JPH04271829A - Ｌｂ膜作製装置 - Google Patents
Ｌｂ膜作製装置Info
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- JPH04271829A JPH04271829A JP3003766A JP376691A JPH04271829A JP H04271829 A JPH04271829 A JP H04271829A JP 3003766 A JP3003766 A JP 3003766A JP 376691 A JP376691 A JP 376691A JP H04271829 A JPH04271829 A JP H04271829A
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- temp
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/18—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by dipping
- B05D1/20—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by dipping substances to be applied floating on a fluid
- B05D1/202—Langmuir Blodgett films (LB films)
- B05D1/208—After-treatment of monomolecular films
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Composite Materials (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＬＢ膜と呼ばれる有機超
薄膜の作製装置に関する。
薄膜の作製装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、薄膜成膜技術の一つとして、いわ
ゆるＬａｎｇｍｕｉｒ−Ｂｌｏｊｅｔｏ膜（ＬＢ膜）と
呼ばれる有機超薄膜が、にわかに脚光を浴びてきている
。このものはその分子統御性のよさ、素材となる分子の
多様性、常温常圧下で成膜できる等の優れた特徴を有し
、種々の分野での応用が研究されている。このようなＬ
Ｂ膜を形成する従来の装置としては、例えば、水槽内に
貯留された下層液の表面に展開されたサンプルをバリア
を移動させて圧縮するパッキングユニットと、該ユニッ
トにより配向充填された単分子膜を支持板表面に採取す
る採取ユニットとを備えている。そして、パッキングユ
ニットは下層液の温度調整をするための水槽と、この水
槽の温度を検出するためのセンサと、このセンサの検出
信号に基づき水槽の温度調整を行う第一の温度コントロ
ーラとを備え、下層液の温度コントロールのみを行って
いた。
ゆるＬａｎｇｍｕｉｒ−Ｂｌｏｊｅｔｏ膜（ＬＢ膜）と
呼ばれる有機超薄膜が、にわかに脚光を浴びてきている
。このものはその分子統御性のよさ、素材となる分子の
多様性、常温常圧下で成膜できる等の優れた特徴を有し
、種々の分野での応用が研究されている。このようなＬ
Ｂ膜を形成する従来の装置としては、例えば、水槽内に
貯留された下層液の表面に展開されたサンプルをバリア
を移動させて圧縮するパッキングユニットと、該ユニッ
トにより配向充填された単分子膜を支持板表面に採取す
る採取ユニットとを備えている。そして、パッキングユ
ニットは下層液の温度調整をするための水槽と、この水
槽の温度を検出するためのセンサと、このセンサの検出
信号に基づき水槽の温度調整を行う第一の温度コントロ
ーラとを備え、下層液の温度コントロールのみを行って
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置では、装置まわりの雰囲気温度の調整はまったくな
されておらず、以下のような問題が生じていた。すなわ
ち、下層液の水温が雰囲気温度に比べて高くなると、極
端な場合、湯気が発生し、単分子膜を採取すべく下層液
の上方に予め設置された基板の表面に結露が生じていた
。そのため基板表面に水滴がついて単分子膜がきれいに
採取できないという問題があった。この一方で、下層液
の水温が雰囲気温度に比べて低くなると、今度は逆に下
層液を貯留している水槽の周辺に水滴が生じ、バリアで
下層液の表面を十分に押すこと（パッキング）ができず
、従って正確な膜圧の制御ができないという問題があっ
た。
装置では、装置まわりの雰囲気温度の調整はまったくな
されておらず、以下のような問題が生じていた。すなわ
ち、下層液の水温が雰囲気温度に比べて高くなると、極
端な場合、湯気が発生し、単分子膜を採取すべく下層液
の上方に予め設置された基板の表面に結露が生じていた
。そのため基板表面に水滴がついて単分子膜がきれいに
採取できないという問題があった。この一方で、下層液
の水温が雰囲気温度に比べて低くなると、今度は逆に下
層液を貯留している水槽の周辺に水滴が生じ、バリアで
下層液の表面を十分に押すこと（パッキング）ができず
、従って正確な膜圧の制御ができないという問題があっ
た。
【０００４】本発明はこのような課題を解決するために
創案されたものであって、その目的は、結露の発生を防
止し、正確な膜圧を測定したり、確実な採膜を行うこと
ができるＬＢ膜作製装置を提供することにある。
創案されたものであって、その目的は、結露の発生を防
止し、正確な膜圧を測定したり、確実な採膜を行うこと
ができるＬＢ膜作製装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、水槽内に貯留された下層液の表面に展開さ
れたサンプルをバリアを移動させて圧縮するパッキング
ユニットと、該ユニットにより配向充填された単分子膜
を支持板表面に採取する採取ユニットと、前記パッキン
グユニットおよび採取ユニットを覆う筐体とを有するＬ
Ｂ膜作製装置であって、前記パッキングユニットは、下
層液の温度調整をするための水槽と、この水槽の温度を
検出するためのセンサと、このセンサの検出信号に基づ
き水槽の温度調整を行う第一の温度コントローラとを備
え、前記筐体には筐体で覆われた雰囲気内の温度を検出
するためのセンサと、このセンサの検出信号に基づき筐
体で覆われた雰囲気内の温度調整を行う第二の温度コン
トローラとを備え、前記第一の温度コントローラと前記
第二の温度コントローラを同期しつつ前記水槽の温度と
筐体で覆われた雰囲気内の温度を制御するように構成し
た。
に本発明は、水槽内に貯留された下層液の表面に展開さ
れたサンプルをバリアを移動させて圧縮するパッキング
ユニットと、該ユニットにより配向充填された単分子膜
を支持板表面に採取する採取ユニットと、前記パッキン
グユニットおよび採取ユニットを覆う筐体とを有するＬ
Ｂ膜作製装置であって、前記パッキングユニットは、下
層液の温度調整をするための水槽と、この水槽の温度を
検出するためのセンサと、このセンサの検出信号に基づ
き水槽の温度調整を行う第一の温度コントローラとを備
え、前記筐体には筐体で覆われた雰囲気内の温度を検出
するためのセンサと、このセンサの検出信号に基づき筐
体で覆われた雰囲気内の温度調整を行う第二の温度コン
トローラとを備え、前記第一の温度コントローラと前記
第二の温度コントローラを同期しつつ前記水槽の温度と
筐体で覆われた雰囲気内の温度を制御するように構成し
た。
【０００６】
【作用】下層液を充填した水槽の水面上に成膜物質を展
開した後、その膜を所定圧力まで圧縮し、さらに水面に
対し垂直（あるいは水平）に保持した基板を上下させ、
基板上に累積膜を形成する。
開した後、その膜を所定圧力まで圧縮し、さらに水面に
対し垂直（あるいは水平）に保持した基板を上下させ、
基板上に累積膜を形成する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明のＬＢ膜作製装置を第１図を参
照して詳細に説明する。本発明のＬＢ膜作製装置は、単
分子膜形成組成であるサンプル７を圧縮するパッキング
ユニットＰと、該ユニットＰにより配向充填された単分
子膜７ａを採取する採取ユニットＳとを備えている。パ
ッキングユニットＰは、下層液１４を貯留する水槽１２
と、この水面上に浸水されたバリア５２と、図しないパ
ッキング制御手段を備えている。さらにパッキングユニ
ットＰは、下層液１４の温度調整をするための水槽２０
と、この水槽２０の溶液２０ａ温度を検出するためのセ
ンサ３０と、このセンサ３０の検出信号に基づき水槽２
０の温度調整を行う第一の温度コントローラ４０とを備
えている。
照して詳細に説明する。本発明のＬＢ膜作製装置は、単
分子膜形成組成であるサンプル７を圧縮するパッキング
ユニットＰと、該ユニットＰにより配向充填された単分
子膜７ａを採取する採取ユニットＳとを備えている。パ
ッキングユニットＰは、下層液１４を貯留する水槽１２
と、この水面上に浸水されたバリア５２と、図しないパ
ッキング制御手段を備えている。さらにパッキングユニ
ットＰは、下層液１４の温度調整をするための水槽２０
と、この水槽２０の溶液２０ａ温度を検出するためのセ
ンサ３０と、このセンサ３０の検出信号に基づき水槽２
０の温度調整を行う第一の温度コントローラ４０とを備
えている。
【０００８】前記水槽１２は、箱体形状をなし、この中
には、ＰＨや塩類濃度を調整した下層液１４が貯留され
、この下層液１４の表層部に単分子膜形成組成であるサ
ンプル７が浮遊されるようになっている。バリア５２は
、浮遊するサンプル７に一定の圧力をかけて配向充填す
るために用いられる。そのためバリア５２は、第１図紙
面奥行き方向の水槽幅と同程度の長さを有する略直方体
形状をなし、このものは、図示しないバリア駆動操作部
に連結され、この操作部により水面上を前進または後退
できるようになっている（矢印（イ）または（ロ）方向
）。
には、ＰＨや塩類濃度を調整した下層液１４が貯留され
、この下層液１４の表層部に単分子膜形成組成であるサ
ンプル７が浮遊されるようになっている。バリア５２は
、浮遊するサンプル７に一定の圧力をかけて配向充填す
るために用いられる。そのためバリア５２は、第１図紙
面奥行き方向の水槽幅と同程度の長さを有する略直方体
形状をなし、このものは、図示しないバリア駆動操作部
に連結され、この操作部により水面上を前進または後退
できるようになっている（矢印（イ）または（ロ）方向
）。
【０００９】このようなバリア５２によって配向充填さ
れるサンプル７は、パッキング制御手段によって制御さ
れるようになっている。すなわち、パッキング制御手段
は検出部と制御部とに大別され、図面右方向には表面圧
（膜圧力）を測定するため、検出部としての表面圧検出
プレート４２が水面に浸漬されて設けられ、この検出部
により検出された信号は図示しない制御部に送られる。
れるサンプル７は、パッキング制御手段によって制御さ
れるようになっている。すなわち、パッキング制御手段
は検出部と制御部とに大別され、図面右方向には表面圧
（膜圧力）を測定するため、検出部としての表面圧検出
プレート４２が水面に浸漬されて設けられ、この検出部
により検出された信号は図示しない制御部に送られる。
【００１０】制御部では所定の膜圧になるまでバリア５
２の進行が制御される。下層液１４の下部に設けられる
水槽２０の中には、通常、循環溶液２０ａが貯留されて
おり、この溶液の中には溶液２０ａ温度を検出するため
のセンサ３０が浸漬されている。このセンサ３０の検出
信号に基づき水槽２０の温度調整が第一の温度コントロ
ーラ４０によっておこなわれる。
２の進行が制御される。下層液１４の下部に設けられる
水槽２０の中には、通常、循環溶液２０ａが貯留されて
おり、この溶液の中には溶液２０ａ温度を検出するため
のセンサ３０が浸漬されている。このセンサ３０の検出
信号に基づき水槽２０の温度調整が第一の温度コントロ
ーラ４０によっておこなわれる。
【００１１】このようなパッキングユニットＰによって
、水面上に配向されたサンプル７の単分子膜７ａは、採
取ユニットＳによって採取される。採取ユニットＳは、
単分子膜７ａを直接移し取るための支持板３２と、この
支持板３２を昇降させる図示しない駆動系を備えている
。本実施例の場合、いわゆる垂直法が例示されており、
支持板３２は単分子膜７ａの膜面に対して垂直におかれ
、上下動させることによって、膜７ａを支持板３２上に
移行できるようになっている。
、水面上に配向されたサンプル７の単分子膜７ａは、採
取ユニットＳによって採取される。採取ユニットＳは、
単分子膜７ａを直接移し取るための支持板３２と、この
支持板３２を昇降させる図示しない駆動系を備えている
。本実施例の場合、いわゆる垂直法が例示されており、
支持板３２は単分子膜７ａの膜面に対して垂直におかれ
、上下動させることによって、膜７ａを支持板３２上に
移行できるようになっている。
【００１２】さらに、本発明のＬＢ膜作製装置は、筐体
７０を備え、この筐体７０によって前記パッキングユニ
ットＰおよび採取ユニットＳが覆われている。この筐体
７０には筐体７０で覆われた雰囲気内Ｈの温度を検出す
るためのセンサ７５と、このセンサ７５の検出信号に基
づき筐体７０で覆われた雰囲気内Ｈの温度調整を行う第
二の温度コントローラ７８とを備えている。第二の温度
コントローラ７８には雰囲気内Ｈの温度を上昇させたり
降下させたりするための公知の種々の空調手段が備えら
れている。この第二の温度コントローラ７８は前記第一
の温度コントローラと同期制御されており、これにより
前記水槽の温度と筐体で覆われた雰囲気内の温度が所定
温度誤差範囲内におさまるようになっている。
７０を備え、この筐体７０によって前記パッキングユニ
ットＰおよび採取ユニットＳが覆われている。この筐体
７０には筐体７０で覆われた雰囲気内Ｈの温度を検出す
るためのセンサ７５と、このセンサ７５の検出信号に基
づき筐体７０で覆われた雰囲気内Ｈの温度調整を行う第
二の温度コントローラ７８とを備えている。第二の温度
コントローラ７８には雰囲気内Ｈの温度を上昇させたり
降下させたりするための公知の種々の空調手段が備えら
れている。この第二の温度コントローラ７８は前記第一
の温度コントローラと同期制御されており、これにより
前記水槽の温度と筐体で覆われた雰囲気内の温度が所定
温度誤差範囲内におさまるようになっている。
【００１３】次に、本発明のＬＢ膜作製装置の動作につ
いて説明する。予め、雰囲気内Ｈの温度Ｔｈおよび水槽
２０の温度Ｔｔの温度設定がおこなわれる（例えば、Ｔ
ｈ＝Ｔｔ±２℃に設定）。すると、筐体７０の第二の温
度コントローラ７８は第一の温度コントローラと同期制
御され、これにより前記水槽の温度Ｔｔと筐体で覆われ
た雰囲気内の温度Ｈｔが上記所定温度誤差範囲内に温度
制御され、下層液と雰囲気との温度差はほとんどなくな
る。ついで、装置が起動を開始すると、まず、予め設定
された設定膜圧力になるまで、バリア５２が矢印（イ）
方向に移動される。ついで、サンプル７の圧力が設定膜
圧力になったところで、一旦、バリア５２は停止する。 このような制御手段によって所望の膜７ａが形成された
後、支持板３２を膜面に対して垂直に置き、一旦、降下
させて水槽中に浸漬させた後、ついで上昇させることに
より膜を支持板３２上に移行させ膜採取をする。この採
取動作を数回繰り返した後、所定ターンの累積膜を基板
上に形成する。
いて説明する。予め、雰囲気内Ｈの温度Ｔｈおよび水槽
２０の温度Ｔｔの温度設定がおこなわれる（例えば、Ｔ
ｈ＝Ｔｔ±２℃に設定）。すると、筐体７０の第二の温
度コントローラ７８は第一の温度コントローラと同期制
御され、これにより前記水槽の温度Ｔｔと筐体で覆われ
た雰囲気内の温度Ｈｔが上記所定温度誤差範囲内に温度
制御され、下層液と雰囲気との温度差はほとんどなくな
る。ついで、装置が起動を開始すると、まず、予め設定
された設定膜圧力になるまで、バリア５２が矢印（イ）
方向に移動される。ついで、サンプル７の圧力が設定膜
圧力になったところで、一旦、バリア５２は停止する。 このような制御手段によって所望の膜７ａが形成された
後、支持板３２を膜面に対して垂直に置き、一旦、降下
させて水槽中に浸漬させた後、ついで上昇させることに
より膜を支持板３２上に移行させ膜採取をする。この採
取動作を数回繰り返した後、所定ターンの累積膜を基板
上に形成する。
【００１４】
【発明の効果】本発明のＬＢ膜作製装置はパッキングユ
ニットおよび採取ユニットを覆う筐体を有し、水槽の温
度と筐体で覆われた雰囲気内の温度を同期制御するよう
にしたので、従来発生していた結露の発生を防止し、正
確な膜圧を測定でき、しかも確実な採膜を行うことがで
きるという効果を奏する。
ニットおよび採取ユニットを覆う筐体を有し、水槽の温
度と筐体で覆われた雰囲気内の温度を同期制御するよう
にしたので、従来発生していた結露の発生を防止し、正
確な膜圧を測定でき、しかも確実な採膜を行うことがで
きるという効果を奏する。
【図１】本発明のＬＢ膜作製装置の概略断面図である。
Ｐ パッキングユニット
Ｓ 採取ユニット
７ サンプル
１４ 下層液
３２ 支持板
５２ バリア
７０ 筐体
Claims (1)
- 【請求項１】 水槽内に貯留された下層液の表面に展
開されたサンプルをバリアを移動させて圧縮するパッキ
ングユニットと、該ユニットにより配向充填された単分
子膜を支持板表面に採取する採取ユニットと、前記パッ
キングユニットおよび採取ユニットを覆う筐体とを有す
るＬＢ膜作製装置であって、前記パッキングユニットは
、下層液の温度調整をするための水槽と、この水槽の温
度を検出するためのセンサと、このセンサの検出信号に
基づき水槽の温度調整を行う第一の温度コントローラと
を備え、前記筐体には筐体で覆われた雰囲気内の温度を
検出するためのセンサと、このセンサの検出信号に基づ
き筐体で覆われた雰囲気内の温度調整を行う第二の温度
コントローラとを備え、前記第一の温度コントローラと
前記第二の温度コントローラを同期しつつ前記水槽の温
度と筐体で覆われた雰囲気内の温度を制御するようにし
たことを特徴とするＬＢ膜作製装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3003766A JPH04271829A (ja) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | Ｌｂ膜作製装置 |
| US07/726,083 US5190591A (en) | 1991-01-17 | 1991-07-05 | Langmuir-Blodgett film forming apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3003766A JPH04271829A (ja) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | Ｌｂ膜作製装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04271829A true JPH04271829A (ja) | 1992-09-28 |
Family
ID=11566294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3003766A Pending JPH04271829A (ja) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | Ｌｂ膜作製装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5190591A (ja) |
| JP (1) | JPH04271829A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5605719A (en) * | 1995-03-03 | 1997-02-25 | Rockwell International Corporation | Method of transporting and applying a surface treatment liquid using gas bubbles |
| US5976633A (en) * | 1998-03-26 | 1999-11-02 | Lexmark International, Inc. | Dip coating through elevated ring |
| US9492841B2 (en) | 2012-03-20 | 2016-11-15 | Imec | Method for pore sealing of porous materials using polyimide langmuir-blodgett film |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3892665A (en) * | 1973-10-15 | 1975-07-01 | Standard Oil Co | Membrane method and product |
| US4495889A (en) * | 1982-11-24 | 1985-01-29 | Riley Thomas J | Polymeric film coating apparatus |
| US4785762A (en) * | 1984-04-19 | 1988-11-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for forming film |
| GB8417959D0 (en) * | 1984-07-14 | 1984-08-15 | Nima Technology Ltd | Barrier system |
| JPS61137322A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-25 | Hitachi Ltd | 塗布装置 |
| US4827867A (en) * | 1985-11-28 | 1989-05-09 | Daikin Industries, Ltd. | Resist developing apparatus |
| JPH0638395B2 (ja) * | 1986-07-25 | 1994-05-18 | ダイキン工業株式会社 | レジスト塗布装置 |
| US4848270A (en) * | 1986-12-02 | 1989-07-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for forming thin organic film |
| US5021268A (en) * | 1990-01-17 | 1991-06-04 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Method of making asymmetric Langmuir-Blodgett films |
-
1991
- 1991-01-17 JP JP3003766A patent/JPH04271829A/ja active Pending
- 1991-07-05 US US07/726,083 patent/US5190591A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5190591A (en) | 1993-03-02 |
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