016】次に図5において、保護膜としてアクリル
系樹脂501(富士ハントエレクトロニクステクノロジ
ー株式会社製  商品名CT)を前記基板406に塗布
し、乾燥後前記CBVのパターンエリアより大きな範囲
に保護膜を形成する為に、フォトマスクを用いて露光し
保護層502を形成した。
Next, in FIG. 5, an acrylic resin 501 (product name CT, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) is applied as a protective film to the substrate 406, and after drying, the protective film is applied to an area larger than the pattern area of the CBV. In order to form the protective layer 502, exposure was performed using a photomask to form the protective layer 502.

【0017】その結果、図5に示した様な高平坦なカラ
ーフィルター基板503が得られた。
As a result, a highly flat color filter substrate 503 as shown in FIG. 5 was obtained.

【0018】以下に、このUVカットフィルターの効果
に付いて述べる。図6において、CRY、CGY、CB
Vの短波長側の透過率をそれぞれ601、602、60
3に示した。また、CRYは330から415nm、C
GYは330から405nm、CBVは350から42
0nmに感度領域が有る。そこでCRY及びCGYが形
成された透明基板の裏側から超高圧水銀灯の光を照射す
ると、365nm付近の604の光はCRYを透過する
。その結果CRYのパターンの上のCBVが感光し、C
BVが若干形成されることとなり色の混色が起こってし
まう。そこで、図7に示したような分光透過率701、
702を示すUVカットフィルターを光源と基板の間に
設けてやることでCRYを透過する光604の多くが選
択的にカットされ、色の混色を防ぐ事ができる。一方、
CBVについては、表示エリアの見切りまでの全域にわ
たるようにフォトマスクも用いて裏露光を行なった。そ
の結果、図5に示したような平坦なカラーフィルター5
03が得られるのである。 (実施例2)透明基板上に、緑色のカラーレジストCG
Yを塗布し、乾燥後ガラスマスクを用いて所望の露光量
にて露光、現像し、ストライプ状のパターンを形成した
。高温で焼成した後に、赤色のカラーレジストCRYを
塗布し、CGYと同様の工程にてCRYパターンがCG
Yと重ならないようにCRYを形成した。、なお、現像
液はアルカリ系現像液(富士ハントエレクトロニクステ
クノロジー株式会社製商品名CD)を用いた。次に上記
基板にカラーレジストCBVを塗布し乾燥した後、酸素
遮断膜CPを被膜し、パターンの形成されていない側に
実施例1と同様にUVカットフィルターを介して、所望
の露光量で高圧水銀灯光源より露光した。その後現像を
行い、焼成した。
The effects of this UV cut filter will be described below. In Figure 6, CRY, CGY, CB
The transmittance on the short wavelength side of V is 601, 602, and 60, respectively.
Shown in 3. In addition, CRY is 330 to 415 nm, C
GY is 330 to 405 nm, CBV is 350 to 42
There is a sensitivity region at 0 nm. Therefore, when light from an ultra-high pressure mercury lamp is irradiated from the back side of the transparent substrate on which CRY and CGY are formed, 604 light of around 365 nm passes through CRY. As a result, the CBV above the CRY pattern is exposed to light, and the CBV
Some BV is formed, resulting in color mixing. Therefore, the spectral transmittance 701 as shown in FIG.
By providing a UV cut filter 702 between the light source and the substrate, most of the light 604 that passes through CRY is selectively cut, and color mixing can be prevented. on the other hand,
Regarding CBV, back exposure was performed using a photomask so as to cover the entire area up to the end of the display area. As a result, a flat color filter 5 as shown in FIG.
03 is obtained. (Example 2) Green color resist CG on a transparent substrate
Y was applied, and after drying, it was exposed to light using a glass mask at a desired exposure amount and developed to form a striped pattern. After firing at a high temperature, a red color resist CRY is applied, and the CRY pattern is converted into CG using the same process as CGY.
CRY was formed so as not to overlap with Y. Note that an alkaline developer (product name: CD, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was used as the developer. Next, after coating the above substrate with color resist CBV and drying it, an oxygen barrier film CP is coated, and a high pressure is applied to the side where the pattern is not formed through a UV cut filter in the same way as in Example 1 at a desired exposure amount. Exposure was made from a mercury lamp light source. After that, it was developed and fired.

【0019】CBVについては、表示エリアの見切りま
での全域にわたるようにフォトマスクも用いて裏露光を
行なった。その結果、図4に示したような平坦なカラー
フィルター406が得られた。
Regarding CBV, back exposure was performed using a photomask so as to cover the entire area up to the end of the display area. As a result, a flat color filter 406 as shown in FIG. 4 was obtained.

【0020】つぎに、保護膜としてアクリル系樹脂(富
士ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製  
商品名CT)を基板に塗布し、乾燥後、フォトマスクを
用いて露光し保護層を形成した。
Next, acrylic resin (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was used as a protective film.
CT (trade name) was applied to a substrate, and after drying, it was exposed to light using a photomask to form a protective layer.

【0021】その結果、図5に示した様な高平坦なカラ
ーフィルター503が得られた。
As a result, a highly flat color filter 503 as shown in FIG. 5 was obtained.

【0022】(実施例3)透明基板上に、青色のカラー
レジストCBVを塗布し、乾燥後ガラスマスクを用いて
所望の露光量にて露光、現像し、ストライプ状のパター
ンを形成した。高温で焼成した後に緑色のカラーレジス
トCGYを塗布し、CBYと同様の工程にてパターンが
重ならないようにCGYを形成した。なお、現像液はア
ルカリ系現像液(富士ハントエレクトロニクステクノロ
ジー株式会社製  商品名CD)を用いた。次に上記基
板にカラーレジストCRYを塗布し乾燥した後、酸素遮
断膜CPを被膜し、裏面より所望の露光量で高圧水銀灯
光源より露光した。その後現像を行い、焼成した。良好
な色特性を有するカラーフィルターが得られた。
(Example 3) A blue color resist CBV was applied onto a transparent substrate, and after drying, it was exposed to light using a glass mask at a desired exposure amount and developed to form a striped pattern. After baking at a high temperature, a green color resist CGY was applied, and CGY was formed in the same process as CBY so that the patterns did not overlap. Note that an alkaline developer (trade name: CD, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was used as the developer. Next, a color resist CRY was applied to the above substrate and dried, and then an oxygen barrier film CP was coated thereon, and the back surface was exposed to light from a high-pressure mercury lamp light source at a desired exposure amount. Thereafter, it was developed and fired. A color filter with good color properties was obtained.

【0023】つぎに、保護膜としてアクリル系樹脂(富
士ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製  
商品名CT)を基板に塗布し、乾燥後、フォトマスクを
用いて露光し保護層を形成した。
Next, acrylic resin (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was used as a protective film.
CT (trade name) was applied to a substrate, and after drying, it was exposed to light using a photomask to form a protective layer.

【0024】その結果、図5に示した様な高平坦なカラ
ーフィルター503が得られた。
As a result, a highly flat color filter 503 as shown in FIG. 5 was obtained.

【0025】(実施例4)透明基板上に、緑色のカラー
レジストCGVを塗布し、乾燥後ガラスマスクを用いて
所望の露光量にて露光、現像し、ストライプ状のパター
ンを形成した。高温で焼成した後に青色のカラーレジス
トCBYを塗布し、CGYと同様の工程にてパターンが
重ならないようにCBYを形成した。なお、現像液はア
ルカリ系現像液(富士ハントエレクトロニクステクノロ
ジー株式会社製  商品名CD)を用いた。次に上記基
板にカラーレジストCRYを塗布し乾燥した後、酸素遮
断膜CPを被膜し、所望の露光量で高圧水銀灯光源より
裏露光した。その後現像を行い、焼成した。混色はみら
れず良好な色特性を有するカラーフィルターが得られた
(Example 4) A green color resist CGV was applied onto a transparent substrate, and after drying, it was exposed to light using a glass mask at a desired exposure amount and developed to form a striped pattern. After baking at a high temperature, a blue color resist CBY was applied, and CBY was formed in the same process as CGY so that the patterns did not overlap. Note that an alkaline developer (trade name: CD, manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was used as the developer. Next, a color resist CRY was applied to the above substrate and dried, and then an oxygen barrier film CP was coated thereon, and back exposure was performed using a high-pressure mercury lamp light source at a desired exposure amount. Thereafter, it was developed and fired. A color filter with good color characteristics without color mixing was obtained.

【0026】つぎに、保護膜としてアクリル系樹脂(富
士ハントエレクトロニクステクノロジー株式会社製  
商品名CT)を基板に塗布し、乾燥後、フォトマスクを
用いて露光し保護層を形成した。
Next, acrylic resin (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) was used as a protective film.
CT (trade name) was applied to a substrate, and after drying, it was exposed to light using a photomask to form a protective layer.

【0027】その結果、図5に示した様な高平坦なカラ
ーフィルター基板503が得られた。 (実施例5)形成する色の順番を、赤色、青色、緑色の
順としても実施例4と同様なカラーフィルターがえられ
た。
As a result, a highly flat color filter substrate 503 as shown in FIG. 5 was obtained. (Example 5) A color filter similar to Example 4 was obtained by forming the colors in the order of red, blue, and green.

【0028】(実施例6)形成する色の順番を、青色、
赤色、緑色の順としても実施例4と同様なカラーフィル
ターがえられた。
(Example 6) The order of the colors to be formed is blue,
A color filter similar to that of Example 4 was obtained in the order of red and green.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明のカラーフィルター上に透明電極
をスパッタ法により形成し、2層型のSTN用電極基板
として使用したところ、コントラスト1:20以上の高
い遮光性を有する均一な液晶表示素子を得た。
Effects of the Invention When a transparent electrode was formed on the color filter of the present invention by sputtering and used as a two-layer STN electrode substrate, a uniform liquid crystal display element with a high light-shielding property with a contrast of 1:20 or more was obtained. I got it.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】各絵素間の遮光部を色の重ねで作成したカラー
フィルターの断面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a color filter in which a light-shielding portion between each picture element is created by overlapping colors.

【図2】一色目を形成する工程の略図。FIG. 2 is a schematic diagram of the process of forming the first color.

【図3】二色目を形成する工程の略図。FIG. 3 is a schematic diagram of the process of forming a second color.

【図4】三色目を形成する工程の略図。FIG. 4 is a schematic diagram of the process of forming a third color.

【図5】保護層を形成する工程の略図。FIG. 5 is a schematic diagram of the process of forming a protective layer.

【図6】CRY、CGY、CBVの短波長側の透過率を
示した図。
FIG. 6 is a diagram showing the transmittance of CRY, CGY, and CBV on the short wavelength side.

【図7】UVカットフィルターの分光透過率を示す図。FIG. 7 is a diagram showing the spectral transmittance of a UV cut filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101:透明基板 102:赤絵素 103:青絵素 104:緑絵素 105:絵素の重なり部 106:保護層 201:透明基板 202:CRY 203:バーコーター 204:フォトマスク 205:超高圧水銀灯 206:赤色のストライプパターン 207:基板UVカットフィルター 209:フォトマスク 301:緑色のカラーレジストCGY 302:バーコーター 303:緑色のストライプパターン 304:基板 401:青色カラーレジストCBV 402:バーコーター 403:酸素遮断膜CP 404:UVカットフィルター 405:ガラスマスク 406:カラーフィルター基板 501:アクリル系樹脂 502:保護層 503:カラーフィルター 601:CRYの短波長側の透過率 602:CGYの短波長側の透過率 603:CBVの短波長側の透過率 604:365nm付近の光 101: Transparent substrate 102: Red picture element 103: Blue picture element 104: Green picture element 105: Overlapping part of picture elements 106: Protective layer 201: Transparent substrate 202:CRY 203: Bar coater 204: Photomask 205: Ultra-high pressure mercury lamp 206: Red stripe pattern 207: Substrate UV cut filter 209: Photomask 301: Green color resist CGY 302: Bar coater 303: Green stripe pattern 304: Substrate 401: Blue color resist CBV 402: Bar coater 403: Oxygen barrier film CP 404: UV cut filter 405: Glass mask 406: Color filter substrate 501: Acrylic resin 502: Protective layer 503: Color filter 601: Transmittance of CRY on short wavelength side 602: Transmittance on the short wavelength side of CGY 603: CBV transmittance on short wavelength side 604: Light around 365 nm

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  透明な基板上に、色材を含むネガ型カ
ラーレジストからなる赤色、緑色、青色の絵素と、少な
くとも一層の透明な保護膜を有するカラーフィルターで
あって、赤色、緑色、青色のうちいずれか一色を、先に
形成された二色の絵素をマスクとして基板上のパターン
の無い側より所望の波長の光を当てて裏面露光を行い、
一色目と二色目の絵素間に三色目を形成し、さらに三色
の絵素上及び基板上に透明な保護膜を有することを特徴
とするカラーフィルター。
1. A color filter comprising, on a transparent substrate, red, green, and blue picture elements made of a negative color resist containing a coloring material, and at least one transparent protective film, the filter comprising: Using one of the blue colors as a mask and using the previously formed two-color picture elements as a mask, backside exposure is performed by applying light of a desired wavelength from the non-patterned side of the substrate.
A color filter characterized in that a third color is formed between the first and second color picture elements, and further has a transparent protective film on the three color picture elements and on the substrate.
【請求項2】  上記色材が顔料の微粒子であることを
特徴とする請求項1記載のカラーフィルター。
2. The color filter according to claim 1, wherein the coloring material is fine particles of pigment.
【請求項3】  上記色材が染料であることを特徴とす
る請求項1記載のカラーフィルター。
3. The color filter according to claim 1, wherein the coloring material is a dye.
【請求項4】  前記カラーフィルターに於て、一色目
及び二色目の最外周より所望の範囲内で広い範囲にわた
って三色目を形成した事を特徴とする請求項1、請求項
2、請求項3記載のカラーフィルター。
4. In the color filter, a third color is formed over a wider range within a desired range than the outermost periphery of the first and second colors. Color filters listed.
【請求項5】  前記カラーフィルターに於て、三色目
より所望の範囲内で広い範囲にわたって保護層を形成し
た事を特徴とする請求項1、請求項4、記載のカラーフ
ィルター。
5. The color filter according to claim 1, wherein a protective layer is formed over a wider range within a desired range than the third color.
【請求項6】  透明な基板上に、色材を含むネガ型カ
ラーレジストからなる赤色、緑色、青色の絵素と、少な
くとも一層の透明な保護膜を有するカラーフィルターの
製造方法に於て、少なくとも a)カラーレジストを基板に塗布する工程とb)乾燥す
る工程と c)ガラスマスクを用いて所望のパターンを形成するフ
ォト工程と d)現像する工程と e)焼成する工程と を2回繰り返し、三色目は f)カラーレジストを基板に塗布する工程とg)乾燥す
る工程と h)さきに形成された2色のパターンをフォトマスクと
して、基板のパターンが形成されていない裏面より所望
の波長の光を当てて露光する工程と i)現像する工程と j)焼成する工程とを行い、さらに k)透明なネガ型レジストを前記カラーパターンを有す
る基板上に塗布する工程と l)乾燥する工程と m)ガラスマスクを用いてパターンを形成するフォト工
程と n)現像する工程と o)焼成する工程 を含むことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
6. A method for producing a color filter having red, green, and blue picture elements made of a negative color resist containing a coloring material and at least one transparent protective film on a transparent substrate, comprising at least the steps of: Repeating the steps of a) applying a color resist to the substrate, b) drying, c) a photo process of forming a desired pattern using a glass mask, d) developing, and e) baking twice, The third color is f) the process of applying color resist to the substrate, g) the drying process, and h) using the previously formed two-color pattern as a photomask, applying the desired wavelength from the back side of the substrate where the pattern is not formed. A step of exposing to light; i) a step of developing; A method for manufacturing a color filter, comprising m) a photo step of forming a pattern using a glass mask, n) a developing step, and o) a baking step.
【請求項7】  前記カラーフィルターの製造方法のフ
ォト工程に於て、露光の前にカラーレジスト上に酸素遮
断膜を塗布する工程を含む事を特徴とする請求項6記載
のカラーフィルターの製造方法。
7. The method of manufacturing a color filter according to claim 6, wherein the photo step of the method of manufacturing a color filter includes a step of applying an oxygen barrier film on the color resist before exposure. .
【請求項8】  前記カラーフィルターの製造方法のフ
ォト工程h)に於て、所望の波長を選択でき得るフィル
ターを基板と光源の間に設置する事を特徴とする請求項
6、請求項7記載のカラーフィルターの製造方法。
8. In the photo step h) of the color filter manufacturing method, a filter capable of selecting a desired wavelength is installed between the substrate and the light source. A method of manufacturing color filters.
【請求項9】  前記カラーフィルターの製造方法のフ
ォト工程h)に於て、一色目及び二色目の最外周より所
望の範囲内で広い範囲にわたって三色目を形成するよう
に同時にガラスマスクも用いることを特徴とする請求項
6、請求項7、請求項8記載のカラーフィルターの製造
方法。
9. In the photo step h) of the color filter manufacturing method, a glass mask is also used at the same time so that the third color is formed over a wider area within a desired range than the outermost periphery of the first and second colors. The method for manufacturing a color filter according to claim 6, claim 7, or claim 8, characterized by:
【請求項10】  上記色材が顔料の微粒子であること
を特徴とする請求項6記載のカラーフィルターの製造方
法。
10. The method for producing a color filter according to claim 6, wherein the coloring material is fine particles of pigment.
【請求項11】  上記色材が染料であることを特徴と
する請求項6記載のカラーフィルターの製造方法。
11. The method for producing a color filter according to claim 6, wherein the coloring material is a dye.
【請求項12】  前記カラーフィルターの製造方法の
フォト工程m)に於て、三色目より所望の範囲内で広い
範囲にわたって保護層を形成するようにフォトマスクを
用いた事を特徴とする請求項6、請求項9、記載のカラ
ーフィルターの製造方法。
12. In the photo step m) of the color filter manufacturing method, a photomask is used so as to form a protective layer over a wider range within a desired range than the third color. A method for manufacturing a color filter according to claim 9.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH05173013A (en) * 1991-12-25 1993-07-13 Stanley Electric Co Ltd Color filter manufacturing method
US6060199A (en) * 1997-08-22 2000-05-09 Sharp Kabushiki Kaisha Color filter substrate and method for producing the same
US7056630B2 (en) 2002-07-26 2006-06-06 National Institute For Materials Science Color wheel fabrication method

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