JPH04244377A - ダイヤモンドツルーイングロールの製造方法 - Google Patents
ダイヤモンドツルーイングロールの製造方法Info
- Publication number
- JPH04244377A JPH04244377A JP2662791A JP2662791A JPH04244377A JP H04244377 A JPH04244377 A JP H04244377A JP 2662791 A JP2662791 A JP 2662791A JP 2662791 A JP2662791 A JP 2662791A JP H04244377 A JPH04244377 A JP H04244377A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- masking
- truing
- thin
- masking area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010432 diamond Substances 0.000 abstract description 46
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 abstract description 45
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 abstract description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 8
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ダイヤモンドツルー
イングロールの製造方法に関する。
イングロールの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術におけるダイヤモンドツルー
イングロールの製造方法は、第３図に示すようにダイヤ
モンド粒１２，１２・・・をボンド層に多層又は単層に
分布して埋め込んでドレッシング層１３を形成し、該ド
レッシング層１３を円盤状本体１１の外周面に固定して
いる。
イングロールの製造方法は、第３図に示すようにダイヤ
モンド粒１２，１２・・・をボンド層に多層又は単層に
分布して埋め込んでドレッシング層１３を形成し、該ド
レッシング層１３を円盤状本体１１の外周面に固定して
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の技術にお
ける製造方法により製造されたダイヤモンドツルーイン
グロールでは、砥石に対しツルーイングを行って外径が
摩耗減少すると、ダイヤモンド粒１２の分布数やダイヤ
モンド粒１２の分布状態が変化するので、ツルーイング
性能が変化する。その結果、そのようなダイヤモンドツ
ルーイングロールでツルーイングすると、研削砥石の研
削性能が変化する。
ける製造方法により製造されたダイヤモンドツルーイン
グロールでは、砥石に対しツルーイングを行って外径が
摩耗減少すると、ダイヤモンド粒１２の分布数やダイヤ
モンド粒１２の分布状態が変化するので、ツルーイング
性能が変化する。その結果、そのようなダイヤモンドツ
ルーイングロールでツルーイングすると、研削砥石の研
削性能が変化する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明のダイヤモンド
ツルーイングロールに製造方法の第１の方法は、（１）
厚肉部の外周域に薄肉部が形成された円盤状のロールコ
アの薄肉部の側面に対し適宜の狭幅の放射方向の非マス
キング域を適宜の等ピッチで残してマスキングを全面的
に施し、該側面に非マスキング域とマスキング域とを交
互に形成し、（２）更に、該側面の非マスキング域を気
相合成によりダイモンド薄膜で被覆する。
ツルーイングロールに製造方法の第１の方法は、（１）
厚肉部の外周域に薄肉部が形成された円盤状のロールコ
アの薄肉部の側面に対し適宜の狭幅の放射方向の非マス
キング域を適宜の等ピッチで残してマスキングを全面的
に施し、該側面に非マスキング域とマスキング域とを交
互に形成し、（２）更に、該側面の非マスキング域を気
相合成によりダイモンド薄膜で被覆する。
【０００５】又、同じく第２の方法は、（１）シリコン
等の基板の表面に気相合成により適宜厚みのダイモンド
薄膜で被覆し、そのダイモンド薄膜の基板からの剥離及
び狭幅の切断によりダイヤモンド片を製造し、（２）厚
肉部の外周域に薄肉部が形成された円盤状のロールコア
の薄肉部の側面に対しダイヤモンド片を適宜のピッチで
放射状に接着する。
等の基板の表面に気相合成により適宜厚みのダイモンド
薄膜で被覆し、そのダイモンド薄膜の基板からの剥離及
び狭幅の切断によりダイヤモンド片を製造し、（２）厚
肉部の外周域に薄肉部が形成された円盤状のロールコア
の薄肉部の側面に対しダイヤモンド片を適宜のピッチで
放射状に接着する。
【０００６】
【作用】上記の製造方法により製造されたダイヤモンド
ツルーイングロールは、砥石に対しツルーイングを行っ
て外径が摩耗減少しても、ダイヤモンド片の分布数も変
化しない上、分布ピッチも均等に維持される。
ツルーイングロールは、砥石に対しツルーイングを行っ
て外径が摩耗減少しても、ダイヤモンド片の分布数も変
化しない上、分布ピッチも均等に維持される。
【０００７】
【実施例】この発明の実施例におけるダイヤモンドツル
ーイングロールの製造方法について図面に従って説明す
る。図１（ａ）に示すような取付孔９をもつ厚肉部２の
外周域に薄肉部３が形成された鉄製円盤状のロールコア
１を用意する。薄肉部３は、厚肉部２の厚み中心より厚
み方向に適宜偏位している。
ーイングロールの製造方法について図面に従って説明す
る。図１（ａ）に示すような取付孔９をもつ厚肉部２の
外周域に薄肉部３が形成された鉄製円盤状のロールコア
１を用意する。薄肉部３は、厚肉部２の厚み中心より厚
み方向に適宜偏位している。
【０００８】第１実施例においては、ロールコア１の厚
肉部２の厚み中心に近い方の薄肉部３の側面４に対し適
宜の狭幅の放射方向の非マスキング域５を適宜の等ピッ
チで残してマスキングが全面的に施され、側面４には非
マスキング域５とマスキング域６とが交互に形成される
（図１（ｂ）参照）。非マスキング域５・マスキング域
６の形成には、次のような方法がとられる。非マスキン
グ域５に相当する部分をスリット状にした薄板を薄肉部
３の側面４に貼着する方法やマスキング域６に対しＩＶ
Ｄ（イオン注入蒸着）によりイオン化したものをつけ表
面改質する方法等がある。
肉部２の厚み中心に近い方の薄肉部３の側面４に対し適
宜の狭幅の放射方向の非マスキング域５を適宜の等ピッ
チで残してマスキングが全面的に施され、側面４には非
マスキング域５とマスキング域６とが交互に形成される
（図１（ｂ）参照）。非マスキング域５・マスキング域
６の形成には、次のような方法がとられる。非マスキン
グ域５に相当する部分をスリット状にした薄板を薄肉部
３の側面４に貼着する方法やマスキング域６に対しＩＶ
Ｄ（イオン注入蒸着）によりイオン化したものをつけ表
面改質する方法等がある。
【０００９】非マスキング域５・マスキング域６の形成
した後で更に、側面４に対して、ＣＶＤ（化学的気相蒸
着）、ＰＶＤ（物理蒸着）等の気相合成によりダイモン
ド薄膜を被覆する。そして非マスキング域５に相当する
部分をスリット状にした薄板場合には、全面的にダイモ
ンド膜が被覆形成されるが、薄板を除去するとスリット
に相当する非マスキング域５のみのダイモンド膜が残る
。表面改質の場合には、非マスキング域５にのみダイモ
ンド膜が被覆形成される。かくして、ダイモンド膜は、
被覆厚さと非マスキング域５の幅とからなる断面をもち
、薄肉部３の半径寸法と同長のダイヤモンド片７の列と
して形成されるのである（図１（ｃ）（ｄ）参照）。
した後で更に、側面４に対して、ＣＶＤ（化学的気相蒸
着）、ＰＶＤ（物理蒸着）等の気相合成によりダイモン
ド薄膜を被覆する。そして非マスキング域５に相当する
部分をスリット状にした薄板場合には、全面的にダイモ
ンド膜が被覆形成されるが、薄板を除去するとスリット
に相当する非マスキング域５のみのダイモンド膜が残る
。表面改質の場合には、非マスキング域５にのみダイモ
ンド膜が被覆形成される。かくして、ダイモンド膜は、
被覆厚さと非マスキング域５の幅とからなる断面をもち
、薄肉部３の半径寸法と同長のダイヤモンド片７の列と
して形成されるのである（図１（ｃ）（ｄ）参照）。
【００１０】それから、ロールコア１と同一材料からな
る薄肉部３の側面４と同形であり、且つ薄肉部３と同厚
でダイヤモンド膜に相当する部分に凹部を形成した環状
補強板８がダイモンド膜・マスキング域６の表面に接着
剤で接着されると共に、各ダイヤモンド片７間のマスキ
ング域６に相当する凹部が充填される（図１（ｅ）参照
）。なお、この発明は、環状補強板８がなくても実施す
ることができる。
る薄肉部３の側面４と同形であり、且つ薄肉部３と同厚
でダイヤモンド膜に相当する部分に凹部を形成した環状
補強板８がダイモンド膜・マスキング域６の表面に接着
剤で接着されると共に、各ダイヤモンド片７間のマスキ
ング域６に相当する凹部が充填される（図１（ｅ）参照
）。なお、この発明は、環状補強板８がなくても実施す
ることができる。
【００１１】第２実施例においては、適宜の寸法、例え
ば薄肉部３の半径寸法と同長の幅のシリコン等の基板１
０の表面にＣＶＤ（化学的気相蒸着）、ＰＶＤ（物理蒸
着）等の気相合成により適宜厚みのダイモンド薄膜１１
を被覆する。そして、ダイモンド薄膜１１を基板１０か
ら剥離して狭幅に切断すると、被覆厚と切断幅とからな
る方形断面をもち、薄肉部３の半径寸法と同長のダイヤ
モンド片７が形成される。剥離と切断との順は逆でもよ
い（図２（ａ）（ｂ）参照）。そのようにしてできたダ
イヤモンド片７をロールコア１の厚肉部２の厚み中心に
近い方の薄肉部３の側面４に対し適宜の等ピッチで放射
状に接着する（図２（ｃ）（ｄ）参照）。
ば薄肉部３の半径寸法と同長の幅のシリコン等の基板１
０の表面にＣＶＤ（化学的気相蒸着）、ＰＶＤ（物理蒸
着）等の気相合成により適宜厚みのダイモンド薄膜１１
を被覆する。そして、ダイモンド薄膜１１を基板１０か
ら剥離して狭幅に切断すると、被覆厚と切断幅とからな
る方形断面をもち、薄肉部３の半径寸法と同長のダイヤ
モンド片７が形成される。剥離と切断との順は逆でもよ
い（図２（ａ）（ｂ）参照）。そのようにしてできたダ
イヤモンド片７をロールコア１の厚肉部２の厚み中心に
近い方の薄肉部３の側面４に対し適宜の等ピッチで放射
状に接着する（図２（ｃ）（ｄ）参照）。
【００１２】それから、第１実施例と同様にしてロール
コア１と同一材料からなる薄肉部３の側面４と同形であ
り、且つ薄肉部３と同厚でダイヤモンド膜に相当する部
分に凹部を形成した環状補強板８がダイモンド膜・マス
キング域６の表面に接着剤で接着されると共に、各ダイ
ヤモンド片７間のマスキング域６に相当する凹部が充填
される（図２（ｅ）参照）。
コア１と同一材料からなる薄肉部３の側面４と同形であ
り、且つ薄肉部３と同厚でダイヤモンド膜に相当する部
分に凹部を形成した環状補強板８がダイモンド膜・マス
キング域６の表面に接着剤で接着されると共に、各ダイ
ヤモンド片７間のマスキング域６に相当する凹部が充填
される（図２（ｅ）参照）。
【００１３】上記の第１実施例及び第２実施例のような
製造方法により製造されたダイヤモンドツルーイングロ
ールは、普通砥石に対しツルーイングを行って外径が摩
耗減少しても、ダイヤモンド片の分布数も変化しない上
、分布ピッチも均等に維持される。
製造方法により製造されたダイヤモンドツルーイングロ
ールは、普通砥石に対しツルーイングを行って外径が摩
耗減少しても、ダイヤモンド片の分布数も変化しない上
、分布ピッチも均等に維持される。
【００１４】
【発明の効果】この発明の製造方法により製造されたダ
イヤモンドツルーイングロールは、砥石に対しツルーイ
ングを行って外径が摩耗減少しても、ダイヤモンド片の
分布数が変化しない上、分布ピッチも均等に維持される
ので、ツルーイング性能一定に保たれる。その結果、ダ
イヤモンドツルーイングロールの外径の変化に拘らず、
ツルーイングされた研削砥石の研削性能も一定に保たれ
る。
イヤモンドツルーイングロールは、砥石に対しツルーイ
ングを行って外径が摩耗減少しても、ダイヤモンド片の
分布数が変化しない上、分布ピッチも均等に維持される
ので、ツルーイング性能一定に保たれる。その結果、ダ
イヤモンドツルーイングロールの外径の変化に拘らず、
ツルーイングされた研削砥石の研削性能も一定に保たれ
る。
【００１５】更に、この発明の製造方法によれば、高温
・高圧で製造された針状ダイヤモンドを埋設する製造方
法よりも安価に同等のダイヤモンドツルーイングロール
を製造することができる。
・高圧で製造された針状ダイヤモンドを埋設する製造方
法よりも安価に同等のダイヤモンドツルーイングロール
を製造することができる。
【図１】この発明の第１実施例におけるダイヤモンドツ
ルーイングロールの製造方法の工程図である。
ルーイングロールの製造方法の工程図である。
【図２】この発明の第２実施例におけるダイヤモンドツ
ルーイングロールの製造方法の工程図である。
ルーイングロールの製造方法の工程図である。
【図３】従来の技術の製造方法により製造されたダイヤ
モンドツルーイングロールの断面図である。
モンドツルーイングロールの断面図である。
１ ロールコア
２ 厚肉部
３ 薄肉部
４ 側面
５ 非マスキング域
６ マスキング域
７ ダイヤモンド片
８ 環状補強板
９ 取付孔
１０ 基板
１１ ダイモンド薄膜
Claims (2)
- 【請求項１】 （１）厚肉部の外周域に薄肉部が形成
された円盤状のロールコアの薄肉部の側面に対し適宜の
狭幅の放射方向の非マスキング域を適宜の等ピッチで残
してマスキングを全面的に施し、該側面に非マスキング
域とマスキング域とを交互に形成し、（２）更に、該側
面の非マスキング域を気相合成によりダイモンド薄膜で
被覆するダイヤモンドツルーイングロールの製造方法。 - 【請求項２】 （１）シリコン等の基板の表面に気相
合成により適宜厚みのダイモンド薄膜で被覆し、そのダ
イモンド薄膜の基板からの剥離及び狭幅の切断によりダ
イヤモンド片を製造し、（２）厚肉部の外周域に薄肉部
が形成された円盤状のロールコアの薄肉部の側面に対し
ダイヤモンド片を適宜のピッチで放射状に接着するダイ
ヤモンドツルーイングロールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2662791A JPH04244377A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | ダイヤモンドツルーイングロールの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2662791A JPH04244377A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | ダイヤモンドツルーイングロールの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04244377A true JPH04244377A (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=12198695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2662791A Pending JPH04244377A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | ダイヤモンドツルーイングロールの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04244377A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105473283A (zh) * | 2013-08-19 | 2016-04-06 | 圣戈班金刚石工具有限责任两合公司 | 整形辊子 |
| DE102016006951A1 (de) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | KAPP Werkzeugmaschinen GmbH | Verfahren zum Herstellen eines Abrichtwerkzeugs für ein Schleifwerkzeug |
-
1991
- 1991-01-29 JP JP2662791A patent/JPH04244377A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105473283A (zh) * | 2013-08-19 | 2016-04-06 | 圣戈班金刚石工具有限责任两合公司 | 整形辊子 |
| US9956665B2 (en) | 2013-08-19 | 2018-05-01 | Saint-Gobain Diamantwerkzeuge Gmbh | Form dressing roller |
| DE102016006951A1 (de) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | KAPP Werkzeugmaschinen GmbH | Verfahren zum Herstellen eines Abrichtwerkzeugs für ein Schleifwerkzeug |
| DE102016006951B4 (de) | 2016-06-08 | 2018-05-09 | KAPP Werkzeugmaschinen GmbH | Verfahren zum Herstellen eines Abrichtwerkzeugs für ein Schleifwerkzeug |
| US10507564B2 (en) | 2016-06-08 | 2019-12-17 | KAPP Werkzeugmaschinen GmbH | Method for the production of a dressing tool for a grinding tool |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69935084D1 (de) | Drehende Abrichtrolle enthaltende abschleifende Einsätze | |
| JPH0714590B2 (ja) | 半導体本体の製造方法 | |
| US6042886A (en) | Method for the manufacturing of a coating on a grinding tool | |
| JP2846894B2 (ja) | ダイヤモンドツルア | |
| JPH04244377A (ja) | ダイヤモンドツルーイングロールの製造方法 | |
| EP1201367B1 (en) | Dresser for polishing cloth and manufacturing method therefor | |
| US5042140A (en) | Process for making an apparatus utilizing a layered thin film structure | |
| EP0845329B1 (en) | Method and apparatus for polishing a thin plate | |
| JP3821944B2 (ja) | ウェーハの枚葉式研磨方法とその装置 | |
| JPH0671556A (ja) | ラッピング装置 | |
| JPH06206165A (ja) | 研削砥石の製造方法 | |
| JPS618278A (ja) | 精密切断用砥石の製造方法 | |
| JPS6176273A (ja) | 研削砥石 | |
| JP2559763B2 (ja) | 表面仕上げパット | |
| JPH03251370A (ja) | 超精密研削用ダイヤモンド砥石およびその製造法 | |
| JP2016106046A (ja) | スクライビングホイールの製造方法 | |
| JPH0615557A (ja) | スタンパーの研磨方法 | |
| JPH04141372A (ja) | ダイヤモンド砥石 | |
| JPH0639716A (ja) | 砥石ドレッサ | |
| JP2002028865A (ja) | ダイヤモンドドレッサ及びその製造方法 | |
| JPH04331075A (ja) | ダイヤモンド砥石およびその製造法 | |
| JPH04348876A (ja) | ダイヤモンド砥石 | |
| JPH03270880A (ja) | ハブ付薄刃砥石の製造方法 | |
| JPH0752043A (ja) | アンギュラー研削砥石成形用ロータリードレッサー | |
| JPS60217064A (ja) | メタルボンド砥石の製造法 |