JPH04275976A - Dielectric porcelain composition - Google Patents
Dielectric porcelain compositionInfo
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- JPH04275976A JPH04275976A JP3061306A JP6130691A JPH04275976A JP H04275976 A JPH04275976 A JP H04275976A JP 3061306 A JP3061306 A JP 3061306A JP 6130691 A JP6130691 A JP 6130691A JP H04275976 A JPH04275976 A JP H04275976A
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Abstract
Description
【0001】0001
【技術分野】本発明は、誘電体磁器組成物、特に高周波
集積回路(MIC)用の配線基板等に適する高周波用誘
電体磁器組成物に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a dielectric ceramic composition, and particularly to a high frequency dielectric ceramic composition suitable for wiring boards for high frequency integrated circuits (MIC).
【0002】0002
【背景技術】近年における携帯電話等の高周波機器の発
展に伴い、それらに使用されるMIC(高周波集積回路
)にも小型で高性能なものが要求されるようになってき
ている。そして、そのようなMIC配線基板に用いられ
る誘電体磁器には、以下のような特性が要求されている
のである。即ち、先ず、(1)比誘電率(εr )が高
いこと。この比誘電率が高いと、或る決まった周波数で
使用する場合において、共振回路やインダクタンスの小
型化が可能となるからである。また、(2)Q値が高い
こと。磁器のQ値が高いと、これを使用した共振回路や
インダクタンスのQ値を高くすることができ、低損失に
することができるのである。更に、(3)誘電率や形成
した共振回路の温度係数(τf )が小さいこと。温度
変化に対して特性の変動を極力少なくするためである。
そして、(4)導体との同時焼成が可能であって、導体
を内蔵した多層構造の配線板を簡易に作製できることが
、挙げられる。BACKGROUND ART With the development of high frequency devices such as mobile phones in recent years, the MICs (high frequency integrated circuits) used in these devices are also required to be small and high performance. The dielectric ceramic used in such a MIC wiring board is required to have the following characteristics. That is, first, (1) the relative dielectric constant (εr) is high. This is because when the dielectric constant is high, it is possible to downsize the resonant circuit and inductance when used at a certain fixed frequency. Also, (2) the Q value is high. If the Q value of the ceramic is high, the Q value of the resonant circuit or inductance using the ceramic can be increased, and the loss can be reduced. Furthermore, (3) the dielectric constant and the temperature coefficient (τf) of the formed resonant circuit are small. This is to minimize variations in characteristics due to temperature changes. And (4) simultaneous firing with a conductor is possible, and a multilayer wiring board with a built-in conductor can be easily produced.
【0003】ところで、誘電体磁器からなる配線基板と
導体を同時焼成するに際しては、基板上に印刷された導
体が、誘電体磁器の焼成温度において溶融することがな
いように、導体には、誘電体磁器の焼成温度よりも高い
融点を有する金属が選択される必要がある。而して、従
来から知られている各種の誘電体磁器組成物にあっては
、焼成温度がかなり高いところから、導体には、Pt、
Pb、W、Mo等の融点の高い金属が用いられているの
である。By the way, when simultaneously firing a wiring board made of dielectric porcelain and a conductor, in order to prevent the conductor printed on the board from melting at the firing temperature of the dielectric porcelain, the conductor is coated with a dielectric material. A metal must be selected that has a melting point higher than the firing temperature of the body porcelain. Therefore, since the firing temperature of various conventionally known dielectric ceramic compositions is quite high, Pt, Pt,
Metals with high melting points such as Pb, W, and Mo are used.
【0004】例えば、低価格の誘電体材料として知られ
るアルミナ、ステアタイト、フォルステライト等を配線
基板とする場合には、通常、導体としてPt、Pb、W
、Moが使用されている。その他にも、高い誘電率を有
する組成物として、BaO−TiO2 系若しくはその
一部を他の元素で置換した組成物(特公昭58−209
05号公報)、Ba(Mg1/3 Ta2/3 )O3
などの複合ペロブスカイト構造を持った組成物(特公
昭59−23048号公報)、TiO2 −ZrO2
−SnO2 若しくはその一部を他の元素で置換した組
成物(特公昭54−35678号公報)、BaO−Ti
O2 −RE2 O3 系の組成物(特公昭56−26
321号公報,RE:レアアース)等の各種のものが知
られているが、これらの誘電体磁器組成物についても、
焼成温度がかなり高いことから、導体としてPtやPb
等が使用されているのである。For example, when a wiring board is made of alumina, steatite, forsterite, etc., which are known as low-cost dielectric materials, Pt, Pb, and W are usually used as conductors.
, Mo are used. In addition, as a composition having a high dielectric constant, BaO-TiO2 system or a composition in which a part of it is replaced with other elements (Japanese Patent Publication No. 58-209
05), Ba (Mg1/3 Ta2/3) O3
A composition having a composite perovskite structure such as (Japanese Patent Publication No. 59-23048), TiO2 -ZrO2
- Compositions in which SnO2 or a part thereof is replaced with other elements (Japanese Patent Publication No. 35678/1983), BaO-Ti
O2 -RE2 O3 type composition (Japanese Patent Publication No. 56-26
321 Publication, RE: Rare Earth), etc., but these dielectric ceramic compositions also have
Since the firing temperature is quite high, Pt or Pb is used as a conductor.
etc. are used.
【0005】しかしながら、Pt、Pb、W、Mo等の
金属は導通抵抗が大きいことから、そのような導体を使
用する従来の配線板では、共振回路やインダクタンスの
Q値が小さくなってしまい、導体線路の伝送損失が大き
くなる問題があった。このように、従来においては、導
通抵抗の小さなAg系、Cu系等の金属を導体として採
用することは、それらの融点が誘電体磁器組成物の焼成
温度よりも低いことから、極めて困難であったのである
。However, since metals such as Pt, Pb, W, and Mo have high conduction resistance, in conventional wiring boards using such conductors, the Q value of the resonant circuit and inductance becomes small, and the conductor There was a problem that the transmission loss of the line became large. Thus, conventionally, it has been extremely difficult to use Ag-based, Cu-based, and other metals with low conduction resistance as conductors because their melting points are lower than the firing temperature of dielectric ceramic compositions. It was.
【0006】[0006]
【解決課題】ここにおいて、本発明は、かかる事情を背
景にして為されたものであって、その課題とするところ
は、比誘電率が高く、Q値が高く、温度係数が小さいと
いった優れた誘電体磁器特性を併せ有すると共に、Ag
系、Cu系の金属の融点よりも焼成温度が低い誘電体磁
器組成物を提供することにあり、以てAg系、Cu系の
金属からなる導体との同時焼成を可能にすることにある
。[Problem to be solved] Here, the present invention has been made against the background of the above circumstances, and its object is to provide excellent materials such as high dielectric constant, high Q value, and small temperature coefficient. In addition to having dielectric ceramic properties, Ag
The object of the present invention is to provide a dielectric ceramic composition whose firing temperature is lower than the melting point of metals such as Ag-based and Cu-based metals, thereby enabling simultaneous firing with conductors made of Ag-based and Cu-based metals.
【0007】そして、本発明者らが、多くの組成につい
て種々検討した結果、焼成時にアノーサイトとチタン酸
カルシウムの混合系結晶が析出するガラス粉末において
、更に、添加物としてBaO、B2 O3 を所定量添
加することにより、上記の目的が達成されることを見い
出したのである。[0007] As a result of various studies on many compositions, the present inventors found that BaO and B2 O3 were added as additives to the glass powder in which mixed crystals of anorthite and calcium titanate precipitate during firing. They have discovered that the above objective can be achieved by adding a fixed amount.
【0008】[0008]
【解決手段】すなわち、本発明は、かかる知見に基づい
て完成されたものであり、その特徴とするところは、A
l2 O3 、SiO2 、CaO、及びTiO2 を
含み、焼成によりアノーサイトとチタン酸カルシウムを
主結晶として析出せしめるガラス組成に、更にBaO成
分及びB2 O3 成分を、次式:0≦χ≦20,2<
y≦20,5≦χ+y≦30(但し、χ及びyは、それ
ぞれ、BaO及びB2 O3 としての含有量であって
、重量%で表わされる)を満足する割合で含有せしめて
なるガラス粉末を、焼成してなる誘電体磁器組成物にあ
る。[Solution] That is, the present invention has been completed based on such knowledge, and is characterized by:
A glass composition containing l2O3, SiO2, CaO, and TiO2, which precipitates anorthite and calcium titanate as main crystals by firing, is further added with a BaO component and a B2O3 component according to the following formula: 0≦χ≦20,2<
A glass powder containing a proportion satisfying y≦20, 5≦χ+y≦30 (where χ and y are the contents as BaO and B2O3, respectively, expressed in weight%), A dielectric ceramic composition formed by firing.
【0009】[0009]
【具体的構成・作用】要するに、前記成分のうち、Al
2 O3 、SiO2 、CaO、及びTiO2 は、
本発明に従う誘電体磁器組成物の主結晶を構成する、ア
ノーサイト(CaO・Al2 O3 ・2SiO2 )
とチタン酸カルシウム(CaTiO3 )の混合系結晶
の成分である。それ故、それら成分の具体的な含有量は
、前記結晶の組成を基にして決定されるところとなるが
、好ましくはAl2 O3 は20〜40重量%、Si
O2 は20〜40重量%、CaOは5〜30重量%、
TiO2 は2〜20重量%程度の割合である。なお、
かかる本発明においては、それら4成分が酸化物形態そ
のままの形態において用いられ得る他、例えばCaO成
分としてCaCO3 を使用する等、焼成によってそれ
らの4成分を与える各種化合物を代用して用いても、何
等差し支えない。[Specific structure/effect] In short, among the above components, Al
2 O3, SiO2, CaO, and TiO2 are
Anorthite (CaO.Al2O3.2SiO2) which constitutes the main crystal of the dielectric ceramic composition according to the present invention
and calcium titanate (CaTiO3). Therefore, the specific content of these components will be determined based on the composition of the crystal, but preferably Al2O3 is 20 to 40% by weight, Si
O2 is 20-40% by weight, CaO is 5-30% by weight,
The proportion of TiO2 is about 2 to 20% by weight. In addition,
In the present invention, these four components may be used in their oxide form as they are, or various compounds that provide these four components upon calcination may be substituted, such as by using CaCO3 as the CaO component. I don't mind anything.
【0010】このような誘電体磁器組成物の優れた特徴
は、Ag系やCu系等の金属の融点(1100℃前後)
よりも低い温度で焼成され得ることである。従って、配
線基板と導体を同時焼成する場合にも、それらのAg系
やCu系等の金属を導体として用い得るようになるので
あり、その結果、誘電体磁器に低抵抗の導体を内蔵する
ことが可能となるのである。[0010] The excellent feature of such a dielectric ceramic composition is that it has a low melting point (around 1100°C) of metals such as Ag-based and Cu-based metals.
can be fired at lower temperatures. Therefore, even when firing the wiring board and the conductor at the same time, these metals such as Ag and Cu can be used as the conductor, and as a result, it is possible to incorporate a low-resistance conductor into the dielectric ceramic. becomes possible.
【0011】しかしながら、これらの4成分だけでは、
ガラス粉末を焼結する際の結晶化の進行が早過ぎて、緻
密化が不十分となってしまい、誘電体磁器特性が低いも
のとなってしまうのである。そこで、本発明にあっては
、上記のガラス組成に、更にBaO成分及びB2 O3
成分を所定量含有させて、緻密化が充分に行なわれ得
るようにしたのである。However, with only these four components,
When sintering the glass powder, crystallization progresses too quickly, resulting in insufficient densification and poor dielectric ceramic properties. Therefore, in the present invention, in addition to the above glass composition, a BaO component and B2 O3 are added.
The components were contained in predetermined amounts to ensure sufficient densification.
【0012】なお、かかる本発明において、BaO成分
としては、BaO自体がそのまま用いられ得る他に、例
えば炭酸バリウム(BaCO3 )等の、焼成によって
BaOを生成し得る化合物にて代用させることもできる
が、その含有量は、BaOとしての含有量が、0〜20
重量%の範囲となるようにされる。また、B2 O3
成分としても、B2 O3 自体が用いられ得る他に、
焼成によってB2 O3 を与える、ほう酸(H2 B
O3 )等の化合物にて代用させることもできるが、そ
の含有量は、B2 O3 としての含有量が2重量%を
越え、20重量%以下の範囲となるようにされるのであ
り、且つそれらBaOとB2 O3 の合計量が5〜3
0重量%となるような割合で含有せしめられる必要があ
る。In addition, in the present invention, as the BaO component, BaO itself can be used as it is, or a compound that can generate BaO by firing, such as barium carbonate (BaCO3), can be substituted. , its content as BaO is 0 to 20
% by weight. Also, B2 O3
Besides B2 O3 itself can be used as a component,
Boric acid (H2 B
Although it is also possible to substitute compounds such as BaO3), the content thereof is such that the content as B2O3 is in the range of more than 2% by weight and 20% by weight or less, and those BaO and B2 O3 total amount is 5 to 3
It needs to be contained in such a proportion that it becomes 0% by weight.
【0013】すなわち、本発明において、BaO成分は
必ずしも添加しなくても良いが、その含有量(BaOと
しての含有量)が20重量%を越えると、結晶化が早く
進み過ぎて、充分な緻密化が達成され得なくなるからで
ある。また、B2 O3 成分については、その含有量
(B2 O3 としての含有量)が2重量%以下では、
充分な緻密化が達成され得ないのであり、一方20重量
%を越えるようになると、焼成体(誘電体磁器組成物)
の耐水性が低下して、湿度の高い環境においてショート
し易くなる、等の問題を惹起するからである。更に、そ
れらの合計量が5重量%に満たない場合にも緻密化が不
十分となるのであり、また30重量%を越える場合には
、緻密化が不十分となると共に、耐水性が悪くなるので
ある。That is, in the present invention, the BaO component does not necessarily need to be added, but if its content (content as BaO) exceeds 20% by weight, crystallization proceeds too quickly, resulting in insufficient density. This is because it will not be possible to achieve this goal. Regarding the B2 O3 component, if its content (content as B2 O3) is 2% by weight or less,
Sufficient densification cannot be achieved, and on the other hand, if it exceeds 20% by weight, the fired body (dielectric ceramic composition)
This is because the water resistance of the material decreases, causing problems such as short-circuiting in a humid environment. Furthermore, if the total amount is less than 5% by weight, densification will be insufficient, and if it exceeds 30% by weight, densification will be insufficient and water resistance will deteriorate. It is.
【0014】このように、本発明に従う誘電体磁器組成
物にあっては、BaO成分及びB2 O3 成分の作用
により、焼成時の結晶化が早く進み過ぎることが良好に
抑制され得ることから、誘電体磁器の緻密化と結晶化が
、共にバランス良く達成され得るのであり、以て比誘電
率、Q値、温度係数の各特性が効果的に向上せしめられ
得るのである。As described above, in the dielectric ceramic composition according to the present invention, the action of the BaO component and the B2 O3 component can effectively suppress crystallization from proceeding too quickly during firing. Both the densification and crystallization of the body porcelain can be achieved in a well-balanced manner, and the properties of the dielectric constant, Q value, and temperature coefficient can be effectively improved.
【0015】なお、かかる誘電体磁器組成物には、よく
知られているように、例えば、その機械的特性を向上さ
せるために、アルミナ、石英、ムライト、フォルステラ
イト等をフィラーとして適宜に添加しても、何等差し支
えない。また、その添加量は、通常、誘電体磁器組成物
の100重量部に対して、30重量部程度以下の割合で
ある。[0015] As is well known, for example, alumina, quartz, mullite, forsterite, etc. may be appropriately added to such dielectric ceramic compositions as fillers in order to improve their mechanical properties. However, there is no problem. The amount added is usually about 30 parts by weight or less per 100 parts by weight of the dielectric ceramic composition.
【0016】[0016]
【実施例】以下に、本発明の幾つかの実施例を示し、本
発明を更に具体的に明らかにすることとするが、本発明
が、そのような実施例の記載によって、何等の制約をも
受けるものでないことは、言うまでもないところである
。また、本発明には、以下の実施例の他にも、更には上
記の具体的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限
りにおいて、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修
正、改良等を加え得るものであることが、理解されるべ
きである。[Examples] Below, some examples of the present invention will be shown to clarify the present invention more specifically, but the present invention is not limited in any way by the description of such examples. Needless to say, it is not something that can be accepted. In addition to the following examples and the above-mentioned specific description, the present invention includes various changes, modifications, and changes based on the knowledge of those skilled in the art, as long as they do not depart from the spirit of the present invention. It should be understood that improvements and the like may be made.
【0017】先ず、原料として、アルミナ(Al2 O
3 )、石英(SiO2 )、炭酸カルシウム(CaC
O3 )、酸化チタン(TiO2 )、炭酸バリウム(
BaCO3 )、及びほう酸(H2 BO3 )を用い
て、Al2 O3 、SiO2 、CaO、TiO2
、BaO、及びB2 O3 の割合が、それぞれ、下記
表1に示されるガラス組成(No. 1〜13)になる
ように秤量した。そして、それら原料をアルミナ製乳鉢
に入れて充分に混合し、得られた混合物を白金製坩堝に
移して1600℃で溶融した後、水中に投下して急冷せ
しめることにより、アノーサイト/チタン酸カルシウム
組成系ガラスを得た。First, alumina (Al2O
3), quartz (SiO2), calcium carbonate (CaC
O3), titanium oxide (TiO2), barium carbonate (
Al2O3, SiO2, CaO, TiO2 using BaCO3) and boric acid (H2BO3)
, BaO, and B2O3 were weighed so that the glass compositions (Nos. 1 to 13) were shown in Table 1 below. Then, these raw materials were placed in an alumina mortar and thoroughly mixed, the resulting mixture was transferred to a platinum crucible and melted at 1600°C, and then dropped into water and rapidly cooled to produce anorthite/calcium titanate. A composition glass was obtained.
【0018】[0018]
【表1】[Table 1]
【0019】次いで、得られた各種のガラスを、アルミ
ナ製ポットの中にアルミナ玉石と共に投入して、純水を
加え、湿式粉砕した後、乾燥した。このようにして得ら
れたアノーサイト/チタン酸カルシウム組成系ガラス粉
末に、バインダとしてPVAを1重量%加えて充分に混
合し、その後、40メッシュの篩を通すことにより、造
粒した。Next, the various types of glasses obtained were put into an alumina pot together with alumina cobbles, pure water was added thereto, wet-pulverized, and then dried. To the anorthite/calcium titanate composition glass powder thus obtained, 1% by weight of PVA was added as a binder and thoroughly mixed, and then granulated by passing through a 40 mesh sieve.
【0020】そして、このようにして造粒された粉体を
用い、プレス成形機にて、面圧:1ton/cm2 に
て、20mmφ×15mmt のサイズの円板状のサン
プルを成形した。その後、この成形された各サンプルを
、空気中において、900〜1000℃の温度で、30
分間焼成し、更に各サンプルを、研磨によって、16m
mφ×8mmt の大きさに整えた。[0020] Using the thus granulated powder, a disk-shaped sample with a size of 20 mmφ x 15 mmt was molded using a press molding machine at a surface pressure of 1 ton/cm2. Thereafter, each molded sample was heated in air at a temperature of 900 to 1000°C for 30 minutes.
After firing for 16 min, each sample was polished to 16 m
The size was adjusted to mφ x 8mmt.
【0021】かくして得られた各サンプルについて、そ
の比誘電率と無負荷Qを、公知の平行導体板型誘電体共
振器法によって、それぞれ測定し、その結果を下記表2
に示した。なお、測定周波数は8〜12GHzであった
。
また、表2中において、Qは、3GHzでの値に換算し
てある。The relative permittivity and unloaded Q of each sample thus obtained were measured by the known parallel conductor plate type dielectric resonator method, and the results are shown in Table 2 below.
It was shown to. Note that the measurement frequency was 8 to 12 GHz. Furthermore, in Table 2, Q is converted to a value at 3 GHz.
【0022】[0022]
【表2】[Table 2]
【0023】かかる表2に示される結果から明らかなよ
うに、BaOもB2O3 も含まないサンプル(No.
1,No. 2)では全く緻密化せず、目的とする誘
電体磁器が得られなかった。また、BaOの含有量は充
分であるが、B2 O3 の含有量が不足するNo.
3のサンプル(y=2)や、B2 O3 の含有量は充
分であるが、BaOの含有量が多すぎるNo. 4のサ
ンプル(χ>20)も緻密化しなかった。これに対して
、BaO及びB2 O3 が本発明の通りに含有されて
いる各種サンプルは、何れも良好に緻密化して、目的と
する誘電体磁器を形成することができ、高い比誘電率と
高いQ値を発揮するものであった。As is clear from the results shown in Table 2, the sample containing neither BaO nor B2O3 (No.
1, No. In 2), no densification was achieved and the desired dielectric ceramic could not be obtained. In addition, although the BaO content is sufficient, the B2 O3 content is insufficient.
Sample No. 3 (y=2) and sample No. 3 with sufficient B2 O3 content but too high BaO content. Sample 4 (χ>20) also did not densify. On the other hand, various samples containing BaO and B2O3 as in the present invention can be well densified and form the desired dielectric ceramic, and have a high dielectric constant and a high It exhibited a Q value.
【0024】次に、前記No. 8の組成に従って調製
された混合粉末を、アルミナ玉石と共にアルミナ製ポッ
トに投入し、アクリル系有機バインダ、可塑剤、トルエ
ンおよびアルコール系の溶剤を加えて、充分に混合して
スラリーとした。そして、ドクターブレード法により、
0.1mm〜1.0mmの厚みのグリーンテープを作製
した。一方、Ag系粉末に、アクリル系有機バインダお
よびテルピネオール系の有機溶剤を加え、3本ローラー
にて充分に混練して、印刷用の導体ペーストにした。ま
た、抵抗ペーストとして、市販の厚膜回路用のものを用
意した。Next, the above No. The mixed powder prepared according to the composition of 8 was put into an alumina pot together with alumina cobbles, and an acrylic organic binder, a plasticizer, toluene, and an alcohol solvent were added thereto and thoroughly mixed to form a slurry. Then, by the doctor blade method,
A green tape with a thickness of 0.1 mm to 1.0 mm was produced. On the other hand, an acrylic organic binder and a terpineol organic solvent were added to the Ag-based powder, and the mixture was thoroughly kneaded using three rollers to obtain a conductive paste for printing. In addition, a commercially available resistor paste for thick film circuits was prepared.
【0025】そして、これらのペーストを使用して、グ
リーンテープ上に導体配線パターンやアース層および抵
抗を印刷し、例えばコンデンサのパターンや、分布定数
回路での原理に従い、ストリップライン型やリング型の
共振回路や、インダクタンスが形成されるようにした。
次いで、これらの種々の導体パターンが印刷された各種
のグリーンテープを、所定の順番で重ね合わせ、100
℃、100kg/cm2 の条件下で積層一体化した後
、グリーンテープにパンチング等によりスルーホールを
形成し、更に該スルーホールに導体ペーストを充填して
、各導体層を接続した。しかる後、500℃で脱バイン
ダし、次いで、900℃の温度下で、30分間焼成した
。Then, using these pastes, conductor wiring patterns, ground layers, and resistors are printed on the green tape to create, for example, capacitor patterns or stripline or ring types according to the principles of distributed constant circuits. A resonant circuit and inductance are formed. Next, the various green tapes printed with these various conductor patterns were stacked in a predetermined order, and 100
After laminating and integrating the green tape under conditions of 100 kg/cm2 and 100 kg/cm2, through holes were formed in the green tape by punching or the like, and the through holes were further filled with conductive paste to connect each conductor layer. Thereafter, the binder was removed at 500° C., and then the product was fired at 900° C. for 30 minutes.
【0026】なお、表面の導体パターンについては、基
板との同時焼成により形成する他、パターン精度、接着
強度、耐ハンダ性を考慮して、基板の焼成後、新たに表
面パターン用の導体ペーストを印刷して、焼成する方法
によっても形成した。その場合、表面用の導体ペースト
には、市販の厚膜回路用のAg/Pt系やAg/Pd系
のペースト、或いは市販のCuペーストを使用した。Note that the surface conductor pattern is formed by simultaneous firing with the substrate, and in addition, a new conductor paste for the surface pattern is applied after baking the substrate, taking into account pattern accuracy, adhesive strength, and solder resistance. It was also formed by a method of printing and firing. In this case, a commercially available Ag/Pt-based or Ag/Pd-based paste for thick film circuits, or a commercially available Cu paste was used as the surface conductor paste.
【0027】その結果、焼成時に導体が溶融することが
良好に防止されて、共振回路やコンデンサが基板の内部
に内蔵された、目的とする多層構造のMIC(高周波集
積回路)を得ることができた。この回路は、誘電体磁器
基板自体が、誘電体磁器特性に優れるものであるに加え
て、導体にAg系やCu系の低抵抗の金属を使用してい
ることから、導通抵抗が低く、損失の小さな共振回路、
コンデンサ、インダクタンスや、伝送損失の小さな伝送
線路が有利に実現されており、極めて優れた高周波特性
を有するものである。As a result, melting of the conductor during firing is effectively prevented, and the desired multilayered MIC (high frequency integrated circuit) in which a resonant circuit and a capacitor are built inside the substrate can be obtained. Ta. In addition to the dielectric ceramic substrate itself having excellent dielectric ceramic characteristics, this circuit uses low-resistance metals such as Ag and Cu for the conductor, resulting in low conduction resistance and loss. a small resonant circuit,
Capacitors, inductances, and transmission lines with small transmission losses are advantageously realized, and they have extremely excellent high frequency characteristics.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に従う誘電体磁器組成物は、焼成により、アノーサイト
とチタン酸カルシウムの混合系結晶が析出せしめられる
際に、BaO成分、B2 O3 成分の働きによって、
緻密化が充分に達成され得るように為されたものであり
、それにより、誘電体磁器特性が効果的に高められてい
るのである。従って、MIC用の配線基板等として、極
めて利用価値の高いものである。Effects of the Invention As is clear from the above description, the dielectric ceramic composition according to the present invention has a BaO component and a B2 O3 component when mixed crystals of anorthite and calcium titanate are precipitated by firing. Through the action of
This was done to achieve sufficient densification, thereby effectively improving the dielectric ceramic properties. Therefore, it is extremely useful as a wiring board for MIC, etc.
【0029】加えて、かかる誘電体磁器組成物にあって
は、1100℃前後の比較的低い温度で焼成され得ると
ころから、Ag系、Cu系等の導体との同時焼成が可能
であり、それらの導体を内蔵した多層構造の配線板を作
製することができる。それ故、それらAg系、Cu系等
の金属の低い導通抵抗特性に基づいて、導体線路の伝送
損失が有利に低減され得て、優れた高周波特性を発揮さ
せることができるのである。In addition, since such dielectric ceramic compositions can be fired at a relatively low temperature of around 1100°C, they can be fired simultaneously with conductors such as Ag-based and Cu-based conductors. It is possible to fabricate a multilayer wiring board with built-in conductors. Therefore, based on the low conduction resistance characteristics of these Ag-based, Cu-based metals, etc., the transmission loss of the conductor line can be advantageously reduced, and excellent high frequency characteristics can be exhibited.
Claims (2)
、及びTiO2 を含み、焼成によりアノーサイトとチ
タン酸カルシウムを主結晶として析出せしめるガラス組
成に、更にBaO成分及びB2 O3 成分を、下式:
0≦χ≦20 2<y≦20 5≦χ+y≦30 (但し、χ及びyは、それぞれ、BaO及びB2 O3
としての含有量であって、重量%で表わされる)を満
足する割合で含有せしめてなるガラス粉末を、焼成して
なる誘電体磁器組成物。[Claim 1] Al2O3, SiO2, CaO
, and TiO2, and which causes anorthite and calcium titanate to precipitate as main crystals by firing, and further adds BaO component and B2 O3 component to the following formula:
0≦χ≦20 2<y≦20 5≦χ+y≦30 (However, χ and y are BaO and B2 O3, respectively.
1. A dielectric ceramic composition obtained by firing glass powder containing glass powder in a proportion that satisfies the content (expressed in weight %).
aO、及びTiO2 が、それぞれ、20〜40重量%
、20〜40重量%、5〜30重量%、及び2〜20重
量%の割合で含有されている請求項1記載の誘電体磁器
組成物。2. The Al2O3, SiO2, C
aO and TiO2 are each 20 to 40% by weight
The dielectric ceramic composition according to claim 1, wherein the dielectric ceramic composition is contained in proportions of 20 to 40% by weight, 5 to 30% by weight, and 2 to 20% by weight.
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH06215629A (en) * | 1992-12-28 | 1994-08-05 | Taiyo Yuden Co Ltd | Low-temperature sintered porcelain composition for high-frequency |
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US6693053B2 (en) * | 2000-04-01 | 2004-02-17 | Robert Bosch Gmbh | Glass and glass powder mixture and use thereof for the production of a glass ceramic |
US6699807B2 (en) * | 2000-04-01 | 2004-03-02 | Robert Bosch Gmbh | Glass ceramic material, method for producing the same and spark plug containing such a glass ceramic material |
-
1991
- 1991-03-01 JP JP3061306A patent/JP2942372B2/en not_active Expired - Lifetime
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JP3067918B2 (en) * | 1992-12-28 | 2000-07-24 | 太陽誘電株式会社 | Low frequency sinterable porcelain composition for high frequency |
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US6693053B2 (en) * | 2000-04-01 | 2004-02-17 | Robert Bosch Gmbh | Glass and glass powder mixture and use thereof for the production of a glass ceramic |
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