JPH04259996A

JPH04259996A - 不揮発性半導体記憶装置

Info

Publication number: JPH04259996A
Application number: JP3249096A
Authority: JP
Inventors: Woung-Moo Lee; 李　雄茂
Original assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Current assignee: Samsung Electronics Co Ltd
Priority date: 1990-12-19
Filing date: 1991-09-27
Publication date: 1992-09-16
Anticipated expiration: 2010-06-05
Also published as: GB2251104A; ITMI912319A0; GB2251104B; FR2670942A1; DE4131261A1; KR940005695B1; KR920013467A; ITMI912319A1; DE4131261C2; GB9118665D0; JPH0752593B2; IT1251189B; FR2670942B1; US5265062A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、不揮発性半導体記憶
装置に関し、特に、その高集積化に関する。

【０００２】

【従来の技術】この発明は、電気的にデータの書換えが
可能なＥＥＰＲＯＭなどのような不揮発性半導体記憶装
置に適用することが可能であり、特に、選択トランジス
タおよびセンシングトランジスタの２つのトランジスタ
により１つのメモリセルを構成し、ページ単位でロウ単
位にデータの書換えが可能なＥＥＰＲＯＭに適用され得
るものである。

【０００３】バイト単位で電気的にデータを書込み消去
することのできる不揮発性半導体記憶装置のデコーダ回
路は、ＳＥＥＱ社により１９８４年のＩＳＳＣＣにおい
て発表された。図６を参照して、この不揮発性半導体記
憶装置は、ロウ選択信号ＡＸをデコードして１つのロウ
ライン、すなわちワードラインＷＬ１を選択するロウデ
コーダ部１と、カラム選択信号ＡＹをデコードして１つ
のカラムラインＹ１を選択するカラムデコーダ部２と、
センスラインにバイアス電圧を供給するセンスラインバ
イアス部３と、選択されたワードラインＷＬ１に高電圧
を供給するロウ高電圧供給部４と、カラムラインの信号
を通過させるカラムパスゲート部５と、カラムラインに
高電圧を供給するカラム高電圧供給部６と、ビットライ
ンＢＬ１に高電圧を供給するビット高電圧供給部７と、
メモリセルアレイとを含む。

【０００４】このような構成を有する従来の不揮発性半
導体記憶装置は、データの消去がバイト単位またはロウ
単位で行なわれるが、データを消去する場合に、高電圧
Ｖｍｕｌｔ（約１７ボルト）を選ばれたワードラインＷ
Ｌ１およびカラムラインＹ１に印加し、これを維持する
。また、プログラムラインＰＬ１にも高電圧Ｖｍｕｌｔ
を印加する。これにより、トランジスタＭ１がオンし、
メモリセルＣＭ１のゲートに高電圧が印加される。

【０００５】このとき、ビットラインＢＬ１の電圧は０
ボルトであり、その電圧はトランジスタＭ２を介してメ
モリセルＣＭ１のドレインに印加される。同時に、メモ
リセルＣＭ１のトップゲートに維持されたセンスライン
ＳＬ１には、プログラムラインＰＬ１の高電圧Ｖｍｕｌ
ｔがトランジスタＭ１を介して印加されるので、電子が
メモリトランジスタＣＭ１のドレイン領域からフローテ
ィングゲートにトンネリングされる。これにより、デー
タが消去され、メモリトランジスタＣＭ１のしきい電圧
が約２ないし５ボルトになる。

【０００６】図６に示した回路は、メモリトランジスタ
ＣＭ１を一例として図示したものであり、８個の入力お
よび出力端子を備えた不揮発性半導体記憶装置では、８
個のメモリトランジスタが独立のビットラインに接続さ
れ、ワードラインはすべてのメモリトランジスタに共通
に接続される。また、８個のメモリトランジスタからな
る各バイトごとに、１つのバイト選択トランジスタが設
けられており、センスラインは８個のメモリトランジス
タ単位で接続される。また、カラムデコーダ部２は、８
個のビットラインごとに１つずつ独立して配置され、そ
れぞれのメモリトランジスタはカラムパスゲート部５を
介して独立のデータをストアする。

【０００７】プログラム、すなわちデータの書込み時に
は、選ばれたワードラインＷＬ１および選ばれたカラム
ラインＹ１が高電圧Ｖｍｕｌｔに維持され、プログラム
ラインＰＬ１が接地され、センスラインＳＬ１がトラン
ジスタＭ１およびプログラムラインＰＬ１を介して接地
される。また、ビットラインＢＬ１を高電圧Ｖｍｕｌｔ
で維持させて、メモリトランジスタＣＭ１のドレインに
高電圧を印加することにより、メモリトランジスタＣＭ
１のフローティングゲートの電子がドレインの拡散領域
にトンネリングされ、データが書込まれる。このとき、
プログラムされたメモリトランジスタＣＭ１のしきい電
圧は約−３ないし−５ボルトになる。

【０００８】プログラムされたメモリトランジスタＣＭ
１にストアされたデータは、読出し時において次のよう
に読出される。まず、基準電圧ＶＲＥＦ　がセンスライ
ンバイアス部３およびカラムパスゲート部５を介して、
選ばれたセンスラインに印加される。また、選ばれたワ
ードラインＷＬ１には電源電圧Ｖｃｃが印加される。そ
の後、メモリトランジスタＳＬ１に流れる電流を感知す
ることによりストアされたデータが読出される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の不揮発性半導体記憶装置は、各バイトごと
にバイト選択トランジスタを必要とするので、チップの
大きさが大きくなる。これに加えて、データのプログラ
ムおよび消去時に、ワードラインに高電圧Ｖｍｕｌｔが
印加されるので、メモリトランジスタの書換え回数が多
くなるほどワードラインに接続された選択トランジスタ
のゲート酸化膜が破壊されやすく、したがって、不揮発
性半導体記憶装置の書換え可能回数が低下していた。

【００１０】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、その１つの目的は、不揮発性半
導体記憶装置の半導体基板上の占有面積を減少させるこ
とである。

【００１１】この発明のもう１つの目的は、不揮発性半
導体記憶装置の消去および書込みすることのできる回数
を増加させることである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明に係る不揮発性
半導体記憶装置は、半導体基板と、互いに平行に基板上
に配置された複数のワードラインおよび複数のセンスラ
インと、複数のワードラインに垂直に基板上に配置され
た複数のビットラインと、各ビットラインと各ワードラ
インとが交差する位置の基板上に設けられた複数の選択
トランジスタと、各ビットラインと各センスラインとが
交差する位置の基板上に設けられた複数のセンストラン
ジスタと、アドレス信号に応答して、複数のワードライ
ンの中の１本を選択するワードライン選択手段と、外部
から与えられる第１の制御信号に応答して、ワードライ
ン選択手段と複数のワードラインとの間を接続する第１
のスイッチング手段と、外部から与えられる第２の制御
信号に応答して、複数のセンスラインをバイアスするた
めのセンスラインバイアス手段と、ワードライン選択手
段からの出力信号に応答して、センスラインバイアス手
段と複数のセンスラインとの間を接続する第２のスイッ
チング手段と、予め定められた高電圧を発生する高電圧
発生手段と、第２の制御信号に応答して、高電圧発生手
段を複数のワードラインと複数のセンスラインとに接続
する接続手段とを含む。複数の選択トランジスタおよび
複数のセンストランジスタは、基板内に形成された拡散
層を介して接続され、それによりアレイが構成される。

【００１３】

【実施例】図１は、この発明の一実施例を示す不揮発性
半導体記憶装置のブロック図である。また、図２は、図
１に示した不揮発性半導体記憶装置の回路図である。図
１および図２に示した不揮発性半導体記憶装置は、Ｍ本
のロウとＮ本のカラムとを備えたメモリセルアレイを備
えている。図１を参照して、この不揮発性半導体記憶装
置は、内部から与えられるロウアドレス信号ＡＸおよび
カラムアドレス信号ＡＹをデコードすることにより、多
数のロウラインおよびカラムラインの中で各１本をそれ
ぞれ選択するためのロウデコーダ部１００およびカラム
デコーダ部１１０と、外部から与えられる書込み制御信
号／ＷＥＸ　に応答して、プログラムラインに所定の電
圧を印加するセンスラインバイアス部１２０と、ロウデ
コーダ１００からの出力信号およびプログラム信号／Ｐ
ＧＭによって選択されたセンスラインＳＬ１００および
ワードラインＷＬ１に動作電圧を供給するページ選択ト
ランジスタ部１３０と、多数のビットラインＢＬ１００
ないしＢＬ１０ＮとワードラインＷＬ１００とが交差す
る位置に設けられ、メモリトランジスタＣＭ１００ない
しＣＭ１０Ｎのドレインに接続された選択トランジスタ
Ｍ１００ないしＭ１０Ｎと、選択トランジスタＭ１００
ないしＭ１０ＮとセンスラインＳＬ１００とが交差する
位置に設けられ、データを消去しかつストアするための
メモリトランジスタ（またはセンストランジスタ）ＣＭ
１００ないしＣＭ１０Ｎと、メモリトランジスタＣＭ１
００ないしＣＭ１０Ｎのソースがドレインに接続され、
かつソースが接地され、ゲートには書込み制御信号／Ｗ
Ｅが与えられるプルダウントランジスタＭ１１０と、ワ
ードラインＷＬ１００とセンスラインＳＬ１００とに所
定の高電圧を印加する高電圧ゲーティング部１４０と、
高電圧を発生して高電圧ゲーティング部１４に供給する
高電圧ポンプ部１５０と、書込み制御信号／ＷＥＸ　に
応答して、高電圧ゲーティング部１４を介してワードラ
インＷＬ１００とセンスラインＳＬ１００とに選択的に
高電圧が供給されるように制御する高電圧制御部１６０
と、カラムデコーダ部１１０の出力信号に応答して、ビ
ットラインＢＬ１００ないしＢＬ１０Ｎの中の１つを選
択的に共通データラインＤＬに接続するカラムパスゲー
ト部１７０と、読出し動作において選択されたメモリト
ランジスタにストアされたデータ信号を増幅しかつ入出
力部２００に与えるデータ出力バッファ１８０と、書込
み動作において入出力部２００に与えられたデータをカ
ラムパスゲート部１７０に与えるデータ入力バッファ１
９０とを含む。

【００１４】図２に示した回路図において、トランジス
タＭ１００ないしＭ１０Ｍ，Ｍ１３０ないしＭ１３Ｍお
よびＭ１６０ないしＭ１６Ｍはエンハンスメント型ＮＭ
ＯＳトランジスタを示しており、また、トランジスタＭ
１２０ないしＭ１２Ｍ，Ｍ１４０ないしＭ１４Ｍおよび
Ｍ１５０ないしＭ１５Ｍはデプレッション型ＮＭＯＳト
ランジスタを示している。

【００１５】図５は、図２に示した回路の動作を説明す
るためのタイミングチャートである。次に、図２および
図５を参照して、不揮発性半導体記憶装置の動作につい
て説明する。

【００１６】まず、外部から与えられる書込み制御信号
／ＷＥＸ　が図５（ａ）に示すように低電位になり、デ
ータの書込みがチップの内部に認識されると、チップの
内部でカウンタ（図示せず）によって、動作サイクルが
自動消去期間と自動プログラム期間とに分離される。書
込み制御信号／ＷＥＸ　が低電位になるに従って、図５
（ｂ）に示すように、書込み制御信号ＷＥが低電位とな
り、チップ内部の高電圧昇圧回路が動作する。したがっ
て、図５（ｃ）に示されるように、約２０ボルトの電源
電圧Ｖｐｐが供給され、図５（ｄ）に示されるようにク
ロック信号ＣＬＫが供給される。

【００１７】自動消去期間において、消去信号／ＥＲＡ
が図５（ｅ）に示されるように低電位になるに従って、
センスラインバイアス部１２０がプログラムラインＰＬ
１００に図５（ｆ）に示すように約５ボルトの電源電圧
Ｖｃｃを与える。高電圧制御部１６０は、図５（ｇ）に
示されるように出力電圧ＶＷＥとして高電圧を出力し、
一方、出力電圧ＶＷＰとして図５（ｈ）に示すように低
レベルの電圧を出力する。

【００１８】ロウデコーダ部１００は、外部から与えら
れるアドレス信号ＡＸ　によって選択された出力ＯＴ０
　を介して約５ボルトの電圧を出力し、一方他の出力Ｏ
Ｔ１　ないしＯＴＭ　を介して低レベルの電圧を出力す
る。このとき選択されたワードラインＷＬ１００には、
トランジスタＭ１２０を介してロウデコーダ１００の出
力ＯＴ０　の約５ボルトの電圧が伝達される。このワー
ドラインＷＬ１００の約５ボルトの電圧は、トランジス
タＭ１４０を介して高電圧ポンプ部１５０の出力ＰＯ０
　に伝達され、高電圧ポンプ部１５０はその約５ボルト
の電圧をクロック信号ＣＬＫに応答して、電源電圧Ｖｐ
ｐ、すなわち約２０ボルトの電圧に上昇させる。昇圧さ
れた電圧は出力ＰＯ０　を介して出力される。このよう
に、約５ボルトよりも高い出力ＰＯ０　の高電圧Ｖｐｐ
は、トランジスタＭ１４０のゲート電位が低レベルであ
るので、図５（ｉ）に示したようにワードラインＷＬ１
００には伝達されない。センスラインＳＬ１００に接続
されているトランジスタＭ１５０およびＭ１００のゲー
ト電位は、高レベルであり、したがって、トランジスタ
Ｍ１５０およびＭ１００が動作状態であるので、出力Ｐ
Ｏ０の高電圧は図５（ｊ）に示されたようにセンスライ
ンＳＬ１００に伝達される。

【００１９】このとき、センスラインＳＬ１００のパス
であるトランジスタＭ１３０のソースが接続されている
プログラムラインＰＬ１００の電圧は、上記のように約
５ボルトの電圧であり、また、そのゲートの電圧も約５
ボルトであり、さらにセンスラインＳＬ１００は約２０
ボルトの高電圧であるので、トランジスタＭ１３０はシ
ャントオフする。

【００２０】したがって、データの消去の際、選択され
たワードラインＷＬ１００は、約５ボルトの電圧となり
、選択されたセンスラインＳＬ１００にのみ約２０ボル
トの高電圧Ｖｐｐが供給される。したがって、メモリト
ランジスタＣＭ１００のドレインからフローティングゲ
ートへ電荷がトンネリングされ、ビットラインＢＬ１０
０は接地され図５（ｋ）に示したように低電位となる。

【００２１】また、選択されていないロウデコーダ部１
００の出力ＯＴ１　ないしＯＴＭ　は０ボルトであるの
で、ワードラインＷＬ１０１ないしＷＬ１０Ｍも０ボル
トであり、高電圧発生部１５０の出力ＰＯ１　ないしＰ
ＯＭ　もトランジスタＭ１５１ないしＭ１５Ｍを介して
０ボルトが供給されるので、非選択のセンスラインＳＬ
１０１ないしＳＬ１０ＭもトランジスタＭ１５１ないし
Ｍ１５Ｍを介して０ボルトに接地される。このとき、ト
ランジスタＭ１３１ないしＭ１３Ｍはシャントオフされ
る。したがって、上記のような動作で選ばれたロウライ
ン上に位置するメモリトランジスタＣＭ１００ないしＣ
Ｍ１０Ｍにストアされたデータを消去することができる
。

【００２２】一方、プログラム動作では、まず、チップ
内部のカウンタによって消去動作が行なわれ、それが完
了した後、プログラム動作が行なわれる。すなわち、図
５（ｌ）に示したようにプログラム信号／ＰＧＭが低電
位となり、消去信号／ＥＲＡが高電位となる。プログラ
ムラインＰＬ１００が低電位となり、高電圧制御部６０
が出力電圧ＶＷＰとして約２０ボルトの高電圧を出力し
、出力電圧ＶＷＥとして０ボルトの電圧を出力する。選
択されたワードラインＷＬ１００は、トランジスタＭ１
４０のゲートが高電圧になるにしたがって、高い電圧に
もたらされ、このときプログラム信号ＰＧＭが低電位で
あるので、出力ＯＴ０　の約５ボルトの電圧とワードラ
インＷＬ１００の高い電圧は電気的に分離される。そし
て、出力電圧ＶＷＥが低レベルになるに従ってセンスラ
インＳＬ１００のトランジスタＭ１００がシャントオフ
され、プログラムラインが接地される。したがって、デ
ータの消去の際、選択されたセンスラインＳＬ１００の
高電圧がトランジスタＭ１３０を介して接地電位まで放
電される。このような動作で選ばれたワードラインＷＬ
１００に高電圧が供給され、選択されたセンスラインＳ
Ｌ１００は接地電圧を維持するようになる。このとき、
選択されないワードラインＷＬ１０１ないしＷＬ１０Ｍ
およびセンスラインＳＬ１０１ないしＳＬ１０Ｍは、上
記の消去時と同様に接地電圧に維持される。

【００２３】書込み動作において、外部から入出力部２
００をを介してプログラムすべきデータが入力される。データ入力バッファ１９０は、入力されたデータ信号を
増幅した後、選択されたビットラインＢＬ１００ないし
ＢＬ１０Ｎに所定の電圧を印加する。たとえば、外部の
入力データが「１」であるときは、ビットラインＢＬ１
００ないしＢＬ１０Ｎに０ボルトの電圧が印加され、入
力データが「０」であるときには、２０ボルトの電圧が
印加される。ビットラインＢＬ１００ないしＢＬ１０Ｎ
が０ボルトであるとき、メモリトランジスタＣＭ１００
ないしＣＭ１０Ｍの消去状態が持続されるようになり、
２０ボルトの電圧が印加されることにより、メモリトラ
ンジスタＣＭ１００ないしＣＭ１０Ｍのフローティング
ゲートからドレインに電子がトンネリングされプログラ
ムされる。

【００２４】このように、データが消去およびプログラ
ムされたメモリトランジスタＣＭ１００ないしＣＭ１０
Ｍは、選択されたワードラインに約５ボルトの電圧を印
加し、プログラムラインＰＬ１００に約１ないし４ボル
トの電圧を供給し、トランジスタＭ１３０を介して選ば
れたセンスラインＳＬ１に供給することにより、データ
出力バッファ１８０がセンストランジスタに流れる電流
によりデータを読取る。

【００２５】なお、図２に示したセンスラインデコーダ
部の一例が図３に示される。また、図２に示した高電圧
制御部の一例が図４に示されている。

【００２６】このように、不揮発性半導体記憶装置のデ
ータの消去時において、ワードラインに電源電圧Ｖｃｃ
が印加されるので、チップの耐久性を向上させることが
できる。また、各ロウごとにセンスライントランジスタ
Ｍ１３０ないしＭ１３Ｍを１つずつ配置し、かつワード
ラインおよびセンスラインに必要な高電圧を１つの高電
圧発生部から供給することによりチップの大きさを減ら
すことができる。また、データの消去時には、ワードラ
インに高電圧Ｖｐｐの代わりに約５ボルトの電圧を供給
するので、ゲート酸化膜の破壊による信頼性の低下およ
び耐久性の低下を減らすことができる。不揮発性半導体
記憶装置の高集積化に伴って半導体基板上の占有面積が
減少され、ロウデコーダ部および高電圧発生部を半導体
基板上にレイアウトすることが難しくなるが、エンハン
スメント型ＮＭＯＳトランジスタＭ１３０ないはＭ１３
ＭおよびＭ１５０ないしＭ１５Ｍならびにデプレッショ
ン型ＮＭＯＳトランジスタＭ１２０ないしＭ１２Ｍ，Ｍ
１４０ないしＭ１４ＭおよびＭ１５０ないしＭ１５Ｍを
各ワードラインとセンスラインとに制御して制御信号で
制御することにより容易にレイアウトすることができる
ので、半導体チップの占有面積を最小に減らすことがで
きる。

【００２７】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、各ロ
ウごとにバイト選択トランジスタを１つずつ設け、ワー
ドラインとセンスラインとに供給される電圧を１つの高
電圧発生手段から供給するようにしたので、半導体基板
上の占有面積が減少された不揮発性半導体記憶装置が得
られた。また、データの消去時において、ワードライン
の電圧が通常の電源電圧に維持されるので、ゲート酸化
膜が破壊されにくくなり、消去および書込み可能回数が
増加される。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す不揮発性半導体記憶
装置のブロック図である。

【図２】図１に示した不揮発性半導体記憶装置の回路図
である。

【図３】図２に示たセンスラインデコーダ部の一例を示
す回路図である。

【図４】図２に示した高電圧制御部の一例を示す回路図
である。

【図５】図２に示した回路の動作を説明するためのタイ
ミングチャートである。

【図６】従来の不揮発性半導体記憶装置の回路図である
。

【符号の説明】

１００　　ロウデコーダ部１１０　　カラムデコーダ部１２０　　センスラインバイアス部１３０　　ページ選択トランジスタ部１４０　　高電圧ゲーティング部１５０　　高電圧ポンプ部１６０　　高電圧制御部１７０　　カラムパスゲート部１８０　　データ出力バッファ１９０　　データ入力バッファ２００　　入出力部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　半導体基板と、互いに平行に前記基板
上に配置された複数のワードラインおよび複数のセンス
ラインと、前記複数のワードラインに垂直に前記基板上
に配置された複数のビットラインと、各前記ビットライ
ンと各前記ワードラインとが交差する位置の前記基板上
に設けられた複数の選択トランジスタと、各前記ビット
ラインと各前記センスラインとが交差する位置の前記基
板上に設けられた複数のセンストランジスタとを含み、
前記複数の選択トランジスタおよび前記複数のセンスト
ランジスタは、前記基板内に形成された拡散層を介して
接続され、それによりアレイが構成され、アドレス信号
に応答して、前記複数のワードラインの中の１本を選択
するワードライン選択手段と、外部から与えられる第１
の制御信号に応答して、前記ワードライン選択手段と前
記複数のワードラインとの間を接続する第１のスイッチ
ング手段と、外部から与えられる第２の制御信号に応答
して、前記複数のセンスラインをバイアスするためのセ
ンスラインバイアス手段と、前記ワードライン選択手段
からの出力信号に応答して、前記センスラインバイアス
手段と前記複数のセンスラインとの間を接続する第２の
スイッチング手段と、予め定められた高電圧を発生する
高電圧発生手段と、前記第２の制御信号に応答して、前
記高電圧発生手段を前記複数のワードラインと前記複数
のセンスラインとに接続する接続手段とを含む、不揮発
性半導体記憶装置。
【請求項２】　　前記ワードライン選択手段は、複数の
出力を備え、ロウアドレス信号をデコードすることによ
り、前記複数の出力を介して前記複数のワードラインの
中の１本を選択的に活性化するロウデコーダ手段を含み
、前記第１のスイッチング手段は、前記ロウデコーダ手
段の複数の出力と前記複数りワード線との間にそれぞれ
接続され、第１の制御信号に応答して動作されるデプレ
ッション型の複数の第１の電界効果トランジスタを含む
、請求項１に記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項３】　　前記複数の第１の電界効果トランジス
タのゲートは、プログラム時において低電位が印加され
、消去時において高電位が印加される、請求項２に記載
の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項４】　　前記第２のスイッチング手段は、エン
ハンスメント型の複数の第２の電界効果トランジスタを
含み、前記複数の第２の電界効果トランジスタは、ゲー
トが前記ワードライン選択手段からの出力信号に応答し
て動作される、請求項１に記載の不揮発性半導体記憶装
置。
【請求項５】　　前記接続手段は、前記高電圧発生手段
と前記複数のワードラインとの間にそれぞれ接続され、
前記第２の制御信号に応答して動作される複数の第３の
スイッチング手段と、前記高電圧発生手段と前記複数の
センスラインとの間にそれぞれ接続され、前記第２の制
御信号に応答して動作される複数の第４のスイッチング
手段とを含む、請求項１に記載の不揮発性半導体記憶装
置。
【請求項６】　　前記複数の第３のスイッチング手段は
、前記高電圧発生手段と前記複数のワードラインとの間
にそれぞれ接続され、前記第２の制御信号に応答して動
作されるデプレッション型の複数の第３の電界効果トラ
ンジスタを含む、請求項５に記載の不揮発性半導体記憶
装置。
【請求項７】　　前記複数の第４のスイッチング手段は
、各々が前記高電圧発生手段の出力と対応する前記セン
スラインとの間に直列に接続されたデプレッション型の
第４の電界効果トランジスタおよびエンハンスメント型
の第５の電界効果トランジスタからなる複数のトランジ
スタ対を含み、前記第４および第５の電界効果トランジ
スタは、前記第２の制御信号に応答して動作される、請
求項６に記載の不揮発性半導体記憶装置。