JPH04231828A - 力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体 - Google Patents
力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体Info
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- JPH04231828A JPH04231828A JP3129720A JP12972091A JPH04231828A JP H04231828 A JPH04231828 A JP H04231828A JP 3129720 A JP3129720 A JP 3129720A JP 12972091 A JP12972091 A JP 12972091A JP H04231828 A JPH04231828 A JP H04231828A
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- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
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- G05D15/01—Control of mechanical force or stress; Control of mechanical pressure characterised by the use of electric means
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G—PHYSICS
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- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
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- G—PHYSICS
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- G—PHYSICS
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- G01L5/167—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using piezoelectric means
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- G—PHYSICS
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- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
-
- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
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- G01N2291/02827—Elastic parameters, strength or force
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- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は自動工作機械のための力
、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体に係る。
、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体に係る。
【０００２】
【従来の技術】自動工作機械をその重要な力案内点にお
いて監視するため、多成分力測定センサーまたはひずみ
センサーであって力の流れを複数の同等流れに分割しそ
れを連続的にセットポイントまたは学習値と比較するも
のが取付けられる。いわゆる“魔法行使時間”を通じて
運転するそのような機械は、旋削センター及びフライス
削りセンターのごとくコンピュータ数値制御工作機械で
ある。それら完全に自動的に運転し、そしてターゲット
状態からの最も僅少な偏差において工具交換または機械
停止が開始される。
いて監視するため、多成分力測定センサーまたはひずみ
センサーであって力の流れを複数の同等流れに分割しそ
れを連続的にセットポイントまたは学習値と比較するも
のが取付けられる。いわゆる“魔法行使時間”を通じて
運転するそのような機械は、旋削センター及びフライス
削りセンターのごとくコンピュータ数値制御工作機械で
ある。それら完全に自動的に運転し、そしてターゲット
状態からの最も僅少な偏差において工具交換または機械
停止が開始される。
【０００３】そのような監視システムは、今日、特殊装
置として様々の機械メーカから既に入手され得る。また
、ひつような多成分力及びひずみセンサーも商業的に入
手可能である。対応する電子装備および関連ソフトウェ
アは多数の専門企業から供給される。
置として様々の機械メーカから既に入手され得る。また
、ひつような多成分力及びひずみセンサーも商業的に入
手可能である。対応する電子装備および関連ソフトウェ
アは多数の専門企業から供給される。
【０００４】近年、機械加工力、モーメント及びひずみ
の外に、機械ノイズまたは構造物伝送ノイズは機械加工
運転を監視するためのさらなる有用な成分を構成し得る
他の一機械的変数であることが示された。既にボーリン
グ機械監視装置であって構造物伝送ノイズスペクトルの
変化を通じて工具の破損を探知するものが提案されてい
る。また研磨作業のため、構造物伝送ノイズ測定は関心
を惹くものであることが証明された。
の外に、機械ノイズまたは構造物伝送ノイズは機械加工
運転を監視するためのさらなる有用な成分を構成し得る
他の一機械的変数であることが示された。既にボーリン
グ機械監視装置であって構造物伝送ノイズスペクトルの
変化を通じて工具の破損を探知するものが提案されてい
る。また研磨作業のため、構造物伝送ノイズ測定は関心
を惹くものであることが証明された。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】機械加工運転からの構
造物伝送ノイズを測定することは、また駆動部分からの
それのように、０．５−５０ｋＨｚの振動数範囲におい
て関心が払われる。通常、それは高周波数の振動加速度
計によって測定される。そのような分析のために好適な
変換器は今日では商業的に調達され得る。しばしば、そ
れらはデトネーションを測定するため自動車工学技術に
おいて使用される構造物伝送ノイズ変換器である。その
ような変換器は大きく従ってそれを工作機械に嵌め込む
好適性においては劣る。
造物伝送ノイズを測定することは、また駆動部分からの
それのように、０．５−５０ｋＨｚの振動数範囲におい
て関心が払われる。通常、それは高周波数の振動加速度
計によって測定される。そのような分析のために好適な
変換器は今日では商業的に調達され得る。しばしば、そ
れらはデトネーションを測定するため自動車工学技術に
おいて使用される構造物伝送ノイズ変換器である。その
ような変換器は大きく従ってそれを工作機械に嵌め込む
好適性においては劣る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の構造物伝送ノイ
ズによる力とひずみとの複合測定が新規の適用可能性を
開くという概念に基づくものである。その利点は次の通
りである：−単に一つのセンサー据付点が必要とされる
に過ぎない；−単に一つのケーブル結合手段が必要とさ
れるに過ぎない；−仕上げ機械加工において、構造物伝
送ノイズ測定は力またはひずみ測定に追加される情報を
提供する。粗削機械加工においては、力またはひずみの
測定は、場合に応じて、構造物伝送ノイズの測定よりも
多くの情報を提供する。
ズによる力とひずみとの複合測定が新規の適用可能性を
開くという概念に基づくものである。その利点は次の通
りである：−単に一つのセンサー据付点が必要とされる
に過ぎない；−単に一つのケーブル結合手段が必要とさ
れるに過ぎない；−仕上げ機械加工において、構造物伝
送ノイズ測定は力またはひずみ測定に追加される情報を
提供する。粗削機械加工においては、力またはひずみの
測定は、場合に応じて、構造物伝送ノイズの測定よりも
多くの情報を提供する。
【０００７】多くの適用において、二つのモード−力及
びひずみ測定及び構造物伝送ノイズ測定−は相補的であ
る。本発明の概念は後掲図１−図５を参照して説明され
る。
びひずみ測定及び構造物伝送ノイズ測定−は相補的であ
る。本発明の概念は後掲図１−図５を参照して説明され
る。
【０００８】
【実施例】図１〜図３は単成分−多成分力センサーであ
って一体化された突張り装置を有するもの及び作り付け
単軸線または多軸線構造物伝送ノイズセンサーを示す。
って一体化された突張り装置を有するもの及び作り付け
単軸線または多軸線構造物伝送ノイズセンサーを示す。
【０００９】図４及び図５は作り付け単軸線または多軸
線構造物伝送ノイズセンサーを有するひずみセンサーを
示す。両変換器部類は圧電計測学に基礎を有する。両適
用グループにおいて、インピーダンストランスフォーマ
ー／前置増幅器はセンサーまたはこれらのコネクター部
分において一体化され得る。
線構造物伝送ノイズセンサーを有するひずみセンサーを
示す。両変換器部類は圧電計測学に基礎を有する。両適
用グループにおいて、インピーダンストランスフォーマ
ー／前置増幅器はセンサーまたはこれらのコネクター部
分において一体化され得る。
【００１０】図１は本発明に基づく力及び構造物伝送ノ
イズのための単成分または多成分変換器１であってカバ
ー板２、ベース板３、予荷重下でこれらの間に位置する
クリスタル環セット４、及び変換器１がそれによってし
っかりと密閉される外ハウジング１０から構成されるも
のを示す。要求に従って、クリスタル環セット４は、１
、２または３個の力成分、即ち力ｚまたは力ＸＹまたは
力ＸＹＺ、を探知し得る。異なる様々の方向に切られた
石英円板が好ましくはこのために使用されるが、ピエゾ
−セラミックもまた使用され得る。
イズのための単成分または多成分変換器１であってカバ
ー板２、ベース板３、予荷重下でこれらの間に位置する
クリスタル環セット４、及び変換器１がそれによってし
っかりと密閉される外ハウジング１０から構成されるも
のを示す。要求に従って、クリスタル環セット４は、１
、２または３個の力成分、即ち力ｚまたは力ＸＹまたは
力ＸＹＺ、を探知し得る。異なる様々の方向に切られた
石英円板が好ましくはこのために使用されるが、ピエゾ
−セラミックもまた使用され得る。
【００１１】クリスタル環セット４の間には構造物伝送
ノイズセンサー６が同一据付面上に収容されている。そ
れはクリスタルセット９、質量８及び予荷重ねじ７から
構成される。
ノイズセンサー６が同一据付面上に収容されている。そ
れはクリスタルセット９、質量８及び予荷重ねじ７から
構成される。
【００１２】図１の実施例は、２力成分および単成分構
造物伝送ノイズセンサー６のためのクリスタル配列を示
す。構造物伝送ノイズセンサー６は５０ｋＨｚを超える
固有周波数を有する振動加速度計である。クリスタル配
列の個数に依存して、それは数本の軸線において同様に
敏感であり得る。クリスタルセット９を３方向ＸＹＺに
おいて敏感にすることが有利であり、そして単に１個の
信号出力が生じるように全ての３個の信号電極を一緒に
結合することが有利である。
造物伝送ノイズセンサー６のためのクリスタル配列を示
す。構造物伝送ノイズセンサー６は５０ｋＨｚを超える
固有周波数を有する振動加速度計である。クリスタル配
列の個数に依存して、それは数本の軸線において同様に
敏感であり得る。クリスタルセット９を３方向ＸＹＺに
おいて敏感にすることが有利であり、そして単に１個の
信号出力が生じるように全ての３個の信号電極を一緒に
結合することが有利である。
【００１３】今日ではチップ形状で入手され得従って要
求されるスペースが極めて小さいインピーダンストラン
スフォーマー／前置増幅器５を接続ソケット１８内に配
置することが有利である。
求されるスペースが極めて小さいインピーダンストラン
スフォーマー／前置増幅器５を接続ソケット１８内に配
置することが有利である。
【００１４】構造物伝送ノイズ変換器１は凹所１１内に
、機械的荷重下で、様々の力ＸＹＺと構造物伝送ノイズ
信号Ｋとが到達しそして更に伝送される点において嵌装
される。構造物伝送ノイズ信号Ｋの満足すべき伝送のた
めには、ベース板３と据付け面１９との間の接触は、可
能なかぎりエアギャップを生じないようにされなくては
ならない。
、機械的荷重下で、様々の力ＸＹＺと構造物伝送ノイズ
信号Ｋとが到達しそして更に伝送される点において嵌装
される。構造物伝送ノイズ信号Ｋの満足すべき伝送のた
めには、ベース板３と据付け面１９との間の接触は、可
能なかぎりエアギャップを生じないようにされなくては
ならない。
【００１５】図２は一体化された予荷重ナット１２を有
する前記と同じ交換機１を示す。カバー板２はねじ切り
されたニップルが突出しているプレート１３まで延長さ
れる。従って、センサー１即ち変換器１はいかなる凹所
１１にも力を案内するように嵌装され得る。
する前記と同じ交換機１を示す。カバー板２はねじ切り
されたニップルが突出しているプレート１３まで延長さ
れる。従って、センサー１即ち変換器１はいかなる凹所
１１にも力を案内するように嵌装され得る。
【００１６】図３は図２の一変形である。図１に基づく
カバー板２は、二重ねじ１７を介して上キープレート１
６に結合される一体化されたキープレート１５の形式に
されている。この配列によっても、力を案内する据付け
がいかなる凹所１１においても可能である。
カバー板２は、二重ねじ１７を介して上キープレート１
６に結合される一体化されたキープレート１５の形式に
されている。この配列によっても、力を案内する据付け
がいかなる凹所１１においても可能である。
【００１７】図４は作り付け構造物伝送ノイズセンサー
２４を有する表面ひずみ変換器２０を示す。支持ヘッド
２２はひずみを剪断クリスタルセット２３へ伝達する。 剪断クリスタルセット２３の信号電極はインピーダンス
トランスフォーマー／前置増幅器２８内へ直線的に導か
れる。支持ヘッド２２はねじ２１によって測定面上へ押
圧され、衝突する構造物伝送ノイズ波Ｋのための理想的
伝達条件を提供し、従ってこれらノイズ波Ｋは構造物伝
送ノイズセンサー２４へ直進する。構造物伝送ノイズセ
ンサー２４はクリスタル環セット２７、質量２６及び予
荷重ねじ２５から構成される。クリスタル環セット２７
は１本または複数本の軸線において敏感であり得る。簡
単化のため、信号電極は多軸敏感性を得るために互いに
結合されそしてインピーダンストランスフォーマー／前
置増幅器２８へ導かれる。
２４を有する表面ひずみ変換器２０を示す。支持ヘッド
２２はひずみを剪断クリスタルセット２３へ伝達する。 剪断クリスタルセット２３の信号電極はインピーダンス
トランスフォーマー／前置増幅器２８内へ直線的に導か
れる。支持ヘッド２２はねじ２１によって測定面上へ押
圧され、衝突する構造物伝送ノイズ波Ｋのための理想的
伝達条件を提供し、従ってこれらノイズ波Ｋは構造物伝
送ノイズセンサー２４へ直進する。構造物伝送ノイズセ
ンサー２４はクリスタル環セット２７、質量２６及び予
荷重ねじ２５から構成される。クリスタル環セット２７
は１本または複数本の軸線において敏感であり得る。簡
単化のため、信号電極は多軸敏感性を得るために互いに
結合されそしてインピーダンストランスフォーマー／前
置増幅器２８へ導かれる。
【００１８】図５は本発明に従うねじひずみ変換器３０
を示す。該変換器はねじ本体３１によって押圧面４１に
対して圧接される。力の変化から生じるひずみＤはクリ
スタルセット３２へ伝達される。クリスタルセット３２
の信号は信号線４０によって信号電極３４へ伝達され得
る。ねじ本体３１に溶接された予荷重本体３３上には構
造物伝送ノイズセンサー３５であってその質量３７が予
荷重ねじ３６によってクリスタル環セット３８に対して
突っ張らされるものが配置される。クリスタル環セット
３８はやはり単軸性または多軸性である。多軸状態にお
いては１本の単信号導線３９への接続が有利である。接
続ソケット４２内にはインピーダンストランスフォーマ
ー／前置増幅器は収容され得る。構造物伝送ノイズ波Ｋ
は突っ張られたねじ付部分を通過して予荷重本体３３即
ち端支持体に入る。端支持体上には構造物伝送ノイズセ
ンサー３５が据付けられている。これはねじひずみ変換
器を包囲する壁部分に対する良好な結合を可能にする。
を示す。該変換器はねじ本体３１によって押圧面４１に
対して圧接される。力の変化から生じるひずみＤはクリ
スタルセット３２へ伝達される。クリスタルセット３２
の信号は信号線４０によって信号電極３４へ伝達され得
る。ねじ本体３１に溶接された予荷重本体３３上には構
造物伝送ノイズセンサー３５であってその質量３７が予
荷重ねじ３６によってクリスタル環セット３８に対して
突っ張らされるものが配置される。クリスタル環セット
３８はやはり単軸性または多軸性である。多軸状態にお
いては１本の単信号導線３９への接続が有利である。接
続ソケット４２内にはインピーダンストランスフォーマ
ー／前置増幅器は収容され得る。構造物伝送ノイズ波Ｋ
は突っ張られたねじ付部分を通過して予荷重本体３３即
ち端支持体に入る。端支持体上には構造物伝送ノイズセ
ンサー３５が据付けられている。これはねじひずみ変換
器を包囲する壁部分に対する良好な結合を可能にする。
【００１９】図示されたねじひずみ変換器３０はねじの
軸方向におけるひずみを測定する。しかし軸方向に対し
垂直のひずみを測定するねじひずみ変換器は商業的に入
手可能である。そのような装置によって、また、構造物
伝送ノイズセンサーの据付けは便益を提供する。その感
受性はこれに対して軸方向または垂直である。しかし、
多成分クリスタルセットを有する構造物伝送ノイズセン
サーも同様に使用され得る。
軸方向におけるひずみを測定する。しかし軸方向に対し
垂直のひずみを測定するねじひずみ変換器は商業的に入
手可能である。そのような装置によって、また、構造物
伝送ノイズセンサーの据付けは便益を提供する。その感
受性はこれに対して軸方向または垂直である。しかし、
多成分クリスタルセットを有する構造物伝送ノイズセン
サーも同様に使用され得る。
【００２０】
【発明の効果】冒頭において言及されたごとく、力また
はひずみセンサーに構造物伝送ノイズセンサーを嵌め込
むことは据付けに関し利点をもたらす。かつまた、構造
物伝送ノイズセンサーは構造物伝送ノイズを発生する要
素に可能なかぎり接近して位置される。これは監視セン
サーがプロセスに近接して位置されることを可能にする
。さらに、二つの信号のタイプの総合評価は、構造物伝
送ノイズ信号処理の複雑さを簡単化し得る情報を生み出
す。
はひずみセンサーに構造物伝送ノイズセンサーを嵌め込
むことは据付けに関し利点をもたらす。かつまた、構造
物伝送ノイズセンサーは構造物伝送ノイズを発生する要
素に可能なかぎり接近して位置される。これは監視セン
サーがプロセスに近接して位置されることを可能にする
。さらに、二つの信号のタイプの総合評価は、構造物伝
送ノイズ信号処理の複雑さを簡単化し得る情報を生み出
す。
【００２１】将来の汎用監視システムは多軸性の力、ひ
ずみ及び構造物伝送ノイズ信号を処理しなくてはならな
いであろう。このために必要とされる変換器がより簡単
に統合され得そしてより簡単に据付けられ得るほど、プ
ロセス監視はより信頼できるようになる。かくして、本
発明はコンピューター支援プロセス及びプラント監視を
指向するさらなる進歩の達成を可能にする。
ずみ及び構造物伝送ノイズ信号を処理しなくてはならな
いであろう。このために必要とされる変換器がより簡単
に統合され得そしてより簡単に据付けられ得るほど、プ
ロセス監視はより信頼できるようになる。かくして、本
発明はコンピューター支援プロセス及びプラント監視を
指向するさらなる進歩の達成を可能にする。
【図１】一つまたは複数の力成分に対する本発明に基づ
く力及び構造物伝送ノイズ変換器であって構造物伝送ノ
イズセンサーを中心に配列されたものを示す。
く力及び構造物伝送ノイズ変換器であって構造物伝送ノ
イズセンサーを中心に配列されたものを示す。
【図２】一体化された突っ張りナットを有する前記と同
じ変換器を示す。
じ変換器を示す。
【図３】一体化されたキー突っ張り要素を有する前記と
同じ変換器を示す。
同じ変換器を示す。
【図４】作り付けの構造物伝送ノイズセンサーを有する
表面ひずみ変換器を示す。
表面ひずみ変換器を示す。
【図５】作り付けの構造物伝送ノイズセンサーを有する
孔ひずみ変換器を示す。
孔ひずみ変換器を示す。
１ 構造物伝送ノイズ変換器
２ カバー板
３ ベース板
４ クリスタル環セット
６ 構造物伝送ノイズセンサー
９ クリスタル環セット
１０ 外ハウジング
１１ 凹所
１２ 予荷重ナット
１７ 二重ねじ
２０ 表面ひずみ変換器
２４ 構造物伝送ノイズセンサー
３０ ねじひずみ変換器
３２ クリスタル環セット
３５ 構造物伝送ノイズセンサー
３８ クリスタル環セット
Claims (16)
- 【請求項１】 クリスタル環セット（４）の内側の単
成分または多成分力センサー内に構造物伝送ノイズセン
サー（６）を収容することを特徴とする自動工作機械を
監視するための力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器
複合体。 - 【請求項２】 表面ひずみ変換器（２０）内に構造物
伝送ノイズセンサー（２４）を収容することを特徴とす
る自動工作機械を監視するための力、ひずみ及び構造物
伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項３】 ねじひずみ変換器（３０）内に構造物
伝送ノイズセンサー（３５）を収容することを特徴とす
る自動工作機械を監視するための力、ひずみ及び構造物
伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項４】 請求項１に従う力、ひずみ及び構造物
伝送ノイズ変換器複合体において、予荷重ナット（１２
）によって嵌合凹所（１１）における摩擦突っ張りを可
能にするように微細ピッチのねじ山を有する結合手段を
カバープレート（１３）内に一体化することを特徴とす
る力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項５】 請求項１に従う力、ひずみ及び構造物
伝送ノイズ変換器複合体において、その上に突っ張りね
じ（１７）を介して上キープレート（１６）が嵌合する
キープレート（１５）内にキー配列が一体化されること
を特徴とする力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複
合体。 - 【請求項６】 請求項１、４、５の何れか一つの項に
従う力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体にお
いて、クリスタル環セット（４）が単軸性である、即ち
力ｚに対し、または多軸性である、即ち力ＸＹＺに対し
延長可能であることを特徴とする力、ひずみ及び構造物
伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項７】 請求項１、４、５の何れか一つの項に
従う力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体にお
いて、クリスタル環セット（４）が石英環から構成され
ることを特徴とする力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変
換器複合体。 - 【請求項８】 請求項１、４、５、６および７の何れ
か一つの項に従う力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換
器複合体において、クリスタル環セット（４）がピエゾ
ーセラミック環から構成されることを特徴とする力、ひ
ずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項９】 請求項１から請求項８の何れか一つの
項に従う力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体
において、構造物伝送ノイズセンサー（６、２４、３５
）が単軸または多軸感受性を有することを特徴とする力
、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項１０】 請求項１から請求項９の何れか一つ
の項に従う力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合
体において、構造物伝送ノイズセンサー（６、２４、３
５）が圧電気に基いて働くことを特徴とする力、ひずみ
及び構造物伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項１１】 請求項１から請求項１０の何れか一
つの項に従う力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複
合体において、構造物伝送ノイズセンサー（６、２４、
３５）がピエゾ抵抗ベースまたはキャパシティブベース
で働くことを特徴とする力、ひずみ及び構造物伝送ノイ
ズ変換器複合体。 - 【請求項１２】 請求項１から請求項１１の何れか一
つの項に従う力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複
合体において、インピーダンストランスフォーマー／前
置増幅器が変換器内に嵌装されることを特徴とする力、
ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項１３】 表面ひずみ変換器が構造物伝送ノイ
ズセンサー（２４）を装備されていることを特徴とする
力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項１４】 軸方向ひずみを測定するねじひずみ
変換器（３０）が、軸方向にも敏感である構造物伝送ノ
イズセンサー（３５）を装備されていることを特徴とす
る力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体。 - 【請求項１５】 据付軸線に対し垂直のひずみを測定
しそして該据付軸線に対し同様に敏感である構造物伝送
ノイズセンサーを有するねじひずみ変換器を有すること
を特徴とする力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複
合体。 - 【請求項１６】 多軸感受性を有する構造物伝送ノイ
ズセンサーを嵌装されることを特徴とする力、ひずみ及
び構造物伝送ノイズ変換器複合体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH01842/90-5 | 1990-05-31 | ||
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| JPH04231828A true JPH04231828A (ja) | 1992-08-20 |
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