JPH04249033A

JPH04249033A - ガス放電型表示パネル及びその製造方法

Info

Publication number: JPH04249033A
Application number: JP3015267A
Authority: JP
Inventors: Taichi Takeda; 太一武田; Hiromi Kashiwakura; 柏倉　宏美; Nobumasa Higemoto; 信雅髭本; Hideo Sawai; 澤井　秀夫
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1991-02-06
Filing date: 1991-02-06
Publication date: 1992-09-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はガス放電型表示パネル
、特に蛍光体層を有したカラーガス放電型表示パネルに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、カラーガス放電型表示パネル（カ
ラープラズマディスプレイ、以下カラーＰＤＰという）
は、以下のような製造方法によって製造される。まず、
背面ガラス基板上において、陰極材料はＮｉ厚膜（Ｄｕ
ｐｏｎｔ社製＃９５３５、乾燥１５０℃１ｈ焼成５８０
℃ピーク保持時間１０分）を用い任意に背面ガラス基板
上にストライプパターンの陰極を形成する。次にその上
に陰極と陽極のギャップを保つために、陰極に直交する
様にバリヤリブを形成する。バリヤリブ材としてはガラ
ス厚膜（Ｄｕｐｏｎｔ社製＃９７４１）を用い乾燥（１
５０℃１０分）及び印刷の工程を多数回繰り返して１６
０〜２００μｍ程度まで積層する。その後焼成（５８０
℃ピーク保持時間１０分）を行い、バリヤリブが形成さ
れる。一方前面ガラス基板上には陽極として透明導電膜
（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ　　ＴｉｎＯｘｉｄｅ）を蒸着
あるいはスパッタ法を用いて成膜した後、フォトリソ法
を用いて任意の形状にパターニングを行う。

【０００３】その上に導電性蛍光体層を厚膜印刷により
任意の形状、配置で形成する。導電性蛍光体層形成に用
いる、蛍光体ペーストは蛍光体粉末１０ｇに対し、酸化
インジウム粉末５ｇ及び粘度調節用ビークル（奥野製薬
社製スクリーペースト＃６００９）１５〜２５ｇを混合
したものであり、乾燥１５０℃１ｈ焼成４６０℃ピーク
保持時間１０分により蛍光体層を形成する。ここで蛍光
体粉末は化成オプトニクス社製蛍光体（＃ＰＩＧＩ：緑
、＃ＫＸ５０２Ａ：赤、＃ＫＸ５０１Ａ：青）を用いた
。これら前面ガラス基板及び背面ガラス基板とを陰極と
陽極が対向し、かつ互いに直交する様に合わせ、パネル
外周部に鉛ガラスペースト（岩城ガラス社製粉末ガラス
＃ＩＷＦ７５７５Ｂ（２５０ｇ）＋エチルセルロース（
１ｇ）＋酢酸イソアミル（１９ｇ））を塗布し、図示し
ない排気管より排気しながら加熱（４６０℃ピーク保持
時間２０分）し鉛ガラスを溶融させて封止を行う。真空
度が１０−５〜１０−７ｔｏｒｒに達した後、パネル内
に放電ガスを封入してパネルは完成する。即ち、カラー
表示を行うための蛍光体層は、前面ガラス基板上に設け
られた陽極を、所定の形状、配置をもって被覆するよう
に形成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記構成
のカラーＰＤＰでは前面ガラス基板上の限られたスペー
スにしか、蛍光体層を形成することしかできない。この
蛍光体層はカラーＰＤＰの輝度を大きく左右するもので
あり、従来のカラーＰＤＰの前面ガラス上の限られたス
ペースの蛍光体層では実用に値する輝度は得にくいとい
う課題があった。

【０００５】この発明は以上述べた前面ガラス基板上だ
けに蛍光体層を形成する方法では実用に値する輝度が得
にくいという課題を解決するために放電セル内のバリヤ
リブの側面にサンドブラスト法を用いて蛍光体層を形成
し、放電セル内の蛍光体層の占める面積を増大させるこ
とにより、高輝度カラーＰＤＰを提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は前記課題を解
決するため、第１平面板と第２平面板との間に設けられ
た第１電極と第２電極と、これら第１電極と第２電極と
の間の電位により放電を行う放電気体と放電路を形成す
るための前記第２平面上に設けられたバリヤリブとを具
備したガス放電表示パネルにおいて、前記バリヤリブ表
面に蛍光体層を設けたものである。

【０００７】

【作用】以上の様にこの発明によれば、バリヤリブの表
面に蛍光体層を設けたので、放電気体の放電時における
蛍光体層の蛍光体層の発光輝度を増すことができる。

【０００８】

【実施例】図１はこの発明の実施例を説明するためのＰ
ＤＰの断面図、図２（ａ）〜（ｇ）は図１に示したＰＤ
Ｐの製造方法を説明するための工程断面図であり、以下
図面を用いて説明する。

【０００９】図１に示すように、前面ガラス基板１上に
は陽極２を所望のパターンで形成する。陽極２にはＩＴ
Ｏを用い、成膜した後、フォトリソ法を用いてパターニ
ングする。その上に従来と同様導電性の蛍光体層３を形
成する。

【００１０】一方、背面ガラス基板４上には陰極５とし
てＮｉ厚膜を印刷、乾燥、焼成し、任意のストライプパ
ターンとして陰極５群を形成する。その上に陰極５と直
交する様にバリヤリブ６を所望のパターン、ピッチ、高
さで形成する。形成方法は従来通り厚膜印刷を多数回繰
り返し積層しても良いが、サンドブラスト法を用いて形
成することもできる。その上に本発明である、蛍光体層
７の形成方法を用いて蛍光体層７を形成する。

【００１１】次に、図１に示したガス放電表示パネルの
製造方法について、図２（ａ）〜（ｈ）を用いて説明す
る。

【００１２】まず、図２（ａ）に示すようにバリヤリブ
６まで形成した背面ガラス基板４上にバッファ層ー２１
を形成する。これはサンドブラストによる陰極５、ある
いはバリヤリブ６へのダメージを抑えるための層である
。バッファー層２１は東京応化社製バッファー膜用レジ
ストを用いスピンコーターを用いて１５〜２０μｍの膜
厚で７０℃１５分乾燥、１５〜２０ｍＪ露光することに
より形成した。その上に図示しないしみ出し防止層（保
護層）を形成する。これはその上に形成する蛍光体ペー
スト中の溶剤成分がバッファー層２１に浸透してバッフ
ァー層２１が膨潤し、はがれるのを防ぐための層である
。次に図２（ｂ）に示すように、その上に緑色の蛍光体
ペースト２２をロールコーター等でバリヤリブ６の間の
すきまに埋めこむ形で形成し、１５０℃で１時間乾燥す
る。用いた蛍光体ペーストは、緑、赤、青（化成オプト
ニクス社製蛍光体＃ＰＩＧＩ：緑、＃ＫＸ５０４Ａ：赤
、＃ＫＸ５０１Ａ：青）それぞれ１５ｇに対し、粘度調
節用ビークル（奥野製薬社製スクリーンペースト＃６０
０９、２０〜２５ｇ）を混合したペーストを用いた。ま
たこの蛍光体ペースト２２は以下の種々膜形成工程に耐
え得る密着性をもたせるために若干のＳｉＯ２　系被膜
形成液を混合した。次に図２（Ｃ）に示すように、この
蛍光体層上に耐サンドブラストレジスト層２３（東京応
化社製ＯＳＢＲ−８２Ｂ）を形成した。形成方法はまず
スピンコーターを用いてレジストを塗布後乾燥させ、そ
の上にレジストがフォトマスクに付着しない様に、タッ
ク防止剤（東京応化社製）を同様にして塗布、乾燥する
。その後露光を行うが上記レジストはネガ型レジストで
あるので、露光した部分が残る。よって蛍光体層を形成
したい部分が露光される様なフォトマスクを用いる。露
光した後、０．２ｗｔ％炭酸ナトリウム水溶液を低圧ス
プレーで吹き付けることによる現像定着を行い、耐サン
ドブラストレジスト層２３が形成される。その後図２（
ｄ）に示すように、サンドブラストマシーン（微粉タイ
プＳＣ−３，不二製作所製）によりアルミナ粉末（４０
０番）の研摩材を蛍光体ペースト２２上に耐サンドブラ
ストレジスト層２３を形成した基板に吹き付けて不要部
分の蛍光体ペースト２２を除去する。

【００１３】ここで残したい蛍光体ペースト２２上に残
っている耐サンドブラストレジスト層２３を１回除去す
る。これは下地層が焼失される温度より低温で行うこと
が必要条件となる。そして再度サンドブラストを行い、
陰極５が十分現われるところまで選択的に研摩を行い図
２（ｅ）に示すように、バリヤリブ６の側面に蛍光体層
７を残す様にする。次に、図２（ｆ）に示すように、耐
サンドブラストレジスト層２４タック防止剤を前述と同
様に形成する。これで緑色の蛍光体層７が形成されるが
、上記蛍光体ペースト２２の埋めこむ形での形成からサ
ンドブラストマシーンによる不要部分の除去までの工程
を前述と同様に青色、赤色についても繰り返すことによ
り、３色の蛍光体層のパターニングを行うことができる
。その後焼成、（４６０℃ピーク保持時間１０分）する
ことにより、図２（ｇ）に示すように、蛍光体層中のビ
ークルに含まれる樹脂成分と、バッファー層２１及び耐
サンドブラストレジスト層２４が燃焼、除去され３色の
蛍光体層７がそれぞれ所望のバリヤリブの側面に形成さ
れる。その後、図１に示されるように、前面ガラス基板
１と背面ガラス基板４と陰極５と陽極２が直交する様に
、かつバリヤリブ６側面に形成された蛍光体層７の発光
色と、前面ガラス基板１上の陽極２上に形成された蛍光
体層３の発光色が一致する様に合わせ、放電ガスを封入
しカラーＰＤＰは完成する。

【００１４】このように、本発明の実施例によれば、バ
リヤリブの側面に蛍光体層を形成し、従来例の前面ガラ
ス基板上に蛍光体層を形成したものと組みあわせること
により、各蛍光体の発光輝度はそれぞれ３０％〜５０％
ｕｐし、全燈白色輝度も５０％前後の向上が確認された
。この様にこの発明は限られた放電スペースに最大限蛍
光体面積をかせげるので大巾な輝度アップが可能となる
。また、本発明の実施例では、陰極上及びバリヤリブ上
部の蛍光体層を除去することにより、蛍光体層の厚さの
バラツキによる発光輝度のバラツキを防止できる。

【００１５】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
ればバリヤリブの側面に蛍光体層を設けることにより、
蛍光体層の発光輝度が向上したＰＤＰを得ることができ
ると共に、耐サンドブラスト性を有するバッファー層を
利用してサンドブラストによりバリヤリブ側面に蛍光体
層を形成しているので容易に本発明のＰＤＰを製造する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を説明するためのＰＤＰの断面
図。

【図２】図１に示したＰＤＰの製造方法を説明するため
の工程断面図。

【符号の説明】

１　　　　前面ガラス基板２　　　　陽極３，７　　　　蛍光体層４　　　　背面ガラス基板５　　　　陰極６　　　　バリヤリブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　第１平面板と第２平面板との間に設け
られた第１電極及び第２電極と、これら第１電極と第２
電極との間の電位により放電を行う放電気体と、放電路
を形成するための前記第２平面板上に設けられたバリヤ
リブとを具備したガス放電型表示パネルおいて、前記バ
リヤリブ表面に蛍光体層を設けたことを特徴とするガス
放電型表示パネル。
【請求項２】　　蛍光体層が前記第１平面板上にも設け
られていることを特徴とする請求項１記載のガス放電型
表示パネル。
【請求項３】　　基板上に所定深さの溝を形成する複数
のバリヤリブを形成する工程と、該バリヤリブを含む該
基板表面に耐サンドブラスト性を有するバッファー層を
形成する工程と、前記溝を埋め込むように表面に蛍光体
層を形成する工程と、前記溝上の蛍光体層上に選択的に
耐サンドブラストレジストを形成する工程と、該耐サン
ドブラストレジストをマスクとしてサンドブラストを行
うことにより不要な蛍光体層を除去する工程と、前記耐
サンドブラストレジストを除去する工程と、残余の前記
蛍光体層をサンドブラストにより選択的に除去し前記バ
リヤリブ側壁に蛍光体層を残存させる工程とを備えてい
ることを特徴とするガス放電表示パネルの製造方法。